CN206382971U - 数控晶片磨边机 - Google Patents
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Abstract
数控晶片磨边机，在其工作台上安装有横移盘，在横移盘上方中部安装有晶片的负压固定台，负压固定台侧面的抽气管与真空泵连接，横移盘的下方的横移螺母套装在横移丝杆上；在竖支架上安装的纵向滑杆和纵移丝杆上安装有纵移板，纵移丝杆一端连接在纵移电机上，纵移板上加工有竖向滑槽，竖向滑槽上安装有竖移板，竖移板上固定安装有打磨电机，竖移板后端的竖移螺母套装在竖移丝杆上，竖移丝杆后端安装有竖移电机，在横移丝杆后端安装有横移电机，横移电机、竖移电机、纵移电机、打磨电机和真空泵的控制线连接在数控装置上。采用本技术，用数控装置控制横移电机和纵移电机的转动量，实现打磨轮绕晶片的圆周运动，实现晶片磨边的自动化。
Description
技术领域
本技术属于晶片处理设备技术领域，具体涉及一种数控晶片磨边机。
背景技术
当晶片从晶棒上切割下来时，晶片边缘带有锋利的毛刺，需要将毛刺磨去，传统的毛刺打磨方法是人工手持砂轮进行打磨，打磨的速度较慢，劳动强度较大。为此市场上研发出一种晶片磨边机，专利申请号：201220214766.6，以提高晶片边缘的打磨的速度，降低劳动强度。该专利中，工人通过双手同时操作机箱的侧面的工作台平移手轮和纵移手轮，使晶片的固定座在打磨头下圆形转动，实现对晶片边缘的打磨，这种机械在使用时，对操作人员技术要求较高，工人生产时精力较为集中，体力消耗依然较大。
发明内容
针对现有技术中，晶片边缘在打磨时，缺乏专用的高效设备，打磨工作存在费力费时的问题，本实用新型提供一种数控晶片磨边机，解决现有技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是：一种数控晶片磨边机，该磨边机的机架由底座和竖支架组成，在底座上安装有工作台，在工作台上设计有横向滑槽，在横向滑槽上安装有横移盘，横移盘的侧面安装有出液管，在横移盘上方中部安装有晶片的负压固定台，负压固定台上方安装有冷却水喷头，在负压固定台侧面安装有抽气管，抽气管与真空泵连接，横移盘的下方安装有固定杆，固定杆下端的横移螺母套装在横移丝杆上；在竖支架上安装有水平的纵向滑杆和纵移丝杆，纵移丝杆一端连接在纵移电机上，纵向滑杆和纵移丝杆上安装有纵移板，纵移板上加工有竖向滑槽，竖向滑槽上安装有竖移板，竖移板上固定安装有打磨电机，打磨电机的转轴上安装打磨轮；竖移板的后端上方安装有竖移螺母，竖移螺母套装在竖移丝杆上，竖移丝杆两端的固定座安装在纵移板上，竖移丝杆后端安装有竖移电机，在横移丝杆后端安装有横移电机，横移电机、竖移电机、纵移电机、打磨电机和真空泵的控制线连接在数控装置上，操作板的信号线与数控装置连接，操作板安装在底座上的控制面板上。
采用本实用新型的技术方案，用数控装置控制横移电机和纵移电机的转动量，实现打磨轮绕晶片的圆周运动，通过竖移电机控制打磨头的高度，通过真空泵实现晶片在负压固定台上的固定，从而实现晶片磨边的全自动化，从而提高打磨效率，降低工人劳动强度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例，如图1所示：一种数控晶片磨边机，该磨边机的机架由底座6和竖支架27组成，在底座6上安装有工作台8，在工作台8上设计有横向滑槽7，在横向滑槽7上安装有横移盘10，横移盘10的侧面安装有出液管9，在横移盘10上方中部安装有晶片的负压固定台12，负压固定台12上方安装有冷却水喷头14，在负压固定台12侧面安装有抽气管29，抽气管29与真空泵1连接，横移盘10的下方安装有固定杆5，固定杆5下端的横移螺母4套装在横移丝杆3上；在竖支架27上安装有水平的纵向滑杆20和纵移丝杆26，纵移丝杆26一端连接在纵移电机25上，纵向滑杆20和纵移丝杆26上安装有纵移板21，纵移板21上加工有竖向滑槽22，竖向滑槽22上安装有竖移板24，竖移板24上固定安装有打磨电机15，打磨电机15的转轴上安装打磨轮28；竖移板24的后端上方安装有竖移螺母18，竖移螺母18套装在竖移丝杆17上，竖移丝杆17两端的固定座16安装在纵移板21上，竖移丝杆17后端安装有竖移电机19，在横移丝杆3后端安装有横移电机2，横移电机2、竖移电机19、纵移电机25、打磨电机15和真空泵1的控制线连接在数控装置23上，操作板11的信号线与数控装置23连接，操作板11安装在底座6上的控制面板13上。
Claims (1)
1.数控晶片磨边机，该磨边机的机架由底座（6）和竖支架（27）组成，在底座（6）上安装有工作台（8），在工作台（8）上设计有横向滑槽（7），在横向滑槽（7）上安装有横移盘（10），横移盘（10）的侧面安装有出液管（9），在横移盘（10）上方中部安装有晶片的负压固定台（12），负压固定台（12）上方安装有冷却水喷头（14），在负压固定台（12）侧面安装有抽气管（29），抽气管（29）与真空泵（1）连接，横移盘（10）的下方安装有固定杆（5），固定杆（5）下端的横移螺母（4）套装在横移丝杆（3）上；其特征在于：在竖支架（27）上安装有水平的纵向滑杆（20）和纵移丝杆（26），纵移丝杆（26）一端连接在纵移电机（25）上，纵向滑杆（20）和纵移丝杆（26）上安装有纵移板（21），纵移板（21）上加工有竖向滑槽（22），竖向滑槽（22）上安装有竖移板（24），竖移板（24）上固定安装有打磨电机（15），打磨电机（15）的转轴上安装打磨轮（28）；竖移板（24）的后端上方安装有竖移螺母（18），竖移螺母（18）套装在竖移丝杆（17）上，竖移丝杆（17）两端的固定座（16）安装在纵移板（21）上，竖移丝杆（17）后端安装有竖移电机（19），在横移丝杆（3）后端安装有横移电机（2），横移电机（2）、竖移电机（19）、纵移电机（25）、打磨电机（15）和真空泵（1）的控制线连接在数控装置（23）上，操作板（11）的信号线与数控装置（23）连接，操作板（11）安装在底座（6）上的控制面板（13）上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621465736.7U CN206382971U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 数控晶片磨边机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621465736.7U CN206382971U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 数控晶片磨边机 |
Publications (1)
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| CN206382971U true CN206382971U (zh) | 2017-08-08 |
Family
ID=59490082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621465736.7U Active CN206382971U (zh) | 2016-12-29 | 2016-12-29 | 数控晶片磨边机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206382971U (zh) |
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|---|---|---|---|---|
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| CN111451869A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-07-28 | 吴学彪 | 一种卡芯片加工设备 |
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2016
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Legal Events
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