CN210657124U - 一种光学真空镀膜用抽气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱，镀膜机箱的一侧设有可视窗，镀膜机箱的一端设有冷凝箱，另一端设有加热器，镀膜机箱的底端四个侧面均焊接有插板，镀膜机箱的顶端安装有抽气箱，抽气箱上连接有若干个输气管，镀膜机箱的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架，镀膜机箱固定架的底端连接有液压缸，液压缸固定在底座上，底座的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，底座的两端均设有液压制动箱，该镀膜装置将抽真空装置与镀膜箱分开，并通过抽气管连接，减少镀膜箱的负重，检修十分方便，灵活性强，而且镀膜箱的密封性好，取拿镀膜件简单方便，可以对多个镀膜件进行同时镀膜，效率高，速度快，整体稳定性能高。

Description

一种光学真空镀膜用抽气装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种光学真空镀膜用抽气装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，而现在的真空镀膜机功能单一，抽气装置大多安装在镀膜箱上，不仅受到箱体的温度影响，而且增加箱体的负重，现有的镀膜箱往往采用真空门的形式打开镀膜箱，存在密封性差，取拿镀膜件不方便的问题，而且不能同时对多个镀膜件进行镀膜，效率低，速度慢。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种光学真空镀膜用抽气装置，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱，所述镀膜机箱的一侧设有可视窗，所述镀膜机箱的一端设有冷凝箱，另一端设有加热器，所述镀膜机箱的底端四个侧面均焊接有插板，所述镀膜机箱的顶端安装有抽气箱，所述抽气箱上连接有若干个输气管，所述镀膜机箱的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架，所述镀膜机箱固定架的底端连接有液压缸，所述液压缸固定在底座上，所述底座的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述底座的两端均设有液压制动箱，所述底座顶端中部的四个侧面均焊接有橡胶气囊固定钢板，所述橡胶气囊固定钢板上安装有橡胶气囊，所述底座的顶端中部设有连接杆，所述连接杆上焊接有若干个托盘，所述连接杆的底端设有齿轮箱，所述齿轮箱的底端设有电机，所述底座的底部安装有微型气泵，所述底座的一侧设有抽真空装置，所述抽真空装置的一侧设有控制柜，所述抽真空装置上设有增压泵、机械泵、扩散泵和罗茨泵。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压缸通过螺栓固定在所述底座的顶端四个拐角处，所述液压缸与所述镀膜机箱固定架通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述液压制动箱通过螺栓固定在所述底座上，所述液压制动箱内设有液压油泵和液压油箱，所述液压油泵通过液压油管分别与所述液压油箱和所述液压缸相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置通过所述输气管与所述抽气箱相连，所述抽气箱焊接在所述镀膜机箱的顶部上，所述冷凝箱和加热器均通过螺栓固定在所述镀膜机箱上，所述冷凝箱内设有水箱、冷凝器和冷凝管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述齿轮箱通过螺栓固定在所述底座的底部上，所述电机与所述齿轮箱通过螺栓固定相连，所述电机的转轴与所述齿轮箱内的齿轮啮合相连，所述连接杆与所述齿轮箱固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述微型气泵通过螺栓固定在所述底座上，所述微型气泵通过输气管与所述橡胶气囊相连，所述橡胶气囊固定在所述橡胶气囊固定钢板上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述镀膜机箱上的镀膜机箱插板与所述底座上的橡胶气囊固定钢板活动相连，所述镀膜机箱的背面安装有若干个电子枪，所述电子枪上设有正负两极。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底座上设有电源开关，所述电源开关分别与所述液压制动箱、电机和微型气泵电性连接，所述控制柜分别与所述冷凝箱、加热器、增压泵、机械泵、扩散泵和罗茨泵电性连接。

本实用新型的有益效果是：该镀膜装置将抽真空装置与镀膜箱分开，并通过抽气管连接，减少镀膜箱的负重，检修十分方便，灵活性强，而且镀膜箱的密封性好，取拿镀膜件简单方便，可以对多个镀膜件进行同时镀膜，效率高，速度快，整体稳定性能高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型底座的结构示意图；

图3为本实用新型连接杆的连接结构示意图；

图4为本实用新型镀膜机箱的侧视图；

图5为本实用新型抽真空装置的结构示意图；

图中：1、镀膜机箱，2、底座，3、液压缸，4、可视窗，5、液压制动箱，6、抽气箱，7、冷凝箱，8、加热器，9、镀膜机箱固定架，10、镀膜机箱插板，11、橡胶气囊固定钢板，12、橡胶气囊，13、支撑腿，14、电子枪，15、微型气泵，16、电源开关，17、控制柜，18、托盘，19、连接杆，20、齿轮箱，21、电机，22、抽真空装置，23、输气管，24、增压泵，25、机械泵，26、扩散泵，27、罗茨泵。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱1，镀膜机箱1的一侧设有可视窗4，镀膜机箱1的一端设有冷凝箱7，另一端设有加热器8，镀膜机箱1的底端四个侧面均焊接有插板10，镀膜机箱1的顶端安装有抽气箱6，抽气箱6上连接有若干个输气管23，镀膜机箱1的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架9，镀膜机箱固定架9的底端连接有液压缸3，液压缸3固定在底座2上，底座2的底端四个拐角处均焊接有支撑腿13，底座2的两端均设有液压制动箱5，底座2顶端中部的四个侧面均焊接有橡胶气囊固定钢板11，橡胶气囊固定钢板11上安装有橡胶气囊12，底座2的顶端中部设有连接杆19，连接杆19上焊接有若干个托盘18，连接杆19的底端设有齿轮箱20，齿轮箱20的底端设有电机21，底座2的底部安装有微型气泵15，底座2的一侧设有抽真空装置22，抽真空装置22的一侧设有控制柜17，抽真空装置22上设有增压泵24、机械泵25、扩散泵26和罗茨泵27。

液压缸3通过螺栓固定在底座2的顶端四个拐角处，液压缸3与镀膜机箱固定架9通过螺栓固定相连，通过液压缸3可以调节镀膜机箱固定架9的高矮度，从而调节镀膜机箱1的高矮度。

液压制动箱5通过螺栓固定在底座2上，液压制动箱5内设有液压油泵和液压油箱，液压油泵通过液压油管分别与液压油箱和液压缸3相连，通过液压油泵给液压缸3供油或抽油。

抽真空装置22通过输气管23与抽气箱6相连，抽气箱6焊接在镀膜机箱1的顶部上，冷凝箱7和加热器8均通过螺栓固定在镀膜机箱1上，冷凝箱7内设有水箱、冷凝器和冷凝管，通过冷凝箱7内的冷凝器给镀膜机箱1降温，加热器8可以保障镀膜机箱1的温度为恒温，通过镀膜机箱1内的温度传感器和控制器检测温度，并控制加热器8通电工作。

齿轮箱20通过螺栓固定在底座2的底部上，电机21与齿轮箱20通过螺栓固定相连，电机21的转轴与齿轮箱20内的齿轮啮合相连，连接杆19与齿轮箱20固定相连，电机21带动齿轮箱20内的齿轮转动，从而带动连接杆19旋转，让坩埚移动到电子枪14的底部。

微型气泵15通过螺栓固定在底座2上，微型气泵15通过输气管与橡胶气囊12相连，橡胶气囊12固定在橡胶气囊固定钢板11上，通过微型气泵15可以将橡胶气囊12气体抽走或给橡胶气囊12注入气体，让橡胶气囊12膨胀或收缩，提高其密封性能。

镀膜机箱1上的镀膜机箱插板10与底座2上的橡胶气囊固定钢板11活动相连，镀膜机箱1的背面安装有若干个电子枪14，电子枪14上设有正负两极。

底座2上设有电源开关16，电源开关16分别与液压制动箱5、电机21和微型气泵15电性连接，控制柜17分别与冷凝箱7、加热器8、增压泵24、机械泵25、扩散泵26和罗茨泵27电性连接，电源开关16分别接通液压制动箱5、电机21和微型气泵15的电源，控制柜17接通冷凝箱7、加热器8、增压泵24、机械泵25、扩散泵26和罗茨泵27的电源。

工作原理：一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱1、底座2、液压缸3、可视窗4、液压制动箱5、抽气箱6、冷凝箱7、加热器8、镀膜机箱固定架9、镀膜机箱插板10、橡胶气囊固定钢板11、橡胶气囊12、支撑腿13、电子枪14、微型气泵15、电源开关16、控制柜17、托盘18、连接杆19、齿轮箱20、电机21、抽真空装置22、输气管23、增压泵24、机械泵25、扩散泵26和罗茨泵27，使用的时候，通过电源开关16打开液压制动箱5内的液压油泵电源开关，让液压油泵给液压缸3输油，从而让液压缸3将镀膜机箱1从橡胶气囊固定钢板11上抽拉出去，让托盘18从镀膜机箱1内伸出，工作人员可以将镀膜件可坩埚放在托盘18上，然后再利用液压缸3将镀膜机箱1缓缓下降到底座2上，并利用微型气泵15给橡胶气囊12注入气体，让橡胶气囊12膨胀挤压镀膜机箱插板10，从而让镀膜机箱1形成密封的空间，再通过控制柜17接通抽真空装置22上的机械泵25、扩散泵26和罗茨泵27电源，让镀膜机箱1抽成真空状态，并通过镀膜机箱1外设置的真空计进行真空检测，然后通过可视窗4进行观察，通过电机21带动齿轮箱20转动，从而让坩埚转动到电子枪14的底部上，利用高压电柜给电子枪14提供电源，让电子枪14产生高强的电流溶解相应坩埚内的镀膜材料，使其雾化挥发，从而给镀膜件进行镀膜。

该镀膜装置将抽真空装置与镀膜箱分开，并通过抽气管连接，减少镀膜箱的负重，检修十分方便，灵活性强，而且镀膜箱的密封性好，取拿镀膜件简单方便，可以对多个镀膜件进行同时镀膜，效率高，速度快，整体稳定性能高。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种光学真空镀膜用抽气装置，包括镀膜机箱（1），其特征在于：所述镀膜机箱（1）的一侧设有可视窗（4），所述镀膜机箱（1）的一端设有冷凝箱（7），另一端设有加热器（8），所述镀膜机箱（1）的底端四个侧面均焊接有插板（10），所述镀膜机箱（1）的顶端安装有抽气箱（6），所述抽气箱（6）上连接有若干个输气管（23），所述镀膜机箱（1）的四个拐角均焊接有镀膜机箱固定架（9），所述镀膜机箱固定架（9）的底端连接有液压缸（3），所述液压缸（3）固定在底座（2）上，所述底座（2）的底端四个拐角处均焊接有支撑腿（13），所述底座（2）的两端均设有液压制动箱（5），所述底座（2）顶端中部的四个侧面均焊接有橡胶气囊固定钢板（11），所述橡胶气囊固定钢板（11）上安装有橡胶气囊（12），所述底座（2）的顶端中部设有连接杆（19），所述连接杆（19）上焊接有若干个托盘（18），所述连接杆（19）的底端设有齿轮箱（20），所述齿轮箱（20）的底端设有电机（21），所述底座（2）的底部安装有微型气泵（15），所述底座（2）的一侧设有抽真空装置（22），所述抽真空装置（22）的一侧设有控制柜（17），所述抽真空装置（22）上设有增压泵（24）、机械泵（25）、扩散泵（26）和罗茨泵（27）。

2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述液压缸（3）通过螺栓固定在所述底座（2）的顶端四个拐角处，所述液压缸（3）与所述镀膜机箱固定架（9）通过螺栓固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述液压制动箱（5）通过螺栓固定在所述底座（2）上，所述液压制动箱（5）内设有液压油泵和液压油箱，所述液压油泵通过液压油管分别与所述液压油箱和所述液压缸（3）相连。

4.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述抽真空装置（22）通过所述输气管（23）与所述抽气箱（6）相连，所述抽气箱（6）焊接在所述镀膜机箱（1）的顶部上，所述冷凝箱（7）和加热器（8）均通过螺栓固定在所述镀膜机箱（1）上，所述冷凝箱（7）内设有水箱、冷凝器和冷凝管。

5.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述齿轮箱（20）通过螺栓固定在所述底座（2）的底部上，所述电机（21）与所述齿轮箱（20）通过螺栓固定相连，所述电机（21）的转轴与所述齿轮箱（20）内的齿轮啮合相连，所述连接杆（19）与所述齿轮箱（20）固定相连。

6.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述微型气泵（15）通过螺栓固定在所述底座（2）上，所述微型气泵（15）通过输气管与所述橡胶气囊（12）相连，所述橡胶气囊（12）固定在所述橡胶气囊固定钢板（11）上。

7.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述镀膜机箱（1）上的镀膜机箱插板（10）与所述底座（2）上的橡胶气囊固定钢板（11）活动相连，所述镀膜机箱（1）的背面安装有若干个电子枪（14），所述电子枪（14）上设有正负两极。

8.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜用抽气装置，其特征在于：所述底座（2）上设有电源开关（16），所述电源开关（16）分别与所述液压制动箱（5）、电机（21）和微型气泵（15）电性连接，所述控制柜（17）分别与所述冷凝箱（7）、加热器（8）、增压泵（24）、机械泵（25）、扩散泵（26）和罗茨泵（27）电性连接。

Images