CN202157145U - 硅芯母料用盛载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅芯母料盛载装置，包括：第一转盘、第二转盘和设置在两个转盘之间的中心轴，其特征在于，还包括套设在所述中心轴上的硅芯母料盘，其边缘上设置有夹持部相互隔离的硅芯母料夹具。本实用新型提供的硅芯母料承载装置由于夹持硅芯母料的各个夹具的夹持部相互隔离，所以避免了各个硅芯母料之间的接触，进而避免了各个硅芯母料因彼此之间的接触而导致接触部位无法进行杂质清洗的问题，提高了硅芯母料与清洗液的接触面积，提高了杂质清洗效果，提高了硅芯母料的杂质清洗质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅芯加工辅助设备技术领域，更具体地说，涉及一种硅芯母料用盛载装置。
背景技术
多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基石。多晶硅按照纯度和用途可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。
目前制作多晶硅的主要方法是改良西门子法，该法是用硅芯棒作为发热和沉积硅的载体，于1050～1150℃下通入三氯氢硅和氢气，三氯氢硅被氢气还原成硅并沉积在硅芯棒的表面，硅芯棒最终生长为直径为100～200mm的硅棒。
上述制作多晶硅的方法中采用的硅芯棒是通过用多晶硅棒(硅芯母料)作为原料，在高频硅芯炉中通过高频感应使多晶硅棒局部加热熔化，然后用籽晶熔接，并以一定的速度向上提拉，拉成直径为9mm，长2500mm的硅芯棒。上述用来拉直硅芯棒所使用的特质的多晶硅棒必须通过HF+HNO3溶液对其表面的杂质进行处理后才能够用来拉制硅芯棒。
现有的硅材料清洗设备中，多晶硅棒在腐蚀处理的过程中容易接触在一起，导致接触的部位无法与腐蚀溶液完全接触，影响了多晶硅棒的腐蚀处理效果，进而影响了多晶硅棒的腐蚀处理质量。
综上所述，如何提供一种清洗辅助设备，提高多晶硅棒在硅材料清洗设备中清洗的效果，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供了一种硅芯母料盛载装置，以提高多晶硅棒在硅材料清洗设备中清洗的效果。
为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种硅芯母料盛载装置，包括：第一转盘、第二转盘和设置在两个转盘之间的中心轴，其特征在于，还包括套设在所述中心轴上的硅芯母料盘，其边缘上设置有夹持部相互隔离的硅芯母料夹具。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述硅芯母料夹具为与所述硅芯母料盘的部分边缘组成方形卡座的三条卡条。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，与所述卡条相对应的硅芯母料盘的部分边缘的连接端设置有沿直线分布的连接孔，所述三条卡条的连接端均设置有沿直线分布的连接孔，所述连接孔中可拆卸地设置有连接件。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述硅芯母料盘上与两个所述卡条相对应的外侧设置有夹紧螺纹旋杆。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述三个卡条均具有镂空结构。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述硅芯母料夹具可以为设置在所述硅芯母料盘边缘的环形抱箍。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述第一转盘和第二转盘的外侧均设置有提手。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，还包括设置在硅芯母料盘的两侧，且套设在所述中心轴上的挡板。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述挡板包括挡板本体和筒状安装部，所述筒状安装部上设置有螺孔，所述筒状安装部通过锁紧螺钉固定在所述中心轴上。
优选的，上述硅芯母料盛载装置中，所述挡板本体为圆形板件。
本实用新型提供的硅芯母料承载装置中，第一转盘、第二转盘和中心轴组成整体支架，在中心轴上设置有硅芯母料盘，该硅芯母料盘的边缘上设置有夹持部相互隔离的硅芯母料夹具，在硅芯母料在硅材料清洗设备中清洗时，将硅芯母料设置在硅芯母料夹具中后，由于夹持硅芯母料的各个夹具的夹持部相互隔离，所以避免了各个硅芯母料之间的接触，进而避免了各个硅芯母料因彼此之间的接触而导致接触部位无法进行杂质清洗的问题，提高了硅芯母料与清洗液的接触面积，提高了杂质清洗效果，提高了硅芯母料的杂质清洗质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的硅芯母料承载装置的结构示意图；
图2为图1的A-A向剖视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供的硅芯母料盛载装置，包括第一转盘1、第二转盘5、中心轴2和硅芯母料盘6，其中：
中心轴2设置在第一转盘1和第二转盘5之间，硅芯母料盘6套设在中心轴2上，该硅芯母料盘6上设置有夹持部相互隔离的硅芯母料夹具61。
本实用新型提供的硅芯母料承载装置中，第一转盘1、第二转盘5和中心轴2组成整体支架，在中心轴2上设置有硅芯母料盘6，该硅芯母料盘6的边缘上设置有夹持部相互隔离的硅芯母料夹具61，在硅芯母料9在硅材料清洗设备中清洗时，将硅芯母料9设置在硅芯母料夹具61中后，由于夹持硅芯母料9的各个硅芯母料夹具61的夹持部相互隔离，所以避免了各个硅芯母料9之间的接触，进而避免了各个硅芯母料9因彼此之间的接触而导致接触部位无法进行杂质清洗的问题，提高了硅芯母料9与清洗液的接触面积，提高了杂质清洗效果，提高了硅芯母料9的杂质清洗质量。
上述硅芯母料承载装置中，硅芯母料夹具61为与硅芯母料盘6的部分边缘组成方形卡座的三条卡条，在清洗的过程中将硅芯母料夹持在方形卡座中，由于硅芯母料9卡设在硅芯母料中，各个卡条将硅芯母料9隔开，避免硅芯母料之间的接触。
与上述卡条相对应的硅芯母料盘的部分边缘的连接端设置有沿直线分布的连接孔，三条卡条的连接端均设置有沿直线分布的连接孔，连接孔中可拆卸地设置有连接件，上述结构中改变连接件在不同位置的连接孔，可以改变卡座的大小，进而可以实现对不同直径的硅芯母料9的卡紧固定。
为了防止上述硅芯母料承载装置中，硅芯母料夹具对硅芯母料夹持过程中出现松动，上述硅芯母料盘6上与两个卡条相对应的外侧设置有夹紧螺纹旋杆10，可以通过旋紧夹紧螺纹旋杆10防止两个卡条的松动。
上述硅芯母料夹具中卡座通过卡条卡紧硅芯母料9，在夹紧的过程中必定会有部分卡条与硅芯母料9进行接触，该接触部分的硅芯母料就无法实现更好的清洗，为了提高对该部分的清洗能力，上述三个卡条上均具有镂空结构。
当然，上述实施例中只是简单地介绍了一种硅芯母料据夹具，当然上述硅芯母料盘上还可以设置有环形抱箍，通过环形抱箍将各个硅芯母料相互隔离开。
为了方便上述硅芯母料承载装置的操作，上述第一转盘1的外侧设置有提手4，第二转盘3上设置有提手3。
在清洗的过程中，为了防止硅芯母料从一侧脱落，上述硅芯母料承载装置还包括设置在硅芯母料9两侧的，且套设在中心轴2上的挡板。请参考附图1，挡板包括挡板本体7和筒状安装部8，所述筒状安装部上设置有螺孔，所述筒状安装部通过锁紧螺钉固定在中心轴2上。优选的，上述挡板本体8为圆形板件。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (10)
1.一种硅芯母料盛载装置，包括：第一转盘、第二转盘和设置在两个转盘之间的中心轴，其特征在于，还包括套设在所述中心轴上的硅芯母料盘，其边缘上设置有夹持部相互隔离的硅芯母料夹具。
2.根据权利要求1所述的硅芯母料盛载装置，其特征在于，所述硅芯母料夹具为与所述硅芯母料盘的部分边缘组成方形卡座的三条卡条。
3.根据权利要求2所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，与所述卡条相对应的硅芯母料盘的部分边缘的连接端设置有沿直线分布的连接孔，所述三条卡条的连接端均设置有沿直线分布的连接孔，所述连接孔中可拆卸地设置有连接件。
4.根据权利要求3所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，所述硅芯母料盘上与两个所述卡条相对应的外侧设置有夹紧螺纹旋杆。
5.根据权利要求4所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，所述三个卡条均具有镂空结构。
6.根据权利要求1所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，所述硅芯母料夹具可以为设置在所述硅芯母料盘边缘的环形抱箍。
7.根据权利要求1-6中任意一项所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，所述第一转盘和第二转盘的外侧均设置有提手。
8.根据权利要求7所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，还包括设置在硅芯母料盘的两侧，且套设在所述中心轴上的挡板。
9.根据权利要求8所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，所述挡板包括挡板本体和筒状安装部，所述筒状安装部上设置有螺孔，所述筒状安装部通过锁紧螺钉固定在所述中心轴上。
10.根据权利要求9所述的硅芯母料承载装置，其特征在于，所述挡板本体为圆形板件。
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| CN2011201356886U CN202157145U (zh) | 2011-05-05 | 2011-05-05 | 硅芯母料用盛载装置 |
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Publications (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114308865A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种用于硅芯清洗的旋转花篮 |
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2011
- 2011-05-05 CN CN2011201356886U patent/CN202157145U/zh not_active Expired - Fee Related
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