CN209803190U - 一种方便上样的晶圆探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台，旨在提供一种方便上样的晶圆探针台，其技术方案要点是包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，机箱内竖向设有升降丝杠，升降丝杠的底端转动连接在机箱内，机箱内设有升降台，升降丝杠穿过升降台，升降丝杠与升降台之间螺纹连接，机箱的顶部设有驱动电机，驱动电机的输出轴同轴连接于升降丝杠。本实用新型通过升降台与升降丝杠的配合，工作人员无需将晶圆盒直接放入机箱内，只需要将晶圆盒放置在升降台上，降低了人工保持水平时的难度，以此达到了降低上样难度的优点。

Description

一种方便上样的晶圆探针台

技术领域

本实用新型涉及晶圆探针台，特别涉及一种方便上样的晶圆探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。

在测试前，需要将装有晶圆的晶圆盒放入探针台的机箱内，机箱的一侧设有机械手，机械手抓取晶圆盒中的晶圆进行下一步的检测工作。而现有技术中的机箱通常为具有一定深度的机箱，工作人员在下放晶圆盒时，为了防止晶圆从晶圆盒中漏出，通常需要保持晶圆盒水平，如果稍有不慎就会导致晶圆从晶圆盒漏出，不方便工人操作。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种方便上样的晶圆探针台，具有降低上样难度的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种方便上样的晶圆探针台，包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，所述机箱内竖向设有升降丝杠，所述升降丝杠的底端转动连接在机箱内，所述机箱内设有升降台，所述升降丝杠穿过升降台，所述升降丝杠与升降台之间螺纹连接，所述机箱的顶部设有驱动电机，所述驱动电机的输出轴同轴连接于升降丝杠。

通过采用上述技术方案，在需要将晶圆盒放入机箱内时，启动驱动电机，驱动电机驱动升降丝杠转动，升降丝杠与升降台之间螺纹配合，从而促使升降台上升。当升降台的顶面高于机箱的顶部时，工作人员将晶圆盒放置在升降台上，此时再次启动驱动电机，驱动电机促使升降台下降，完成了将晶圆盒放入机箱内的工作。本实用新型相比于现有技术，工作人员无需将晶圆盒直接放入机箱内，只需要将晶圆盒放置在升降台上，降低了人工保持水平时的难度，以此达到了降低上样难度的优点。

进一步的，所述机箱内竖向设有导向杆，所述导向杆穿设在升降台长度方向的两侧。

通过采用上述技术方案，导向杆的设置提高了升降台在升降过程中的稳定性。

进一步的，所述升降台包括水平设置的支撑板和安装板，所述安装板相对设置在支撑板的两侧，所述支撑板和安装板之间焊接有侧板，所述安装板高于支撑板，所述导向杆和升降丝杠穿过安装板。

通过采用上述技术方案，支撑板高于安装板，在升降台上升的过程中，支撑板会提前漏出机箱的顶部，以此减少了升降丝杠的输送行程，从而降低了驱动电机的安装高度，降低了本实用新型的空间占用率。

进一步的，所述支撑板上开有滑移槽，所述滑移槽沿着升降台的长度方向相对开设有两条，所述滑移槽的两端分别滑移连接有抵触块，同一滑移槽内的两个抵触块之间连接有夹紧拉簧。

通过采用上述技术方案，晶圆盒放置在支撑板上时，抵触块依靠夹紧弹簧的拉力互相靠近，从而夹紧晶圆盒，以此实现了在支撑板上稳定支撑晶圆盒的效果。

进一步的，同一滑移槽内的两个抵触块的相对面上分别铺设有柔性橡胶层。

通过采用上述技术方案，柔性橡胶层一方面提高了抵触块表面的摩擦力，从而能够更加稳定地夹紧晶圆盒，另一方面柔性橡胶层具有弹性，降低了抵触块压花晶圆盒表面的可能性。

进一步的，所述导向杆的杆身上套设有缓冲压簧，所述缓冲压簧位于机箱的箱底和安装板之间。

通过采用上述技术方案，缓冲压簧具有缓冲的功能，在升降台下降的过程中，能够使得升降台更加平稳地下降，同时缓冲弹簧也能降低来自于检测台的振动，提高了晶圆盒在机箱内的稳定性。

进一步的，所述顶板与侧板之间、所述侧板与安装板之间分别固定连接有加强肋板。

通过采用上述技术方案，加强肋板提高了升降台的结构强度，在支撑晶圆盒时，能够更加稳定，降低了其产生形变的可能性。

进一步的，所述滑移槽的中部向下贯通，两侧滑移槽贯通的部位之间开有下压口，所述下压口内设有下压杆，所述下压杆的两端压在夹紧拉簧的上方，所述下压杆上固定连接有承压杆，所述承压杆垂直于支撑台。

通过采用上述技术方案，在支撑台上放置晶圆盒时，晶圆盒的重力促使下压杆下移，下压杆在下移的过程中，夹紧弹簧产生形变，从而拉动抵触块互相靠近，互相靠近的抵触块抵触在晶圆盒的侧面，从而实现对晶圆盒的夹紧。下压杆和承压杆的配合使得抵触块能够通过晶圆盒的重力自动抵紧。

进一步的，所述承压杆上螺纹连接有调节套。

通过采用上述技术方案，调节套起到了调节承压杆高度的效果，从而能够对夹紧拉簧的形变进行控制，当晶圆盒的规格较小时，升高调节套，增大夹紧拉簧的形变量，以此达到减少抵触块之间距离的效果，从而夹紧规格较小的晶圆盒。当晶圆盒的规格较大时，降低调节套，减小夹紧拉簧的形变量，以此达到增大抵触块之间距离的效果，从而夹紧规格较大的晶圆盒。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：通过升降台与升降丝杠的配合，工作人员无需将晶圆盒直接放入机箱内，只需要将晶圆盒放置在升降台上，降低了人工保持水平时的难度，以此达到了降低上样难度的优点。

附图说明

图1是用于体现本实用新型的结构示意图；

图2是用于体现机箱内部结构的剖视图；

图3是用于体现升降台的结构示意图。

图中，1、检测台；2、机箱；3、驱动电机；31、升降丝杠；4、升降台；41、支撑板；411、滑移槽；42、安装板；43、侧板；44、下压口；45、加强肋板；5、导向杆；51、缓冲压簧；6、抵触块；61、夹紧拉簧；62、柔性橡胶层；7、下压杆；71、承压杆；711、调节套。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：一种方便上样的晶圆探针台，参照图1，包括检测台1和设置在检测台1一侧的机箱2。机箱2用于放置装有晶圆的晶圆盒，检测台1用于检测晶圆盒中的晶圆。

参照图1，机箱2内竖向设有升降丝杠31，升降丝杠31的底端转动连接在机箱2内，机箱2内设有升降台4（参照图3），升降丝杠31穿过升降台4，升降丝杠31与升降台4之间螺纹连接，机箱2的顶部设有驱动电机3，驱动电机3的输出轴同轴连接于升降丝杠31。驱动电机3驱动升降丝杠31转动，升降丝杠31与升降台4之间螺纹连接，从而使得升降台4在机箱2内产生上升或下降的运动。当需要上样时，启动驱动电机3，使得升降台4上升，直至漏出机箱2的顶部，接着工作人员将装有晶圆的晶圆盒放置在升降台4上，工作人员利用驱动电机3的驱动力下降升降台4，从而使得晶圆盒进入机箱2内。

参照图3，升降台4包括水平设置的支撑板41和安装板42，安装板42设置有两块，两块安装板42相对设置在支撑板41的两侧。支撑板41和安装板42之间焊接有侧板43，安装板42高于支撑板41，升降丝杠31螺纹连接于安装板42。升降丝杠31在带动升降台4上升的过程中，支撑板41能够首先从机箱2（参照图1）内漏出，从而减短了升降丝杠31的输送路径，降低了驱动电机3的安装高度。支撑板41与侧板43之间、侧板43与安装板42之间分别固定连接有加强肋板45。加强肋板45的设置提高了升降台4的结构强度，使得升降台4能够更加稳定地支撑晶圆盒，降低了升降台4产生变形的可能性。

参照图2，为了提高升降台4（参照图3）在上升和下降过程中的平稳性，在机箱2内竖向设有导向杆5，导向杆5穿设在升降台4长度方向的两侧，其与安装板42之间滑移连接。在导向杆5的杆身上套设有缓冲压簧51，缓冲压簧51位于机箱2的箱底和安装板42之间。

参照图3，当升降台4下降时，升降台4的安装板42抵触在缓冲压簧51（参照图2）上，从而使得升降台4的下降过程更加缓和。同时由于检测台1（参照图1）在工作过程中产生的振动会促使机箱2（参照图1）跟随振动，缓冲压簧51的设置能够缓和来自于机箱2的振动，从而使得升降台4能够更加稳定地支撑晶圆盒，降低了晶圆由于振动从晶圆盒内被抖落出来的可能性。

参照图3，支撑板41上开有滑移槽411，滑移槽411沿着升降台4的长度方向相对开设有两条。滑移槽411的两端分别滑移连接有抵触块6，同一滑移槽411内的两个抵触块6之间连接有夹紧拉簧61。在支撑板41上放置晶圆盒前，将抵触块6朝向互相远离的两侧拉开，此时夹紧拉簧61具有回复力，工作人员将晶圆盒放置在支撑板41上，夹紧拉簧61的回复力使得抵触块6夹紧晶圆盒，以此达到稳定晶圆盒的效果。为了防止抵触块6夹坏晶圆盒，同一滑移槽411内的两个抵触块6的相对面上分别铺设有柔性橡胶层62。

参照图3，滑移槽411的中部向下贯通，两侧滑移槽411贯通的部位之间开有下压口44，下压口44内设有下压杆7，下压杆7的两端压在夹紧拉簧61的上方，下压杆7和夹紧拉簧61之间通过钢丝缠紧。下压杆7上固定连接有承压杆71，承压杆71垂直于支撑台。承压杆71上螺纹连接有调节套711。

参照图3，在放置晶圆盒时，晶圆盒的重力使得承压杆71下移，承压杆71带动下压杆7下移，此时夹紧拉簧61产生向下的形变，从而具备弹性回复力。夹紧拉簧61的弹性回复力促使抵触块6互相靠近，从而达到了在支撑板41上稳定晶圆盒的效果。调节套711与承压杆71之间螺纹连接，工作人员能够根据晶圆盒的规格尺寸调高或者调低承压杆71，从而延长或减少夹紧拉簧61的变形量，以此使得抵触块6的移动距离产生变化。

具体实施过程：在需要放置晶圆盒时，启动驱动电机3，驱动电机3带动升降丝杠31转动，升降丝杠31与升降台4之间螺纹配合，从而使得升降台4锁着升降丝杠31的转动而上升。

当升降台4的顶面漏出机箱2的顶部后，将晶圆盒放置在支撑板41上，晶圆盒的重力促使下压杆7下移，从而使得夹紧拉簧61产生形变，形变的的夹紧拉簧61具有弹性力，其弹性力拉动抵触块6相互靠近，并夹紧在晶圆盒的侧面。

在晶圆盒放置完成后，启动驱动电机3，驱动电机3促使升降丝杠31带动升降台4下降，从而完成将晶圆盒放入机箱2的工作。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (9)

1.一种方便上样的晶圆探针台，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(2)，其特征在于：所述机箱(2)内竖向设有升降丝杠(31)，所述升降丝杠(31)的底端转动连接在机箱(2)内，所述机箱(2)内设有升降台(4)，所述升降丝杠(31)穿过升降台(4)，所述升降丝杠(31)与升降台(4)之间螺纹连接，所述机箱(2)的顶部设有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出轴同轴连接于升降丝杠(31)。

2.根据权利要求1所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述机箱(2)内竖向设有导向杆(5)，所述导向杆(5)穿设在升降台(4)长度方向的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述升降台(4)包括水平设置的支撑板(41)和安装板(42)，所述安装板(42)相对设置在支撑板(41)的两侧，所述支撑板(41)和安装板(42)之间焊接有侧板(43)，所述安装板(42)高于支撑板(41)，所述导向杆(5)和升降丝杠(31)穿过安装板(42)。

4.根据权利要求3所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述支撑板(41)上开有滑移槽(411)，所述滑移槽(411)沿着升降台(4)的长度方向相对开设有两条，所述滑移槽(411)的两端分别滑移连接有抵触块(6)，同一滑移槽(411)内的两个抵触块(6)之间连接有夹紧拉簧(61)。

5.根据权利要求4所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：同一滑移槽(411)内的两个抵触块(6)的相对面上分别铺设有柔性橡胶层(62)。

6.根据权利要求3所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述导向杆(5)的杆身上套设有缓冲压簧(51)，所述缓冲压簧(51)位于机箱(2)的箱底和安装板(42)之间。

7.根据权利要求3所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述支撑板(41)与侧板(43)之间、所述侧板(43)与安装板(42)之间分别固定连接有加强肋板(45)。

8.根据权利要求4所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述滑移槽(411)的中部向下贯通，两侧滑移槽(411)贯通的部位之间开有下压口(44)，所述下压口(44)内设有下压杆(7)，所述下压杆(7)的两端压在夹紧拉簧(61)的上方，所述下压杆(7)上固定连接有承压杆(71)，所述承压杆(71)垂直于支撑台。

9.根据权利要求8所述的一种方便上样的晶圆探针台，其特征在于：所述承压杆(71)上螺纹连接有调节套(711)。