CN112053981A - 防刮伤晶圆盒 - Google Patents
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Abstract
本发明的实施例提供了一种防刮伤晶圆盒，涉及半导体设备技术领域，该防刮伤晶圆盒包括盒体、至少一组晶圆支撑架和至少一个光感测装置，盒体具有一供机械手臂伸入的开口；晶圆支撑架设置在盒体的侧壁上，且晶圆支撑架用于承载晶圆；光感测装置设置在盒体的侧壁上，其中，光感测装置用于在晶圆上方形成光帘，并在光帘受阻的情况下报警。当机械手臂高度异常时，会与光帘发生干涉，使得光帘受阻，而光感测装置能够在光帘受阻时报警，使得操作人员及时获知机械手臂高度异常情况并停机，有效避免了机械手臂刮伤晶圆，同时也避免了目视法视野不足而造成误判的情况。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种防刮伤晶圆盒。
背景技术
晶圆盒为放置晶圆之专用载具，产品生产时由生产设备上的机械手臂伸入晶圆盒里抓取晶圆，机械手臂零件会因长期使用而磨损，造成抓取或放置晶圆时手臂倾斜而刮伤晶圆。
现有技术中，针对机械手臂容易刮伤晶圆，通常是采用目视法来校正机械手臂的高度，而由于晶圆盒为不透明的容器，机械手臂伸入晶圆盒检查抓取高度与状态时无法得到很好的视野，容易产生误差，导致检查后仍会发生晶圆刮伤问题，且因目视法无法量化，每个人检查的标准无法一致，不同人检查有不同的标准，故目视法并不能很好地解决上述问题。
发明内容
本发明的目的包括，例如，提供了一种防刮伤晶圆盒，其能够实时监测机械手臂的高度，防止机械手臂刮伤晶圆。
本发明的实施例可以这样实现：
第一方面，本发明实施例提供一种防刮伤晶圆盒，包括：盒体，所述盒体具有一供机械手臂伸入的开口；设置在所述盒体的侧壁上晶圆支撑架，所述晶圆支撑架用于承载晶圆；以及，设置在所述盒体的侧壁上的光感测装置；其中，所述光感测装置用于在所述晶圆上方形成光帘，并在所述光帘受阻的情况下输出示警信息。
在可选的实施方式中，所述光感测装置包括红外发射组件和红外接收组件，所述红外发射组件和所述红外接收组件分别设置在所述盒体上相对的侧壁上，所述红外发射组件出射的红外线信号由对侧的所述红外接收组件接收，以在所述红外发射组件和所述红外接收组件之间形成所述光帘。
在可选的实施方式中，所述红外发射组件包括发射横架和多个红外发射器，所述发射横架设置在所述盒体的侧壁上，多个所述红外发射器间隔设置在所述发射横架上；所述红外接收组件包括接收横架和多个红外接收器，所述接收横架设置在所述盒体的侧壁上并与所述发射横架相对应，多个所述红外接收器间隔设置在所述接收横架上，并与多个所述红外发射器一一对应。
在可选的实施方式中，所述光感测装置还包括报警器，所述报警器设置在所述接收横架上，并同时与多个所述红外接收器电连接，用于在至少一个所述红外接收器接收所述红外线受阻时报警。
在可选的实施方式中，所述报警器包括报警灯和/或报警扬声器。
在可选的实施方式中，所述盒体的侧壁上还设置有安装轨道，所述光感测装置设置在所述安装轨道上，并能够沿所述安装轨道移动，以调节所述光帘的位置。
在可选的实施方式中，所述安装轨道上活动设置有驱动件，所述驱动件与所述光感测装置连接，用于带动所述光感测装置沿所述安装轨道移动。
在可选的实施方式中，所述驱动件具有一输出轴，所述输出轴上设置有驱动齿轮，所述安装轨道上还设置有传动齿条，所述驱动齿轮与所述传动齿条相啮合。
在可选的实施方式中，每组所述晶圆支撑架包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对且间隔设置在所述盒体的侧壁上，且所述第一支撑板的上侧表面和所述第二支撑板的上侧表面共同形成用于承载所述晶圆的承载面，所述光帘与所述承载面相平行。
在可选的实施方式中，所述开口的边缘还设置有检测装置，所述检测装置与所述光感测装置电连接，用于在检测到所述机械手臂伸入所述开口的情况下生成启动信号，所述光感测装置还用于在获取所述启动信号的情况下形成所述光帘。
本发明实施例的有益效果包括，例如：
本发明实施例提供的防刮伤晶圆盒，通过在盒体上增设光感测装置，光感测装置在工作状态下可在晶圆上方形成光帘，当机械手臂高度异常时，会与光帘发生干涉，使得光感测装置中对于光帘的接收端受阻，光感测装置在光帘受阻时输出示警信息，能够使得操作人员及时获知机械手臂高度异常情况并停机，或者直接使得机械手臂停止工作，有效避免了机械手臂运动轨迹偏离或异常导致刮伤晶圆盒内的晶圆，同时也避免了目视法视野不足而造成误判的情况。相较于现有技术，本发明提供的防刮伤晶圆盒，能够实时监测机械手臂的高度，防止机械手臂刮伤晶圆。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明第一实施例提供的防刮伤晶圆盒在第一视角下的结构示意图；
图2为本发明第一实施例提供的防刮伤晶圆盒在第二视角下的结构示意图；
图3为本发明第一实施例提供的防刮伤晶圆盒在第三视角下的结构示意图；
图4为本发明第一实施例提供的防刮伤晶圆盒在第四视角下的结构示意图；
图5为图4中驱动件的连接结构示意图；
图6为图3中发射横架的连接结构示意图；
图7为本发明第二实施例提供的防刮伤晶圆盒在第四视角下的结构示意图。
图标：100-防刮伤晶圆盒；110-盒体；130-晶圆支撑架；131-第一支撑板；133-第二支撑板；150-光感测装置；150a-光帘；151-红外发射组件；151a-发射横架；151b-红外发射器；151c-内置横块；151d-外置横块；151e-连接杆；153-红外接收组件；153a-接收横架；153b-红外接收器；153c-报警器；170-开口；171-检测装置；190-安装轨道；191-驱动件；193-驱动齿轮；195-传动齿条；200-晶圆；
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
首先，正如背景技术中所公开的，现有技术中的晶圆放置盒通常为不透明的箱体结构，并在内部设置晶圆放置架，当取放晶圆时，需要使用机械手臂伸入到晶圆盒内部，并在托起晶圆后退出，从而将晶圆从晶圆盒中取出，或者反之将晶圆放置在晶圆盒的晶圆放置架上。而为了尽可能多的放置晶圆，上下晶圆架之间的间隔较小，使得整体更加紧凑，这样就导致机械手臂在伸入、伸出的过程当中，有可能会与临近的晶圆发生碰撞、擦刮，从而刮伤晶圆，影响晶圆质量。特别地，在机械手臂长期使用磨损后，容易造成局部变形、松弛，使得机械手臂难以保证水平，倾斜后会导致其精确度降低，从而在抓取或者放置晶圆时机械手臂更容易刮伤晶圆。
针对上述问题，目前的解决手段是利用目视法直接调整机械手臂的位置，即操作人员通过人眼观察来实时调整机械手臂的位置，从而避免机械手臂与晶圆发生接触，避免刮伤晶圆。这种处理方式无法量化，且依赖于操作人员的视力、操作手段以及熟练度等无法控制的变量，标准不一，并且由于晶圆盒采用不透明材料制成，在机械臂伸入伸出的过程中会丢失局部视野，容易产生误差，导致刮伤问题的出现，故目视法并不能很好地解决上述问题。
此外，由于目视法通常只能监控机械手臂的位置，当放置晶圆时晶圆倾斜放置在放置架上，导致晶圆放置不到位或者有安全隐患的情况出现，这通过目视法也是无法很好地解决。
本发明提供一种新型的防刮伤晶圆盒，通过在晶圆上方设置红外线光帘的方式，使得晶圆、机械手臂的位置有异常时会及时进行报警，并及时停止，保证机械手臂在安全范围内活动，有效防止了机械手臂与晶圆发生接触而造成刮伤，保证晶圆安全。
第一实施例
请参考图1至图6，本实施例提供一种防刮伤晶圆盒100，其能够实时监测机械手臂的高度，防止机械手臂刮伤晶圆200，同时能够对晶圆200放置位置异常情况进行监控，避免晶圆200放置不到位产生安全隐患。
本实施例提供的防刮伤晶圆盒100，包括盒体110、至少一组晶圆支撑架130和至少一个光感测装置150，盒体110具有一供机械手臂伸入的开口170；晶圆支撑架130设置在盒体110的侧壁上，且晶圆支撑架130用于承载晶圆200；光感测装置150设置在盒体110的侧壁上，其中，光感测装置150用于在晶圆200上方形成光帘150a，并在光帘150a受阻的情况下输出示警信息。
在本实施例中，盒体110呈矩形体状，且盒体110的一侧呈开放式并形成供机械手臂伸入的开口170，晶圆支撑架130为多组，多组晶圆支撑架130间隔设置在盒体110的侧壁上，从而能够同时承载多个晶圆200。此外，光感测装置150也为多个，多个光感测装置150与多个晶圆支撑架130一一对应设置，具体地，每个光感测装置150设置在对应的晶圆支撑架130的上方，从而在晶圆支撑架130的上方形成光帘150a，该光帘150a的高度大于对应放置的晶圆200的高度，从而在晶圆200的上侧形成光帘150a的保护结构。优选地，晶圆支撑架130为25组，从而能够同时放置25片晶圆200，同时光感测装置150也为25个，从而形成25个光帘150a的结构。当然，此处晶圆支撑架130、光感测装置150的数量仅仅是举例说明，其具体数量与盒体110尺寸有关，此处不做具体限定。
需要说明的是，光帘150a受阻指的是运动状态下的机械手臂或者异常放置(例如倾斜放置)的晶圆200边缘与光帘150a发生接触。本实施例中光感测装置150形成的光帘150a与对应的晶圆支撑架130的支撑面之间间隔设置，且二者之间的间距大于待放置晶圆200的厚度，从而使得光帘150a与放置到位的晶圆200的上侧表面之间存在一定的间隙，该间隙构成机械手臂的安全余量，具体地，当机械手臂接触到光帘150a时，即光帘150a受阻时，光感测装置150及时输出示警信号，操作人员或中控机及时停止机械手臂。
在本实施例中，每组晶圆支撑架130包括第一支撑板131和第二支撑板133，第一支撑板131和第二支撑板133相对且间隔设置在盒体110的侧壁上，且第一支撑板131的上侧表面和第二支撑板133的上侧表面共同形成用于承载晶圆200的承载面，光帘150a与承载面相平行。
光感测装置150包括红外发射组件151、红外接收组件153和报警器153c，红外发射组件151和红外接收组件153分别设置在盒体110上相对的侧壁上，红外发射组件151用于向红外接收组件153发射红外线，并在红外发射组件151和红外接收组件153之间形成光帘150a，红外接收组件153用于接收红外线。报警器153c与红外接收组件153电连接，用于在红外接收组件153接收红外线受阻时报警。
需要说明的是，本实施例中的光帘150a由红外线构成，当机械手臂高度异常时，会侵入到晶圆200上方的光帘150a，此时红外接收组件153由于机械手臂的阻挡而接收红外线受阻，从而通过报警器153c报警，提醒操作人员停止机械手臂的动作，或者通过电控手段直接自动机械手臂停止动作，避免机械手臂进一步与晶圆200发生接触。
在本发明其他较佳的实施例中，光感测装置150也可以生成其他类型的光帘150a，例如可见光帘150a或者紫外光帘150a等，在此不做具体限定。需要说明的是，此处光帘150a的强度以不会对晶圆200造成任何影响为宜。
红外发射组件151包括发射横架151a和多个红外发射器151b，发射横架151a设置在盒体110的侧壁上，多个红外发射器151b间隔设置在发射横架151a上。具体地，发射横架151a呈条状，并沿水平方向贴设在盒体110的侧壁上，多个红外发射器151b均匀设置在发射横架151a上，并朝着盒体110的另一侧的侧壁发射红外线。
红外接收组件153包括接收横架153a和多个红外接收器153b，接收横架153a设置在盒体110的侧壁上并与发射横架151a相对应，多个红外接收器153b间隔设置在接收横架153a上，并与多个红外发射器151b一一对应。具体地，接收横架153a呈条状，并沿水平方向贴设在盒体110的另一侧的侧壁上，多个红外接收器153b均匀设置在接收横架153a上，用于接收红外发射器151b发射的红外线，多个红外线共同形成红外线光帘150a结构。
需要说明的是，本实施例中红外发射器151b、红外接收器153b的结构、发射原理等均与常规的红外传感器相同，具体可参考现有技术中的红外传感器。
进一步地，报警器153c设置在接收横架153a上，并同时与多个红外接收器153b电连接，用于在至少一个红外接收器153b接收红外线受阻时报警。具体地，报警器153c通过与多个红外接收器153b电连接，当其中一个或多个红外接收器153b接收不到红外线时，说明机械手臂或放置不当的晶圆200与光帘150a发生了接触，此时报警器153c发出报警信号，能够提醒操作人员及时停止动作或更正晶圆200位置。
在本实施例中，报警器153c包括报警灯和报警扬声器，具体地，报警器153c通过一报警芯片与多个红外接收器153b电连接，报警芯片与报警灯和报警扬声器电连接，报警芯片上集成有数据分析模块，该数据分析模块能够在其中一个或多个红外接收器153b接收不到红外线时生成报警信号，报警灯在接收到该报警信号后发出可见警示光的闪烁，从而起到警示作用；报警扬声器在接收到该报警信号后发出报警声音，从而起到警示作用。通过光电、声音的双重警示效果，能够有效地起到报警作用。
在本发明其他较佳的实施例中，报警器153c也可以仅仅包括报警灯或者包括报警扬声器，通过单独使用报警灯进行报警，或者通过报警扬声器进行报警。当然，此处报警器153c也可以通过其他报警手段进行警示，例如振动或者电信号等，在此不做具体限定。
进一步地，盒体110的侧壁上还设置有安装轨道190，光感测装置150设置在安装轨道190上，并能够沿安装轨道190移动，以调节光帘150a的位置。具体地，盒体110相对的侧壁上均设置有安装轨道190，发射横架151a活动设置在其中一个侧壁上的安装轨道190上，接收横架153a活动设置在另一个侧壁上的安装轨道190上，通过调节发射横架151a和接收横架153a的位置，起到调节光帘150a位置的作用。
在本实施例中，安装轨道190上活动设置有驱动件191，驱动件191与光感测装置150连接，用于带动光感测装置150沿安装轨道190移动。具体地，两侧壁的安装轨道190上均设置有驱动件191，驱动件191与发射横架151a或接收横架153a连接，以带动发射横架151a或接收横架153a运动。驱动件191具有一输出轴，输出轴上设置有驱动齿轮193，安装轨道190上还设置有传动齿条195，驱动齿轮193与传动齿条195相啮合。
在本发明其他较佳的实施例中，也可以通过手动拨动发射横架151a或接收横架153a来调整位置。
在本实施例中，驱动件191为步进电机，步进电机的输出轴上设置驱动齿轮193，驱动齿轮193与设置在安装轨道190上的传动齿条195相啮合，且驱动件191与驱动齿轮193在步进电机的带动下相对安装轨道190上下运动，从而带动发射横架151a或接收横架153a在竖直方向上调节位置，实现光帘150a位置的调节。
在本实施例中，安装轨道190沿竖直方向设置，且每一侧壁上的安装轨道190为两条，两条安装轨道190相互平行设置，至少一条安装轨道190上设置有驱动件191，发射横架151a或接收横架153a滑动设置在安装轨道190上，并在驱动件191的带动下上下调整位置，以保证光帘150a调整至最适配的位置。
需要说明的是，本实施例中的光感测装置150在竖直方向上的调节范围在相临两个晶圆支撑架130之间，具体地，发射横架151a或接收横架153a在相邻两个晶圆支撑架130之间进行调节，从而调整光帘150a与对应的下部的晶圆支撑架130之间距离，以适应不同厚度的晶圆200，同时上部的晶圆支撑架130起到限位作用。
在本实施例中，为了保证安装轨道190的连续性和安装方便，安装轨道190开设在盒体110的外侧壁上，驱动件191也设置在盒体110的外侧，从而能够有更好的安装空间，组装方便。此外，红外发射器151b和红外接收器153b均设置在盒体110的内部，发射横架151a和接收横架153a均由至少部分设置在盒体110的内侧壁上，为了保证驱动件191与发射横架151a或驱动横架之间的传动连接，安装轨道190呈局部镂空状，即安装轨道190局部贯穿盒体110的侧壁，发射横架151a和驱动横架均部分穿设在安装轨道190中。
具体地，发射横架151a包括位于盒体110的内侧壁上的内置横块151c、位于盒体110的外侧壁上的外置横块151d以及用于连接内置横块151c和外置横块151d的连接杆151e，红外发射器151b设置在内置横块151c上，驱动件191设置在外置横块151d上，安装轨道190上开设有贯穿盒体110的侧壁的条形孔，条形孔的两端分别延伸至盒体110上晶圆支撑架130所在的位置，且条形孔也沿竖直方向设置，连接杆151e穿设于该条形孔中，并能够在驱动件191的带动下沿条形孔上下运动，进而带动内置横块151c上下调节，实现光帘150a位置的调节。接收横架153a的结构与发射横架151a相似，此处不再详细描述。
需要说明的是，为了保证光帘150a始终处于水平位置，盒体110的两侧壁上的多个驱动件191需同步运动，即保证发射横架151a、接收横架153a处于同步上升或者同步下降状态，这可以通过控制驱动件191运动的电控系统实现，在此不详细介绍。
综上所述，本实施例提供了一种防刮伤晶圆盒100，其工作原理如下：当需要取出晶圆200时，机械手臂从开口170伸入到晶圆200盒，具体地，机械手臂伸入到目标晶圆200和下层晶圆200之间的间隙中，以抓取晶圆200前的高度伸入，到达预定深度后，机械手臂向上提升，并由第一支撑板131和第二支撑板133之间的间隔处抓取晶圆200，使得晶圆200脱离第一支撑板131和第二支撑板133，然后机械手臂以抓取晶圆200后的高度退出晶圆200盒，整个动作过程中机械手臂均必须保证在安装范围内运动，当机械手臂触碰或者遮挡红外线所形成的光帘150a时，报警器153c及时报警，即可及时停止机械手臂动作，放置其与晶圆200发生接触而造成刮伤。当需要放置晶圆200时，机械手臂的运动流程相反，且放置时需要保证晶圆200放置到位，当晶圆200倾斜放置超过一定限度时，晶圆200的翘起部分会触碰或者遮挡红外线所形成的光帘150a，报警器153c及时报警，即可通过机械手臂重新放置晶圆200，以达到晶圆200放置到位的目的。
本实施例提供的防刮伤晶圆盒100，通过发射横架151a上的多个红外发射器151b发射红外线，通过接收横架153a上的多个红外接收器153b接收红外线，从而形成有红外线构成的光帘150a，该光帘150a位于放置适当的晶圆200的上方，当机械手臂触碰或者遮挡红外线所形成的光帘150a时，报警器153c及时报警，即可及时停止机械手臂动作，放置其与晶圆200发生接触而造成刮伤。同时晶圆200放置异常时，晶圆200的翘起部分会触碰或者遮挡红外线所形成的光帘150a，报警器153c及时报警，即可通过机械手臂重新放置晶圆200，以达到晶圆200放置到位的目的。
第二实施例
请参考图7，本实施例提供了一种防刮伤晶圆盒100，其基本结构和原理及产生的技术效果和第一实施例相同，为简要描述，本实施例部分未提及之处，可参考第一实施例中相应内容。
在本实施例中，防刮伤晶圆盒100包括盒体110、至少一组晶圆支撑架130和至少一个光感测装置150，盒体110具有一供机械手臂伸入的开口170；晶圆支撑架130设置在盒体110的侧壁上，且晶圆支撑架130用于承载晶圆200；光感测装置150设置在盒体110的侧壁上，其中，光感测装置150用于在晶圆200上方形成光帘150a，并在光帘150a受阻的情况下报警。
在本实施例中，开口170的边缘还设置有检测装置171，检测装置171与光感测装置150电连接，用于在检测到机械手臂伸入开口170的情况下生成启动信号，光感测装置150还用于在获取启动信号的情况下形成光帘150a。具体地，检测装置171用于检测机械手臂是否进入盒体110，其可以采用常规的安全光栅，在安全光栅检测到机械手臂进入盒体110后，光感测装置150才启动并形成光帘150a，从而能够在正常放置过程中关闭光帘150a，从而节约能源。
相较于现有技术，本发明提供的防刮上晶圆200盒，通过设置安全光栅，并利用安全光栅检测机械手臂是否进入盒体110，并在未检测到机械手臂时关闭光帘150a，从而达到节约能源的目的。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种防刮伤晶圆盒，其特征在于，包括：
盒体，所述盒体具有一供机械手臂伸入的开口；
设置在所述盒体的侧壁上的晶圆支撑架，所述晶圆支撑架用于承载晶圆；
以及，设置在所述盒体的侧壁上，并与所述晶圆支撑架相对应的光感测装置；
其中，所述光感测装置用于在所述晶圆上方形成光帘，并在所述光帘受阻的情况下输出示警信息。
2.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述光感测装置包括红外发射组件和红外接收组件，所述红外发射组件和所述红外接收组件分别设置在所述盒体上相对的侧壁上，所述红外发射组件出射的红外线信号由对侧的所述红外接收组件接收，以在所述红外发射组件和所述红外接收组件之间形成所述光帘。
3.根据权利要求2所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述红外发射组件包括发射横架和多个红外发射器，所述发射横架设置在所述盒体的侧壁上，多个所述红外发射器间隔设置在所述发射横架上；所述红外接收组件包括接收横架和多个红外接收器，所述接收横架设置在所述盒体的侧壁上并与所述发射横架相对应，多个所述红外接收器间隔设置在所述接收横架上，并与多个所述红外发射器一一对应。
4.根据权利要求3所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述光感测装置还包括报警器，所述报警器设置在所述接收横架上，并同时与多个所述红外接收器电连接，用于在至少一个所述红外接收器接收所述红外线受阻时报警。
5.根据权利要求4所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述报警器包括报警灯和/或报警扬声器。
6.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述盒体的侧壁上还设置有安装轨道，所述光感测装置设置在所述安装轨道上，并能够沿所述安装轨道移动，以调节所述光帘的位置。
7.根据权利要求6所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述安装轨道上活动设置有驱动件，所述驱动件与所述光感测装置连接，用于带动所述光感测装置沿所述安装轨道移动。
8.根据权利要求7所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述驱动件具有一输出轴，所述输出轴上设置有驱动齿轮，所述安装轨道上还设置有传动齿条，所述驱动齿轮与所述传动齿条相啮合。
9.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，每组所述晶圆支撑架包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板相对且间隔设置在所述盒体的侧壁上，且所述第一支撑板的上侧表面和所述第二支撑板的上侧表面共同形成用于承载所述晶圆的承载面，所述光帘与所述承载面相平行。
10.根据权利要求1所述的防刮伤晶圆盒，其特征在于，所述开口的边缘还设置有检测装置，所述检测装置与所述光感测装置电连接，用于在检测到所述机械手臂伸入所述开口的情况下生成启动信号，所述光感测装置还用于在获取所述启动信号的情况下形成所述光帘。
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