CN202726916U - 用于硅片清洗的前置机械手 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于硅片清洗的前置机械手,包括防腐框架、固定框和Y轴滑块,防腐框架通过导轨副可滑动地支撑在固定框上,防腐框架上固定有X轴驱动装置和Y轴驱动装置,X轴驱动装置通过齿轮齿条副与固定框相连接,Y轴驱动装置通过滚珠丝杠副与Y轴滑块固定连接,Y轴滑块上固定连接有升降臂,升降臂上固定连接有挂钩装置,滚珠丝杠副安装在防腐框架内,防腐框架上设有防腐折叠布,Y轴滑块和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布的一侧,升降臂穿过防腐折叠布,挂钩装置位于防腐折叠布的另一侧,升降臂和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板。本实用新型将机械手的整个传动部位与强酸环境分离开,具有一定的防腐功能,延长了机械手的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于硅片清洗的前置机械手,属于机械自动化技术领域。
背景技术
目前,在清洗行业中尤其是硅片的清洗,许多的清洗工艺都要求用氢氟酸、硝酸等强酸溶液。负载不大,但对整个机械手装置的防腐要求较高,现有技术的机械手的传动部位没有和强酸环境分离开,容易导致腐蚀,传动不精确,不利于强酸环境的使用。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足,提供一种具有防腐功能的用于硅片清洗的前置机械手。
实现本实用新型目的的技术方案是:一种用于硅片清洗的前置机械手,包括防腐框架、固定框和Y轴滑块,防腐框架通过导轨副可滑动地支撑在固定框上,防腐框架上固定有X轴驱动装置和Y轴驱动装置,X轴驱动装置通过齿轮齿条副与固定框相连接,Y轴驱动装置通过滚珠丝杠副与Y轴滑块固定连接,Y轴滑块上固定连接有升降臂,升降臂上固定连接有挂钩装置,滚珠丝杠副安装在防腐框架内,防腐框架上设有防腐折叠布,Y轴滑块和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布的一侧,升降臂穿过防腐折叠布,挂钩装置位于防腐折叠布的另一侧,升降臂和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板。
进一步,所述的齿轮齿条副由齿轮和齿条组成,齿轮套装在X轴驱动装置的输出轴上,齿条固定在所述的固定框上。
进一步,所述的滚珠丝杠副包括丝杠和螺母,丝杠与Y轴驱动装置活动连接,螺母与Y轴滑块固定连接,螺母通过螺纹连接在丝杠上。
更进一步,所述的导轨副由圆形直线导轨和滑块组成,圆形直线导轨安装在固定框上,滑块固定连接在防腐框架上。
采用了上述技术方案后,Y轴驱动装置带动丝杠转动的同时实现螺母的上下运动,即实现升降臂的Y轴上下运行,X轴驱动装置驱动齿轮转动,从而驱动齿条实现X轴的移动,从而使整个机械手装置在X轴上左右移动;导轨副辅助其运动,使机械手运行更为平稳可靠;通过防腐隔离板的设置,使得X轴的传动部位齿轮齿条副与强酸溶液隔离开,通过防腐折叠布的设置,使得Y轴的传送部位滚珠丝杠副与强酸溶液隔离开,这样就使得机械手整个传动部位与强酸环境分离开,具有一定的防腐功能,延长了机械手的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型的用于硅片清洗的前置机械手的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明,
如图1所示,一种用于硅片清洗的前置机械手,包括防腐框架1、固定框2和Y轴滑块3,防腐框架1通过导轨副可滑动地支撑在固定框2上,防腐框架1上固定有X轴驱动装置4和Y轴驱动装置5,X轴驱动装置4通过齿轮齿条副与固定框2相连接,Y轴驱动装置5通过滚珠丝杠副与Y轴滑块3固定连接,Y轴滑块3上固定连接有升降臂6,升降臂6上固定连接有挂钩装置7,滚珠丝杠副安装在防腐框架1内,防腐框架1上设有防腐折叠布8,Y轴滑块3和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布8的一侧,升降臂6穿过防腐折叠布8,挂钩装置7位于防腐折叠布8的另一侧,升降臂6和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板9。齿轮齿条副由齿轮10和齿条11组成,齿轮10套装在X轴驱动装置4的输出轴上,齿条11固定在所述的固定框2上。滚珠丝杠副包括丝杠12和螺母13,丝杠12与Y轴驱动装置4活动连接,螺母13与Y轴滑块3固定连接,螺母13通过螺纹连接在丝杠12上。导轨副由圆形直线导轨14和滑块15组成,圆形直线导轨14安装在固定框2上,滑块15固定连接在防腐框架1上。
本实用新型的工作原理如下:
Y轴驱动装置5带动丝杠12转动的同时实现螺母13的上下运动,即实现升降臂6的Y轴上下运行,X轴驱动装置4驱动齿轮10转动,从而驱动齿条11实现X轴的移动,从而使整个机械手装置在X轴上左右移动。导轨副辅助其运动,使机械手运行更为平稳可靠;通过防腐隔离板9的设置,使得X轴的传动部位齿轮齿条副与强酸溶液隔离开,通过防腐折叠布8的设置,使得Y轴的传送部位滚珠丝杠副与强酸溶液隔离开,这样就使得机械手整个传动部位与强酸环境分离开,具有一定的防腐功能,延长了机械手的使用寿命。
以上所述的具体实施例,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种用于硅片清洗的前置机械手,包括防腐框架(1)、固定框(2)和Y轴滑块(3),防腐框架(1)通过导轨副可滑动地支撑在固定框(2)上,防腐框架(1)上固定有X轴驱动装置(4)和Y轴驱动装置(5),X轴驱动装置(4)通过齿轮齿条副与固定框(2)相连接,Y轴驱动装置(5)通过滚珠丝杠副与Y轴滑块(3)固定连接,Y轴滑块(3)上固定连接有升降臂(6),升降臂(6)上固定连接有挂钩装置(7),其特征在于:滚珠丝杠副安装在防腐框架(1)内,防腐框架(1)上设有防腐折叠布(8),Y轴滑块(3)和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布(8)的一侧,升降臂(6)穿过防腐折叠布(8),挂钩装置(7)位于防腐折叠布(8)的另一侧,升降臂(6)和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板(9)。
2.根据权利要求1所述的用于硅片清洗的前置机械手,其特征在于:所述的齿轮齿条副由齿轮(10)和齿条(11)组成,齿轮(10)套装在X轴驱动装置(4)的输出轴上,齿条(11)固定在所述的固定框(2)上。
3.根据权利要求1所述的用于硅片清洗的前置机械手,其特征在于:所述的滚珠丝杠副包括丝杠(12)和螺母(13),丝杠(12)与Y轴驱动装置(4)活动连接,螺母(13)与Y轴滑块(3)固定连接,螺母(13)通过螺纹连接在丝杠(12)上。
4.根据权利要求1所述的用于硅片清洗的前置机械手,其特征在于:所述的导轨副由圆形直线导轨(14)和滑块(15)组成,圆形直线导轨(14)安装在固定框(2)上,滑块(15)固定连接在防腐框架(1)上。
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CN103586238A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-19 | 中国农业大学 | 一种输棉管道除尘装置 |
CN103949434A (zh) * | 2014-04-22 | 2014-07-30 | 苏州金牛精密机械有限公司 | 硅片清洗用移动装置 |
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