CN202643889U - 新型单晶炉热屏升降装置 - Google Patents
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Abstract
一种新型单晶炉热屏升降装置，新型单晶炉热屏升降装置的提拉装置的转轴、压片、滑轮设置在底座、端盖与压盖相配合组成收容空间内，磁流体设置在端盖的侧壁上且与端盖连通，转轴一端从磁流体伸出后与联轴器-B连接，另一端通过设置在压盖上的轴承装入压盖。两个压轮、挡条相互配合安装在底座上，钨丝绳装在滑轮上，用压片压紧，钨丝绳从两个压轮间穿过，挡条固定在底座上，挡住压轮的另一端，保证钨丝绳不脱离滑轮的槽；钨丝绳另一端连接挂钩；联轴器-B的另一端与软轴连接，如此对单晶炉的导流筒进行提升、下降操作时，可以保证提拉装置稳定的进行升降操作，保证在软轴变形情况发生时不降低传动效率。
Description
技术领域：
本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种新型单晶炉热屏升降装置。
背景技术：
单晶炉是生产集成电路、太阳能及其他半导体行业原材料的重要设备。单晶炉是根据(C-Z Method)原理，在氩气体炉体内通过高纯等静电石墨加热器以高温将硅材料熔化，自动控制籽晶提升(旋转)机构、坩埚提升（旋转）机构、CCD直径控制系统、温度测定系统等部件的精密配合进行生长。
热屏升降装置的作用如下：在单晶硅装料过程中，将导流筒提起装入更多的硅料（导流筒的上升，对增加硅料提供了很大的空间） 。在化料过程中，导流筒与液面不会有接触，避免导流筒沾上液体硅料，使晶体生长有了更好的环境。同时，保护了热场，提高了硅料的利用率。然而，现有的热屏升降装置在传动过程中由于软轴扭矩较小，导致传动时软轴变形，造成热屏升降装置的传动效率低、热屏掉落等缺陷。
发明内容：
有鉴于此，有必要提供一种可靠性、传动效率高的新型单晶炉热屏升降装置。
一种新型单晶炉热屏升降装置，包括动力输出装置、软轴及提拉装置。动力输出装置与软轴的一端连接，软轴的另一端与提拉装置连接。动力输出装置输出预定动力，并通过软轴提供给提拉装置，提拉装置利用软轴提供的动力将单晶炉的导流筒提升、下降；提拉装置包括两个压轮、底座、挡条、转轴、端盖、压盖、联轴器-B 、挂钩、滑轮、磁流体、轴承、软轴、钨丝绳。底座、端盖与压盖相配合组成收容空间，转轴、滑轮设置在底座、端盖与压盖相配合组成收容空间内，磁流体设置在端盖的侧壁上且与端盖连通，转轴一端从磁流体伸出后与联轴器-B连接，另一端通过设置在压盖上的轴承装入压盖；两个压轮、挡条相互配合安装在底座上，钨丝绳的一端固定在滑轮上，钨丝绳从两个压轮间穿过，挡条固定在底座上，挡住压轮的另一端，保证钨丝绳不脱离滑轮的槽；钨丝绳另一端连接挂钩；联轴器-B的另一端与软轴连接。
优选的，提拉装置还包括压片，钨丝绳的一端装固定在滑轮上，用压片压紧。
优选的，动力输出装置包括支承座、联轴器-A 、传感器支撑板、传感器挡板、联轴器-C 、直流伺服马达、减速机；直流伺服马达、减速机固定在支承座上，直流伺服马达的输出端与联轴器-A连接，联轴器-A的另一端与减速机的减速机输入输出轴的输入端连接；减速机的减速机输入输出轴的输出端与联轴器-C连接；联轴器-C的另一端与软轴连接；传感器挡板安装在联轴器-C 上、传感器支撑板安装在减速机上。
优选的，减速机为铝合金涡轮减速机。
利用上述新型单晶炉热屏升降装置对单晶炉的导流筒进行提升、下降操作时，提拉装置的转轴、压片、滑轮设置在底座、端盖与压盖相配合组成收容空间内，磁流体设置在端盖的侧壁上且与端盖连通，转轴一端从磁流体伸出后与联轴器-B连接，另一端通过设置在压盖上的轴承装入压盖。两个压轮、挡条相互配合安装在底座上，钨丝绳装在滑轮上，用压片压紧，钨丝绳从两个压轮间穿过，挡条固定在底座上，挡住压轮的另一端，保证钨丝绳不脱离滑轮的槽；钨丝绳另一端连接挂钩；联轴器-B的另一端与软轴连接，如此可以保证提拉装置稳定的进行升降操作，保证在软轴变形情况发生时不降低传动效率低。
附图说明：
附图1是一较佳实施方式的新型单晶炉热屏升降装置的结构示意图。
附图2是图1中新型单晶炉热屏升降装置的A--A向剖面结构示意图。
附图3是图2中新型单晶炉热屏升降装置的C--C向剖面结构示意图。
图中：新型单晶炉热屏升降装置10、动力输出装置20、支承座21、联轴器-A 22、传感器支撑板23、减速机25、传感器挡板26、联轴器-C 27、直流伺服马达28、减速机输入输出轴29、软轴30、提拉装置50、两个压轮501、底座502、挡条503、转轴504、端盖505、压盖506、压片507、联轴器-B 508、挂钩509、滑轮510、磁流体511、轴承512、钨丝绳513
具体实施方式：
如图1、图2及图3所示的新型单晶炉热屏升降装置10，包括动力输出装置20、软轴30及提拉装置50。动力输出装置20与软轴30的一端连接，软轴30的另一端与提拉装置50连接。动力输出装置20输出预定动力，并通过软轴30提供给提拉装置50，提拉装置50利用软轴30提供的动力将单晶炉的导流筒提升、下降。
动力输出装置20包括支承座21、联轴器-A 22、传感器支撑板23、传感器挡板26、联轴器-C 27、直流伺服马达28、减速机25。直流伺服马达28、减速机25固定在支承座21上，直流伺服马达28的输出端与联轴器-A 22连接，联轴器-A 22的另一端与减速机25的减速机输入输出轴29的输入端连接。减速机25的减速机输入输出轴29的输出端与联轴器-C 27连接。联轴器-C 27的另一端与软轴30连接。传感器挡板23安装在联轴器-C 27上、传感器支撑板23安装在减速机25上，如此通过设置在传感器支撑板23上的传感器采集传感器与传感器挡板23的位置关系，来控制新型单晶炉热屏升降装置10的升降值。减速机25为铝合金涡轮减速机。
请同时参看图3，提拉装置50包括两个压轮501、底座502、挡条503、转轴504、端盖505、压盖506、压片507、联轴器-B 508、挂钩509、滑轮510、磁流体511、轴承512、钨丝绳513。底座502、端盖505与压盖506相配合组成收容空间，转轴504、压片507、滑轮510设置在底座502、端盖505与压盖506相配合组成收容空间内，磁流体511设置在端盖505的侧壁上且与端盖505连通，转轴504一端从磁流体511伸出后与联轴器-B508连接，另一端通过设置在压盖506上的轴承512装入压盖506。两个压轮501、挡条503相互配合安装在底座502上，钨丝绳513装在滑轮510上，用压片507压紧，钨丝绳513从两个压轮501间穿过，挡条503固定在底座502上，挡住压轮501的另一端，保证钨丝绳513不脱离滑轮510的槽；钨丝绳513另一端连接挂钩509；联轴器-B508的另一端与软轴30连接。
在利用新型单晶炉热屏升降装置10对将单晶炉的导流筒提升、下降操作时，直流伺服马达28转动，输入扭力给减速机25，经过减速机25减速后使减速机输入输出轴29转动，通过软轴30传动给转轴504，转轴504带动滑轮510旋转，通过钨丝绳513实现上升或下降。
利用上述新型单晶炉热屏升降装置10对单晶炉的导流筒进行提升、下降操作时，提拉装置50的转轴504、压片507、滑轮510设置在底座502、端盖505与压盖506相配合组成收容空间内，磁流体511设置在端盖505的侧壁上且与端盖505连通，转轴504一端从磁流体511伸出后与联轴器-B508连接，另一端通过设置在压盖506上的轴承512装入压盖506。两个压轮501、挡条503相互配合安装在底座502上，钨丝绳513装在滑轮510上，用压片507压紧，钨丝绳513从两个压轮501间穿过，挡条503固定在底座502上，挡住压轮501的另一端，保证钨丝绳513不脱离滑轮510的槽；钨丝绳513另一端连接挂钩509；联轴器-B508的另一端与软轴30连接，如此可以保证提拉装置50稳定的进行升降操作，保证在软轴30变形情况发生时不降低传动效率低。
Claims (4)
1.一种新型单晶炉热屏升降装置，包括动力输出装置、软轴及提拉装置，动力输出装置与软轴的一端连接，软轴的另一端与提拉装置连接，动力输出装置输出预定动力，并通过软轴提供给提拉装置，提拉装置利用软轴提供的动力将单晶炉的导流筒提升、下降，其特征在于：提拉装置包括两个压轮、底座、挡条、转轴、端盖、压盖、联轴器-B 、挂钩、滑轮、磁流体、轴承、软轴、钨丝绳；底座、端盖与压盖相配合组成收容空间，转轴、滑轮设置在底座、端盖与压盖相配合组成收容空间内，磁流体设置在端盖的侧壁上且与端盖连通，转轴一端从磁流体伸出后与联轴器-B连接，另一端通过设置在压盖上的轴承装入压盖；两个压轮、挡条相互配合安装在底座上，钨丝绳的一端固定在滑轮上，钨丝绳从两个压轮间穿过，挡条固定在底座上，挡住压轮的另一端，保证钨丝绳不脱离滑轮的槽；钨丝绳另一端连接挂钩；联轴器-B的另一端与软轴连接。
2.根据权利要求1所述的新型单晶炉热屏升降装置，其特征在于：提拉装置还包括压片，钨丝绳的一端装固定在滑轮上，用压片压紧。
3.根据权利要求1所述的新型单晶炉热屏升降装置，其特征在于：动力输出装置包括支承座、联轴器-A 、传感器支撑板、传感器挡板、联轴器-C 、直流伺服马达、减速机；直流伺服马达、减速机固定在支承座上，直流伺服马达的输出端与联轴器-A连接，联轴器-A的另一端与减速机的减速机输入输出轴的输入端连接；减速机的减速机输入输出轴的输出端与联轴器-C连接；联轴器-C的另一端与软轴连接；传感器挡板安装在联轴器-C 上、传感器支撑板安装在减速机上。
4.根据权利要求3所述的新型单晶炉热屏升降装置，其特征在于：减速机为铝合金涡轮减速机。
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| CN2012201515177U CN202643889U (zh) | 2012-04-12 | 2012-04-12 | 新型单晶炉热屏升降装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106676622A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-17 | 洛阳金诺光电子材料有限公司 | 一种用于人工晶体炉的上轴升降装置 |
| CN111235628A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-06-05 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置及单晶炉 |
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2012
- 2012-04-12 CN CN2012201515177U patent/CN202643889U/zh not_active Expired - Lifetime
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| CN111235628A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-06-05 | 南京晶能半导体科技有限公司 | 一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置及单晶炉 |
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