CN210376192U - 一种晶棒v型槽定向检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶棒V型槽定向检测装置，包括底座，所述底座上旋转有旋转台，所述旋转台表面设有进出料导轨，所述进出料导轨上滑动有工作台，所述工作台上设有晶棒夹持机构以及若干个沿晶棒夹持机构上晶棒径向设置的定向导轨，所述定向导轨环绕所述晶棒夹持机构设置，且定向导轨上通过驱动机构控制滑动有V型槽定向机构；所述底座上设有环绕所述旋转台设置的检测装置。本实用新型结构简单，能够快速准确检测V型槽开槽准确度，保证精度，适用于各种不同尺寸的晶棒。

Description

一种晶棒V型槽定向检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体原料制造技术领域，具体涉及一种晶棒V型槽定向检测装置。

背景技术

晶棒在加工呈标准尺寸的圆柱体后，需要在圆柱的侧面加工标记晶棒的晶向，一般是通过加工一道与晶向垂直的V型槽来标记晶向，V型槽加工的准确度对于晶棒的性能影响很大，因此在出货前还需要进一步检测V型槽开设角度的准确性。

传统方法是通过晶棒切割成晶片之后再进行对晶片的测试，然而实际在晶棒外圆加工V型槽后就需要对V型槽晶向进行检测，此时检测能够进一步避免晶向偏差，同时对于存在偏差的晶棒也能够避免其进一步切割浪费成本，避免造成重大质量损失。然而现有的生产过程中，并没有专用的V型槽定向检测装置，若要进行V型槽检测只能通过简单的固定机构与X射线配合测量，操作不方便，并且检测误差也较大。

因此开发一种专用的晶棒V型槽定向检测装置十分有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒V型槽定向检测装置，该检测装置结构简单，能够快速准确检测V型槽开槽准确度，保证精度，适用于各种不同尺寸的晶棒。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种晶棒V型槽定向检测装置，包括底座，所述底座上旋转有旋转台，所述旋转台表面设有进出料导轨，所述进出料导轨上滑动有工作台，所述工作台上设有晶棒夹持机构以及若干个沿晶棒夹持机构上晶棒径向设置的定向导轨，所述定向导轨环绕所述晶棒夹持机构设置，且定向导轨上通过驱动机构控制滑动有V型槽定向机构；所述底座上设有环绕所述旋转台设置的检测装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型工作台上设有晶棒夹持机构和V型槽定向机构，晶棒先放置在晶棒夹持机构上，之后通过驱动机构控制V型槽定向机构沿定向导轨滑动，将晶棒调节至侧面V型槽与V型槽定向机构相对应状态，控制晶棒夹持机构固定晶棒，之后通过旋转旋转台和检测装置配合检测晶棒的晶面位置，检测晶棒V型槽开槽准确度，操作快速便捷，能够保证精度；

2、本实用新型V型槽定向机构能够沿定向导轨滑动，从而可以适配不同尺寸晶棒的V型槽定位，适用范围广。

进一步的，所述晶棒夹持机构为三爪卡盘。

通过采用上述方案，三爪卡盘能够适用于不同尺寸晶棒的快速夹持。

进一步的，所述V型槽定向机构包括基座以及设置在基座上的卡齿，所述基座沿所述定向导轨滑动，所述卡齿朝向所述晶棒夹持机构的端部设有用于定位晶棒V型槽的V型块。

通过采用上述方案，基座通过驱动机构控制沿定向导轨滑动，带动卡齿朝晶棒移动，直至卡齿端部的V型块与晶棒侧面的V型槽贴合定位，实现晶棒开槽角度的快速定位。

进一步的，所述卡齿为铝合金卡齿。

通过采用上述方案，卡齿采用铝合金卡齿，避免卡齿与晶棒接触导致崩边。

进一步的，所述驱动机构包括传动丝杆和螺母块，所述传动丝杆沿所述定向导轨方向设置，且传动丝杆通过丝杆座安装在所述工作台上，所述螺母块与所述传动丝杆传动连接，且螺母块与所述基座固定，所述传动丝杆外端设有手轮。

通过采用上述方案，通过控制手轮旋转，带动螺母块沿传动丝杆移动，从而精确控制基座沿定向导轨的滑动。

进一步的，所述旋转台通过第一转盘轴承安装在所述底座上，所述工作台沿所述进出料导轨移动至检测位置时，所述晶棒夹持机构与所述第一转盘轴承同轴。

通过采用上述方案，在进行晶向检测时，能够通过旋转旋转台，来直接调节晶棒的角度，十分便捷高效，有利于快速检测晶向。

进一步的，所述旋转台底面边缘安装有支撑块，所述支撑块底端设有滚轮，所述滚轮与所述底座表面贴合支撑所述旋转台。

通过采用上述方案，支撑块和滚轮配合支撑旋转台，避免旋转台一侧悬空。

进一步的，所述底座表面设有与所述滚轮匹配的卡槽，所述卡槽以所述转盘轴承轴心为圆心环绕设置。

通过采用上述方案，旋转台旋转时，滚轮沿卡槽旋转，进一步提高了旋转台旋转时的稳定性。

进一步的，所述检测装置包括依次环绕所述旋转台设置的X射线管、定位板和射线信号接收器，所述定位板固定在所述底座上，且定位板朝向所述晶棒夹持机构端部设有定位尖角，所述X射线管发出的射线指向所述定位尖角对应的晶棒侧面，所述射线信号接收器接受晶棒反射的射线。

进一步的，所述射线信号接收器底端设有安装座，所述安装座一端底面通过第二转盘轴承安装在所述底座表面，另一端顶面与所述射线信号接收器固定。

通过采用上述方案，能够控制射线信号接收器绕安装座一端旋转，便于调节射线接受位置，快速检测晶向。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1是本实用新型的实施例的结构示意图。

图2是本实用新型的实施例去除检测装置的结构示意图。

图3是本实用新型的实施例的射线信号接收器的结构示意图。

1、底座；101、卡槽；

2、旋转台；

3、进出料导轨；

4、工作台；

5、定向导轨；

6、三爪卡盘；

7、基座；

8、卡齿；801、V型块；

9、传动丝杆；

10、螺母块；

11、第一转盘轴承；

12、支撑块；

13、滚轮；

14、X射线管；

15、定位板；1501、定位尖角；

16、射线信号接收器；

17、安装座；

18、第二转盘轴承；

19、手轮。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1-3所示，本实施例提供的一种晶棒V型槽定向检测装置，包括底座1，底座1上旋转有旋转台2，旋转台2表面设有进出料导轨3，进出料导轨3上滑动有工作台4。

工作台4上设有晶棒夹持机构以及两个沿晶棒夹持机构上晶棒径向设置的定向导轨5，晶棒夹持机构为三爪卡盘6，三爪卡盘6能够适用于不同尺寸晶棒的快速夹持。

旋转台2通过第一转盘轴承11安装在底座1上，工作台4沿进出料导轨3移动至检测位置时，晶棒夹持机构与第一转盘轴承11同轴。在进行晶向检测时，能够通过旋转旋转台2，来直接调节晶棒的角度，十分便捷高效，有利于快速检测晶向。

旋转台2底面边缘安装有支撑块12，支撑块12底端设有滚轮13，滚轮13与底座1表面贴合支撑旋转台2，支撑块12和滚轮13配合支撑旋转台2，避免旋转台2一侧悬空。

底座1表面设有与滚轮13匹配的卡槽101，卡槽101以转盘轴承轴心为圆心环绕设置，旋转台2旋转时，滚轮13沿卡槽101旋转，进一步提高了旋转台2旋转时的稳定性。

定向导轨5环绕三爪卡盘6设置，且定向导轨5上通过驱动机构控制滑动有V型槽定向机构。

V型槽定向机构包括基座7以及设置在基座7上的卡齿8，基座7沿定向导轨5滑动，卡齿8朝向晶棒夹持机构的端部设有用于定位晶棒V型槽的V型块801。基座7通过驱动机构控制沿定向导轨5滑动，带动卡齿8朝晶棒移动，直至卡齿8端部的V型块801与晶棒侧面的V型槽贴合定位，实现晶棒开槽角度的快速定位。

卡齿8为铝合金卡齿8，避免卡齿8与晶棒接触导致崩边。

驱动机构包括传动丝杆9和螺母块10，传动丝杆9沿定向导轨5方向设置，且传动丝杆9通过丝杆座安装在工作台4上，螺母块10与传动丝杆9传动连接，且螺母块10与基座7固定，传动丝杆9外端设有手轮19。通过操控手轮19带动螺母块10沿传动丝杆9移动，从而精确控制基座7沿定向导轨5的滑动。

底座1上设有环绕旋转台2设置的检测装置。

检测装置包括依次环绕旋转台2设置的X射线管14、定位板15和射线信号接收器16，定位板15固定在底座1上，且定位板15朝向晶棒夹持机构端部设有定位尖角1501，X射线管14发出的射线指向定位尖角1501对应的晶棒侧面，射线信号接收器16接受晶棒反射的射线。

射线信号接收器16底端设有安装座17，安装座17一端底面通过第二转盘轴承18安装在底座1表面，另一端顶面与射线信号接收器16固定。能够控制射线信号接收器16绕安装座17一端旋转，便于调节射线接受位置，快速检测晶向。

本实施例工作台4上设有三爪卡盘6和V型槽定向机构，晶棒先放置在三爪卡盘6上，之后通过手轮19控制卡齿8沿定向滑动，将晶棒调节至侧面V型槽与卡齿8的V型块801相对应状态；控制三爪卡盘6固定晶棒，之后开启检测装置，通过旋转旋转台2配合检测晶棒的晶面方向，检测晶棒V型槽开槽准确度，操作快速便捷，能够保证精度；

本实施例卡齿8能够沿定向导轨5滑动，从而可以适配不同尺寸晶棒的V型槽定位，三爪卡盘6能够固定不同尺寸晶棒，因此能够适配各种型号的晶棒，普及性强。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (10)

1.一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，包括底座，所述底座上旋转有旋转台，所述旋转台表面设有进出料导轨，所述进出料导轨上滑动有工作台，所述工作台上设有晶棒夹持机构以及若干个沿晶棒夹持机构上晶棒径向设置的定向导轨，所述定向导轨环绕所述晶棒夹持机构设置，且定向导轨上通过驱动机构控制滑动有V型槽定向机构；所述底座上设有环绕所述旋转台设置的检测装置。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述晶棒夹持机构为三爪卡盘。

3.根据权利要求1所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述V型槽定向机构包括基座以及设置在基座上的卡齿，所述基座沿所述定向导轨滑动，所述卡齿朝向所述晶棒夹持机构的端部设有用于定位晶棒V型槽的V型块。

4.根据权利要求3所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述卡齿为铝合金卡齿。

5.根据权利要求3所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述驱动机构包括传动丝杆和螺母块，所述传动丝杆沿所述定向导轨方向设置，且传动丝杆通过丝杆座安装在所述工作台上，所述螺母块与所述传动丝杆传动连接，且螺母块与所述基座固定，所述传动丝杆外端设有手轮。

6.根据权利要求1所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述旋转台通过第一转盘轴承安装在所述底座上，所述工作台沿所述进出料导轨移动至检测位置时，所述晶棒夹持机构与所述第一转盘轴承同轴。

7.根据权利要求6所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述旋转台底面边缘安装有支撑块，所述支撑块底端设有滚轮，所述滚轮与所述底座表面贴合支撑所述旋转台。

8.根据权利要求7所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述底座表面设有与所述滚轮匹配的卡槽，所述卡槽以所述转盘轴承轴心为圆心环绕设置。

9.根据权利要求1至8任一所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述检测装置包括依次环绕所述旋转台设置的X射线管、定位板和射线信号接收器，所述定位板固定在所述底座上，且定位板朝向所述晶棒夹持机构端部设有定位尖角，所述X射线管发出的射线指向所述定位尖角对应的晶棒侧面，所述射线信号接收器接受晶棒反射的射线。

10.根据权利要求9所述的一种晶棒V型槽定向检测装置，其特征在于，所述射线信号接收器底端设有安装座，所述安装座一端底面通过第二转盘轴承安装在所述底座表面，另一端顶面与所述射线信号接收器固定。

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