CN202988743U - 两瓣式对角夹持石墨卡瓣 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种两瓣式对角夹持石墨卡瓣，由两瓣对称组成，上部分组成圆锥状；下部分组成圆台状，每瓣之间保持1-2mm的间隙。本石墨卡瓣通过两瓣组合构成的卡槽实现对方硅芯的紧密夹持，以确保硅芯稳定。石墨卡瓣具有结构简单、性能稳定的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及到多晶硅生产过程中还原炉方硅芯安装，特别指一种用于方硅芯夹持的两瓣式石墨卡瓣。
背景技术
多晶硅还原炉是西门子法生产多晶硅工艺中的核心装备，其主要作用是通过对还原炉内安装的硅芯通电发热，使三氯氢硅和氢气在硅芯表面反应沉积形成多晶硅。多晶硅还原炉的稳定运行是确保生产的前提，特别是避免在运行中出现倒芯或倒棒。
近些年，随着装备技术的发展，为提高硅芯稳定性与生产效率，截面为正方形的硅芯逐渐在业内推广使用。研制一种硅芯夹持机构是多晶硅还原炉开车过程所需要的。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种两瓣式对角夹持石墨卡瓣，这种卡瓣所用加工材料为高纯石墨，具有结构简单、操作方便、性能稳定等特点，在多晶硅还原炉的安装使用过程中，对行业内逐渐推广使用的方硅芯加强了夹持力度与稳定性。
本实用新型要解决的技术问题由如下方案来实现：两瓣式对角夹持石墨卡瓣，与石墨座、石墨螺套配套使用。石墨卡瓣由两瓣对称组成，上部分组成圆锥状；下部分组成圆台状，两瓣之间保持1-2mm的间隙，上部分顶部形成夹持硅芯的正方形开孔。所述石墨卡瓣上部分组成锥度为1∶1.4的圆锥面，其截面角度为20°。上部分顶部形成的正方形开孔以所用方硅芯尺寸为准，同时兼顾配套石墨座与石墨螺套尺寸。
本实用新型的优点：本石墨卡瓣通过两瓣组合构成的卡槽实现对方硅芯的紧密夹持。石墨卡瓣结构简单、拆装操作方便，实际使用中具有良好的效果。
附图说明
图1是本实用新型的主剖图。
图2是图1的俯视图。
图3是本实用新型与石墨座、石墨螺套配套使用的主剖图。
具体实施方式
如图1、图2所示，本石墨卡瓣1由两瓣对称组成，上部分2组成圆锥状；下部分3组成圆台状，两瓣之间保持1.5mm的间隙，上部分2顶部形成夹持硅芯的正方形开孔4。石墨卡瓣上部分2组成锥度为1∶1.4的圆锥面，其截面角度为20°上部分2顶部形成的正方形开孔4以所用方硅芯尺寸为准，同时兼顾配套石墨座与石墨螺套尺寸。石墨卡瓣表面无气孔、无明显杂质、无毛刺、无划伤、无氧化层，
本石墨卡瓣1所用加工材料为高纯石墨。要求材质的体积密度大于1.85g/cm3，电阻率小于10μΩ·cm，抗压强度大于等于100MPa，热膨胀系数小于4.4×10-6/℃，抗折强度大于48MPa，灰分小于20ppmw，杂质含量小于35ppm，其中硼含量小于3ppba，磷含量小于10ppba。
如图3所示，方硅芯5由石墨卡瓣1紧密夹持，石墨卡瓣1与石墨座6通过圆锥面紧密接触，石墨座6与石墨螺套7通过螺纹连接，利用石墨座6沿螺纹方向不断旋紧，作用于石墨卡瓣1上部分圆锥面的力量使其与方硅芯5紧密接触，实现稳固夹持。
Claims (3)
1.两瓣式对角夹持石墨卡瓣，与石墨座、石墨螺套配套使用，其特征是：所述石墨卡瓣由两瓣对称组成，上部分组成圆锥状；下部分组成圆台状，两瓣之间保持1-2mm的间隙。
2.根据权利要求1所述的两瓣式对角夹持石墨卡瓣，其特征是：所述石墨卡瓣上部分顶部形成夹持硅芯的正方形开孔。
3.根据权利要求1所述的两瓣式对角夹持石墨卡瓣，其特征是：所述石墨卡瓣上部分组成锥度为1∶1.4的圆锥面，其截面角度为20°。
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| CN108675303A (zh) * | 2018-08-14 | 2018-10-19 | 亚洲硅业（青海）有限公司 | 一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法 |
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Cited By (2)
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| CN108675303B (zh) * | 2018-08-14 | 2019-07-26 | 亚洲硅业（青海）有限公司 | 一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法 |
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