CN210560728U - 一种光学镀膜用工件安装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学镀膜用工件安装装置，包括镀膜机机箱，镀膜机机箱的底端安装有控制箱，控制箱的一侧安装有电源开关，镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有加热器，该镀膜件固定装置能适应不同大小尺寸的镀膜件，在安装工件的时候，简单便捷，提高效率，对镀膜件的固定十分牢固，不会出现脱落的现象，该镀膜机在拆装的时候，无需在真空室内进行安装，降低拆装难度，该镀膜件固定装置的底部安装有可以旋转的坩埚固定板，可以对工件进行不同材料的镀膜，灵活性强，该镀膜件固定装置在镀膜的过程中可以360度旋转，让镀膜件的侧边能实现快速镀膜，提高镀膜效率，节约时间。

Description

一种光学镀膜用工件安装装置

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜领域，具体为一种光学镀膜用工件安装装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜需要真空镀膜机进行镀膜，而真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。现有的镀膜机在安装工件的时候，不仅繁琐，而且浪费很多时间，降低镀膜的效率，而且镀膜件容易出行脱落和掉落的现象；现有的镀膜机在对镀膜件进行安装的时候容易受到镀膜机箱两侧内壁的影响，增加拆装镀膜件的难度；现有的镀膜机的坩埚托盘往往是固定不动的，不能给镀膜件镀不同材料的膜，灵活性差，现有的镀膜件固定装置在镀膜的时候不能实现自动旋转，不能对镀膜件的侧边进行镀膜，镀膜效率低，现有的镀膜件固定装置不能适应不同大小尺寸的镀膜件。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种光学镀膜用工件安装装置，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光学镀膜用工件安装装置，包括镀膜机机箱，所述镀膜机机箱的底端安装有控制箱，所述控制箱的一侧安装有电源开关，所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有加热器，所述镀膜机机箱的背面安装有电子枪，所述电子枪的底部安装有伸缩杆固定箱，所述伸缩杆固定箱内安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端安装有镀膜架，所述镀膜架的顶端四个拐角处均焊接有固定杆，所述固定杆上焊接有连接板，所述连接板上安装有第一齿轮箱，所述第一齿轮箱的顶部安装有第一电机，所述第一齿轮箱的一侧安装有连接杆，所述连接杆的一端焊接有底板，所述底板的顶端四个拐角处均焊接有螺纹杆，所述螺纹杆上活动连接有顶板，所述螺纹杆上螺纹连接有螺帽，所述底板的一端通过连接杆连接有轴承，所述镀膜架的底端中部安装有第二电机，所述第二电机的顶端安装有第二齿轮箱，所述第二齿轮箱的顶端连接有转轴，所述转轴的顶端焊接有坩埚固定板，所述镀膜架的底端两侧均焊接有活动销，所述镀膜机机箱内部设有真空腔，所述真空腔的底端设有活动槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述镀膜机机箱上安装有密封门，所述镀膜机机箱的底端四个拐角处均焊接有支撑腿，所述密封门通过铰链和密封垫与所述镀膜机机箱固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述伸缩杆固定箱通过螺栓和密封垫固定在所述镀膜机机箱的背面上，所述电动伸缩杆通过螺栓固定在所述伸缩杆固定箱上，所述镀膜架与所述电动伸缩杆通过螺栓固定相连，所述镀膜架通过活动销与所述真空腔内的活动槽活动相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置、冷凝箱、加热器和电子枪均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱上，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述电子枪上设有正负两极，所述冷凝箱内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二电机通过螺栓固定在所述镀膜架的底部上，所述第二齿轮箱通过螺栓固定在所述镀膜架的顶部上，所述坩埚固定板通过转轴与所述第二齿轮箱相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一齿轮箱通过螺栓固定在所述镀膜架一侧的连接板上，所述轴承通过螺栓固定在所述镀膜架另一侧的连接板上，所述第一电机的转轴与所述第一齿轮箱内的齿轮啮合相连，所述底板通过连接杆分别与所述轴承和第一齿轮箱相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述电源开关与外接电源相连，所述电源开关分别与所述电动伸缩杆、第一电机和第二电机电性连接，所述控制箱分别与所述抽真空装置、冷凝箱、加热器和电子枪电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板和顶板均采用304不锈钢材料制成，所述底板和顶板上均设有若干个通孔。

本实用新型的有益效果是：该镀膜件固定装置能适应不同大小尺寸的镀膜件，在安装工件的时候，简单便捷，节约拆装时间，提高效率，而且对镀膜件的固定十分牢固，不会出现脱落掉落的现象，该镀膜机在拆装镀膜件的时候，直接将镀膜件安装装置从真空室内伸出，无需在真空室内进行安装，降低拆装难度，该镀膜件固定装置的底部安装有可以旋转的坩埚固定板，坩埚固定板上安装有若干个坩埚，每个坩埚上存放不同镀膜材料，可以对工件进行不同材料的镀膜，灵活性强，该镀膜件固定装置在镀膜的过程中可以360度旋转，让镀膜件的侧边能实现快速镀膜，提高镀膜效率，节约时间。

附图说明

图1为本实用新型的拆解结构示意图；

图2为本实用新型的组装结构示意图；

图3为本实用新型顶板和底板的连接结构示意图；

图4为本实用新型镀膜架的组平面图。

图中：1、镀膜机机箱，2、真空腔，3、抽真空装置，4、冷凝箱，5、加热器，6、电子枪，7、伸缩杆固定箱，8、支撑腿，9、控制箱，10、电源开关，11、活动槽，12、密封门，13、镀膜架，14、电动伸缩杆，15、固定杆，16、第二齿轮箱，17、转轴，18、坩埚固定板，19、活动销，20、连接板，21、底板，22、顶板，23、螺纹杆，24、螺帽，25、第一齿轮箱，26、第一电机，27、轴承，28、连接杆，29、第二电机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种光学镀膜用工件安装装置，包括镀膜机机箱1，镀膜机机箱1的底端安装有控制箱9，控制箱9的一侧安装有电源开关10，镀膜机机箱1的顶端安装有抽真空装置3，镀膜机机箱1的一侧安装有冷凝箱4，另一侧安装有加热器5，镀膜机机箱1的背面安装有电子枪6，电子枪6的底部安装有伸缩杆固定箱7，伸缩杆固定箱7内安装有电动伸缩杆14，电动伸缩杆14的一端安装有镀膜架13，镀膜架13的顶端四个拐角处均焊接有固定杆15，固定杆15上焊接有连接板20，连接板20上安装有第一齿轮箱25，第一齿轮箱25的顶部安装有第一电机26，所述第一齿轮箱25的一侧安装有连接杆28，连接杆28的一端焊接有底板21，底板21的顶端四个拐角处均焊接有螺纹杆23，螺纹杆23上活动连接有顶板22，螺纹杆23上螺纹连接有螺帽24，底板21的一端通过连接杆28连接有轴承27，镀膜架13的底端中部安装有第二电机29，第二电机29的顶端安装有第二齿轮箱16，第二齿轮箱16的顶端连接有转轴17，转轴17的顶端焊接有坩埚固定板18，镀膜架13的底端两侧均焊接有活动销19，镀膜机机箱1内部设有真空腔2，真空腔2的底端设有活动槽11。

镀膜机机箱1上安装有密封门12，镀膜机机箱1的底端四个拐角处均焊接有支撑腿8，密封门12通过铰链和密封垫与镀膜机机箱1固定相连，密封门12通过密封垫与镀膜机机箱1密封相连。

伸缩杆固定箱7通过螺栓和密封垫固定在镀膜机机箱1的背面上，电动伸缩杆14通过螺栓固定在伸缩杆固定箱7上，镀膜架13与电动伸缩杆14通过螺栓固定相连，镀膜架13通过活动销19与真空腔2内的活动槽11活动相连，通过电动伸缩杆14将镀膜架13从真空腔2内伸出，镀膜架13底部的活动销19在真空腔2底部的活动槽11移动，从而实现镀膜架13的稳定推出和收回。

抽真空装置3、冷凝箱4、加热器5和电子枪6均通过螺栓固定在镀膜机机箱1上，抽真空装置3包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，并均与真空腔2相连，电子枪6上设有正负两极，冷凝箱4内设有冷凝器、水箱和冷凝管，通过抽真空装置3将真空腔2抽成真空，通过冷凝箱4对镀膜机机箱1进行降温，真空腔2内安装有温度传感器，温度传感器通过控制器与加热器5相连，通过加热器5控制真空腔2内的温度为恒温，通过电子枪6产生高强的电流溶解坩埚固定板18上的坩埚内的镀膜材料，使其雾化挥发，从而给底板21上的镀膜件进行镀膜。

第二电机29通过螺栓固定在镀膜架13的底部上，第二齿轮箱16通过螺栓固定在镀膜架13的顶部上，坩埚固定板18通过转轴17与第二齿轮箱16相连，通过第二电机29的制动带动第二齿轮箱16内的齿轮转动，从而带动转轴17旋转，带动坩埚固定板18旋转，让坩埚固定板18上的坩埚旋转到电子枪的底部，可以实现对镀膜件镀膜不同材料。

第一齿轮箱25通过螺栓固定在镀膜架13一侧的连接板20上，轴承27通过螺栓固定在镀膜架13另一侧的连接板20上，第一电机26的转轴与第一齿轮箱25内的齿轮啮合相连，底板21通过连接杆28分别与轴承27和第一齿轮箱25相连，通过第一电机26的制动带动第一齿轮箱25内的齿轮转动，从而带动连接杆28旋转，让连接杆28带动底板21围绕轴承27旋转。

电源开关10与外接电源相连，电源开关10分别与电动伸缩杆14、第一电机26和第二电机29电性连接，控制箱9分别与抽真空装置3、冷凝箱4、加热器5和电子枪6电性连接，通过电源开关10打开电动伸缩杆14、第一电机26和第二电机29的电源开关，通过控制箱9控制抽真空装置3、冷凝箱4、加热器5和电子枪6接通电源工作。

底板21和顶板22均采用304不锈钢材料制成，底板21和顶板22上均设有若干个通孔，提高使用寿命，也让雾化挥发的镀膜材料能均匀通过底板21和顶板22。

工作原理：一种光学镀膜用工件安装装置，使用的时候，首先打开密封门12，然后通过电源开关10打开电动伸缩杆14的电源开关，让电动伸缩杆14将镀膜架13从真空腔2内伸出，然后通过旋转螺帽24，调节底板21和顶板22之间的距离，然后将底板21上的镀膜件取出，更换上新的镀膜件，然后再旋转螺帽24，让顶板22挤压镀膜件，从而对镀膜件进行固定，然后再向坩埚固定板18上的坩埚内添加不同材料的镀膜原料，再利用电动伸缩杆14将镀膜架13收回到真空腔2内，关上密封门12，再利用控制箱9打开抽真空装置3的电源开关，让抽真空装置3对真空腔2进行抽真空，再控制电子枪6工作，通过电子枪6产生高强的电流溶解坩埚固定板18上的坩埚内的镀膜材料，使其雾化挥发，从而给底板21上的镀膜件进行镀膜，与此同时，通过电源开关10打开第一电机26的电源开关，让第一电机26的制动带动第一齿轮箱25内的齿轮转动，从而带动连接杆28旋转，让连接杆28带动底板21围绕轴承27旋转，从而让镀膜件旋转，提高镀膜效率，也提高镀膜均匀度，当需要使用其他镀膜材料的时候，可以接通第二电机29的电源开关，通过第二电机29的制动带动第二齿轮箱16内的齿轮转动，从而带动转轴17旋转，带动坩埚固定板18旋转，让坩埚固定板18上的不同坩埚旋转到电子枪的底部，可以实现对镀膜件镀膜不同材料。

该镀膜件固定装置能适应不同大小尺寸的镀膜件，在安装工件的时候，简单便捷，节约拆装时间，提高效率，而且对镀膜件的固定十分牢固，不会出现脱落掉落的现象，该镀膜机在拆装镀膜件的时候，直接将镀膜件安装装置从真空室内伸出，无需在真空室内进行安装，降低拆装难度，该镀膜件固定装置的底部安装有可以旋转的坩埚固定板，坩埚固定板上安装有若干个坩埚，每个坩埚上存放不同镀膜材料，可以对工件进行不同材料的镀膜，灵活性强，该镀膜件固定装置在镀膜的过程中可以360度旋转，让镀膜件的侧边能实现快速镀膜，提高镀膜效率，节约时间。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种光学镀膜用工件安装装置，包括镀膜机机箱（1），其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的底端安装有控制箱（9），所述控制箱（9）的一侧安装有电源开关（10），所述镀膜机机箱（1）的顶端安装有抽真空装置（3），所述镀膜机机箱（1）的一侧安装有冷凝箱（4），另一侧安装有加热器（5），所述镀膜机机箱（1）的背面安装有电子枪（6），所述电子枪（6）的底部安装有伸缩杆固定箱（7），所述伸缩杆固定箱（7）内安装有电动伸缩杆（14），所述电动伸缩杆（14）的一端安装有镀膜架（13），所述镀膜架（13）的顶端四个拐角处均焊接有固定杆（15），所述固定杆（15）上焊接有连接板（20），所述连接板（20）上安装有第一齿轮箱（25），所述第一齿轮箱（25）的顶部安装有第一电机（26），所述第一齿轮箱（25）的一侧安装有连接杆（28），所述连接杆（28）的一端焊接有底板（21），所述底板（21）的顶端四个拐角处均焊接有螺纹杆（23），所述螺纹杆（23）上活动连接有顶板（22），所述螺纹杆（23）上螺纹连接有螺帽（24），所述底板（21）的一端通过连接杆（28）连接有轴承（27），所述镀膜架（13）的底端中部安装有第二电机（29），所述第二电机（29）的顶端安装有第二齿轮箱（16），所述第二齿轮箱（16）的顶端连接有转轴（17），所述转轴（17）的顶端焊接有坩埚固定板（18），所述镀膜架（13）的底端两侧均焊接有活动销（19），所述镀膜机机箱（1）内部设有真空腔（2），所述真空腔（2）的底端设有活动槽（11）。

2.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述镀膜机机箱（1）上安装有密封门（12），所述镀膜机机箱（1）的底端四个拐角处均焊接有支撑腿（8），所述密封门（12）通过铰链和密封垫与所述镀膜机机箱（1）固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述伸缩杆固定箱（7）通过螺栓和密封垫固定在所述镀膜机机箱（1）的背面上，所述电动伸缩杆（14）通过螺栓固定在所述伸缩杆固定箱（7）上，所述镀膜架（13）与所述电动伸缩杆（14）通过螺栓固定相连，所述镀膜架（13）通过活动销（19）与所述真空腔（2）内的活动槽（11）活动相连。

4.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述抽真空装置（3）、冷凝箱（4）、加热器（5）和电子枪（6）均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱（1）上，所述抽真空装置（3）包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述电子枪（6）上设有正负两极，所述冷凝箱（4）内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

5.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述第二电机（29）通过螺栓固定在所述镀膜架（13）的底部上，所述第二齿轮箱（16）通过螺栓固定在所述镀膜架（13）的顶部上，所述坩埚固定板（18）通过转轴（17）与所述第二齿轮箱（16）相连。

6.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述第一齿轮箱（25）通过螺栓固定在所述镀膜架（13）一侧的连接板（20）上，所述轴承（27）通过螺栓固定在所述镀膜架（13）另一侧的连接板（20）上，所述第一电机（26）的转轴与所述第一齿轮箱（25）内的齿轮啮合相连，所述底板（21）通过连接杆（28）分别与所述轴承（27）和第一齿轮箱（25）相连。

7.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述电源开关（10）与外接电源相连，所述电源开关（10）分别与所述电动伸缩杆（14）、第一电机（26）和第二电机（29）电性连接，所述控制箱（9）分别与所述抽真空装置（3）、冷凝箱（4）、加热器（5）和电子枪（6）电性连接。

8.根据权利要求1所述的一种光学镀膜用工件安装装置，其特征在于：所述底板（21）和顶板（22）均采用304不锈钢材料制成，所述底板（21）和顶板（22）上均设有若干个通孔。

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