CN202042466U

CN202042466U - 一种多晶硅硅块清洗转篮

Info

Publication number: CN202042466U
Application number: CN2011201548053U
Authority: CN
Inventors: 王晓楠; 李峰; 侯俊峰; 胡永; 杨光军
Original assignee: Guodian Ningxia Solar Co Ltd
Current assignee: Guodian Ningxia Solar Co Ltd
Priority date: 2011-05-20
Filing date: 2011-05-20
Publication date: 2011-11-16
Anticipated expiration: 2021-05-20

Abstract

本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，包括转盘、驱动转盘的驱动装置、与转盘同轴设置的转篮本体及与转篮本体的开口相适配的盖板，转篮本体的开口端设有用于卡接所述盖板的卡接装置。如此设置，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，可有效解决在拆卸或安装盖板时因反复拆卸和安装螺栓，而造成的多晶硅硅块清洗转篮处理硅块效率低下的技术问题。

Description

一种多晶硅硅块清洗转篮

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，更具体的涉及一种多晶硅硅块清洗转篮。

背景技术

太阳能是最大的无污染的可再生资源，取之不尽、用之不竭，是今后人类能源利用的重点之一。自上世纪末以来，随着全世界对能源消耗的剧增，传统能源枯竭的威胁，以及多晶硅、单晶硅发电技术的发展，太阳能光伏产业方兴未艾。

目前，制备多晶硅的主要方法为改良西门子法，该法是用硅芯棒作发热和硅沉积载体，于1050～1150℃下通入三氯氢硅和氢气，三氯氢硅被氢气还原成硅并沉积在硅芯棒表面，硅芯最终生长为φ100～200mm的硅棒。而后将硅棒破碎，进行腐蚀清洗之后，进行拉单晶铸锭，最后制作成硅片。

请参考图1，图1为现有技术中多晶硅硅块清洗转篮结构示意图。

现有技术存在的一种多晶硅硅块清洗转篮包括转盘1、与转盘1通过连接轴4相连接的转篮本体2。转篮本体2上具有盖板3，通过盖板3可将硅块放入转篮本体2内。驱动轴5可带动转盘1旋转，由于转篮本体2与转盘1同轴连接，转篮本体2随转盘1一同旋转，进而使得放置于转篮本体2内部的硅块得到充分的腐蚀和清洗。

然而，现有技术中盖板3与转篮本体2采用螺栓连接，每次在转篮本体2内部放置硅块或将硅块从转篮本体2取出时，都要进行旋紧或旋松螺栓的工序，方可打开盖板3。因此，反复拆卸和安装螺栓，对大批量硅块处理效率造成了不利影响。

因此，如何解决在拆卸或安装盖板时，因反复拆卸和安装螺栓，而造成的多晶硅硅块清洗转篮处理硅块效率低下的技术问题，成为本领域技术人员所要解决的重要技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅硅块清洗转篮，以解决在拆卸或安装盖板时因反复拆卸和安装螺栓，而造成的多晶硅硅块清洗转篮处理硅块效率低下的技术问题。

本实用新型提供的一种多晶硅硅块清洗转篮，包括转盘、驱动所述转盘的驱动装置、与所述转盘同轴设置的转篮本体及与所述转篮本体的开口相适配的盖板，还包括将所述盖板卡置于所述转篮本体的开口端的卡接装置。

优选地，所述转篮本体的开口端设有第一导向槽及与所述第一导向槽相连的卡槽，且所述卡槽的宽度大于所述第一导向槽的宽度，所述卡接装置包括：

宽度小于所述第一导向槽的宽度且长度大于所述第一导向槽的宽度的长条状卡瓣；

转轴，所述转轴贯穿于所述盖板，且其靠近所述转篮本体的开口端的一端与所述长条卡瓣固定连接；

把手，所述把手与所述转轴的另一端固定连接。

优选地，所述把手的与所述转轴相连接的一端的相对端设有导向块，且所述盖板的表面设有延伸方向与所述导向块运动轨迹相同的第二导向槽，且所述第二导向槽的端部设有与所述导向块相适配的沉槽。

优选地，所述长条状卡瓣与所述把手为一体式结构。

优选地，所述驱动装置包括驱动齿轮，所述转盘的周边设有与所述驱动齿轮相啮合的轮齿。

优选地，所述转篮本体的内部包括多个轴向排列的空腔。

优选地，所述空腔的具体数量为三个。

优选地，所述转篮本体设有若干贯穿其壁厚方向的通孔。

本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，包括转盘、驱动所述转盘的驱动装置、与所述转盘同轴设置的转篮本体及与所述转篮本体的开口相适配的盖板，还包括将所述盖板卡置于所述转篮本体的开口端的卡接装置。需要说明的是，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，其盖板通过卡接装置卡置于转篮本体，当需要拆卸盖板时，只需将卡接装置打开即可将盖板拆下。因此，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，无需使用螺栓连接。如此设置，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，可有效解决在拆卸或安装盖板时因反复拆卸和安装螺栓，而造成的多晶硅硅块清洗转篮处理硅块效率低下的技术问题。

本实用新型提供的优选方案中，多晶硅硅块清洗转篮的转篮本体的开口端设有第一导向槽及与所述第一导向槽相连的卡槽，且所述卡槽的宽度大于所述第一导向槽的宽度，所述卡接装置包括条状卡瓣、转轴及把手。其中，条状卡瓣的宽度小于第一导向槽的宽度，且长度大于第一导向槽的宽度；转轴贯穿于盖板，且其靠近所述转篮本体的开口端的一端与所述长条卡瓣固定连接；转轴的另一端与把手相连接。如此设置，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，其盖板上设有长条状卡瓣、转轴及把手。安装盖板时，首先需调整把手，把手通过转轴带动条状卡瓣，使条状卡瓣能够沿第一导向槽滑动至卡槽内。而后操纵把手带动条状卡瓣转动，使得长条状卡瓣卡置于卡槽内。如此，盖板通过长条状卡瓣与卡槽的配合实现了与转篮本体的卡接。当需要拆卸盖板时，需转动把手，使得长条状卡瓣能够从第一导向槽中滑出。如此设置，可有效实现将盖板卡置于转篮本体的开口端。

附图说明

图1为现有技术中多晶硅硅块清洗转篮结构示意图；

图2为本实用新型具体实施方式中多晶硅硅块清洗转篮结构示意图；

图3为本实用新型具体实施方式中第一导向槽与卡槽结构示意图；

图4为本实用新型具体实施方式中盖板主视结构示意图；

图5为本实用新型具体实施方式中盖板俯视结构示意图；

图6为本实用新型具体实施方式中转篮本体局部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图2至图5，图2为本实用新型具体实施方式中多晶硅硅块清洗转篮结构示意图；图3为本实用新型具体实施方式中第一导向槽与卡槽结构示意图；图4为本实用新型具体实施方式中盖板主视结构示意图；图5为本实用新型具体实施方式中盖板俯视结构示意图。

本具体实施方式所提供的多晶硅硅块清洗转篮，包括转盘11、驱动转盘11转动的驱动装置12、与转盘11同轴设置的转篮本体13及与转篮本体13的开口相适配的盖板14。本具体实施方式所提供的转篮本体，还包括将盖板14卡置于转篮本体13的开口端的卡接装置15。。

需要说明的是，现有技术中盖板与转篮本体采用螺栓连接，每次在转篮本体内部放置硅块或将硅块从转篮本体取出时，都要进行旋紧或旋松螺栓的工序，方可打开盖板。因此，反复拆卸和安装螺栓，对转篮大批量硅块处理效率造成了不利影响。

鉴于此，本具体实施方式提供的多晶硅硅块清洗转篮，其盖板14通过卡接装置15卡置于转篮本体13，当需要拆卸盖板14时，只需将卡接装置15打开即可将盖板14拆下。因此，本具体实施方式所提供的多晶硅硅块清洗转篮，其盖板14与转篮本体13无需使用螺栓连接。

如此设置，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，可有效解决在拆卸或安装盖板时因反复拆卸和安装螺栓，而造成的多晶硅硅块清洗转篮处理硅块效率低下的技术问题。

本具体实施方式所提供的优选方案中，多晶硅硅块清洗转篮，其转篮本体13的开口端设有第一导向槽131及与第一导向槽131相连的卡槽132。需要说明的是，卡槽132的宽度大于第一导向槽131的宽度。

本具体实施方式所提供的卡接装置15包括条状卡瓣151、转轴152及把手153。

需要说明的是，条状卡瓣151的宽度小于第一导向槽131的宽度，且条状卡瓣151的长度大于第一导向槽131的宽度；转轴152贯穿于盖板，且其靠近转篮本体13的开口端的一端与长条卡瓣151固定连接；转轴152的另一端与把手153相连接。如此，卡接装置通过转轴152连接于盖板14，且长条状卡瓣151与把手153分别位于盖板14的两相对侧，其设有长条状卡瓣151的一侧盖于转篮本体13的开口端。

如此设置，本实用新型提供的多晶硅硅块清洗转篮，其盖板14上设有长条状卡瓣151、转轴152及把手153。安装盖板14时，首先需调整把手153，把手153通过转轴152带动条状卡瓣151，使条状卡瓣151能够沿第一导向槽131滑动至卡槽132内。此时，操纵把手153带动条状卡瓣151转动，使得长条状卡瓣151卡置于卡槽132内。如此，盖板14通过长条状卡瓣151与卡槽132的配合实现了与转篮本体13的卡接。

当需要拆卸盖板14时，只需转动把手153，使得长条状卡瓣151能够从第一导向槽131中滑出。如此设置，可方便地实现将盖板14的拆卸和安装。

此外，在盖板14安装至转篮本体13的开口端之后，为了规避因把手153转动而使得长条状卡瓣151与卡槽132脱离，进而导致盖板14掉下的问题。本具体实施方式所提供的卡接装置15，其把手153与转轴152相连接的一端的相对端设有导向块154，且盖板14的表面设有延伸方向与导向块154运动轨迹相同的第二导向槽141，且第二导向槽141的端部设有与导向块154相适配的沉槽142。

需要说明的是，把手153与转轴152连接端的相对端设有导向块154，当把手153绕转轴152转动时，导向块154可沿第二导向槽141位移。第二导向槽141的端部设有与导向块154相适配的沉槽142。

如此设置，待长条状卡瓣151卡于卡槽132时，导向块154恰能够卡接于沉槽142，如此有效规避了因把手153回转，进而导致长条状卡瓣151与卡槽132脱离卡接的问题。

需要说明的是，现有技术中驱动装置12一般为表面带有防滑纹的转轴，通过该转轴与转盘之间的摩擦力带动转盘转动，然而随着长时间的运行，转轴外周面的防滑纹逐渐被磨平，或转篮本体13承载过大时，易导致转轴与转盘之间易出现打滑问题。

鉴于此，本具体实施方式的优选方案中，驱动装置12可具体包括驱动齿轮，转盘11的周边设有与驱动齿轮相啮合的轮齿。

如此设置，本实用新型采用齿轮啮合传动方式，可有效避免驱动装置12与转盘11之间出现打滑的问题。

此外，本具体实施方式所提供的多晶硅硅块清洗转篮，其转篮本体13的内部包括多个轴向排列的空腔(图中未示出)。需要指出的是，转篮本体13内部可设置有若干隔板，将其内部分隔为多个空腔。比如，转篮本体13内部设置两个隔板，将转篮本体13内部分隔为三个空腔。当然，转篮本体13下端需具有与三个空腔相对应设置的容料装置16，以便从转篮本体13向外倾倒硅块时，三个容料装置可分别接收从三个空腔内倾倒出的硅料。

如此设置，可将转篮本体13较大的内部空间分隔为较小的多个空腔，硅块在多个空腔内进行处理，硅块之间的摩擦较少，故有效规避了因硅块之间的摩擦而产生大量硅粉的问题。

请参考图4，图4为本实用新型具体实施方式中转篮本体局部结构示意图。

此外，本具体实施方式所提供的多晶硅硅块清洗转篮，其转篮本体13设有若干贯穿其壁厚方向的通孔131。

需要说明的是，该些通孔131的大小需根据具体情况具体设定，只要能够限制硅块不能从转篮本体13内部掉出即可。

如此设置，本具体实施方式所提供的多晶硅硅块清洗转篮在旋转过程中，可通过转篮本体13上的通孔131向其内部喷洒酸液，进而使得硅块腐蚀更加充分。

以上对本实用新型所提供的一种多晶硅硅块清洗转篮进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims

1.一种多晶硅硅块清洗转篮，包括转盘、驱动所述转盘的驱动装置、与所述转盘同轴设置的转篮本体及与所述转篮本体的开口端相适配的盖板，其特征在于，还包括将所述盖板卡置于所述转篮本体的开口端的卡接装置。

2.如权利要求1所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述转篮本体的开口端设有第一导向槽及与所述第一导向槽相连的卡槽，且所述卡槽的宽度大于所述第一导向槽的宽度，所述卡接装置包括：

把手，所述把手与所述转轴的另一端固定连接。

3.如权利要求2所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述把手与所述转轴相连接的一端的相对端设有导向块，且所述盖板的表面设有延伸方向与所述导向块运动轨迹相同的第二导向槽，且所述第二导向槽的端部设有与所述导向块相适配的沉槽。

4.如权利要求3所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述长条状卡瓣与所述把手为一体式结构。

5.如权利要求4所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述驱动装置包括驱动齿轮，所述转盘的周边设有与所述驱动齿轮相啮合的轮齿。

6.如权利要求5所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述转篮本体的内部包括多个轴向排列的空腔。

7.如权利要求6所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述空腔的具体数量为三个。

8.如权利要求6所述的多晶硅硅块清洗转篮，其特征在于，所述转篮本体设有若干贯穿其壁厚方向的通孔。