CN210560736U - 一种密封性强的光学真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种密封性强的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱，镀膜机箱的内部设有真空腔，真空腔的四个拐角处均安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的一端安装有密封门，密封门的一侧边缘处设有卡销，密封门的一侧焊接有若干个镀膜件放置板，镀膜件放置板的一侧设有可视窗，镀膜机箱的一侧的四周边缘处均安装有橡胶气囊安装盒，该真空镀膜机提高真空门与镀膜箱之间的密封性能，使用寿命长，不会存在漏气进气的现象，而且降低更换密封垫的成本，保障真空镀膜能正常运行，提高镀膜效率和质量，该真空镀膜机可以实现自动开启真空门并将镀膜件放置板从真空室内伸出，便于工作人员取放镀膜件，提高效率，节约时间。

Description

一种密封性强的光学真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种密封性强的光学真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，而现在的真空镀膜机功能单一，存在很多缺陷，尤其在密封性能上，现有的镀膜机在长时间使用的时候，真空门上的密封条老化，密封性能下降，往往造成真空室很难形成真空，增加抽真空装置的负荷，严重影响真空镀膜效果，而且也不便于工作人员对镀膜件进行取拿，效率低，速度慢，也不能同时对多个镀膜件进行镀膜。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种密封性强的光学真空镀膜机，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种密封性强的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱，所述镀膜机箱的内部设有真空腔，所述真空腔的四个拐角处均安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端安装有密封门，所述密封门的一侧边缘处设有卡销，所述密封门的一侧焊接有若干个镀膜件放置板，所述镀膜件放置板的一侧设有可视窗，所述镀膜机箱的一侧的四周边缘处均安装有橡胶气囊安装盒，所述橡胶气囊安装盒内安装有橡胶气囊，所述橡胶气囊的一侧设有密封槽，所述密封槽的内侧设有固定钢板，所述固定钢板上安装有密封垫，所述镀膜机箱的顶端安装有微型气泵，所述微型气泵上连接有输气软管，所述镀膜机箱的两侧均安装有若干个电子枪，所述镀膜机箱的背面安装有机械泵，所述机械泵上连接有机械泵连接管，所述机械泵的一侧设有加热器，另一侧设有扩散泵，所述扩散泵上连接有扩散泵连接管，所述扩散泵的底端设有罗茨泵，所述罗茨泵上连接有罗茨泵连接管，所述罗茨泵的底端设有冷凝箱，所述镀膜机箱的底端四个拐角处均焊接有支撑腿。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电动伸缩杆通过螺栓固定在所述镀膜机箱内部的四个拐角处，所述密封门与电动伸缩杆通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述橡胶气囊安装盒和固定钢板均焊接在镀膜机箱上，所述橡胶气囊通过输气软管与微型气泵相连，所述微型气泵通过螺栓固定在所述镀膜机箱的顶部上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷凝箱、加热器、扩散泵、罗茨泵和机械泵均通过螺栓固定在所述镀膜机箱的背面上，所述扩散泵通过扩散泵连接管与镀膜机箱相连，所述机械泵通过机械泵连接管与镀膜机箱相连，所述罗茨泵通过罗茨泵连接管与镀膜机箱相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述密封门上的卡销与所述密封槽活动相连，所述密封门与所述镀膜机箱通过所述橡胶气囊和密封垫密封相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述镀膜机箱上还设有电源开关，所述电源开关分别与电动伸缩杆和微型气泵电性连接，所述机械泵、扩散泵、罗茨泵、冷凝箱、加热器和电子枪均与外接的控制柜电性连接。

本实用新型的有益效果是：该真空镀膜机提高真空门与镀膜箱之间的密封性能，使用寿命长，不会存在漏气进气的现象，而且降低更换密封垫的成本，保障真空镀膜能正常运行，提高镀膜效率和质量，该真空镀膜机可以实现自动开启真空门并将镀膜件放置板从真空室内伸出，便于工作人员取放镀膜件，提高效率，节约时间，而且在真空室的左右两侧都设有若干个电子枪，提高镀膜效率，结构简单，便于推广。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型密封门的结构示意图；

图中：1、镀膜机箱，2、真空腔，3、电动伸缩杆，4、密封门，5、镀膜件放置板，6、可视窗，7、支撑腿，8、电源开关，9、橡胶气囊安装盒，10、密封槽，11、橡胶气囊，12、固定钢板，13、密封垫，14、微型气泵，15、输气软管，16、机械泵，17、机械泵连接管，18、扩散泵，19、扩散泵连接管，20、卡销，21、罗茨泵，22、罗茨泵连接管，23、冷凝箱，24、加热器，25、电子枪。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种密封性强的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱1，镀膜机箱1的内部设有真空腔2，真空腔2的四个拐角处均安装有电动伸缩杆3，电动伸缩杆3的一端安装有密封门4，密封门4的一侧边缘处设有卡销20，密封门4的一侧焊接有若干个镀膜件放置板5，镀膜件放置板5的一侧设有可视窗6，镀膜机箱1的一侧的四周边缘处均安装有橡胶气囊安装盒9，橡胶气囊安装盒9内安装有橡胶气囊11，橡胶气囊11的一侧设有密封槽10，密封槽10的内侧设有固定钢板12，固定钢板12上安装有密封垫13，镀膜机箱1的顶端安装有微型气泵14，微型气泵14上连接有输气软管15，镀膜机箱1的两侧均安装有若干个电子枪25，镀膜机箱1的背面安装有机械泵16，机械泵16上连接有机械泵连接管17，机械泵16的一侧设有加热器24，另一侧设有扩散泵18，扩散泵18上连接有扩散泵连接管19，扩散泵18的底端设有罗茨泵21，罗茨泵21上连接有罗茨泵连接管22，罗茨泵21的底端设有冷凝箱23，镀膜机箱1的底端四个拐角处均焊接有支撑腿7。

电动伸缩杆3通过螺栓固定在镀膜机箱1内部的四个拐角处，密封门4与电动伸缩杆3通过螺栓固定相连，通过电动伸缩杆3直接将密封门4伸出，便于工作人员取拿镀膜件，而且密封门4在电动伸缩杆3的作用下实现自动开启和关闭，也能提高密封门4的密封性。

橡胶气囊安装盒9和固定钢板12均焊接在镀膜机箱1上，橡胶气囊11通过输气软管15与微型气泵14相连，微型气泵14通过螺栓固定在镀膜机箱1的顶部上，通过微型气泵14给橡胶气囊11注汽或者抽气，从而让橡胶气囊1膨胀或缩小，从而实现挤压或分离卡销20，提高整体的密封性能。

冷凝箱23、加热器24、扩散泵18、罗茨泵21和机械泵16均通过螺栓固定在镀膜机箱1的背面上，扩散泵18通过扩散泵连接管19与镀膜机箱1相连，机械泵16通过机械泵连接管17与镀膜机箱1相连，罗茨泵21通过罗茨泵连接管22与镀膜机箱1相连，冷凝箱23能保障真空腔2外界的温度不会升高，也能给镀膜件进行冷却，加热器24通过真空腔2内的温度传感器进行检测，并通过控制柜内的控制器进行控制，当温度过低会启动加热器24进行加热，保障真空腔2内的温度恒温。

密封门4上的卡销20与密封槽10活动相连，密封门4与镀膜机箱1通过橡胶气囊11和密封垫13密封相连，提高密封门4与镀膜机箱1之间连接的密封性能。

镀膜机箱1上还设有电源开关8，电源开关8分别与电动伸缩杆3和微型气泵14电性连接，机械泵16、扩散泵18、罗茨泵21、冷凝箱23、加热器24和电子枪25均与外接的控制柜电性连接，通过电源开关8直接打开电动伸缩杆3和微型气泵14的电源开关，利用外接的控制柜控制机械泵16、扩散泵18、罗茨泵21、冷凝箱23、加热器24和电子枪25通电工作。

工作原理：一种密封性强的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱1、真空腔2、电动伸缩杆3、密封门4、镀膜件放置板5、可视窗6、支撑腿7、电源开关8、橡胶气囊安装盒9、密封槽10、橡胶气囊11、固定钢板12、密封垫13、微型气泵14、输气软管15、机械泵16、机械泵连接管17、扩散泵18、扩散泵连接管19、卡销20、罗茨泵21、罗茨泵连接管22、冷凝箱23、加热器24和电子枪25，使用的时候，通过电源开关8与外接电源相连，通过电源开关8直接打开微型气泵14，让微型气泵14通过输气软管15直接将橡胶气囊11内的气体抽走，从而让橡胶气囊11与密封门4上的卡销20分离，然后再打开电动伸缩杆3的电源开关，让电动伸缩杆3直接将密封门4从镀膜机箱1上伸出，让镀膜件放置板5从真空腔2内伸出，然后把镀膜件放入到镀膜件放置板5上，在镀膜件放置板5上安装坩埚，坩埚上放置有镀膜材料，然后再通过电动伸缩杆3将密封门4收回到镀膜机箱1上，让卡销20卡在密封槽10上，然后再启动微型气泵14，让微型气泵14通过输气软管15给橡胶气囊11注入气体，让橡胶气囊11膨胀从而挤压卡销20，起到密封的左右，橡胶气囊11注入的气压可调节，根据密封的要求进行调节，在橡胶气囊11承受气压的范围内，气压越大，密封性能越好，然后再通过外接的控制柜依次打开机械泵16、罗茨泵21和扩散泵18，并将真空腔2抽成真空状态，并通过镀膜机箱1外设置的真空计进行检测真空，与此同时打开冷凝箱23和加热器24控制镀膜机箱1内的真空腔2温度，然后再利用高压电柜给电子枪25提供电源，让电子枪25产生高强的电流溶解相应坩埚内的镀膜材料，使其雾化挥发，从而给镀膜件进行镀膜。

该真空镀膜机提高真空门与镀膜箱之间的密封性能，使用寿命长，不会存在漏气进气的现象，而且降低更换密封垫的成本，保障真空镀膜能正常运行，提高镀膜效率和质量，该真空镀膜机可以实现自动开启真空门并将镀膜件放置板从真空室内伸出，便于工作人员取放镀膜件，提高效率，节约时间，而且在真空室的左右两侧都设有若干个电子枪，提高镀膜效率，结构简单，便于推广。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种密封性强的光学真空镀膜机，包括镀膜机箱（1），其特征在于：所述镀膜机箱（1）的内部设有真空腔（2），所述真空腔（2）的四个拐角处均安装有电动伸缩杆（3），所述电动伸缩杆（3）的一端安装有密封门（4），所述密封门（4）的一侧边缘处设有卡销（20），所述密封门（4）的一侧焊接有若干个镀膜件放置板（5），所述镀膜件放置板（5）的一侧设有可视窗（6），所述镀膜机箱（1）的一侧的四周边缘处均安装有橡胶气囊安装盒（9），所述橡胶气囊安装盒（9）内安装有橡胶气囊（11），所述橡胶气囊（11）的一侧设有密封槽（10），所述密封槽（10）的内侧设有固定钢板（12），所述固定钢板（12）上安装有密封垫（13），所述镀膜机箱（1）的顶端安装有微型气泵（14），所述微型气泵（14）上连接有输气软管（15），所述镀膜机箱（1）的两侧均安装有若干个电子枪（25），所述镀膜机箱（1）的背面安装有机械泵（16），所述机械泵（16）上连接有机械泵连接管（17），所述机械泵（16）的一侧设有加热器（24），另一侧设有扩散泵（18），所述扩散泵（18）上连接有扩散泵连接管（19），所述扩散泵（18）的底端设有罗茨泵（21），所述罗茨泵（21）上连接有罗茨泵连接管（22），所述罗茨泵（21）的底端设有冷凝箱（23），所述镀膜机箱（1）的底端四个拐角处均焊接有支撑腿（7）。

2.根据权利要求1所述的一种密封性强的光学真空镀膜机，其特征在于：所述电动伸缩杆（3）通过螺栓固定在所述镀膜机箱（1）内部的四个拐角处，所述密封门（4）与电动伸缩杆（3）通过螺栓固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种密封性强的光学真空镀膜机，其特征在于：所述橡胶气囊安装盒（9）和固定钢板（12）均焊接在镀膜机箱（1）上，所述橡胶气囊（11）通过输气软管（15）与微型气泵（14）相连，所述微型气泵（14）通过螺栓固定在所述镀膜机箱（1）的顶部上。

4.根据权利要求1所述的一种密封性强的光学真空镀膜机，其特征在于：所述冷凝箱（23）、加热器（24）、扩散泵（18）、罗茨泵（21）和机械泵（16）均通过螺栓固定在所述镀膜机箱（1）的背面上，所述扩散泵（18）通过扩散泵连接管（19）与镀膜机箱（1）相连，所述机械泵（16）通过机械泵连接管（17）与镀膜机箱（1）相连，所述罗茨泵（21）通过罗茨泵连接管（22）与镀膜机箱（1）相连。

5.根据权利要求1所述的一种密封性强的光学真空镀膜机，其特征在于：所述密封门（4）上的卡销（20）与所述密封槽（10）活动相连，所述密封门（4）与所述镀膜机箱（1）通过所述橡胶气囊（11）和密封垫（13）密封相连。

6.根据权利要求1所述的一种密封性强的光学真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜机箱（1）上还设有电源开关（8），所述电源开关（8）分别与电动伸缩杆（3）和微型气泵（14）电性连接，所述机械泵（16）、扩散泵（18）、罗茨泵（21）、冷凝箱（23）、加热器（24）和电子枪（25）均与外接的控制柜电性连接。

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