CN209681421U - 一种晶圆的激光冷切装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆的激光冷切装置，包括激光切割箱，所述激光切割箱上壁左右两端对称设置有电机，所述电机远离激光切割箱一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮，所述激光切割箱上壁中部位置设置有鼓风机，所述激光切割箱内腔上部位置对称设置有丝杆，所述丝杆位于激光切割箱内腔顶部位置对称设置有固定杆，所述丝杆位于激光切割箱内腔顶端位置与固定杆转动连接，所述丝杆外部位置设置有调节块，本实用新型涉及晶圆激光切割设备技术领域，具体为一种晶圆的激光冷切装置，达到了解决传统的激光切割切割效率低下，同时切割过程产生污染的烟气，切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理问题的目的。

Description

一种晶圆的激光冷切装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆激光切割设备技术领域，具体为一种晶圆的激光冷切装置。

背景技术

激光切割是利用经聚焦的高功率密度激光束照射工件，使被照射的材料迅速熔化、汽化、烧蚀或达到燃点，同时借助与光束同轴的高速气流吹除熔融物质，从而实现将工件割开。激光切割属于热切割方法之一。

大多数有机与无机材料都可以用激光切割。在工业制造系统占有份量很重的金属加工业，许多金属材料，不管它是什么样的硬度，都可以进行无变形切割。当然，对高反射率材料，如金、银、铜和铝合金，它们也是好的传热导体，因此激光切割很困难，甚至不能切割。激光切割无毛刺、皱折、精度高，优于等离子切割。对许多机电制造行业来说，由于微机程序控制的现代激光切割系统能方便切割不同形状与尺寸的工件，它往往比冲切、模压工艺更被优先选用；尽管它加工速度还慢于模冲，但它没有模具消耗，无须修理模具，还节约更换模具时间，从而节省了加工费用，降低了生产成本，所以从总体上考虑是更合算的。

传统的激光切割切割效率低下，同时切割过程产生污染的烟气，切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆的激光冷切装置，解决传统的激光切割切割效率低下，同时切割过程产生污染的烟气，切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆的激光冷切装置，包括激光切割箱，所述激光切割箱上壁左右两端对称设置有电机，所述电机远离激光切割箱一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮，所述激光切割箱上壁中部位置设置有鼓风机，所述激光切割箱内腔上部位置对称设置有丝杆，所述丝杆位于激光切割箱内腔顶部位置对称设置有固定杆，所述丝杆位于激光切割箱内腔顶端位置与固定杆转动连接，所述丝杆外部位置设置有调节块，所述激光切割箱内腔且位于丝杆上部位置设置有滑竿，所述滑竿外壁位置设置有滑块，所述调节块上部外壁位置固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆位于滑块一端与滑块固定连接，所述调节块底部位置固定连接有第二连接杆，所述固定杆底部位置固定连接有挡板，所述第二连接杆贯穿挡板底部位置固定连接有激光切割头，所述激光切割箱中部位置设置有通气管，所述通气管位于挡板下部位置固定连接有出气头，所述激光切割箱内腔靠近中部位置设置有固定框，所述固定框上部位置对称设置有固定台，所述固定台上壁位置设置有固定架，所述激光切割箱内腔底部位置设置有收纳箱。

优选的，所述激光切割箱左右两侧外壁靠近中部位置对称设置有抽气泵，所述抽气泵出气口通过导管连通有空气净化箱。

优选的，所述收纳箱左侧上部位置设置有进水口，所述收纳箱右侧底部位置设置有出水口。

优选的，所述丝杆位于激光切割箱外部一端固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过皮带传动连接。

优选的，所述电机外部位置设置有密封罩，所述激光切割箱底部位置设置有滚轮。

优选的，所述固定框位于固定台外部为镂空结构。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种晶圆的激光冷切装置。具备以下有益效果：

(1)、该晶圆的激光冷切装置，通过设置有两组工作电机和激光切割头，能够同时对两组原料进行加工，达到了提升工作效率的目的。

(2)、该晶圆的激光冷切装置，通过通气管位于挡板下部位置固定连接有出气头，出气头吹入的气体能够降低切割头的温度，激光切割箱内腔底部位置设置有收纳箱，激光切割箱左右两侧外壁靠近中部位置对称设置有抽气泵，所述抽气泵出气口通过导管连通有空气净化箱，抽气泵能够抽取设备内部的烟气并加以净化，达到了降低激光切割头温度，吸收净化切割产生的烟气的目的。

附图说明

图1本实用新型正式剖视图；

图2本实用新型局部放大图；

图3本实用新型固定框结构图。

图中1激光切割箱、2电机、3第一皮带轮、4鼓风机、5丝杆、6固定杆、7调节块、8滑竿、9滑块、10第一连接杆、11第二连接杆、12挡板、13激光切割头、14通气管、15出气头、16固定框、17固定台、18固定架、19收纳箱、20抽气泵、21空气净化箱、22进水口、23出水口、24第二皮带轮、25密封罩、26滚轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆的激光冷切装置，包括激光切割箱1，激光切割箱1上壁左右两端对称设置有电机2，电机2远离激光切割箱1一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮3，激光切割箱1上壁中部位置设置有鼓风机4，激光切割箱1内腔上部位置对称设置有丝杆5，丝杆5位于激光切割箱1内腔顶部位置对称设置有固定杆6，丝杆5位于激光切割箱1内腔顶端位置与固定杆6转动连接，丝杆5外部位置设置有调节块7，激光切割箱1内腔且位于丝杆5上部位置设置有滑竿8，滑竿8外壁位置设置有滑块9，调节块7上部外壁位置固定连接有第一连接杆10，第一连接杆10位于滑块9一端与滑块9固定连接，调节块7底部位置固定连接有第二连接杆11，固定杆6底部位置固定连接有挡板12，第二连接杆11贯穿挡板12底部位置固定连接有激光切割头13，激光切割箱1中部位置设置有通气管14，通气管14位于挡板12下部位置固定连接有出气头15，激光切割箱1内腔靠近中部位置设置有固定框16，固定框16上部位置对称设置有固定台17，固定台17上壁位置设置有固定架18，激光切割箱1内腔底部位置设置有收纳箱19，激光切割箱1左右两侧外壁靠近中部位置对称设置有抽气泵20，抽气泵20出气口通过导管连通有空气净化箱21，收纳箱19左侧上部位置设置有进水口22，收纳箱19右侧底部位置设置有出水口23，丝杆5位于激光切割箱1外部一端固定连接有第二皮带轮24，第一皮带轮3和第二皮带轮24通过皮带传动连接，电机2外部位置设置有密封罩25，激光切割箱1底部位置设置有滚轮26，固定框16位于固定台17外部为镂空结构，达到了解决传统的激光切割切割效率低下，同时切割过程产生污染的烟气，切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理问题的目的。

使用时，原料经过固定架18固定在固定台17上，启动激光切割头13和电机2通过第一皮带轮3和第二皮带轮24带动丝杆5转动，丝杆5带动调节块7，调节块7带动激光切割头13移动，鼓风机14吹入的气体能够降低激光切割头13的温度，同时能够吹掉切割产生的碎屑，抽气泵20能够抽取设备内部的烟气，通过空气净化箱21净化排放，切割产生的碎屑，经过出气头15吹下，能够防止碎屑粘附设备内部，经过固定框16掉落到收纳箱19，固定框16为镂空结构方便碎屑掉落，收纳箱19内的碎屑经过进水口23进入的水流冷却，经过出水口23流出，达到了解决传统的激光切割切割效率低下，同时切割过程产生污染的烟气，切割的碎屑由于高温容易粘附在设备内部不容易清理问题的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆的激光冷切装置，包括激光切割箱(1)，其特征在于：所述激光切割箱(1)上壁左右两端对称设置有电机(2)，所述电机(2)远离激光切割箱(1)一侧输出轴顶端位置设置有第一皮带轮(3)，所述激光切割箱(1)上壁中部位置设置有鼓风机(4)，所述激光切割箱(1)内腔上部位置对称设置有丝杆(5)，所述丝杆(5)位于激光切割箱(1)内腔顶部位置对称设置有固定杆(6)，所述丝杆(5)位于激光切割箱(1)内腔顶端位置与固定杆(6)转动连接，所述丝杆(5)外部位置设置有调节块(7)，所述激光切割箱(1)内腔且位于丝杆(5)上部位置设置有滑竿(8)，所述滑竿(8)外壁位置设置有滑块(9)，所述调节块(7)上部外壁位置固定连接有第一连接杆(10)，所述第一连接杆(10)位于滑块(9)一端与滑块(9)固定连接，所述调节块(7)底部位置固定连接有第二连接杆(11)，所述固定杆(6)底部位置固定连接有挡板(12)，所述第二连接杆(11)贯穿挡板(12)底部位置固定连接有激光切割头(13)，所述激光切割箱(1)中部位置设置有通气管(14)，所述通气管(14)位于挡板(12)下部位置固定连接有出气头(15)，所述激光切割箱(1)内腔靠近中部位置设置有固定框(16)，所述固定框(16)上部位置对称设置有固定台(17)，所述固定台(17)上壁位置设置有固定架(18)，所述激光切割箱(1)内腔底部位置设置有收纳箱(19)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的激光冷切装置，其特征在于：所述激光切割箱(1)左右两侧外壁靠近中部位置对称设置有抽气泵(20)，所述抽气泵(20)出气口通过导管连通有空气净化箱(21)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的激光冷切装置，其特征在于：所述收纳箱(19)左侧上部位置设置有进水口(22)，所述收纳箱(19)右侧底部位置设置有出水口(23)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆的激光冷切装置，其特征在于：所述丝杆(5)位于激光切割箱(1)外部一端固定连接有第二皮带轮(24)，所述第一皮带轮(3)和第二皮带轮(24)通过皮带传动连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆的激光冷切装置，其特征在于：所述电机(2)外部位置设置有密封罩(25)，所述激光切割箱(1)底部位置设置有滚轮(26)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆的激光冷切装置，其特征在于：所述固定框(16)位于固定台(17)外部为镂空结构。