CN209953103U - 基板处理设备及上料机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭露一种基板处理设备及上料机台。基板处理设备包含多个制程机台、上料机台及移载装置。上料机台包含上料装置及移载装置。上料装置包含至少一夹爪组件及开关单元。用户可以将基板设置于上料装置，而后移载装置将会被控制，而将设置于上料装置的基板，移载至制程机台中。是以，使用者可以依据需求，将具有特殊规格的基板安插在任一个制程机台前，而使具有特殊规格的基板，直接由特定的制程机台开始执行相关的制程作业。

Description

基板处理设备及上料机台

技术领域

本实用新型涉及一种上料機台及基板處理設備，特別是一種能提供使用者操作以夾持電路板的上料機台及包含該上料機台的基板處理設備。

背景技术

现有的电路板制程设备，大多是连贯式的大型设备，当电路板进入制程设备后，电路板即会依序经过制程设备中的各道制程。举例来说，常见的电路板制程设备包含有上漆制程及烘烤制程，任一个进入制程设备的电路板，皆必需先后通过上漆制程及烘烤制程，而任一个电路板必需是在完成烘烤制程后，才可离开制程设备，或者是说，任一个电路板在烘烤前，皆先必需通过上漆制程。

依上所述，在实际应用中，相关开发人员若欲使其中一片电路板，仅进行上漆制程或是仅进行烘烤制程，则必需使整个制程设备停止动作，而后依据需求设定制程设备后，使单一片的电路板进入制程设备中，如此，才可能使单一片电路板仅进行上漆制程或仅进行烘烤制程。然，此种方式不但耗时更耗费成本。

虽然，部份的厂商会另外开发出小型的制程设备，以供研发人员使用，但由于小型的制程设备与实际生产时所使用的大型制程设备，并无法完全相同，因此，可能发生在小型的制程设备测试结果，与设置于实际生产时所使用的大型制程设备的测试结果落差甚大的问题。

实用新型内容

本实用新型公开一种基板处理设备及上料机台，用以改善现有的电路板生产所用的大型制程设备所存在的不便，特别是研发人员难以将单一片具有特殊规格的电路板，安插于正在进行生产的大型制程设备中的问题。

本实用新型公开一种基板处理设备，其包含：一处理装置、多个制程机台及至少一上料机台。多个制程机台分别连接处理装置，各个制程机台用以对基板进行一预定制程作业；多个制程机台中的其中一个制程机台用以对基板进行的预定制程作业为一喷涂作业，喷涂作业是将涂料喷涂于基板，或者，多个制程机台中的其中一个制程机台用以对基板进行的预定制程作业为一烘烤作业，烘烤作业是使基板于一预定温度中停留一预定时间。上料机台邻近于任一个制程机台的基板进入位置设置，上料机台包含：一上料装置及一移载装置。上料装置连接处理装置，上料装置包含：至少一夹爪组件及一开关单元。夹爪组件能被控制以夹持基板，夹爪组件包含两个夹臂，至少一个夹臂能被处理装置控制而相对于另一个夹臂移动。开关单元连接夹爪组件，开关单元能被操作而控制两个夹臂彼此相对移动，而使夹爪组件夹持基板或使夹爪组件松开其所夹持的基板。移载装置邻近于任一个制程机台的基板进入位置设置，移载装置连接处理装置，移载装置能被处理装置控制以将上料装置所夹持的基板，由上料装置所邻近的制程机台的基板进入位置移入制程机台中。

优选地，上料装置包含两个夹爪组件，上料装置还包含一纵向限位机构，纵向限位机构位于两个夹爪组件之间，纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于夹爪组件于一纵向方向的活动范围。

优选地，上料装置包含两个夹爪组件及两个横向限位机构，两个夹爪组件彼此间隔地设置；两个横向限位机构设置于两个夹爪组件的一侧，而两个夹爪组件位于两个横向限位机构之间；各个横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，滑块可滑动地设置于滑轨结构，而滑块能被操作以于滑轨结构滑动；各个滑轨结构包含有一刻度标示结构，刻度标示结构用以提供用户辨识滑块相对于滑轨结构的位置；其中，当夹爪组件夹持基板时，两个滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边。

优选地，上料装置包含两个夹爪组件，上料装置还包含一纵向限位机构，纵向限位机构位于两个夹爪组件之间，纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于夹爪组件于一纵向方向的活动范围；上料装置包含两个夹爪组件及两个横向限位机构，两个夹爪组件彼此间隔地设置；两个横向限位机构设置于两个夹爪组件的一侧，而两个夹爪组件位于两个横向限位机构之间；各个横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，滑块可滑动地设置于滑轨结构，而滑块能被操作以于滑轨结构滑动；各个滑轨结构包含有一刻度标示结构，刻度标示结构用以提供用户辨识滑块相对于滑轨结构的位置；其中，当夹爪组件夹持基板时，两个滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边；其中，纵向限位机构包含有一第一限位面，各个滑轨结构包含有一第二限位面，第一限位面及第二限位面位于同一平面；夹爪组件夹持基板时，第一限位面及两个限位面对应抵靠于基板的一宽侧面，而第一限位面及两个第二限位面能限制基板相对于夹爪组件于一前后方向的活动范围。

优选地，各个横向限位机构还包含一操作件，操作件包含一第一锁固结构；各个滑轨结构的一侧内凹形成有一滑槽，滑轨结构对应于滑槽还包含有一穿孔，穿孔贯穿滑轨结构设置，而穿孔与至少一部分的滑槽相互连通，滑块设置于滑槽，且滑块包含一第二锁固结构；操作件的第一锁固结构能通过穿孔而与位于滑槽中的滑块的第二锁固结构相互锁固，以限制滑块相对于滑轨结构的活动范围。

本实用新型还公开一种上料机台，其用以邻近于一基板处理设备的其中一个制程机台的基板进入位置设置，制程机台用以对基板进行一喷涂作业或一烘烤作业，上料机台包含：一上料装置及一移载装置。上料装置包含：至少一夹爪组件及一开关单元。夹爪组件能被控制以夹持基板，夹爪组件包含两个夹臂，至少一个夹臂能被控制而相对于另一个夹臂移动。开关单元连接夹爪组件，开关单元能被操作而控制两个夹臂彼此相对移动，以使夹爪组件夹持基板或使夹爪组件松开其所夹持的基板。移载装置能被控制以将上料装置所夹持的基板，由上料装置所邻近的制程机台的基板进入位置移入制程机台中。

优选地，上料装置包含两个夹爪组件，上料装置还包含一纵向限位机构，纵向限位机构位于两个夹爪组件之间，纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于夹爪组件于一纵向方向的活动范围。

优选地，上料装置包含两个夹爪组件及两个横向限位机构，两个夹爪组件彼此间隔地设置；两个横向限位机构设置于两个夹爪组件的一侧，而两个夹爪组件位于两个横向限位机构之间；各个横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，滑块可滑动地设置于滑轨结构，而滑块能被操作以于滑轨结构滑动；各个滑轨结构包含有一刻度标示结构，刻度标示结构用以提供用户辨识滑块相对于滑轨结构的位置；其中，当夹爪组件夹持基板时，两个滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边。

优选地，上料装置包含两个夹爪组件，上料装置还包含一纵向限位机构，纵向限位机构位于两个夹爪组件之间，纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于夹爪组件于一纵向方向的活动范围；上料装置包含两个夹爪组件及两个横向限位机构，两个夹爪组件彼此间隔地设置；两个横向限位机构设置于两个夹爪组件的一侧，而两个夹爪组件位于两个横向限位机构之间；各个横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，滑块可滑动地设置于滑轨结构，而滑块能被操作以于滑轨结构滑动；各个滑轨结构包含有一刻度标示结构，刻度标示结构用以提供用户辨识滑块相对于滑轨结构的位置；其中，当夹爪组件夹持基板时，两个滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边；其中，纵向限位机构包含有一第一限位面，各个滑轨结构包含有一第二限位面，第一限位面及第二限位面位于同一平面；夹爪组件夹持基板时，第一限位面及两个限位面对应抵靠于基板的一宽侧面，而第一限位面及两个第二限位面能限制基板相对于夹爪组件于一前后方向的活动范围。

优选地，各个横向限位机构还包含一操作件，操作件包含一第一锁固结构；各个滑轨结构的一侧内凹形成有一滑槽，滑轨结构对应于滑槽还包含有一穿孔，穿孔贯穿滑轨结构设置，而穿孔与至少一部分的滑槽相互连通，滑块设置于滑槽，且滑块包含一第二锁固结构；操作件的第一锁固结构能通过穿孔而与位于滑槽中的滑块的第二锁固结构相互锁固，以限制滑块相对于滑轨结构的活动范围。

综上所述，本实用新型的基板处理设备及上料机台，可以让使用者依据需求，使特定的基板被夹持于上料装置，而后配合移载装置将特定的基板移入制程机台中，以使特定的基板直接进入使用者所需的制程中。本实用新型的基板处理设备及上料机台可以改善现有的电路板处理设备，无法依据使用者需求，而将特殊规格的电路板插入于现有的制程中。

为能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本实用新型的基板处理设备的示意图。

图2为本实用新型的基板处理设备的方块示意图。

图3为本实用新型的上料装置的侧视图。

图4为本实用新型的上料装置的前视图。

图5为本实用新型的上料装置的局部立体示意图。

图6为本实用新型的上料装置的局部分解示意图。

具体实施方式

于以下说明中，如有指出请参阅特定图式或是如特定图式所示，其仅是用以强调于后续说明中，所述及的相关内容大部份出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。

请一并参阅图1及图2，图1显示为本实用新型的基板处理设备的俯视示意图；图2显示为本实用新型的基板处理设备的方块示意图。基板处理设备D包含：一处理装置D1、两个制程机台D21、D22、两个上料装置1A、1B及两个移载装置D31、D32。处理装置D1例如是各式计算机设备或是服务器等，于此不加以限制。两个制程机台D21、D22、两个上料机台皆连接处理装置D1，而处理装置D1能被操作以控制任一个制程机台D21、D22、任一个上料装置1A、1B及任一个移载装置D31、D32。在实际应用中，基板处理设备D所包含的制程机台D21、D22的数量不以两个为限，也可以是依据需求为三个以上；上料装置1A、1B的数量亦可依据需求(例如是制程机台D21、D22的数量)变化，例如也可以是单一个或者是三个以上；移载装置D31、D32的数量基本上是对应于上料装置1A、1B的数量，但不以此为限。

各制程机台D21、D22用以对基板P进行一预定制程作业。举例来说，本实施例的其中一个制程机台D21用以对基板P进行的预定制程作业为一喷涂作业，喷涂作业即是将涂料喷涂于基板；另一个制程机台D22用以对基板进行的预定制程作业则为一烘烤作业，烘烤作业是使基板于一预定温度中停留一预定时间。也就是说，本实施例的基板处理设备D是使基板P，先后通过两个制程机台D21、D22，以先后进行喷涂作业及烘烤作业，从而使基板的单面或是双面涂布有预定的漆料。

两个上料装置1A、1B及两个移载装置D31、D32是分别设置于两个制程机台D21、D22的基板进入位置。移载装置D31、D32可以是依据需求为各种机械手臂或是各种能用来移载基板的机械设备，于此不加以限制；另外，基板处理设备D的两个移载装置D31、D32可以是依据其所设置的位置不同，而为不相同的装置，但不以此为限，在不同实施例中，也可以是基板处理设备D的两个移载装置D31、D32为相同的装置。

在本实施例中，制程机台D21是用以对基板P进行喷涂作业。其中一个上料装置1A及移载装置D31是设置于其中一个制程机台D21的基板进入位置，而移载装置D31是对应位于上料装置1A及制程机台D21的基板进入位置之间。

在实际应用中，移载装置D31也可以是邻近于一入料装置D4设置。入料装置D4连接处理装置D1，入料装置D4用以自动地连续传递基板P至一预定位置。而移载装置D31可以是被处理装置D1控制，以将设置于入料装置D4上的基板P依序地送入制程机台D21中。具体来说，制程机台D21中可以是包含有基板夹持机构(图未示)，而处理装置D1能控制移载装置D31、D32及基板夹持机构，以使移载装置D31将设置于入料装置D4的基板P，转移至制程机台D21中的基板夹持机构上，而后，基板P将随基板夹持机构以于制程机台D21中进行相关的预定制程作业。

移载装置D31能被处理装置D1控制，而将设置于上料装置1A的基板P，移入制程机台D21中。在实际应用中，基板处理设备D还可以是包含有多个传感器(图未示，例如是光传感器等)，而多个传感器能用以感测上料装置1A是否设置有基板P，多个传感器连接处理装置D1，而处理装置D1可以是在传感器判断上料装置1A设置有基板P时，控制移载装置D31暂停将入料装置D4的基板P移入制程机台D21中，而是先将设置于上料装置1A的基板P移入制程机台D21后，再回复至原本的动作流程(即接续将入料装置D4的基板P移入制程机台D21中)。

上述传感器可以是自动感测，但不以此为限；在不同的应用中，也可以是使用者手动将基板P设置于上料装置1A后，用户操作另外的开关或是机构，以发送信号至处理装置D1，而处理装置D1将可据以控制移载装置D31动作，以将设置于上料装置1A的基板P，移入相邻的制程机台D21中。

依上所述，举例来说，假设移载装置D31在预定的流程中，是要由入料装置D4移载100片基板P至制程机台D21中，若移载装置D31在将第56片基板P移入制程机台D21后(或是在将第56片基板P移入制程机台D21的过程中)，接收到处理装置D1的相关控制信号时，移载装置D31将可以是先暂停移载设置于入料装置D4的第57片基板P，而先将设置于上料装置1A的基板P移入制程机台D21后，再将设置于入料装置D4的第57片基板P移入制程机台D21中。也就是说，本实用新型的基板处理设备D，可以让使用者依据需求，实时地将特殊规格的基板P安插于任一个制程机台D21中。

需说明的是，在本实施例图中是以移载装置D31作为用来将入料装置D4的基板P移入制程机台D21的装置，也同时作为用来将上料装置1A的基板P移入制程机台D21的装置，而制程机台D21的基板进入位置仅设置有单一个移载装置D31，但移载装置D31的数量不以此为限。

在不同的应用中，制程机台D21的基板进入位置可以是设置有两个移载装置，其中一个移载装置是专门用来将入料装置D4的基板P移入制程机台D21中，另一个移载装置则是专门用来将上料装置1A的基板P移入制程机台D21中，而专门用来将上料装置1A的基板P移入制程机台D21的移载装置D31，与上料装置1A则可定义为一上料机台S1。也就是说，在具体的应用中，上料机台S1、S2可以独立的机台设备，特别是独立于制程机台D21、D22、入料装置D4及其之间所对应的移载装置D31、D32的机台设备。

基板处理装置D1的另一个移载装置D32，可以是邻近设置于制程机台

D22(用来对基板P进行喷涂作业的机台)的基板送出位置及另一个制程机台D22的基板进入位置。移载装置D32是用来将已完成喷涂作业的基板P(即为通过制程机台D21的基板P)，移载至另一个制程机台D22以接续进行烘烤作业。

移载装置D32与前述移载装置D31的动作相似，移载装置D32同样可以被处理装置D1控制，而可将设置于邻近的上料装置1B的基板P，移载至用来对基板P进行烘烤的制程机台D22中。相似地，移载装置D32在将基板P由一个制程机台D21移载至另一个制程机台D22的过程中，若接收到处理装置D1所传递的相关控制信号时，移载装置D32将可以是暂停其后续夹持基板P的程序，而先将设置于上料装置1B的基板P移载至用来对基板P进行烘烤的制程机台D22中。于此所指的烘烤是：使基板P于一预定温度下停留预定时间，而烘烤的方式、预定温度、预定时间等于此不加以限制，皆可依据实际需求决定。

是以，若涂料的研发人员欲使涂布有特殊涂料的基板P，直接进入用来对基板P进行烘烤的制程机台D22中，涂料的研发人员将可以把涂布有特殊涂料的基板P，设置于上料装置1B，而后，处理装置D1则会控制邻近的移载装置D32暂停其当前的活动，而优先将设置于上料装置1B的基板P移入用来对基板P进行烘烤的制程机台D22中。

在本实施例中，是以两个制程机台D21、D22之间设置有单一个移载装置D32为例，但移载装置的数量不以单一个为限，在不同的应用中，两个制程机台D21、D22之间也可以是设置有两个移载装置，其中一移载装置专门将用来将完成喷涂作业的基板P由相对应的制程机台D21，移载至另一个制程机台D22，另一个移载装置则是专门用来将上料装置1B所承载的基板P，移载至用来对基板P进行烘烤的制程机台D22中。

如图1所示，基板处理装置D还可以是包含有一出料装置D5，出料装置D5设置于制程机台D22的基板送出位置，而出料装置D5及制程机台D22之间还可以是设置有另一移载装置D6，移载装置D6用以将通过制程机台D22后的基板P，移载至出料装置D5，而出料装置D5可以是依据需求将基板P输送至预定的制程机台或是相关储放位置等。

值得一提的是，处理装置D1在接收到任一上料装置1A、1B设置有基板P的相关信号时，处理装置D1可以是实时地控制该上料装置1A、1B周围的移载装置D31、D32动作，而将该上料装置1A、1B所承载的基板P，实时地移入相对应的制程机台D21、D22中，或者，处理装置D1也可以是等待移载装置D31、D32先完成预定的移载作业后，再将上料装置1A、1B的基板P移入制程机台D21、D22，于此不加以限制。

请一并参阅图3至图6，图3显示为本实用新型的上料装置1A、1B的侧视图；图4显示为上料装置1A、1B的前视图；图5显示为上料装置1A、1B的立体图；图6显示为上料装置1A、1B的局部分解示意图。

如图所示，上料装置1A、1B包含：一本体11及一开关单元12。本体11设置有两个夹爪组件13。两个夹爪组件13与开关单元12相连接。夹爪组件13包含有两个夹爪131及一驱动模块132，驱动模块132连接两个夹爪131，而驱动模块132能控制两个夹爪131彼此相对移动，据以夹持基板P或松开其所夹持的基板P。在实际应用中，驱动模块132例如可以是同时控制两个夹爪131，同时向彼此靠近的方向移动，或者是同时向彼此相反的方向移动，据以夹持基板P或松开其所夹持的基板。在另一实施例中，也可以是驱动模块132仅控制其中一个夹爪131动作，而另一个夹爪131则是固定不动。关于驱动模块132的形式、夹爪131的外型、驱动模块132驱动夹爪131的方式，皆可依据需求(例如基板P的厚度、重量等)加以选择，于此不加以限制。

于本实施例中，是以上料装置1A、1B包含两个夹爪组件13为例，但上料装置1A、1B所包含的夹爪组件13的数量不以两个为限，在不同的应用中，上料装置1A、1B也可以是仅具有单一个夹爪组件13，或者上料装置1A、1B也可以是包含有三个以上的夹爪组件13。值得一提的是，处理装置D1可以是连接两个驱动模块132，而处理装置D1能控制驱动模块132，以使各个夹爪组件13的各个夹爪131动作。

如图3及图4所示，开关单元12连接两个夹爪组件13，而开关单元12能被操作以使各个夹爪组件13的两个夹爪131相互分离或是相互靠近，据以夹持基板P或是松开其所夹持的基板P。具体来说，开关单元12可以是设置于地面，而供使用者脚踏使用。用户欲将基板P固定于上料装置1A、1B时，可以是先踩踏开关单元12，以使各个夹爪组件13的两个夹爪131相互分离，而后，使用者在使基板P调整至预定的位置后，用户可以是放开开关单元12，据以使各个夹爪组件13的两个夹爪131相互靠近从而夹持基板P。

如图4所示，在实际应用中，为了便于移载装置D31、D32，将设置于上料装置1A、1B上的基板P取下，本体11还可以是设置有一纵向限位结构14及两个横向限位机构15。

纵向限位结构14位于两个夹爪组件13之间，纵向限位结构14用以提供基板P抵靠，以限制基板P相对于夹爪组件13于一纵向方向(即图4所示坐标的Y轴方向)的活动范围。关于纵向限位结构14的外型可以是依据基板P的外型设计，图中所示仅为其中一示范态样。在具体的应用中，纵向限位结构14可以是大致设置于本体11的中央位置，而基板P被两个夹爪组件13夹持时，纵向限位结构14将可以是对应位于基板P的中央位置。

各个横向限位机构15设置于各个夹爪组件13的一侧，而两个夹爪组件13位于两个横向限位机构15之间。各个横向限位机构15包含一滑轨结构151、一滑块152及一操作件153。

各个滑轨结构151的一侧内凹形成有一滑槽1511，滑轨结构151对于滑槽1511还包含有一穿孔1512，穿孔1512贯穿滑轨结构151设置，而穿孔1512与滑槽1511相互连通。滑块152设置于滑槽1511，而滑块152能受外力作用而于滑槽1511中滑动。操作件153包含有一第一锁固结构1531，而操作件153具有第一锁固结构1531的部份能穿过穿孔1512，而与设置于滑槽1511的滑块152的一第二锁固结构1521相互锁固。具体来说，第一锁固结构1531例如是螺杆结构，第二锁固结构1521例如是螺孔结构。

操作件153的一部分位于滑轨结构151相反于形成有滑槽1511的一侧。操作件153具有第一锁固结构1531的一端能穿过穿孔1512，而外露于滑槽1511中，且操作件153能被旋转，而第一锁固结构1531能与位于滑槽1511中的滑块152的第二锁固结构1521相互锁固。

当操作件153被旋转而第一锁固结构1531与第二锁固结构1521相互锁固时，滑块152及操作件153将与滑轨结构151相互固定，而滑块152及操作件153将无法相对于滑轨结构151移动，即透过第一锁固结构1531及第二锁固结构1521将可以限制滑块152相对于滑轨结构151的活动范围。

如图4所示，各个滑轨结构151还可以包含有一刻度标示结构17，刻度标示结构17用以提供用户辨识滑块152相对于滑轨结构151的位置。当两个夹爪组件13夹持基板P时，使用者可以是先使各操作件153的第一锁固结构1531不与相对应的第二锁固结构1521完全锁固，而使两个操作件153外露于穿孔1512的一侧的部份，对应抵靠于基板P彼此相反的两侧边；而后，使用者可以旋转操作件153，以使操作件153与相对应的滑块152相互锁固，从而使操作件153固定于滑轨结构151。此时，使用者可以透过观看两个刻度标示结构17，来判断两个操作件153所位于的位置，借此，用户可以判断基板P是否被夹持于正确的位置。

具体来说，当基板P被夹持于正确的位置时，两个操作件153对应于刻度标示结构17所标示的刻度应该是完全相同，而若使用者发现两个操作件153所对应的刻度不相同时，将代表基板P不位于正确的位置，此时，用户即可再透过操作开关单元12，以使两个夹爪组件13松开基板P，从而重新调整基板P相对于两个夹爪组件13的位置。

值得一提的是，在具体的应用中，纵向限位结构14还可以包含有一第一限位面14A，各个滑轨结构151包含有一第二限位面15A，第一限位面14A及第二限位面15A位于同一平面。当夹爪组件13夹持基板P时，第一限位面14A及两个第二限位面15A能对应抵靠于基板P的一宽侧面，而第一限位面14A及两个第二限位面15A能限制基板P于一前后方向(即图5所示坐标的Z轴方向)的活动范围。透过第一限位面14A及第二限位面15A的设计，将可确保被两个夹爪组件13夹持时，并非呈现为歪斜的状态。

另外，纵向限位结构14还可以包含有一第三限位面14B，第三限位面14B可以是垂直于第一限位面14A；各个滑轨结构151包含有一第四限位面15B，第四限位面15B可以是垂直于第二限位面15A；第三限位面14B及第四限位面15B位于同一平面。当夹爪组件13夹持基板P时，第三限位面14B及两个第四限位面15B能对应抵靠于基板P的一窄侧面，而第三限位面14B及两个第四限位面15B能共同限制基板P于纵向方向(即图5所示坐标的Y轴方向)的活动范围。透过第三限位面14B及第四限位面15B的设计，将可确保被两个夹爪组件13夹持时，并非呈现为歪斜的状态。

依上所述，用户可以透过上料装置1A、1B及开关单元12的相互配合，以使基板P被正确地夹持于上料装置1A、1B上，而后移载装置D31、D32被控制以将上料装置1A、1B上的基板P取下时，将不容易发生错误。具体来说，移载装置D31、D32在夹持相对应的上料装置1A、1B上的基板P时，基本上是依据预定的动作路径动作，若基板P未被夹持于上料装置1A、1B正确的位置上，则在移载装置D31、D32沿预定的动作路径动作时，将可能发生移载装置D31、D32无法正确夹持基板P的问题，甚至是导致基板P掉落的问题。

值得一提的是，在实际应用中，处理装置D1是电性连接各移载装置D31、D32及各上料装置1A、1B，而处理装置D1控制移载装置D31、D32将上料装置1A、1B的基板P，移载至相对应的制程机台D21、D22的流程可以是：处理装置D1先控制移载装置D31、D32移动至上料装置1A、1B的周边；而后，处理装置D1将控制移载装置D31、D32夹持设置于上料装置1A、1B的基板P；接着，处理装置D1将控制上料装置1A、1B的两个夹爪组件13不再夹持基板P；最后，处理装置D1控制移载装置D31、D32将基板P移载至制程机台D21、D22。

综上所述，本实用新型的基板处理设备及上料机台1A、1B，让相关人员可以将特定的基板，安插于既有的生产流程中的特定制程机台D21、D22中，而使特定的基板直接由特定制程机台D21、D22开始进行相关制程作业。如此便于相关研发人员对基板P进行相关的试验，且由于基板P是直接进入生产线中的制程机台D21、D22中，因此，基板P完成相关试验后的结果的可靠度，将相对高于利用独立于生产线的小型设备所进行试验所得的结果的可靠度。

以上所述仅为本实用新型的较佳可行实施例，非因此局限本实用新型的专利范围，故凡是运用本实用新型说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种基板处理设备，其特征在于，所述基板处理设备包含：

一处理装置；

多个制程机台，其分别连接所述处理装置，各个所述制程机台用以对基板进行一预定制程作业；多个所述制程机台中的其中一个所述制程机台用以对基板进行的所述预定制程作业为一喷涂作业，所述喷涂作业是将涂料喷涂于基板，或者，多个所述制程机台中的其中一个所述制程机台用以对基板进行的所述预定制程作业为一烘烤作业，所述烘烤作业是使基板于一预定温度中停留一预定时间；

至少一上料机台，其邻近于任一个所述制程机台的基板进入位置设置，所述上料机台包含：

一上料装置，其连接所述处理装置，所述上料装置包含：

至少一夹爪组件，其能被控制以夹持基板，所述夹爪组件包含两个夹臂，至少一个所述夹臂能被所述处理装置控制而相对于另一个所述夹臂移动；

一开关单元，其连接所述夹爪组件，所述开关单元能被操作而控制两个所述夹臂彼此相对移动，而使所述夹爪组件夹持基板或使所述夹爪组件松开其所夹持的基板；

一移载装置，其邻近于任一个所述制程机台的基板进入位置设置，所述移载装置连接所述处理装置，所述移载装置能被所述处理装置控制以将所述上料装置所夹持的基板，由所述上料装置所邻近的所述制程机台的基板进入位置移入所述制程机台中。

2.依据权利要求1所述的基板处理设备，其特征在于，所述上料装置包含两个所述夹爪组件，所述上料装置还包含一纵向限位机构，所述纵向限位机构位于两个所述夹爪组件之间，所述纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于所述夹爪组件于一纵向方向的活动范围。

3.依据权利要求1所述的基板处理设备，其特征在于，所述上料装置包含两个所述夹爪组件及两个横向限位机构，两个所述夹爪组件彼此间隔地设置；两个所述横向限位机构设置于两个所述夹爪组件的一侧，而两个所述夹爪组件位于两个所述横向限位机构之间；各个所述横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，所述滑块可滑动地设置于所述滑轨结构，而所述滑块能被操作以于所述滑轨结构滑动；各个所述滑轨结构包含有一刻度标示结构，所述刻度标示结构用以提供用户辨识所述滑块相对于所述滑轨结构的位置；其中，当所述夹爪组件夹持基板时，两个所述滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边。

4.依据权利要求1所述的基板处理设备，其特征在于，所述上料装置包含两个所述夹爪组件，所述上料装置还包含一纵向限位机构，所述纵向限位机构位于两个所述夹爪组件之间，所述纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于所述夹爪组件于一纵向方向的活动范围；所述上料装置包含两个所述夹爪组件及两个横向限位机构，两个所述夹爪组件彼此间隔地设置；两个所述横向限位机构设置于两个所述夹爪组件的一侧，而两个所述夹爪组件位于两个所述横向限位机构之间；各个所述横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，所述滑块可滑动地设置于所述滑轨结构，而所述滑块能被操作以于所述滑轨结构滑动；各个所述滑轨结构包含有一刻度标示结构，所述刻度标示结构用以提供用户辨识所述滑块相对于所述滑轨结构的位置；其中，当所述夹爪组件夹持基板时，两个所述滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边；其中，所述纵向限位机构包含有一第一限位面，各个所述滑轨结构包含有一第二限位面，所述第一限位面及所述第二限位面位于同一平面；所述夹爪组件夹持基板时，所述第一限位面及两个所述限位面对应抵靠于基板的一宽侧面，而所述第一限位面及两个所述第二限位面能限制基板相对于所述夹爪组件于一前后方向的活动范围。

5.依据权利要求3或4所述的基板处理设备，其特征在于，各个所述横向限位机构还包含一操作件，所述操作件包含一第一锁固结构；各个所述滑轨结构的一侧内凹形成有一滑槽，所述滑轨结构对应于所述滑槽还包含有一穿孔，所述穿孔贯穿所述滑轨结构设置，而所述穿孔与至少一部分的所述滑槽相互连通，所述滑块设置于所述滑槽，且所述滑块包含一第二锁固结构；所述操作件的所述第一锁固结构能通过所述穿孔而与位于所述滑槽中的所述滑块的所述第二锁固结构相互锁固，以限制所述滑块相对于所述滑轨结构的活动范围。

6.一种上料机台，其特征在于，所述上料机台用以邻近于一基板处理设备的其中一个制程机台的基板进入位置设置，制程机台用以对基板进行一喷涂作业或一烘烤作业，所述上料机台包含：

一上料装置，其包含：

至少一夹爪组件，其能被控制以夹持基板，所述夹爪组件包含两个夹臂，至少一个所述夹臂能被控制而相对于另一个所述夹臂移动；

一开关单元，其连接所述夹爪组件，所述开关单元能被操作而控制两个所述夹臂彼此相对移动，以使所述夹爪组件夹持基板或使所述夹爪组件松开其所夹持的基板；

一移载装置，其能被控制以将所述上料装置所夹持的基板，由所述上料装置所邻近的制程机台的基板进入位置移入制程机台中。

7.依据权利要求6所述的上料机台，其特征在于，所述上料装置包含两个所述夹爪组件，所述上料装置还包含一纵向限位机构，所述纵向限位机构位于两个所述夹爪组件之间，所述纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于所述夹爪组件于一纵向方向的活动范围。

8.依据权利要求6所述的上料机台，其特征在于，所述上料装置包含两个所述夹爪组件及两个横向限位机构，两个所述夹爪组件彼此间隔地设置；两个所述横向限位机构设置于两个所述夹爪组件的一侧，而两个所述夹爪组件位于两个所述横向限位机构之间；各个所述横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，所述滑块可滑动地设置于所述滑轨结构，而所述滑块能被操作以于所述滑轨结构滑动；各个所述滑轨结构包含有一刻度标示结构，所述刻度标示结构用以提供用户辨识所述滑块相对于所述滑轨结构的位置；其中，当所述夹爪组件夹持基板时，两个所述滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边。

9.依据权利要求6所述的上料机台，其特征在于，所述上料装置包含两个所述夹爪组件，所述上料装置还包含一纵向限位机构，所述纵向限位机构位于两个所述夹爪组件之间，所述纵向限位机构用以提供基板抵靠，以限制基板相对于所述夹爪组件于一纵向方向的活动范围；所述上料装置包含两个所述夹爪组件及两个横向限位机构，两个所述夹爪组件彼此间隔地设置；两个所述横向限位机构设置于两个所述夹爪组件的一侧，而两个所述夹爪组件位于两个所述横向限位机构之间；各个所述横向限位机构包含一滑轨结构及一滑块，所述滑块可滑动地设置于所述滑轨结构，而所述滑块能被操作以于所述滑轨结构滑动；各个所述滑轨结构包含有一刻度标示结构，所述刻度标示结构用以提供用户辨识所述滑块相对于所述滑轨结构的位置；其中，当所述夹爪组件夹持基板时，两个所述滑块能被操作以分别抵靠于基板彼此相反的两侧边；其中，所述纵向限位机构包含有一第一限位面，各个所述滑轨结构包含有一第二限位面，所述第一限位面及所述第二限位面位于同一平面；所述夹爪组件夹持基板时，所述第一限位面及两个所述限位面对应抵靠于基板的一宽侧面，而所述第一限位面及两个所述第二限位面能限制基板相对于所述夹爪组件于一前后方向的活动范围。

10.依据权利要求8或9所述的上料机台，其特征在于，各个所述横向限位机构还包含一操作件，所述操作件包含一第一锁固结构；各个所述滑轨结构的一侧内凹形成有一滑槽，所述滑轨结构对应于所述滑槽还包含有一穿孔，所述穿孔贯穿所述滑轨结构设置，而所述穿孔与至少一部分的所述滑槽相互连通，所述滑块设置于所述滑槽，且所述滑块包含一第二锁固结构；所述操作件的所述第一锁固结构能通过所述穿孔而与位于所述滑槽中的所述滑块的所述第二锁固结构相互锁固，以限制所述滑块相对于所述滑轨结构的活动范围。

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