CN210481500U

CN210481500U - 一种便于快速上下料的光学真空镀膜机

Info

Publication number: CN210481500U
Application number: CN201921705885.XU
Authority: CN
Inventors: 陈晓东
Original assignee: Changzhou Xinli Ion Technology Co ltd
Current assignee: Changzhou Xinli Ion Technology Co ltd
Priority date: 2019-10-12
Filing date: 2019-10-12
Publication date: 2020-05-08
Anticipated expiration: 2029-10-12

Abstract

本实用新型公开了一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱，镀膜机箱的底端设有机箱固定台，机箱固定台的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，机箱固定台的一侧设有控制柜，镀膜机箱的顶端四个拐角处均安装有液压缸固定箱，液压缸固定箱内安装有液压缸，该真空镀膜机可以将镀膜箱底部的机箱密封底座伸出，并能将底座上连接的抽拉板伸出到镀膜机的底部前面，便于工作人员直接将镀膜件放在顶部的托盘上，也便于更换不同类型的坩埚，提高上料和下来的速度，节约时间，而且减少人工搬运，节约成本，当机箱密封底座复位到镀膜箱底部的时候，通过橡胶气囊密封箱内的橡胶气囊注气进行密封，提高效率。

Description

一种便于快速上下料的光学真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种便于快速上下料的光学真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，但是现有的真空镀膜机功能单一，不能实现快速上下料，往往都需要把较重的镀膜件搬运到镀膜机上，而镀膜机有一定的高度，镀膜件的数量多，实行人工直接上料，不仅效率低，速度慢，而且增加人工成本，而且现有的真空镀膜机的密封性能差，影响镀膜质量。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱，所述镀膜机箱的底端设有机箱固定台，所述机箱固定台的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述机箱固定台的一侧设有控制柜，所述镀膜机箱的顶端四个拐角处均安装有液压缸固定箱，所述液压缸固定箱内安装有液压缸，所述液压缸的底端安装有机箱密封底座，所述镀膜机箱的顶端两侧均设有液压制动箱，所述镀膜机箱的顶端中部安装有抽真空装置，所述机箱固定台的一端顶部安装有冷凝箱，所述冷凝箱上连接有冷凝管，所述机箱固定台的另一端顶部安装有加热器，所述加热器上连接有热风管，所述镀膜机箱的底部四周均安装有橡胶气囊密封箱，所述橡胶气囊密封箱的一侧安装有微型气泵，所述机箱密封底座上设有抽拉板，所述抽拉板的顶部设有密封条，所述抽拉板的两侧均设有活动销，所述抽拉板的底部安装有电机，所述电机的顶部连接有转杆，所述转杆上焊接有若干个转盘，所述机箱密封底座的一侧安装有电动伸缩杆，所述镀膜机箱的一侧设有可视窗，另一侧设有若干个电子枪。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压缸固定箱焊接在所述镀膜机箱上，所述液压制动箱通过螺栓安装在所述镀膜机箱的顶部上，所述液压缸的一端通过螺栓安装在所述液压制动箱内，另一端通过螺栓与所述机箱密封底座固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制柜、冷凝箱和加热器均通过螺栓固定在所述机箱固定台上，所述冷凝箱通过冷凝管与镀膜机箱相连，所述加热器通过热风管与镀膜机箱相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述橡胶气囊密封箱为环形箱体，并焊接在所述镀膜机箱的底部，所述橡胶气囊密封箱内部安装有橡胶气囊，所述橡胶气囊与微型气泵通过输气管相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽拉板通过活动销与所述机箱密封底座活动相连，所述电机通过螺栓固定在所述抽拉板的底部上，所述转杆通过联轴器和轴承与所述电机的转轴固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电子枪通过螺栓安装在所述镀膜机箱的背面，所述密封条通过螺丝固定在所述抽拉板上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述扩散泵与所述镀膜机箱的真空室相连，所述冷凝箱内设有水箱和冷凝器，所述冷凝管的首尾均与所述水箱相连，所述电子枪设有正负两极。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述加热器的一侧设有电源开关，所述电源开关与外接电源电性连接，所述电源开关分别与所述液压制动箱、微型气泵、电动伸缩杆和电机电性连接，所述冷凝箱、加热器和电子枪均与所述控制柜相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压制动箱内设有液压油泵和液压油箱，所述液压油泵通过液压油管分别与液压油箱和液压缸相连，所述机箱密封底座与镀膜机箱通过密封条和橡胶气囊密封箱内的橡胶气囊密封相连。

本实用新型的有益效果是：该真空镀膜机可以将镀膜箱底部的机箱密封底座伸出，并能将底座上连接的抽拉板伸出到镀膜机的底部前面，便于工作人员直接将镀膜件放在顶部的托盘上，也便于更换不同类型的坩埚，提高上料和下来的速度，节约时间，而且减少人工搬运，节约成本，当机箱密封底座复位到镀膜箱底部的时候，通过橡胶气囊密封箱内的橡胶气囊注气进行密封，提高效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型机箱密封底座的结构示意图；

图3为本实用新型机箱密封底座的局部平面图；

图4为本实用新型镀膜机箱的侧面图；

图5为本实用新型的橡胶气囊密封箱的俯视图；

图6为本实用新型镀膜机箱内的冷凝管结构示意图；

图中：1、镀膜机箱，2、机箱密封底座，3、机箱固定台，4、支撑腿，5、橡胶气囊密封箱，6、可视窗，7、抽真空装置，8、液压缸固定箱，9、液压制动箱，10、冷凝箱，11、冷凝管，12、加热器，13、热风管，14、液压缸，15、抽拉板，16、活动销，17、转杆，18、转盘，19、电动伸缩杆，20、密封条，21、电机，22、电源开关，23、微型气泵，24、控制柜，25、电子枪。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱1，镀膜机箱1的底端设有机箱固定台3，机箱固定台3的底端四个拐角处均焊接有支撑腿4，机箱固定台3的一侧设有控制柜24，镀膜机箱1的顶端四个拐角处均安装有液压缸固定箱8，液压缸固定箱8内安装有液压缸14，液压缸14的底端安装有机箱密封底座2，镀膜机箱1的顶端两侧均设有液压制动箱9，镀膜机箱1的顶端中部安装有抽真空装置7，机箱固定台3的一端顶部安装有冷凝箱10，冷凝箱10上连接有冷凝管11，机箱固定台3的另一端顶部安装有加热器12，加热器12上连接有热风管13，镀膜机箱1的底部四周均安装有橡胶气囊密封箱5，橡胶气囊密封箱5的一侧安装有微型气泵23，机箱密封底座2上设有抽拉板15，抽拉板15的顶部设有密封条20，抽拉板15的两侧均设有活动销16，抽拉板15的底部安装有电机21，电机21的顶部连接有转杆17，转杆17上焊接有若干个转盘18，机箱密封底座2的一侧安装有电动伸缩杆19，镀膜机箱1的一侧设有可视窗6，另一侧设有若干个电子枪25。

液压缸固定箱8焊接在镀膜机箱1上，液压制动箱9通过螺栓安装在镀膜机箱1的顶部上，液压缸14的一端通过螺栓安装在液压制动箱9内，另一端通过螺栓与机箱密封底座2固定相连，通过液压缸14的制动调节机箱密封底座2与地面的距离。

控制柜24、冷凝箱10和加热器12均通过螺栓固定在机箱固定台3上，冷凝箱10通过冷凝管11与镀膜机箱1相连，加热器12通过热风管13与镀膜机箱1相连，加热器12可以保障镀膜机箱1为恒温，镀膜机箱1内设有温度传感器，并通过控制器与加热器12相连，冷凝箱10可以对机箱进行降温，也可以对镀膜件进行降温。

橡胶气囊密封箱5为环形箱体，并焊接在镀膜机箱1的底部，橡胶气囊密封箱5内部安装有橡胶气囊，橡胶气囊与微型气泵23通过输气管相连。

抽拉板15通过活动销16与机箱密封底座2活动相连，电机21通过螺栓固定在抽拉板15的底部上，转杆17通过联轴器和轴承与电机21的转轴固定相连，通过电机21带动转杆17旋转，从而带动转盘18上的坩埚旋转，调节坩埚与电子枪25之间的距离。

电子枪25通过螺栓安装在镀膜机箱1的背面，密封条20通过螺丝固定在抽拉板15上。

抽真空装置7包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，扩散泵与镀膜机箱1的真空室相连，冷凝箱10内设有水箱和冷凝器，冷凝管11的首尾均与水箱相连，电子枪25设有正负两极。

加热器12的一侧设有电源开关22，电源开关22与外接电源电性连接，电源开关22分别与液压制动箱9、微型气泵23、电动伸缩杆19和电机21电性连接，冷凝箱10、加热器12和电子枪25均与控制柜24相连，通过电源开关22接通液压制动箱9、微型气泵23、电动伸缩杆19和电机21的电源，通过控制柜24接通冷凝箱10、加热器12和电子枪25的电源。

液压制动箱9内设有液压油泵和液压油箱，液压油泵通过液压油管分别与液压油箱和液压缸14相连，机箱密封底座2与镀膜机箱1通过密封条20和橡胶气囊密封箱5内的橡胶气囊密封相连。

工作原理：一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱1、机箱密封底座2、机箱固定台3、支撑腿4、橡胶气囊密封箱5、可视窗6、抽真空装置7、液压缸固定箱8、液压制动箱9、冷凝箱10、冷凝管11、加热器12、热风管13、液压缸14、抽拉板15、活动销16、转杆17、转盘18、电动伸缩杆19、密封条20、电机21、电源开关22、微型气泵23、控制柜24和电子枪25，使用的时候，通过电源开关22直接打开液压制动箱9内液压油泵的电源，让液压油泵给液压缸14进行注油，从而让液压缸14将机箱密封底座2从镀膜机箱1的底部伸出，当机箱密封底座2下降到与地面很近的时候，通过打开电动伸缩杆19的电源开关，让电动伸缩杆19直接将抽拉板15从机箱密封底座2内伸出，便于工作人员直接在转盘18上进行上下料，上下料完成后，通过电动伸缩杆19将抽拉板15复位，通过液压缸14将机箱密封底座2进行复位，然后通过微型气泵23给橡胶气囊密封箱5内的橡胶气囊进行注入气体，从而让橡胶气囊膨胀挤压密封条20，从而形成密封，提高整体的密封性，当进行镀膜的时候，抽真空装置7内的机械泵、罗茨泵和扩散泵依次接通，并将镀膜机箱1抽成真空状态，并通过镀膜机箱1外设置的真空计进行真空检测，与此同时通过冷凝箱10和加热器12工作，利用冷凝箱10防止镀膜机箱1外的温度过高，利用加热器12保障镀膜机箱1内的温度为恒温，然后利用高压电柜给电子枪25提供电源，让电子枪25产生高强的电流溶解相应坩埚内的镀膜材料，使其雾化挥发，从而给镀膜件进行镀膜。

该真空镀膜机可以将镀膜箱底部的机箱密封底座伸出，并能将底座上连接的抽拉板伸出到镀膜机的底部前面，便于工作人员直接将镀膜件放在顶部的托盘上，也便于更换不同类型的坩埚，提高上料和下来的速度，节约时间，而且减少人工搬运，节约成本，当机箱密封底座复位到镀膜箱底部的时候，通过橡胶气囊密封箱内的橡胶气囊注气进行密封，提高效率。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱（1），其特征在于：所述镀膜机箱（1）的底端设有机箱固定台（3），所述机箱固定台（3）的底端四个拐角处均焊接有支撑腿（4），所述机箱固定台（3）的一侧设有控制柜（24），所述镀膜机箱（1）的顶端四个拐角处均安装有液压缸固定箱（8），所述液压缸固定箱（8）内安装有液压缸（14），所述液压缸（14）的底端安装有机箱密封底座（2），所述镀膜机箱（1）的顶端两侧均设有液压制动箱（9），所述镀膜机箱（1）的顶端中部安装有抽真空装置（7），所述机箱固定台（3）的一端顶部安装有冷凝箱（10），所述冷凝箱（10）上连接有冷凝管（11），所述机箱固定台（3）的另一端顶部安装有加热器（12），所述加热器（12）上连接有热风管（13），所述镀膜机箱（1）的底部四周均安装有橡胶气囊密封箱（5），所述橡胶气囊密封箱（5）的一侧安装有微型气泵（23），所述机箱密封底座（2）上设有抽拉板（15），所述抽拉板（15）的顶部设有密封条（20），所述抽拉板（15）的两侧均设有活动销（16），所述抽拉板（15）的底部安装有电机（21），所述电机（21）的顶部连接有转杆（17），所述转杆（17）上焊接有若干个转盘（18），所述机箱密封底座（2）的一侧安装有电动伸缩杆（19），所述镀膜机箱（1）的一侧设有可视窗（6），另一侧设有若干个电子枪（25）。

2.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述液压缸固定箱（8）焊接在所述镀膜机箱（1）上，所述液压制动箱（9）通过螺栓安装在所述镀膜机箱（1）的顶部上，所述液压缸（14）的一端通过螺栓安装在所述液压制动箱（9）内，另一端通过螺栓与所述机箱密封底座（2）固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述控制柜（24）、冷凝箱（10）和加热器（12）均通过螺栓固定在所述机箱固定台（3）上，所述冷凝箱（10）通过冷凝管（11）与镀膜机箱（1）相连，所述加热器（12）通过热风管（13）与镀膜机箱（1）相连。

4.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述橡胶气囊密封箱（5）为环形箱体，并焊接在所述镀膜机箱（1）的底部，所述橡胶气囊密封箱（5）内部安装有橡胶气囊，所述橡胶气囊与微型气泵（23）通过输气管相连。

5.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述抽拉板（15）通过活动销（16）与所述机箱密封底座（2）活动相连，所述电机（21）通过螺栓固定在所述抽拉板（15）的底部上，所述转杆（17）通过联轴器和轴承与所述电机（21）的转轴固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述电子枪（25）通过螺栓安装在所述镀膜机箱（1）的背面，所述密封条（20）通过螺丝固定在所述抽拉板（15）上。

7.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述抽真空装置（7）包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述扩散泵与所述镀膜机箱（1）的真空室相连，所述冷凝箱（10）内设有水箱和冷凝器，所述冷凝管（11）的首尾均与所述水箱相连，所述电子枪（25）设有正负两极。

8.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述加热器（12）的一侧设有电源开关（22），所述电源开关（22）与外接电源电性连接，所述电源开关（22）分别与所述液压制动箱（9）、微型气泵（23）、电动伸缩杆（19）和电机（21）电性连接，所述冷凝箱（10）、加热器（12）和电子枪（25）均与所述控制柜（24）相连。

9.根据权利要求1所述的一种便于快速上下料的光学真空镀膜机，其特征在于：所述液压制动箱（9）内设有液压油泵和液压油箱，所述液压油泵通过液压油管分别与液压油箱和液压缸（14）相连，所述机箱密封底座（2）与镀膜机箱（1）通过密封条（20）和橡胶气囊密封箱（5）内的橡胶气囊密封相连。