CN203349832U - 用于微机电系统mems设备的驱动器及mems系统 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统。所述驱动器可包括：第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及放大器，被配置为接收高压电源，在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
Description
技术领域
本申请涉及微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS），更具体地，涉及用于MEMS设备的驱动器。
背景技术
微机电系统（MEMS）包括使用与用于制造集成电路的技术类似的光刻（photo-lithography）技术制造的、履行机电功能的小型机械设备。一些MEMS设备为可检测移动的传感器（例如，加速度计）、或为可检测角速率的传感器（例如陀螺仪）。一些MEMS陀螺仪包括驱动器，所述驱动器振荡所述MEMS陀螺仪的检测质量块（proof mass），以允许陀螺仪传感转动移动。
实用新型内容
本申请涉及微机电系统（MEMS），更具体地，涉及用于MEMS设备的驱动器。在一示例中，用于MEMS设备的驱动器可包括：第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及放大器，被配置为：接收高压电源，在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
在一示例中，提供一种MEMS系统，可包括：
MEMS设备；以及
驱动器，被配置为向所述MEMS设备提供输出信号，其中所述驱动器包括：
第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；
第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及
放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
本实用新型内容用于提供对本专利申请的主题的一般综述。其不用于提供本申请的排它或穷尽的解释。具体实施方式用于提供关于本专利申请的进一步的信息。
附图说明
附图不一定按比例绘制，附图中，不同视图中相同的附图标记可以描述相同的组成部分。具有不同字母后缀的相同的附图标记可以代表相同组成部分的不同实例。附图总的来说通过示例而非限制的方式示出了本申请中讨论的各种实施例。
图1大体示出了与MEMS传感器系统集成在一起的MEMS驱动器示例的框图。
图2大体示出了MEMS驱动器的示例。
图3大体示出了MEMS驱动器的示例。
图4大体示出了高压放大器的示例。
具体实施方式
MEMS传感器（例如MEMS陀螺仪）可使用振动的检测质量块的偏转提供移动检测和测量信号。检测质量块偏转可由起因于陀螺仪的转动移动的科里奥利力和振动的检测质量块的移动的组合引起。可在各种小型移动电子设备中使用MEMS传感器，所述各种小型移动电子设备包括但不限于：手机、个人数字助手、（例如用于远足和露营的）休闲工具以及游戏控制器。本发明人认识到可提供改善的性能、可节省成本费用并可使用更少功率的用于驱动MEMS检测质量块的高压驱动器。
图1大体示出与MEMS传感器系统100集成在一起的MEMS驱动器107示例的框图。MEMS传感器系统100（例如MEMS陀螺仪系统100）可包括：包括检测质量块103的MEMS陀螺仪102；以及MEMS传感器电子设备104。在某些示例中，MEMS传感器电子设备104可包括：驱动器107；驱动传感电流-电压（C2V）转换器105；传感C2V转换器106；以及控制器101。在某些示例中，控制器101可向驱动器107提供指令信号。驱动器107可使用驱动电极（ED）振荡MEMS陀螺仪102的检测质量块。检测质量块的振荡可影响驱动传感电极（EDS）上的电荷，可使用驱动传感C2V转换器105将该电荷转换为电压。自驱动传感C2V转换器105接收的电压可提供关于陀螺仪检测质量块103的实际振荡的信息。该检测质量块振荡信息可以被接收器用来控制检测质量块的振荡相位和振幅（包括提供稳定的振荡振幅）。传感电极可提供对检测质量块的一个或多个部分响应于陀螺仪的转动移动的偏转的指示。一个或多个传感C2V转换器106可将传感电极（ES）的电荷转换为电压。控制器可处理自一个或多个传感C2V转换器106接收的电压，以提供指示陀螺仪的转动移动的输出108。
图2大体示出了MEMS驱动器207的示例，MEMS驱动器207可包括：第一输入端，用于接收DC指令信号（Vincm）；第二输入端，用于接收AC指令信号（Vinac）；第一增益块和第二增益块（α1、α2）；求和结点（求和器）；高压放大器209；以及反馈路径210。在某些示例中，MEMS驱动器207可包括电压倍增器211。电压倍增器211可转换电源电压（Vsupply），以向高压放大器209提供高压（Vhs）。在某些示例中，MEMS驱动器207可响应于接收到的指令信号（Vincm、Vinac）调制驱动信号（Vout），以启动并维持MEMS传感器检测质量块的受控振荡。在某些示例中，驱动信号（Vout）可包括DC分量和AC分量。在某些示例中，可以对第一增益块和第二增益块（α1、α2）中的至少一个增益进行编程，以提供调节MEMS传感器207的性能的灵活性，例如，按照待驱动的具体MEMS传感器来调节MEMS驱动器207。在某些示例中，反馈路径210可包括第三增益块（β），以提供附加的调节灵活性。在某些示例 中，可以对第三增益块（β）的增益进行编程。
在某些示例中，MEMS驱动器207可包括反馈开关（s1），可以响应于启动信号（start_up）的状态打开反馈开关（s1），以将驱动器207置于启动模式下。所述启动模式例如可以允许高压放大器209提供跨越所述高压放大器209的轨到轨电源电压的输出信号，但反馈路径211不载入放大器输出。在某些示例中，高压放大器209可提供用于提供启动驱动信号的高的、受控、开放回路增益。
在某些示例中，MEMS驱动器207不需要存储高压电源的外部组件。在某些示例中，单独地调节输入指令信号（Vincm、Vinac）的AC和DC分量的增益可改善对MEMS检测质量块的振荡振幅的控制，并从而增加传感器的性能，包括增加传感器精确度。
图3大体示出了MEMS驱动器307的示例，MEMS驱动器307可包括：第一输入端，用于接收DC指令信号（Vincm）；第二差动输入端，用于接收AC指令信号（Vinp、Vinn）；第一增益块321和第二增益块322；高压差动放大器309；以及第一反馈路径310和第二反馈路径312。在某些示例中，可以使用包含Rdf、Rcm1、Rcm2、和Rfb的电阻器网络来设定第一增益块321、第二增益块322和反馈回路增益。在某些示例中，可以使用所述差动高压放大器309的虚拟接地和所述电阻器网络来对所述DC指令信号、所述AC指令信号和所述反馈信号求和。在某些示例中，反馈路径310、312可包括反馈开关（s1、s2），以在操作的启动模式期间打开反馈路径310、312。在某些示例中，反馈开关（s1、s2）可以响应于自MEMS驱动器307外部的控制器接收的启动信号（start_up）。
在某些示例中，响应于启动信号（start_up）的第一状态，反馈开关（s1、s2）可打开，并且高压放大器309可在输出端（Voun、Voup）处产生预定的启动驱动信号。在某些示例中，所述预定的启动驱动信号可包括一波形，其中可以自MEMS驱动器307外部的组件接收该波形的形状和相位。例如，所述启动驱动信号的形状和相位的信息可以被包含在在MEMS驱动器307的AC输入端（Vinp、Vinn）处接收的信号中。在某些示例中，所述启动驱动信号可包括正弦波形、方波形或某些其它形状的波形。
图4大体示出了包括三个高侧电流源MP1、MP2、MP3和三个低侧电流源MQ1、MQ2、MQ3的高压放大器409的示例。在一示例中，除了向高压放大器409的电压部分的电流提供共源共栅（cascode）偏置外，三个晶体管MN1、MN2、MN3还可提供电压屏蔽，使得低侧电流源MQ1、MQ2、MQ3可以使用低压分量。在某些示例中，可以使用电流镜像设置的三个高压晶体管来实施三个高侧电流源MP1、MP2、MP3，使得MP1可以为传感晶体管，而MP2和MP3可以提供被MP1传感的电流的镜像电流。在某些示例中，MP2和MP3可以放大传感到的电流It0。在某些示例中，所述高压晶体管可以制造为使得源漏结构可承受高电压，而栅极可为常规的额定电压。这样的构造可以比额定用于高压的晶体管更节省成本费用。
在某些示例中，高压放大器409不包括共有模式传感电路，从而简化放大器设计，并节约硅基板面（silicon real estate）。在某些示例中，三个高侧电流源MP1、MP2、MP3是固定电流源，并可以是启动模式和常规操作中来自高压轨的仅有的负载拖动功率。这样的示例可以降低来自所述高压电源的功率消耗，并能简化电压倍增器设计，包括最小化硅材面积，因为自所述高压轨抽取的上限功率限于所述三个固定电流源的电平。在某些示例中，高压放大器409可最小化自所述高压电源轨的功率消耗，并最小化MEMS传感器（例如MEMS陀螺仪）的总功率消耗。在某些示例中，MEMS驱动器的开放回路驱动可提供快速受控振荡启动，而无需使用用于复杂启动控制功能的、来自所述高压电源的附加功率。例如，所述开放回路启动控制可以简化所述电压倍增器的设计，这能节约硅材面积，并能消除对外部高压存储组件的需要。
附加说明
在示例1中，一种用于微机电系统（MEMS）设备的驱动器可包括：第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下 提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
在示例2中，根据示例1所述的驱动器可选地包括电连接到所述放大器的输出端的第一反馈路径，其中所述反馈路径包括响应于启动信号的状态的反馈开关，其中所述放大器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。
在示例3中，根据示例1至2中任意一项或多项所述的放大器可选地配置为：在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。
在示例4中，根据示例1至3中任意一项或多项所述的驱动器可选地包括电连接到所述第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
在示例5中，根据示例1至4中任意一项或多项所述的驱动器可选地包括电连接到所述放大器的第一输出端的第一反馈路径和电连接到所述放大器的第二输出端的第二反馈路径，其中所述放大器被配置为：在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号，以及，在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。
在示例6中，根据示例1至5中任意一项或多项所述的第一输入端可选地为差动第一输入端，被配置为接收包括差动振荡指令信号的第一差动指令信号。
在示例7中，根据示例1至6中任意一项或多项所述的驱动器可选地包括电连接到所述差动第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一差动指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
在示例8中，根据示例1至7中任意一项或多项所述的驱动器可选地包括电连接到所述第一差动输入端的第一求和结点和第二求和结点，所述第一求和结点和第二求和结点被配置为对所述第一差动指令信号和所述第二指令信号求 和。
在示例9中，根据示例1至8中任意一项或多项所述的放大器可选地包括多个高侧电流源和多个低侧电流源，其中所述高侧电流源制造为比所述低侧电流源承受更高的电压。
在示例10中，一种方法可包括：产生第一指令信号，所述第一指令信号包括振荡指令信号；产生第二指令信号，所述第二指令信号包括偏置指令信号；当所述驱动器处于第一状态时，在所述驱动器的输出端处提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号；以及当所述驱动器处于第二状态时，在所述驱动器的输出端处提供配置为基本跨越所述驱动器的高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
在示例11中，根据示例1至10中任意一项或多项所述的方法可选地包括通过反馈开关反馈所述驱动器的输出，其中所述反馈开关响应于启动信号的状态，其中所述驱动器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。
在示例12中，根据示例1至11中任意一项或多项所述的驱动器可选地在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。
在示例13中，根据示例1至12中任意一项或多项所述的方法可选地包括向所述第一指令信号提供独立于向所述第二指令信号提供的增益的增益。
在示例14中，根据示例1至13中任意一项或多项所述的方法可选地包括：通过第一反馈开关反馈所述驱动器的第一输出，并通过第二反馈开关反馈所述驱动器的第二输出，其中所述第一反馈开关和所述第二反馈开关响应于启动信号的状态；在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号；以及在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。
在示例15中，根据示例1至14中任意一项或多项所述的产生第一指令信号可选地包括：向所述驱动器的差动第一输入端施加包括差动振荡指令信号在 内的差动第一指令信号，并且其中所述方法进一步包括：对所述差动第一指令信号和所述第二指令信号求和。
在示例16中，根据示例1至15中任意一项或多项所述的方法可选地包括向所述差动第一指令信号提供独立于向所述第二指令信号提供的增益的增益。
在示例17中，根据示例1至16中任意一项或多项所述的方法可选地包括：将所述驱动器电连接到所述MEMS设备上。
在示例18中，一种系统可包括：MEMS设备；以及驱动器，被配置为向所述MEMS设备提供输出信号。所述驱动器可包括：第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
在示例19中，根据示例1至18中任意一项或多项所述的MEMS设备可选地包括MEMS陀螺仪传感器。
在示例20中，根据示例1至19中任意一项或多项所述的系统可选地包括电连接到所述放大器的输出端的第一反馈路径，其中所述反馈路径包括响应于启动信号的状态的反馈开关，其中所述放大器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。
在示例21中，根据示例1至20中任意一项或多项所述的放大器可选地在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。
在示例22中，根据示例1至21中任意一项或多项所述的系统可选地包括电连接到所述第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
在示例23中，根据示例1至22中任意一项或多项所述的系统可选地包括 电连接到所述放大器的第一输出端的第一反馈路径和电连接到所述放大器的第二输出端的第二反馈路径，其中所述放大器被配置为：在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号，以及，在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。
在示例24中，根据示例1至23中任意一项或多项所述的第一输入端可选地为差动第一输入端，被配置为接收包括差动振荡指令信号的第一差动指令信号的。
在示例25中，根据示例1至24中任意一项或多项所述的系统可选地包括电连接到所述差动第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一差动指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
在示例26中，根据示例1至25中任意一项或多项所述的系统可选地包括与所述MEMS设备和所述驱动器分离的组件，其中所述分离组件被配置为向所述驱动器的第一输入端提供启动信号波形。
示例27可包括示例1至26中任一项或多项的任何部分或其组合，或可以可选地与示例1至26中任一项或多项的任何部分或任何部分的组合进行组合，以包括：用于完成示例1至26的功能中的任一项或多项的装置；或包括指令的机器可读介质，所述指令（当被机器执行时）使机器完成示例1至26的功能中的任一项或多项。
上述具体实施方式包括对附图的参照，附图构成具体实施方式的一部分。附图通过示意显示可以实施本申请的具体实施例。这些实施例在本文中也称为“示例”。这样的示例还可包括除所示或所述要素外的要素。但是本发明人也构思了仅提供所示或所述要素的示例。此外，相对于本文所示或所述的具体示例（或其一个或多个方面）或其它示例（或其一个或多个方面）而言，本发明人还构思了使用所示或所述要素（或其一个或多个方面）的任意置换或组合的示例。
本文件所引用的所有公布、专利和专利文件在此均通过引用而被全文引入（如同通过引用分别引入一般）。在本文件和通过引用被引入的文件之间的用法不一致的情况下，被引入的文件中的用法应被视为是对本文件的补充；对于不可调和的不一致，以本文件中的用法为准。
在本文件中，独立于“至少一”或“一项或多项”的任何其它实例或用法，“一”如同通常专利文件中那样用于包括一项或多项。本文件中，“或”用于指非排它性或，使得除非另有说明，“A或B”包括“A但非B”、“B但非A”以及“A和B”。本文件中，“包括”和“其中”与日常语言相应措辞用法一致。同时，在随后的权利要求中，“包括”是开放性的，即包括除在权利要求中列出的要素以外的要素的系统、设备、物品或过程仍视为落入该权利要求的范围内。此外，在随后的权利要求中，“第一”、“第二”和“第三”等仅用作标记，并不意在对其对象强加数字要求。
此处说明的方法示例可以至少部分地被机器或计算机实现。一些示例可包括计算机可读介质或机器可读介质，所述介质具有可操作用于配置电子设备以进行如上示例所述的方法的指令。这样的方法的实现可包括代码例如微代码、汇编语言、高级语言代码等。这样的代码可包括用于进行各种方法的计算机可读指令。所述代码可形成计算机程序产品的一部分。此外，在一个示例中，所述代码可以例如在执行期间或在任何其它时间被可触知地储存于一个或多个可变、非瞬态或非可变可触知的计算机可读介质中。这些可触知的计算机可读介质的示例可包括但不限于硬盘、可擦除磁碟、可擦除光盘（例如光盘（CD）和数字视频光盘（DVD））、磁带、存储卡或存储条、随机存取存储器（RAM）、只读存储器（ROM）等。
上述说明意在展示而非限制。例如上述示例（或其中一个或多个方面）可彼此组合使用。可以例如由本领域普通技术人员在阅读上述说明后来使用其它实施例。遵照37C.F.R.§1.72（b）的规定提供摘要，允许读者迅速确定技术公布的性质。其不用于解释或限制权利要求的范围或含义。同时在以上具体实施方式中，各种特征可以组合到一起来使公开更流畅。这不应被解释为未被要求 的公开的特征对于任何权利要求是必要的。相反，创造性主题可以存在于少于具体公开的实施例的全部特征的情况中。这样，权利要求被包含在具体实施方式中，各权利要求本身为独立的实施例，这样的实施例可在各种组合或置换中相互组合。本申请的范围应该由权利要求及其等价方案的整个范围确定。
Claims (18)
1.一种用于微机电系统MEMS设备的驱动器，包括：
第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；
第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及
放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
2.根据权利要求1所述的驱动器，包括电连接到所述放大器的输出端的第一反馈路径，其中所述反馈路径包括响应于启动信号的状态的反馈开关，其中所述放大器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。
3.根据权利要求2所述的驱动器，其中所述放大器在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。
4.根据权利要求1所述的驱动器，包括电连接到所述第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
5.根据权利要求1所述的驱动器，包括电连接到所述放大器的第一输出端的第一反馈路径和电连接到所述放大器的第二输出端的第二反馈路径，其中所述放大器被配置为：在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号，以及，在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。
6.根据权利要求5所述的驱动器，其中所述第一输入端为差动第一输入端，被配置为接收包括差动振荡指令信号的第一差动指令信号。
7.根据权利要求6所述的驱动器，包括电连接到所述差动第一输入端的第 一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一差动指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
8.根据权利要求6所述的驱动器，包括电连接到所述第一差动输入端的第一求和结点和第二求和结点，所述第一求和结点和第二求和结点被配置为对所述第一差动指令信号和所述第二指令信号求和。
9.根据权利要求1所述的驱动器，其中所述放大器包括多个高侧电流源和多个低侧电流源，其中所述高侧电流源制造为比所述低侧电流源承受更高的电压。
10.一种MEMS系统，包括：
MEMS设备；以及
驱动器，被配置为向所述MEMS设备提供输出信号，其中所述驱动器包括：
第一输入端，被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号；
第二输入端，被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号；以及
放大器，被配置为接收高压电源，所述放大器被配置为：在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号，以及，在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。
11.根据权利要求10所述的系统，其中所述MEMS设备包括MEMS陀螺仪传感器。
12.根据权利要求10所述的系统，包括电连接到所述放大器的输出端的第一反馈路径，其中所述反馈路径包括响应于启动信号的状态的反馈开关，其中所述放大器在所述启动信号处于启动状态时提供所述开放回路输出信号。
13.根据权利要求12所述的系统，其中所述放大器在所述启动信号处于非启动状态时提供由所述第一指令信号和所述第二指令信号调制的闭合回路输出信号。
14.根据权利要求10所述的系统，包括电连接到所述第一输入端的第一增 益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
15.根据权利要求10所述的系统，包括电连接到所述放大器的第一输出端的第一反馈路径和电连接到所述放大器的第二输出端的第二反馈路径，其中所述放大器配置为：在所述第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的差动闭合回路输出信号，以及，在所述第二状态下提供基本跨越所述高压电源的电压范围的差动开放回路输出信号。
16.根据权利要求15所述的系统，其中所述第一输入端为差动第一输入端，被配置为接收包括差动振荡指令信号的第一差动指令信号。
17.根据权利要求16所述的系统，包括电连接到所述差动第一输入端的第一增益块和电连接到所述第二输入端的第二增益块，其中由所述第一增益块提供给所述第一差动指令信号的增益独立于由所述第二增益块提供给所述第二指令信号的增益。
18.根据权利要求10所述的系统，包括与所述MEMS设备和所述驱动器分离的组件，其中所述分离组件被配置为向所述驱动器的第一输入端提供启动信号波形。
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