CN206204403U - 一种蒸镀源喷嘴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，在喷嘴本体的内壁上设有散热结构，散热结构与内壁形成的表面积大于喷嘴本体外壁表面积，喷嘴本体的外径为R，所述的喷嘴本体的内径为r，所述喷射口的直径T‑(R‑T)/2<T<(R‑T)/2+T。本实用新型在保持原有相同孔径比的前提下，具备更大的内表面积，在单位面积辐射值一致的情况下，也就是说外界提供的加热功率一样时，本设计的蒸镀源喷嘴可以提供更大的热辐射，提升了蒸镀源喷嘴区域的温度，从而大大降低了有机材料凝结的可能性，有效防止有机材料堵塞，降低了材料劣化的风险。本设计，结构简单，但能产生非常好的效果，易于产业推广。
Description
技术领域
本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其是涉及一种蒸镀源的喷嘴。
背景技术
在平板显示技术中，有机发光二极管（Organic Light—Emitting Diode，OLED）显示器尤其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器（LCD）之后的第三代显示技术。按驱动方式，OLED分为被动式OLED（Passive Matrix OLED， PMOLED）及主动式OLED（Active Martix OLED，AMOLED），其中，PMOLED只能制作小尺寸、低分辨率的显示面板，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管（TFT）和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。
AMOLED在实现大尺寸方面使用了线性蒸镀源，其蒸镀源上部是由众多蒸镀源喷嘴（nozzle，用来控制有机材料蒸镀）排布而成，蒸镀源喷嘴是用来控制有机材料均匀分布。传统的蒸镀源喷嘴结构如附图1所示，存在有机材料蒸镀过程中材料堵塞现象，一般解决办法是提升加热功率，通过提升蒸镀源喷嘴本身的温度来防止有机材料凝结，改善有机材料堵塞蒸镀源喷嘴，但是通过提升加热功率会增加材料受高温后劣化风险，使AMOLED量产性变差。针对此，急需一种在不增加外在加热功率的前提下，提升蒸镀源喷嘴区域温度，以防止有机材料堵塞、降低材料劣化风险。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述技术问题提供了一种蒸镀源喷嘴，该装置解决了现有蒸镀源喷嘴的区域温度不够、易堵塞和劣化风险高等技术问题。
实用新型所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：一种蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，在喷嘴本体的内壁上设有散热结构，散热结构与内壁形成的表面积大于喷嘴本体外壁表面积。
优选的，所述的喷嘴本体的外壁横截面为圆形。
优选的，所述的散热结构为凸条，凸条均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。
优选的，所述的凸条的横截面为外圆弧状，两凸条之间的间距最大间距为0~0.3cm。
优选的，所述的散热结构为凹槽，凹槽均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。
优选的，所述的凹槽的横截面为内圆弧状，两凹槽之间的间距最大间距为0~0.3cm。
优选的，所述的散热结构为螺纹状，螺纹状均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。
优选的，所述的内螺纹两螺间距为0~0.3cm。
进一步优选的，所述的喷嘴本体的外径为R，所述的喷嘴本体的内径为r，所述喷射口的直径T -(R-T)/2<T <(R-T)/2+T。
本实用新型提供一种蒸镀源喷嘴，内壁上有众多凸起/凹槽/螺纹，相比传统内壁光滑的蒸镀源喷嘴，在保持原有相同孔径比的前提下，具备更大的内表面积，在单位面积辐射值一致的情况下，也就是说外界提供的加热功率一样时，本设计的蒸镀源喷嘴可以提供更大的热辐射，提升了蒸镀源喷嘴区域的温度，从而大大降低了有机材料凝结的可能性，有效防止有机材料堵塞，降低了材料劣化的风险。喷射口直径的优化，能有效提高蒸镀源喷嘴的热辐射。本设计，结构简单，但能产生非常好的效果，易于产业推广。
附图说明
图1为现有技术的整体结构示意图。
图2为本实用新型的实施例一的结构示意图。
具体实施方式
为了让本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步阐述。
具体实施例一，如图2所示，一种蒸镀源喷嘴，包括喷嘴本体1，所述的喷嘴本体包括内壁2和外壁3，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口4，在喷嘴本体的内壁上设有散热结构5，散热结构与内壁形成的表面积大于喷嘴本体外壁表面积。喷嘴本体的外壁横截面为圆形或矩形，具体的形状可以根据使用者需求来确定，本发明采用的是圆形。
喷嘴本体的外径为R，所述的喷嘴本体的内径为r，所述喷射口的直径T -(R-T)/2<T <(R-T)/2+T。
蒸镀源喷嘴内的散热结构为凸条，凸条均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。凸条的横截面为外圆弧状，两凸条之间的间距最大间距为0~0.3cm。
具体实施例二，与实施例1的结构不同点在散热结构，该实施例的散热结构为凹槽，凹槽均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构，凹槽的横截面为内圆弧状，两凹槽之间的间距最大间距为0~0.3cm。
具体实施例三，所述的散热结构为内螺纹状，内螺纹状均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构，所述的内螺纹两螺间距为0~0.3cm。
本实用新型提供一种蒸镀源喷嘴，内壁上有众多凸起/凹槽/螺纹，相比传统内壁光滑的蒸镀源喷嘴，在保持原有相同孔径比的前提下，具备更大的内表面积，在单位面积辐射值一致的情况下，也就是说外界提供的加热功率一样时，本设计的蒸镀源喷嘴可以提供更大的热辐射，提升了蒸镀源喷嘴区域的温度，从而大大降低了有机材料凝结的可能性，有效防止有机材料堵塞，降低了材料劣化的风险。喷射口直径的优化，能有效提高蒸镀源喷嘴的热辐射。本设计，结构简单，但能产生非常好的效果，易于产业推广。
以为本实用新型较佳的实现方式，需要说明的是，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种蒸镀源喷嘴，其特征在于：包括喷嘴本体，所述的喷嘴本体包括内壁和外壁，喷嘴本体为中空状，在喷嘴本体上设有喷射口，在喷嘴本体的内壁上设有散热结构，散热结构与内壁形成的表面积大于喷嘴本体外壁表面积。
2.根据权利要求1所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于： 所述的喷嘴本体的外壁横截面为圆形。
3.根据权利要求1所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的散热结构为凸条，凸条均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。
4.根据权利要求3所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的凸条的横截面为外圆弧状，两凸条之间的间距最大间距为0~0.3cm。
5.根据权利要求1所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的散热结构为凹槽，凹槽均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。
6.根据权利要求5所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的凹槽的横截面为内圆弧状，两凹槽之间的间距最大间距为0~0.3cm。
7.根据权利要求1所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的散热结构为内螺纹状，内螺纹状均匀设置在内壁上，与喷嘴本体为一体成型结构。
8.根据权利要求7所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的内螺纹两螺间距为0~0.3cm。
9.根据权利要求1~8任一项所述的蒸镀源喷嘴，其特征在于：所述的喷嘴本体的外径为R，所述的喷嘴本体的内径为r，所述喷射口的直径T -(R-T)/2<T <(R-T)/2+T。
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|---|---|---|---|---|
| CN107267921A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-10-20 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀坩埚及蒸镀装置 |
| CN110195210A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 坩埚、蒸发源及蒸镀设备 |
| KR20220015078A (ko) * | 2020-07-30 | 2022-02-08 | 주식회사 선익시스템 | 증착 입자를 분사하는 노즐 및 이를 포함하는 증착 장치 |
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