CN203593628U - 一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，包括下部中心位置设有圆锥形电极插孔的底座，所述底座上部中心位置设有与所述电极插孔相通的倒圆锥形插槽；所述插槽内活动插接一中心设有芯孔的两瓣状夹头；所述夹头由两个截顶圆锥体底面连接而成；所述夹头的中部对称设有腰槽，该石墨组件安装拆卸方便，锥面定位和锁紧部件少降低了成本；退座容易，且消除了螺纹紧固时硅粉沉积对螺纹的破坏，使底座的复用率进一步提高；上锥面退棒容易，减少了碳头料损失和碳头料二次处理的费用；用料少，成本低，多方位降低使用者的生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体涉及一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件。
背景技术
多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产多晶硅的产能最大，约占全世界总产能的75%。硅棒在钟罩式还原炉中生长，石墨组件固定炉内的硅芯，并插装在电极上形成通电回路，是硅晶制造中的关健部件之一。
常规的石墨组件有多种形式，并不断的演变。国外的多晶硅生产企业多采用一种圆柱状的整体式支承件。所述支承件的上部锥形的中央位置有硅芯插入孔；下部中央位置有圆锥形的电极插入孔。然而，由于其整体式的特性，使得这种石墨组件对与之相配合的硅芯的尺寸精确度要求特别高；并且由于多晶硅生长过程中对所述石墨组件的包裹、粘连作用，导致这种石墨组件只能一次性使用，也就造成了较大的材料浪费和较高的生产成本。
目前，多晶硅生产企业常用的石墨支承件为三套件式，包含石墨座、帽和卡瓣。石墨座呈圆柱状，下部中央位置有圆锥形的电极插孔，上部外围有螺纹；石墨帽也呈圆柱状，下部中央位置有圆形孔，其内表面带有螺纹，该螺纹是与座上的螺纹相配合的，上部中央位置有上小下大的锥形孔；石墨卡瓣中央位置开有硅芯插孔，下部为圆柱状凸台，上部为一定锥度的圆锥状，且该锥度与帽的锥形孔相配合，由石墨帽将该卡瓣压在石墨座上并夹紧硅芯。但是，生产实践已经证明，这种石墨组件结构较复杂，材料消耗大；加工工作量大；易发生倒棒造成损失；并且这种石墨组件的安装和退棒也都极不方便。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，优化石墨组件结构，节省材料，增加复用，减少因硅棒夹带石墨而形成的碳头损失，减少对硅棒夹带石墨的二次处理的费用和粉尘污染。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，包括下部中心位置设有圆锥形电极插孔的底座，所述底座上部中心位置设有与所述电极插孔相通的倒圆锥形插槽；所述插槽内活动插接一中心设有芯孔的两瓣状夹头；所述夹头由两个截顶圆锥体底面连接而成；所述夹头的中部对称设有腰槽。
所述夹头周向均分为大小相等的两卡瓣，所述腰槽分别设于卡瓣的中部。
当夹头与底座安装时，芯孔与电极插孔连通。
本实用新型的有益效果是：一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，安装拆卸方便，锥面定位和锁紧部件少降低了成本；退座容易，且消除了螺纹紧固时硅粉沉积对螺纹的破坏，使底座的复用率进一步提高；上锥面退棒容易，减少了碳头料损失和碳头料二次处理的费用；用料少，成本低，多方位降低使用者的生产成本。
附图说明
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
附图1是一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件的结构示意图。
附图2是一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件的俯视图。
图中，1.底座，1-1.电极插孔，1-2.插槽，2.夹头，2-1.卡瓣，2-2.芯孔，2-3.腰槽。
具体实施方式
在附图中，一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，包括下部中心位置设有圆锥形电极插孔1-1的底座1，所述底座1上部中心位置设有与所述电极插孔1-1相通的倒圆锥形插槽1-2；所述插槽1-2内活动插接一中心设有芯孔2-2的两瓣状夹头2；所述夹头2由两个截顶圆锥体底面连接而成；所述夹头2的中部对称设有腰槽2-3。
所述夹头2周向均分为大小相等的两卡瓣2-1，所述腰槽2-3分别设于卡瓣2-1的中部。
当夹头2与底座1安装时，芯孔2-2与电极插孔1-1连通。
使用时，将夹头2的中间插入硅芯，使夹头2与底座1的插槽1-2楔紧，起到定位与固定作用，由于夹头2采用双向圆锥体结构，不仅方便其与底座1的安装，也方便退座。在硅棒的生长过程中，游离的硅会沉积在石墨组件表面，退座和退棒需要克服粘连施加拉脱力，因此夹头2中部的腰槽2-3设计能够在粘连严重不易退座和退棒时使用工具强退。
Claims (2)
1.一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，包括下部中心位置设有圆锥形电极插孔（1-1）的底座（1），所述底座（1）上部中心位置设有与所述电极插孔（1-1）相通的倒圆锥形插槽（1-2）；其特征是，所述插槽（1-2）内活动插接一中心设有芯孔（2-2）的两瓣状夹头（2）；所述夹头（2）由两个截顶圆锥体底面连接而成；所述夹头（2）的中部对称设有腰槽（2-3）。
2.根据权利要求1所述一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件，其特征是，所述夹头（2）周向均分为大小相等的两卡瓣（2-1），所述腰槽（2-3）分别设于卡瓣（2-1）的中部。
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Cited By (2)
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| CN105384172A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-03-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头及其使用方法 |
| TWI615512B (zh) * | 2016-06-15 | 2018-02-21 | 上海新昇半導體科技有限公司 | 一種單晶矽生長爐 |
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2013
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| CN105384172B (zh) * | 2015-12-29 | 2017-09-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头及其使用方法 |
| TWI615512B (zh) * | 2016-06-15 | 2018-02-21 | 上海新昇半導體科技有限公司 | 一種單晶矽生長爐 |
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