CN203513497U

CN203513497U - 真空吸附式涂布机

Info

Publication number: CN203513497U
Application number: CN201320453647.0U
Authority: CN
Inventors: 姚亮
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2013-07-26
Filing date: 2013-07-26
Publication date: 2014-04-02
Anticipated expiration: 2023-07-26

Abstract

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种通过电磁阀单元对真空吸孔进行控制，以实现有选择的对彩膜玻璃基板进行吸附固定的真空吸附式涂布机；包括机台、多个均匀布设在该机台上的真空吸孔和总控电路；所述各真空吸孔均通过真空管路与所述抽真空装置连接，在所述真空管路上设有多个电磁阀单元，所述电磁阀单元与所述总控电路连接，且与各所述真空吸孔一一对应；本实用新型采用在真空管路上设置电磁阀单元的设计，可实现在保证对彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有选择的对其进行吸附固定。

Description

真空吸附式涂布机

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种通过电磁阀单元对真空吸孔进行控制，以实现有选择的对彩膜玻璃基板进行吸附固定的真空吸附式涂布机。

背景技术

目前，高世代彩膜面板厂的主要生产工艺：前清洗、涂布、曝光、显影和后烘等工艺形成固定的图案。参见图1所示，现有的涂布机包括涂布机台101和设置在在该涂布机台上的真空吸孔102，所述真空吸孔通过真空管路103与真空泵(图中未显示)连接；对于现有涂布机的涂布方式为狭缝式涂布，涂布作业前利用真空吸附的方式将玻璃基板固定在涂布机台上。涂布机台上的所有真空吸孔的开关通过一个总开关阀来同时控制，也就是说，开关阀只能同时控制所有真空吸孔有无真空，不能只控制部分真空吸孔的开关。涂布机设备制造完成后，涂布机台上真空吸孔的位置就已经固定，不能再变动了。

随着人们的生活档次越来越高，需求的产品种类及产品的尺寸都在增多，一条高世代彩膜面板厂需要生产多种型号，多种尺寸的产品。如G6面板厂，玻璃基板的尺寸为1850mm*1500mm，一块玻璃基板可切割成多种尺寸的产品（10.1”产品、32”产品、42”产品、46”产品、65”产品等）。由于涂布机台上真空吸孔的位置就已经固定，而生产的产品种类越多，涂布机的真空吸孔在生产产品的图像区接触的几率就越大，部分真空吸孔与图像区接触就不可避免了。

涂布机台上的真空吸孔用于吸附固定玻璃基板，吸附过程中会造成玻璃基板在真空吸孔对应区域出现凹陷式形变，该种形变易于导致涂布的湿态光刻胶由于玻璃基板的形变而发生膜厚不均的问题，并由此产生坏点。彩膜玻璃基板工艺产生的坏点严重影响产品品质，尽可能减少涂布机台上的真空吸附造成的坏点势在必行。

因此，需要提供一种新型的真空吸附式涂布机以解决上述问题。

发明内容

本实用新型所解决的技术问题是提供一种真空吸附式涂布机；该真空吸附式涂布机通过电磁阀单元对真空吸孔进行控制，以实现有选择的对彩膜玻璃基板进行吸附固定的目的。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：一种真空吸附式涂布机，包括机台、多个均匀布设在该机台上的真空吸孔和总控电路；所述各真空吸孔均通过真空管路与抽真空装置连接，在所述真空管路上设有多个电磁阀单元，所述电磁阀单元与所述总控电路连接，且与各所述真空吸孔一一对应。

进一步地，所述真空管路包括总管和连接在该总管上的多个支路管，所述各支路管分别对应连接一个真空吸孔，所述总管上对应连接有抽真空装置；所述电磁阀单元与所述支路管对应设置。

进一步地，所述各支路管上均设有用于控制支路管管径大小以调整其真空压力的支路管电控蝶阀；所述支路管电控蝶阀与所述总控电路连接。

进一步地，所述总管上设有用于控制总管管径大小以调整其真空压力的总管电控蝶阀；所述总管电控蝶阀与所述总控电路连接。

进一步地，还包括设置在所述机台上的用于实时监测机台压力的压力传感器，所述压力传感器与所述总控电路连接。

本实用新型与现有技术相比具有以下的优点：

1、本实用新型采用在真空管路上设置电磁阀单元的设计，可实现在保证对彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有选择的对其进行吸附固定，也就是通过控制电磁阀单元的开启和关闭，从而控制位于彩膜玻璃基板图像显示区域内的真空吸孔关闭，以避免真空吸孔因其吸附力而对彩膜玻璃基板的图像显示区域造成凹陷式形变，从而确保了光刻胶均匀涂布，使光刻胶的膜厚均匀，从而避免了彩膜面板坏点的出现，提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的质量。

2、本实用新型采用总管电控蝶阀和支路管电控蝶阀的设计，通过其开启的幅度，对支路管和总管的管径进行调整，从而实现对各真空吸孔的吸附力进行调整的目的；进一步避免了因吸附力过大而对彩膜玻璃基板所产生的形变，提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的整体质量，提高了彩膜玻璃基板的产品良率。

3、本实用新型采用压力传感器的设计，通过该压力传感器实时回传的彩膜玻璃基板与机台间的压力值，总控电路可实时监控并随时依据压力值调整真空吸管的吸附力，从而为彩膜玻璃基板的光刻胶涂布提供了有力的保障；提高了工艺质量。

4、本实用新型采用总控电路的设计，不仅可以自动控制电磁阀单元、支路管电控蝶阀和总管电控蝶阀的开启和关闭，而且可以针对不同尺寸、规格的彩膜玻璃基板自动对应选取所需要开启、关闭或调整的真空吸孔；彻底实现了真空吸附式涂布机的自动控制；提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的效率，同时，总控装置的自动控制避免了人为操作的不精确性，从而保证了彩膜玻璃基板涂布工艺的精度。

附图说明

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是现有技术的结构示意图（主视图）；

图2是本实用新型的结构示意图（主视图）；

图3是本实用新型中的电路连接示意图（框图）。

具体实施方式

参见图2、图3所示，本实施例的一种真空吸附式涂布机，包括用于放置彩膜玻璃基板的机台1、多个均匀布设在该机台上的用于吸附固定彩膜玻璃基板的真空吸孔2和用于自动控制的总控电路；所述各真空吸孔的下端均通过真空管路与抽真空装置（属现有技术，图中未显示）连接；在所述真空管路上设有多个用于控制真空管路开启和关闭的电磁阀单元3，所述电磁阀单元与所述总控电路连接，且与各所述真空吸孔一一对应。本实施例中所述的抽真空装置为一个抽真空泵，关于抽真空泵的具体结构属于现有技术，此处不再过多赘述。

本实用新型采用在真空管路上设置电磁阀单元的设计，可实现在保证对彩膜玻璃基板的吸附力前提下，有选择的对其进行吸附固定，也就是通过控制电磁阀单元的开启和关闭，从而控制位于彩膜玻璃基板图像显示区域内的真空吸孔关闭，以避免真空吸孔因其吸附力而对彩膜玻璃基板的图像显示区域造成凹陷式形变，从而确保了光刻胶均匀涂布，使光刻胶的膜厚均匀，从而避免了彩膜面板坏点的出现，提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的质量。

需要提出的是，本实用新型实施例的适用对象并不限于是彩膜玻璃基板，本领域其他需要真空吸附并且会由于吸附力导致形变问题的工业产品，也同样适用。

本实施例中所述真空管路包括总管4和呈并联形式连接在该总管上的多个支路管5，所述各支路管分别对应连接一个真空吸孔，所述总管上对应连接有抽真空装置；所述电磁阀单元与所述支路管对应设置。本实施例中所述各真空吸孔均通过一个支路管与所述总管连接；所述总管的数量是根据实际需要的抽真空装置的数量而定的，也就是说一个总管只对应连接一个抽真空装置；如果需要多个抽真空装置时，则在每个与之连接的总管上均并联有多个支路管，每个支路管连接一个真空吸孔；反之来说，对于多个均匀分布在机台上的真空吸孔，可以是每排真空吸孔通过支路管并连接在一个总管上，并与一个抽真空装置连通；也就是说需要多个抽真空装置，每一个抽真空装置负责为其中一排真空吸孔提供吸附力；当然，也可以是每列真空吸孔通过支路管并连接在一个总管上，并与一个抽真空装置连通；诸如此类，均可实现抽真空装置与真空吸孔的连通。

本实施例中所述各支路管上均设有用于控制支路管管径大小以调整其真空压力的支路管电控蝶阀6；所述支路管电控蝶阀与所述总控电路通过电线电连接。

本实施例中所述总管上设有用于控制总管管径大小以调整其真空压力的总管电控蝶阀7；所述总管电控蝶阀与所述总控电路通过电线电连接。

本实用新型采用总管电控蝶阀和支路管电控蝶阀的设计，通过其开启的幅度，对支路管和总管的管径进行调整，从而实现对各真空吸孔的吸附力进行调整的目的；进一步避免了因吸附力过大而对彩膜玻璃基板所产生的形变，提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的整体质量，提高了彩膜玻璃基板的产品良率。

本实施例中所述的真空吸附式涂布机还包括设置在所述机台上的用于实时监测机台压力的压力传感器（图中未显示），所述压力传感器通过电线与所述总控电路电连接。

本实用新型采用压力传感器的设计，通过该压力传感器实时回传的彩膜玻璃基板与机台间的压力值，总控电路可实时监控并随时依据压力值调整真空吸管的吸附力，从而为彩膜玻璃基板的光刻胶涂布提供了有力的保障；提高了工艺质量。

本实用新型采用总控电路的设计，不仅可以自动控制电磁阀单元、支路管电控蝶阀和总管电控蝶阀的开启和关闭，而且可以针对不同尺寸、规格的彩膜玻璃基板自动对应选取所需要开启、关闭或调整的真空吸孔；彻底实现了真空吸附式涂布机的自动控制；提高了彩膜玻璃基板涂布工艺的效率，同时，总控装置的自动控制避免了人为操作的不精确性，从而保证了彩膜玻璃基板涂布工艺的精度。

本实用新型中的真空吸附式涂布机，其工作过程是：

预先将需要涂布光刻胶的彩膜玻璃基板的尺寸、规格等信息输入总控电路；将彩膜玻璃基板平整放置在所述机台上；总控电路自动根据彩膜玻璃基板信息对比识别出位于彩膜玻璃基板图像区域的真空吸孔；并自动控制该区域内真空吸孔所对应的电磁阀单元关闭，以使该区域的真空吸孔不吸附；打开所述抽真空装置，此时，处于彩膜玻璃基板图像区域外的各真空吸孔将彩膜玻璃基板吸附住，并以此将彩膜玻璃基板与机台吸附固定；开始光刻胶涂布工艺，在工艺过程中，所述压力传感器实时监测彩膜玻璃基板与机台之间的压力值，并回传给总控电路，总控电路根据实时回传的压力值与预设的压力最大阀值进行比对；当有压力值超出压力最大阀值时，则说明吸附力相对于彩膜玻璃基板来说过大，则需减小吸附力；此时，总控电路自动控制所述支管路电控蝶阀开启的幅度，以减小支路管的真空压力，进而减小真空吸孔对彩膜玻璃基板的吸附力；当经过调整支管路电控蝶阀后，压力传感器检测到的压力值仍超出压力最大阀值时，则总控电路自动控制所述总管电控蝶阀开启的幅度，以减小总管的真空压力，从而进一步减小真空吸孔对彩膜玻璃基板的吸附力；反之，当压力传感器回传的压力值低于压力最小阀值时，则总控电路同样通过控制支管路电控蝶阀和总管电控蝶阀，以增大真空吸孔对彩膜玻璃基板的吸附力。

本实施例中根据彩膜面板厂产品种类，真空吸附式涂布机自动选取最合适的真空吸附模式，尽量避免作业的真空吸孔与彩膜玻璃基板的图像显示区域接触，自动关闭与产品图像区接触的真空吸孔，自动打开与产品图像区不接触的真空吸孔。由于真空吸附会造成彩膜玻璃基板出现凹陷式形变，导致涂布在彩膜玻璃基板的湿态光刻胶也发生形变，若变形位置在产品的图像区域就会造成光刻胶的膜厚不均，形成坏点；彩膜玻璃基板产品种类的多样性导致生产的产品图像显示区域在彩膜玻璃基板上排列的位置千变万化，采用可变多组合式设计的新型真空吸附模式也难保证对应某种产品时所有的真空吸孔都不在产品的图像区域；消除真空吸孔对产品图像显示区域的负面影响，需要在真空管路上添加蝶阀。通过电磁阀控制真空管路开口大小，进而控制真空吸孔的吸附力大小，尽量消除真空吸附对产品造成的负面影响。

Claims

1.一种真空吸附式涂布机，包括机台、多个均匀布设在该机台上的真空吸孔和总控电路；所述各真空吸孔均通过真空管路与抽真空装置连接，其特征在于，在所述真空管路上设有多个电磁阀单元，所述电磁阀单元与所述总控电路连接，且与各所述真空吸孔一一对应。

2.根据权利要求1所述的真空吸附式涂布机，其特征在于，所述真空管路包括总管和连接在该总管上的多个支路管，所述各支路管分别对应连接一个真空吸孔，所述总管上对应连接有抽真空装置；所述电磁阀单元与所述支路管对应设置。

3.根据权利要求2所述的真空吸附式涂布机，其特征在于，所述各支路管上均设有用于控制支路管管径大小以调整其真空压力的支路管电控蝶阀；所述支路管电控蝶阀与所述总控电路连接。

4.根据权利要求3所述的真空吸附式涂布机，其特征在于，所述总管上设有用于控制总管管径大小以调整其真空压力的总管电控蝶阀；所述总管电控蝶阀与所述总控电路连接。

5.根据权利要求1-4其中之一所述的真空吸附式涂布机，其特征在于，还包括设置在所述机台上的用于实时监测机台压力的压力传感器，所述压力传感器与所述总控电路连接。