CN206022878U - 一种射频二氧化碳激光器用平板电极 - Google Patents
一种射频二氧化碳激光器用平板电极 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：铝合金制成的平板电极表面设有防护层，防护层由氧化铝或者镍构成。本实用新型通过在铝合金制成的平板电极表面设置由氧化铝或者镍构成的防护层，使得激光器运行时，高速运动的带电粒子对其轰击也不会使铝原子或其他粒子从平板电极表面溅射出来形成游离粒子，减少游离粒子对激光工作气体的吸附，减少游离粒子吸附到镜片上，从而使得游离粒子对激光器的使用寿命和性能产生的不利影响降低，故适宜推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光器技术领域，尤其是一种能够减少铝原子的溅射、降低游离铝原子对激光器的不利影响且延长激光器使用寿命的射频二氧化碳激光器用平板电极。
背景技术
射频二氧化碳激光器可广泛应用于工业加工和医疗等领域，是激光打标机、雕刻机和激光治疗仪的核心部件。射频二氧化碳激光器利用高频电源激励谐振腔内气体，使其电离形成激光等离子体，产生辉光放电完成激光输出。高频电源激励谐振腔内气体放电是通过平板电极实现电压的加载， 处于两块平板电极之间的激光工作气体，在强电场作用下电离为等离子体，等离子体中的带电粒子，在方向交替变化的强电场作用下，在两块电极板之间高速往返运动。现有技术中的平板电极一般由铝合金制成，激光器运行过程中高速运动的带电粒子会不断的轰击铝合金电极表面，铝原子被轰击时易发生溅射从电极表面逸出，混入激光工作气体中，随着激光器运行时间的延长，溅射出来的铝原子会越来越多，因铝原子表面积较大，溅射出的铝原子会吸附激光工作气体，使激光工作气体的总量下降，同时气体比例也会发生变化，不利于激光器的稳定运行，缩短激光器的使用寿命。而且电极表面因铝原子的溅射会形成孔洞，这些孔洞也会吸附激光工作气体，加剧上述过程。另外，溅射出的铝原子还会吸附到谐振腔内侧的镜片表面，降低镜片对激光的反射率，从而降低激光的输出功率，影响激光器性能。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种能够减少铝原子的溅射、降低游离铝原子对激光器的不利影响且延长激光器使用寿命的射频二氧化碳激光器用平板电极。
本实用新型的目的是通过以下技术方案解决的：
一种射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：铝合金制成的平板电极表面设有防护层，防护层由氧化铝或者镍构成。
所述平板电极的表面通过导电阳极化处理使得电极表面构成10-20微米厚度的氧化铝防护层。
所述平板电极的表面通过镀镍处理使得电极表面构成8-10微米厚度的镍防护层。
本实用新型相比现有技术有如下优点：
本实用新型通过在铝合金制成的平板电极表面设置由氧化铝或者镍构成的防护层，使得激光器运行时，高速运动的带电粒子对其轰击也不会使铝原子或其他粒子从平板电极表面溅射出来形成游离粒子，减少游离粒子对激光工作气体的吸附，减少游离粒子吸附到镜片上，从而使得游离粒子对激光器的使用寿命和性能产生的不利影响降低，故适宜推广使用。
附图说明
附图1为本实用新型的射频二氧化碳激光器用平板电极的结构示意图。
其中：1—平板电极；2—防护层。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示：一种射频二氧化碳激光器用平板电极，铝合金制成的平板电极1表面设有防护层2，防护层2由氧化铝或者镍构成；平板电极1的表面通过导电阳极化处理使得电极表面构成10-20微米厚度的氧化铝防护层2，因氧化铝的结构较铝合金致密，激光器运行时，高速运动的带电粒子对其轰击也不会使铝原子或其他粒子从平板电极1表面溅射出来形成游离粒子，减少游离粒子对激光工作气体的吸附，减少游离粒子吸附到镜片上，从而使得游离粒子对激光器的使用寿命和性能产生的不利影响降低；或者平板电极1的表面通过镀镍处理使得电极表面构成8-10微米厚度的镍防护层2，因镍的结构较铝合金致密，激光器运行时，高速运动的带电粒子对其轰击也不会使铝原子或其他粒子从平板电极1表面溅射出来形成游离粒子，减少游离粒子对激光工作气体的吸附，减少游离粒子吸附到镜片上，从而使得游离粒子对激光器的使用寿命和性能产生的不利影响降低。
如果不做表面处理，激光工作气体电离成激光等离子体时生成的电子不断轰击平板电极1表面，产生铝原子溅射，溅射出的铝原子表面会吸附激光工作气体，使激光工作气体的总量减少且气体比例发生变化，影响激光器的工作寿命，溅射出的铝原子还会吸附到镜片表面，减少镜片的使用寿命。本实用新型的平板电极1采用的铝合金材料编号为：LY12、6063和6061。
本实用新型通过在铝合金制成的平板电极1表面设置由氧化铝或者镍构成的防护层2，使得激光器运行时，高速运动的带电粒子对其轰击也不会使铝原子或其他粒子从平板电极1表面溅射出来形成游离粒子，减少游离粒子对激光工作气体的吸附，减少游离粒子吸附到镜片上，从而使得游离粒子对激光器的使用寿命和性能产生的不利影响降低，故适宜推广使用。
以上实施例仅为说明本实用新型的技术思想，不能以此限定本实用新型的保护范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本实用新型保护范围之内；本实用新型未涉及的技术均可通过现有技术加以实现。
Claims (3)
1.一种射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：铝合金制成的平板电极（1）表面设有防护层（2），防护层（2）由氧化铝或者镍构成。
2.根据权利要求1所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述平板电极（1）的表面通过导电阳极化处理使得电极表面构成10-20微米厚度的氧化铝防护层（2）。
3.根据权利要求1所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述平板电极（1）的表面通过镀镍处理使得电极表面构成8-10微米厚度的镍防护层（2）。
Priority Applications (1)
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| CN201620949360.0U CN206022878U (zh) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 一种射频二氧化碳激光器用平板电极 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109536870A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-03-29 | 航天材料及工艺研究所 | 一种激光防护涂层及其制备方法 |
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2016
- 2016-08-26 CN CN201620949360.0U patent/CN206022878U/zh active Active
Cited By (2)
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| CN109536870A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-03-29 | 航天材料及工艺研究所 | 一种激光防护涂层及其制备方法 |
| CN109536870B (zh) * | 2018-11-19 | 2020-12-18 | 航天材料及工艺研究所 | 一种激光防护涂层及其制备方法 |
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