CN210683926U - 一种可快速清扫内腔的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，包括镀膜机机箱，所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有加热器，所述镀膜机机箱的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱，所述第一电动伸缩杆安装箱内安装有第一电动伸缩杆，所述镀膜机机箱的背面中部安装有电子枪，所述第一电动伸缩杆的一端安装有第一固定板，该真空镀膜机在对镀膜件进行镀膜完成后，自动将镀膜件从真空室内伸出，并在伸出的同时，对镀膜箱的内壁进行快速清扫，并将垃圾一并排出，让真空室更加的干净，提高镀膜机的使用寿命，也提高镀膜的质量，节省人工清理的成本，也提高镀膜效率，提高整体效益。

Description

一种可快速清扫内腔的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体为一种可快速清扫内腔的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜往往采用真空镀膜机进行镀膜，现有的真空镀膜机在镀膜的过程中往往会将镀膜箱的内壁镀很多镀膜材料，时间长久镀膜材料的增厚，不仅影响镀膜机的使用寿命，而且也影响镀膜的质量，镀膜箱内壁的清理往往采用人工清理，十分的不方便，每次镀膜完成后需要清理内壁一次，降低镀膜效率，浪费大量时间，增加镀膜成本。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，以解决上述背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，包括镀膜机机箱，所述镀膜机机箱的顶端安装有抽真空装置，所述镀膜机机箱的一侧安装有冷凝箱，另一侧安装有加热器，所述镀膜机机箱的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱，所述第一电动伸缩杆安装箱内安装有第一电动伸缩杆，所述镀膜机机箱的背面中部安装有电子枪，所述第一电动伸缩杆的一端安装有第一固定板，所述第一固定板的一侧安装有第二电动伸缩杆安装箱，所述第二电动伸缩杆安装箱的两侧均安装有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的一端安装有第一电机固定板，所述第二电动伸缩杆安装箱的顶端和底端均安装有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆的一端安装有第二电机固定板，所述第一电机固定板和第二电机固定板上均安装有电机，所述电机上固定有毛刷固定板，所述毛刷固定板上安装有若干个毛刷，所述第二电动伸缩杆安装箱的一侧设有第二固定板，所述第二固定板的一侧焊接有托盘，所述第一固定板、第二固定板和第二电动伸缩杆安装箱的中部均设有电子枪活动槽，所述镀膜机机箱内设有真空室，所述镀膜机机箱上连接有真空门，所述真空门上安装有观察窗，所述观察窗的一侧安装有把手，所述镀膜机机箱的底端设有控制柜，所述控制柜上焊接有支撑腿，所述控制柜的一侧设有电源开关。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽真空装置、加热器和冷凝箱均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱上，所述电子枪通过螺栓固定在所述镀膜机机箱的背面中部上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制柜通过螺栓固定在所述镀膜机机箱的底部上，所述支撑腿与所述镀膜机机箱焊接相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一电动伸缩杆的一端通过螺栓安装在所述第一电动伸缩杆安装箱内，另一端通过螺栓与所述第一固定板固定相连，所述第二电动伸缩杆安装箱分别与所述第一固定板和第二固定板通过螺栓固定相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述毛刷固定在所述毛刷固定板上，所述毛刷固定板与所述电机的转轴固定相连，所述电机通过螺栓与所述第一电机固定板和第二电机固定板固定相连，所述第一电机固定板与第二电动伸缩杆通过螺栓固定相连，所述第二电机固定板与第三电动伸缩杆通过螺栓固定相连，所述第二电动伸缩杆和第三电动伸缩杆均通过螺栓固定在第二电动伸缩杆安装箱内。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述真空门通过密封垫和铰链与所述镀膜机机箱固定相连，所述电子枪上设有正负两极，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述扩散泵与真空室相连。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述控制柜分别与所述电子枪、抽真空装置、加热器和冷凝箱电性连接，所述电源开关分别与所述第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、第三电动伸缩杆和电机电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷凝箱内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

本实用新型的有益效果是：该真空镀膜机在对镀膜件进行镀膜完成后，自动将镀膜件从真空室内伸出，并在伸出的同时，对镀膜箱的内壁进行快速清扫，并将垃圾一并排出，让真空室更加的干净，提高镀膜机的使用寿命，也提高镀膜的质量，节省人工清理的成本，也提高镀膜效率，提高整体效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型毛刷的结构示意图；

图中：1、镀膜机机箱，2、电子枪，3、第一电动伸缩杆安装箱，4、支撑腿，5、控制柜，6、电源开关，7、真空室，8、第一固定板，9、第二电动伸缩杆安装箱，10、抽真空装置，11、第二电动伸缩杆，12、第一电机固定板，13、第三电动伸缩杆，14、第二电机固定板，15、毛刷，16、托盘，17、第二固定板，18、真空门，19、观察窗，20、把手，21、毛刷固定板，22、电机，23、加热器，24、电子枪活动槽，25、冷凝箱，26、第一电动伸缩杆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例：请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，包括镀膜机机箱1，镀膜机机箱1的顶端安装有抽真空装置10，镀膜机机箱1的一侧安装有冷凝箱25，另一侧安装有加热器23，镀膜机机箱1的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱3，第一电动伸缩杆安装箱3内安装有第一电动伸缩杆26，镀膜机机箱1的背面中部安装有电子枪2，第一电动伸缩杆26的一端安装有第一固定板8，第一固定板8的一侧安装有第二电动伸缩杆安装箱9，第二电动伸缩杆安装箱9的两侧均安装有第二电动伸缩杆11，第二电动伸缩杆11的一端安装有第一电机固定板12，第二电动伸缩杆安装箱9的顶端和底端均安装有第三电动伸缩杆13，第三电动伸缩杆13的一端安装有第二电机固定板14，第一电机固定板12和第二电机固定板14上均安装有电机22，电机22上固定有毛刷固定板21，毛刷固定板21上安装有若干个毛刷15，第二电动伸缩杆安装箱9的一侧设有第二固定板17，第二固定板17的一侧焊接有托盘16，第一固定板8、第二固定板17和第二电动伸缩杆安装箱9的中部均设有电子枪活动槽24，镀膜机机箱1内设有真空室7，镀膜机机箱1上连接有真空门18，真空门18上安装有观察窗19，观察窗19的一侧安装有把手20，镀膜机机箱1的底端设有控制柜5，控制柜5上焊接有支撑腿4，控制柜5的一侧设有电源开关6。

抽真空装置10、加热器23和冷凝箱25均通过螺栓固定在镀膜机机箱1上，电子枪2通过螺栓固定在镀膜机机箱1的背面中部上；控制柜5通过螺栓固定在镀膜机机箱1的底部上，支撑腿4与镀膜机机箱1焊接相连，通过控制柜5直接控制加热器23和冷凝箱25通电工作，冷凝箱25可以保障镀膜机机箱1外面的温度不会过高，也能实现对镀膜件进行降温冷却，加热器23通过第二固定板17上安装的温度传感器，直接对真空室7进行温度控制，从而保障真空室7是恒温，抽真空装置10包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，通过控制柜5依次接通机械泵、罗茨泵和扩散泵电源，让机械泵、罗茨泵和扩散泵将真空室7抽成真空状态，并通过镀膜机机箱1外设置的真空计进行真空检测。

第一电动伸缩杆26的一端通过螺栓安装在第一电动伸缩杆安装箱3内，另一端通过螺栓与第一固定板8固定相连，第二电动伸缩杆安装箱9分别与第一固定板8和第二固定板17通过螺栓固定相连，通过第一电动伸缩杆26直接将第一固定板8从真空室7内伸出。

毛刷15固定在毛刷固定板21上，毛刷固定板21与电机22的转轴固定相连，通过电机22的转动带动毛刷固定板21旋转，从而带动毛刷15旋转，电机22通过螺栓与第一电机固定板12和第二电机固定板14固定相连，第一电机固定板12与第二电动伸缩杆11通过螺栓固定相连，第二电机固定板14与第三电动伸缩杆13通过螺栓固定相连，第二电动伸缩杆11和第三电动伸缩杆13均通过螺栓固定在第二电动伸缩杆安装箱9内，第一电机固定板12和第二电机固定板14可以通过第二电动伸缩杆11和第三电动伸缩杆13分别从第二电动伸缩杆安装箱9上伸出到镀膜机机箱1的内壁上，便于毛刷15接触到镀膜机机箱1的内壁。

真空门18通过密封垫和铰链与镀膜机机箱1固定相连，电子枪2上设有正负两极，抽真空装置10包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，扩散泵与真空室7相连，利用高压电柜给电子枪2提供电源，让电子枪2产生高强的电流溶解托盘16上的坩埚内的镀膜材料，使其雾化挥发，从而给托盘16上的镀膜件进行镀膜。

控制柜5分别与电子枪2、抽真空装置10、加热器23和冷凝箱25电性连接，电源开关6分别与第一电动伸缩杆26、第二电动伸缩杆11、第三电动伸缩杆13和电机22电性连接，通过控制柜5接通电子枪2、抽真空装置10、加热器23和冷凝箱25的电源，通过电源开关6分别接通第一电动伸缩杆26、第二电动伸缩杆11、第三电动伸缩杆13和电机22的电源。

冷凝箱25内设有冷凝器、水箱和冷凝管，通过冷凝器给冷凝管内的水进行降温，从而实现对整个镀膜机机箱1进行降温。

工作原理：一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，包括镀膜机机箱1、电子枪2、第一电动伸缩杆安装箱3、支撑腿4、控制柜5、电源开关6、真空室7、第一固定板8、第二电动伸缩杆安装箱9、抽真空装置10、第二电动伸缩杆11、第一电机固定板12、第三电动伸缩杆13、第二电机固定板14、毛刷15、托盘16、第二固定板17、真空门18、观察窗19、把手20、毛刷固定板21、电机22、加热器23、电子枪活动槽24、冷凝箱25和第一电动伸缩杆26，当镀膜完成后需要取放镀膜件的时候，打开真空门18，并通过电源开关6直接打开第二电动伸缩杆11和第三电动伸缩杆13的电源开关，让第二电动伸缩杆11将第二电机固定板14上的毛刷15挤压镀膜机机箱1内部的顶部和底部，让第三电动伸缩杆13将第一电机固定板12伸出，从而让第一电机固定板12上的毛刷15挤压镀膜机机箱1两侧的内壁，然后通过打开第一电机固定板12和第二电机固定板14上的电机22电源开关，让电机22制动，从而带动毛刷固定板21转动，毛刷固定板21转动会带动毛刷15旋转，对镀膜机机箱1的内壁进行清扫，再打开第一电动伸缩杆26的电源开关，让第一电动伸缩杆26直接将第一固定板8推出，第一固定板8和第二固定板17的尺寸与真空室7内的尺寸大小相同，从而会将真空室7四周的镀膜材料进行铲起，第二固定板17铲起内壁上的镀膜材料，然后再通过毛刷15进行清扫，然后再利用第一固定板8将清扫的垃圾带出，从而实现在出料的时候就将镀膜机机箱1的内壁清扫完成，提高效率，节约时间。

该真空镀膜机在对镀膜件进行镀膜完成后，自动将镀膜件从真空室内伸出，并在伸出的同时，对镀膜箱的内壁进行快速清扫，并将垃圾一并排出，让真空室更加的干净，提高镀膜机的使用寿命，也提高镀膜的质量，节省人工清理的成本，也提高镀膜效率，提高整体效益。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，包括镀膜机机箱（1），其特征在于：所述镀膜机机箱（1）的顶端安装有抽真空装置（10），所述镀膜机机箱（1）的一侧安装有冷凝箱（25），另一侧安装有加热器（23），所述镀膜机机箱（1）的背面四个拐角处均焊接有第一电动伸缩杆安装箱（3），所述第一电动伸缩杆安装箱（3）内安装有第一电动伸缩杆（26），所述镀膜机机箱（1）的背面中部安装有电子枪（2），所述第一电动伸缩杆（26）的一端安装有第一固定板（8），所述第一固定板（8）的一侧安装有第二电动伸缩杆安装箱（9），所述第二电动伸缩杆安装箱（9）的两侧均安装有第二电动伸缩杆（11），所述第二电动伸缩杆（11）的一端安装有第一电机固定板（12），所述第二电动伸缩杆安装箱（9）的顶端和底端均安装有第三电动伸缩杆（13），所述第三电动伸缩杆（13）的一端安装有第二电机固定板（14），所述第一电机固定板（12）和第二电机固定板（14）上均安装有电机（22），所述电机（22）上固定有毛刷固定板（21），所述毛刷固定板（21）上安装有若干个毛刷（15），所述第二电动伸缩杆安装箱（9）的一侧设有第二固定板（17），所述第二固定板（17）的一侧焊接有托盘（16），所述第一固定板（8）、第二固定板（17）和第二电动伸缩杆安装箱（9）的中部均设有电子枪活动槽（24），所述镀膜机机箱（1）内设有真空室（7），所述镀膜机机箱（1）上连接有真空门（18），所述真空门（18）上安装有观察窗（19），所述观察窗（19）的一侧安装有把手（20），所述镀膜机机箱（1）的底端设有控制柜（5），所述控制柜（5）上焊接有支撑腿（4），所述控制柜（5）的一侧设有电源开关（6）。

2.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述抽真空装置（10）、加热器（23）和冷凝箱（25）均通过螺栓固定在所述镀膜机机箱（1）上，所述电子枪（2）通过螺栓固定在所述镀膜机机箱（1）的背面中部上。

3.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述控制柜（5）通过螺栓固定在所述镀膜机机箱（1）的底部上，所述支撑腿（4）与所述镀膜机机箱（1）焊接相连。

4.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述第一电动伸缩杆（26）的一端通过螺栓安装在所述第一电动伸缩杆安装箱（3）内，另一端通过螺栓与所述第一固定板（8）固定相连，所述第二电动伸缩杆安装箱（9）分别与所述第一固定板（8）和第二固定板（17）通过螺栓固定相连。

5.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述毛刷（15）固定在所述毛刷固定板（21）上，所述毛刷固定板（21）与所述电机（22）的转轴固定相连，所述电机（22）通过螺栓与所述第一电机固定板（12）和第二电机固定板（14）固定相连，所述第一电机固定板（12）与第二电动伸缩杆（11）通过螺栓固定相连，所述第二电机固定板（14）与第三电动伸缩杆（13）通过螺栓固定相连，所述第二电动伸缩杆（11）和第三电动伸缩杆（13）均通过螺栓固定在第二电动伸缩杆安装箱（9）内。

6.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述真空门（18）通过密封垫和铰链与所述镀膜机机箱（1）固定相连，所述电子枪（2）上设有正负两极，所述抽真空装置（10）包括机械泵、罗茨泵和扩散泵，所述扩散泵与真空室（7）相连。

7.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述控制柜（5）分别与所述电子枪（2）、抽真空装置（10）、加热器（23）和冷凝箱（25）电性连接，所述电源开关（6）分别与所述第一电动伸缩杆（26）、第二电动伸缩杆（11）、第三电动伸缩杆（13）和电机（22）电性连接。

8.根据权利要求1所述的一种可快速清扫内腔的真空镀膜机，其特征在于：所述冷凝箱（25）内设有冷凝器、水箱和冷凝管。

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