CN107267921A - 蒸镀坩埚及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及坩埚盖。所述坩埚盖具有喷嘴，所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上，且设于背离所述坩埚本体的一侧，用于喷出所述坩埚本体中的有机材料。所述喷嘴具有顶壁和内壁，所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧，所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间，以形成所述有机材料的输运通道。所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器，所述加热器用于产生热量，所述热量传导至所述内壁，所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，以增加所述内壁的热辐射量，以使所述内壁升温或保持温度，防止所述有机材料粘附于所述内壁。本发明还提供了一种蒸镀装置。本发明用于防止坩埚盖上的喷嘴堵口。

Description

蒸镀坩埚及蒸镀装置

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。

背景技术

在大尺寸的有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器的蒸镀制程方面，线蒸发源较点蒸发源有很大的优势，例如成膜均匀性好、材料利用率高等。线蒸发源是使用坩埚承装有机材料，坩埚口配有坩埚盖，坩埚盖上具有多个喷嘴，通过对坩埚进行加热，使其中的有机材料从喷嘴喷出至基板上成膜。由于喷嘴的口径较小，在蒸镀制程中，当升温速率异常，或者有机材料灰化严重时，会导致有机材料堵塞喷嘴口。而喷嘴堵口会严重影响膜厚均匀性，产生显示亮度不均匀等问题。而且，一旦喷嘴堵口，操作员必须停止蒸镀制程，关闭蒸镀装置并开腔处理，这样严重影响了显示面板的生产进度，增加人物力及时间成本。

发明内容

针对以上的问题，本发明的目的是提供一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，防止坩埚盖上的喷嘴堵口。

为了解决背景技术中存在的问题，一方面，本发明提供了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及设于所述坩埚本体上的坩埚盖，所述坩埚盖具有喷嘴，所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上，且设于背离所述坩埚本体的一侧，用于喷出所述坩埚本体中的有机材料，所述喷嘴具有顶壁和内壁，所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧，所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间，以形成所述有机材料的输运通道，所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器，所述加热器用于产生热量，所述热量传导至所述内壁，所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，以增加所述内壁的热辐射量，以使所述内壁升温或保持温度，防止所述有机材料粘附于所述内壁。

其中，所述坩埚盖具有底壁，所述底壁与所述顶壁相对设置，所述内壁连接于所述顶壁与所述底壁之间，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁与所述底壁的连接处形成第二端口，所述第一端口正对于所述第二端口，且所述第一端口的尺寸小于所述第二端口的尺寸。

其中，所述第二端口的尺寸是所述第一端口的尺寸的1.1～5倍。

其中，所述第一表面与所述喷嘴的轴向形成第一夹角，所述第一夹角为5°～90°。

其中，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁具有凹槽，所述第一表面位于所述凹槽内。

其中，所述凹槽的延伸方向与所述喷嘴的轴向一致或与所述喷嘴的轴向形成0°～5°的夹角。

其中，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁还具有凸起，所述第一表面位于所述凸起上。

其中，所述凸起的延伸方向与所述喷嘴的轴向一致或与所述喷嘴的轴向形成0°～5°的夹角。

其中，所述坩埚盖具有底壁，所述底壁与所述顶壁相对设置，所述内壁连接于所述顶壁与所述底壁之间，所述内壁与所述底壁的连接处形成第二端口，所述第二端口正对于所述第一端口，且所述第一端口的尺寸小于所述第二端口的尺寸。

另一方面，本发明还提供了一种蒸镀装置，包括上述任一实施方式所述的蒸镀坩埚。

相较于现有技术，本申请至少具有以下的有益效果：

本申请通过在喷嘴的内壁设置至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，该第一表面的面积大于平行于所述喷嘴的轴向的表面面积，与现有技术中喷嘴的圆柱形内壁相比，本申请提供的喷嘴的内壁表面积增加，进而喷嘴的内壁热辐射量增加，以确保所述喷嘴的内壁保持一定的温度，防止有机材料粘附于喷嘴的内壁。此外，通过调节第一表面的面积和个数，可以调节喷嘴的内壁热辐射量，以使所述喷嘴的内壁的温度保持合适的范围，以便于有机材料顺利通过所述喷嘴内壁及从所述喷嘴喷出，这样可以减少喷嘴堵口的风险，有效避免喷嘴堵口而导致的膜厚均匀性差，显示器显示不良等问题；此外，本申请实施例通过增大热辐射面积来增加热辐射值，可以降低输出功率，节能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种蒸镀坩埚结构示意图。

图2是图1中的喷嘴沿AA`方向的剖面图。

图3是本发明第一实施例提供的喷嘴结构示意图。

图4是本发明第二实施例提供的喷嘴结构示意图。

图5是图4中一种实施方式中的喷嘴沿BB`方向的剖面图。

图6是图4中另一种实施方式中的喷嘴沿BB`方向的剖面图。

图7是本发明第三实施例提供的喷嘴结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。

本发明实施例提供的一种蒸镀装置。所述蒸镀装置用于蒸镀制程中，所述蒸镀装置在大尺寸有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器等领域具有广泛的应用。所述蒸镀装置包括蒸镀坩埚。

请参阅图1及图2，图1是本发明实施例提供的一种蒸镀坩埚，图2是图1中喷嘴沿AA`方向的截面图。所述蒸镀坩埚100包括坩埚本体110、设于所述坩埚本体110上的坩埚盖120及加热器130。所述坩埚盖120具有喷嘴140。所述喷嘴140凸设于所述坩埚盖120上，且设于背离所述坩埚本体110的一侧，用于喷出所述坩埚本体110中的有机材料150。所述喷嘴140具有顶壁141和内壁142。所述顶壁141朝向于背离所述坩埚本体110的一侧。所述内壁142连接于所述顶壁141与所述坩埚盖120之间，以形成所述有机材料150的输运通道。所述加热器130设于所述喷嘴140外围，用于产生热量，所述热量传导至所述内壁142，所述内壁142具有至少一个相对于所述喷嘴140的轴向L倾斜的第一表面143，以增加所述内壁142的热辐射量，以使所述内壁142升温或保持温度，防止所述有机材料150粘附于所述内壁142。

在蒸镀制程中，加热器130用于使所述喷嘴140保持一定的温度，这一温度下，有机材料150在经过所述喷嘴140时，便不会粘附与喷嘴140的内壁142上，如果喷嘴140的温度降低，有机材料150极有可能会粘附于喷嘴140的内壁142上，从而堵塞喷嘴140口，影响蒸镀膜厚的均匀性。

在加热器功率恒定，单位面积上的热辐射值一定，那么表面积越大，辐射量就越大。基于这一原理，本申请通过增加所述喷嘴140的内壁142表面积来增大喷嘴140的内壁142的热辐射量，以确保所述喷嘴140的内壁142保持一定的温度。在该温度下，所述有机材料150不会粘附于所述喷嘴140的内壁142。

现有技术中，喷嘴的内壁呈圆柱形弧面，在忽略制造公差的情况下，喷嘴的内壁与喷嘴的轴向L不会形成夹角。本申请通过在喷嘴140的内壁142设置至少一个相对于所述喷嘴140的轴向L倾斜的第一表面143，该第一表面143的面积大于平行于所述喷嘴140的轴向L的表面面积，以使喷嘴140的内壁142表面积增加，喷嘴140的内壁142热辐射量增加，以确保所述喷嘴140的内壁142保持一定的温度，防止有机材料150粘附于喷嘴140的内壁142。此外，通过调节第一表面143的面积和个数，可以调节喷嘴140的内壁142热辐射量，以使所述喷嘴140的内壁142的温度保持合适的范围，以便于有机材料150顺利通过所述喷嘴140内壁142及从所述喷嘴140喷出，这样可以减少喷嘴140堵口的风险，有效避免喷嘴140堵口而导致的膜厚均匀性差，显示器显示不良等问题；此外，本申请实施例通过增大热辐射面积来增加热辐射值，可以降低输出功率，节能。

可选的，所述喷嘴140可以是金属材质。

通过增大喷嘴的内壁表面积的实施方式有很多，例如，增大喷嘴的内径、增大碰嘴的高度等等，但是这样的实施方式会对蒸镀制程带来一定的影响，或不符合蒸镀制程中规范化的参数，所以本申请在不改变原有喷嘴140的高度及喷嘴140的出口(有机材料150喷出所述喷嘴140的端口)口径的情况下，从以下三个实施例进形具体说明，但是本申请包括但不限于以下的实施例。

第一实施例

请参阅图2及图3，本实施例通过改变喷嘴140内壁142的形状来增大喷嘴140内壁142的表面积。所述坩埚盖120具有底壁121，所述底壁121与所述顶壁141相对设置。所述内壁142连接于所述顶壁141与所述底壁121之间。所述内壁142与所述顶壁141的连接处形成第一端口144，所述第一端口144呈圆形。所述内壁142与所述底壁121的连接处形成第二端口145。所述第一端口144正对于所述第二端口145。在实施过程中，所述第一端口144的中心线可以与所述第二端口145的中心线重合或与所述第二端口145的中心线之间形成0°～5°的夹角。其中，所述第一端口144的尺寸a1小于所述第二端口145的尺寸a2，也就是说，所述第一端口144在所述底壁121上的投影区域落入所述第二端口145中。

本实施例中，所述第二端口145为有机材料150从坩埚本体110进入所述喷嘴140的入口，所述第一端口144为有机材料150从所述喷嘴140喷出的出口。

本实施例对于所述第二端口145的形状不做限定。本实施例对于所述内壁142的不做限定。可选地，请参阅图3，所述第二端口145呈圆形，所述内壁142为圆弧面，这样所述喷嘴140的内壁142呈倒锥形的圆弧面。

本实施例对于所述第二端口145的尺寸a2不做限定。可选的，所述第二端口145的尺寸a2可以是所述第一端口144的尺寸a1的1.1～5倍。原因在于，如果所述第二端口145的尺寸a2过大，会造成这样可以使得所述坩埚盖120上的喷嘴数量减少，且所述第二端口145的尺寸a2过大，内壁142与所述喷嘴140的轴向L的夹角过大，及内壁142相对于喷嘴140的轴向L倾斜角过大，在有机材料150蒸镀过程中，位于喷嘴140上层(靠近所得喷嘴140第一端口144处)的有机材料150会受到下层(靠近所述第二端口145处)的有机材料150的推动作用，该推动作用会使得上层的有机材料150粘附于喷嘴140内壁142上，造成喷嘴140堵塞。如果所述第二端口145的尺寸a2过小，即喷嘴140内壁142表面积增加量小，那么喷嘴140内壁142的热辐射量小，所述内壁142的改进对于喷嘴140内壁142保持温度或升温的作用小。

所述坩埚盖120上的喷嘴140有多个，那么可以对每个喷嘴140进行相同的改进，以使喷嘴140的改进对蒸镀膜厚的影响均匀。

第二实施例

与第一实施例不同的是，本实施例通过在喷嘴140的内壁142上设置图形化来增加喷嘴140内壁142的表面积。具体而言，请参阅图4，所述第一表面143之一个表面143b与所述喷嘴140的轴向L形成第一夹角θ。所述第一夹角θ可以为5°～90°，也就是说，所述第一表面143相对于所述喷嘴140的轴向L的倾斜角为5°～90°。可以理解的，本实施例通过设置第一夹角θ为5°，是想表达第一表面143相对于所述喷嘴140的轴向L的倾斜，所述第一夹角θ也可以为4°、4.5°等。当所述第一表面143相对于所述喷嘴140的轴向L的倾斜角为90°，也就是说，喷嘴140的轴向L垂直于所述第一表面143，即喷嘴140的轴向L垂直于第一表面143a，那么所述第一表面143就是本实施例所提供的喷嘴140内壁142相对于现有技术所增加的表面，从而所述喷嘴140的内壁142的热辐射量增加。

本实施例中，所述内壁142与所述顶壁141的连接处形成第一端口144，所述第一端口144呈圆形。

一种实施方式中，请参阅图4及图5，所述内壁142具有凹槽146。所述凹槽146的表面连接于所述内壁142的表面，那么凹槽146中必然具有与所述喷嘴140轴向L相交的表面。第一表面143位于所述凹槽146内，那么所述第一表面143可是这些与所述喷嘴140轴向L相交的表面中的一个面或多个面，如图4中的第一表面143a、143b、143c。

可选的，所述第一表面143可以是光滑面，以减少喷嘴140内壁142对有机材料150的吸附力。

可选的，所述内壁142具有多个凹槽146，所述多个凹槽146连续分布于所述内壁142上。

可选的，请参阅图4，所述凹槽146还可以是长条形槽，所述长条形槽的延伸方向与所述喷嘴140的轴向L一致或与所述喷嘴140的轴向L形成0°～5°的夹角。可以理解的，本实施例通过设置夹角为5°，是想表达长条形槽的延伸方向与所述喷嘴140的轴向L大致平行。当然，所述夹角也可以为5.5°、6°等。所述凹槽146可以是方形槽也可以是弧形槽或其他形状的长条形槽。

可选的，请参阅图5，所述凹槽146可以是圆弧形凹槽。

本实施方式中，所述凹槽146的延伸方向与所述有机材料150喷出的方向一致，这样可以减少喷嘴140内壁142对于有机材料150蒸镀过程中的阻碍作用，从而减少对蒸镀制程及蒸镀膜厚的影响。

另一种实施方式中，请参阅图6，所述内壁142还可以具有凸起147。所述凸起147的表面连接于所述内壁142的表面，那么凸起147中必然具有与所述喷嘴140轴向L相交的表面。第一表面143位于所述凸起147上，那么所述第一表面143可是这些与所述喷嘴140轴向L相交的表面中的一个面或多个面。

可选的，所述第一表面143可以是光滑面，以减少喷嘴140内壁142对有机材料150的吸附力。

可选的，所述内壁142可以具有多个凸起147，所述多个凸起147连续分布于所述内壁142上。

可选的，所述凸起147还可以是长条形凸起147，所述长条形凸起147的延伸方向与所述喷嘴140的轴向L一致或与所述喷嘴140的轴向L形成0°～5°的夹角。可以理解的，本实施例通过设置夹角为5°，是想表达长条形凸起147的延伸方向与所述喷嘴140的轴向L大致平行。当然，所述夹角也可以为5.5°、6°等。所述凸起147可以是方形凸起147也可以是弧形凸起147或其他形状的长条形凸起147。

可选的，所述凸起147可以是圆弧形凸起。

本实施方式中，所述凸起147的延伸方向与所述有机材料150喷出的方向一致，那么相邻的凸起147之间可以形成凹形通道，所述凹形通道与有机材料150喷出的方向一致，这样可以减少喷嘴140内壁142对于有机材料150蒸镀过程中的阻碍作用，从而减少对蒸镀制程及蒸镀膜厚的影响。

第三实施例

请参阅图7，在上述对喷嘴140内壁142进行图案化的基础上，还可以改变所得喷嘴140内壁142的形状，以进一步增加所述喷嘴140内壁142的表面积。具体而言，所述坩埚盖120具有底壁121，所述底壁121与所述顶壁141相对设置。所述内壁142连接于所述顶壁141与所述底壁121之间。所述内壁142与所述底壁121的连接处形成第二端口145。所述第二端口145正对于所述第一端口144，且所述第一端口144的尺寸a1小于所述第二端口145的尺寸a2。也就是说，所述内壁142为倒锥形，此外，所述内壁142上还具有图案化的凹槽146或凸起147。

本申请对于喷嘴140内壁142图案化的形状、面积均不做限定。所述凹槽146或凸起147可以是连续地、均匀地设于喷嘴140的内壁142。也可以地，所述凹槽146或凸起147可以相间隔地设于喷嘴140的内壁142上。本申请对于第一表面143的面积及个数不做限定，可以通过调节相对于所述喷嘴140的轴向L倾斜的表面的面积和个数，以调节喷嘴140的内壁142热辐射量，以使所述喷嘴140的内壁142的温度保持合适的范围，

综上所述，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，但该较佳实施例并非用以限制本发明，该领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体及设于所述坩埚本体上的坩埚盖，所述坩埚盖具有喷嘴，所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上，且设于背离所述坩埚本体的一侧，用于喷出所述坩埚本体中的有机材料，所述喷嘴具有顶壁和内壁，所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧，所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间，以形成所述有机材料的输运通道，所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器，所述加热器用于产生热量，所述热量传导至所述内壁，所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面，以增加所述内壁的热辐射量，以使所述内壁升温或保持温度，防止所述有机材料粘附于所述内壁。

2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚盖具有底壁，所述底壁与所述顶壁相对设置，所述内壁连接于所述顶壁与所述底壁之间，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁与所述底壁的连接处形成第二端口，所述第一端口正对于所述第二端口，且所述第一端口的尺寸小于所述第二端口的尺寸。

3.如权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二端口的尺寸是所述第一端口的尺寸的1.1～5倍。

4.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一表面与所述喷嘴的轴向形成第一夹角，所述第一夹角为5°～90°。

5.如权利要求4所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁具有凹槽，所述第一表面位于所述凹槽内。

6.如权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述凹槽的延伸方向与所述喷嘴的轴向一致或与所述喷嘴的轴向形成0°～5°的夹角。

7.如权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述内壁与所述顶壁的连接处形成第一端口，所述第一端口呈圆形，所述内壁还具有凸起，所述第一表面位于所述凸起上。

8.如权利要求7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述凸起的延伸方向与所述喷嘴的轴向一致或与所述喷嘴的轴向形成0°～5°的夹角。

9.如权利要求4～8任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚盖具有底壁，所述底壁与所述顶壁相对设置，所述内壁连接于所述顶壁与所述底壁之间，所述内壁与所述底壁的连接处形成第二端口，所述第二端口正对于所述第一端口，且所述第一端口的尺寸小于所述第二端口的尺寸。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的蒸镀坩埚。