CN201217711Y - 硅单晶炉生长晶体实时称重装置 - Google Patents

硅单晶炉生长晶体实时称重装置 Download PDF

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张志新
冯玉生
袁静
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Beijing JingyuntongTechnology Co.,Ltd.
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Abstract

本实用新型属于一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，采用在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮通过称重传感器的传感头与位于绕线箱体上端的称重罩连接，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上；或在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重罩轴接，称重传感器的传感头位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。本实用新型能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。

Description

硅单晶炉生长晶体实时称重装置
技术领域
本实用新型属于一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置。
背景技术
单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动系统。单晶硅炉的硅籽晶提升结构采用软轴，软轴为钢丝绳，穿过箱体的传动轴内的花键轴上设有绕丝轮，绕丝轮和轴接在箱体内的压套轮相交，与两轮相交点对应箱体的压盖上设有带阻尼套的进线口，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端穿过带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤，电机通过减速箱带动传动轴转动。重锤则用于提升炉中钳锅内高温熔化的硅晶并使其向上逐渐结晶形成柱状硅晶体。硅晶质量很大程度上取决于炉膛的真空度和清洁度，为保持炉膛的清洁度通常应使炉膛密封或尽量少的接触空气。对生长的硅晶体要求实时监控其重量，是控制硅晶体合格率的有效保证。但传统的监控硅晶体重量的方法是单晶硅炉外用目测方式通过测量其直径进行推算，十分不准确，不能达到实时监控其重量的要求，从而使生产出的硅晶体质量很差，造成产品正品率低。
发明内容
本实用新型的目的是设计一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。为此，本实用新型采用在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮通过称重传感器的传感头与位于绕线箱体上端的称重罩连接，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上；在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重罩轴接，称重传感器的传感头位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。上述结构达到了本实用新型的目的。
本实用新型的优点是能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。本实用新型使产品正品率达到99.9％，降低制作成本30％。且结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好。
附图说明
图是本实用新型的结构示意图
具体实施方案
如图所示，一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，主要由绕线箱体2、提拉托板1、绕丝轮3、钢丝绳8、重锤9和晶体10所组成。在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮6，称重轮通过称重传感器的传感头5与位于绕线箱体上端的称重罩4连接，即称重轮轴接在称重传感器的传感头的下端，可通过一轴座轴接。钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，重锤下端仍用于提升炉中钳锅内高温熔化的硅晶并使其向上逐渐结晶形成柱状硅晶体10。钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。
显然，也可采用所述的称重轮位于绕丝轮的侧上边。所述的绕线箱体下端为开口箱体。所述的称重轮侧边与称重罩之间设有压丝轮7，压丝轮的作用是使钢丝绳运行平稳。所述的绕线箱体上端为开口箱体。
使用时，电机通过减速箱带动传动轴转动绕丝轮，钢丝绳一端接在绕丝轮上，另一端绕过称重轮上端后向下穿过称重轮与压丝轮之间和带阻尼套的进线口连接位于主炉室内的重锤，重锤则用于提升炉中钳锅内高温熔化的硅晶并使其向上逐渐结晶形成柱状硅晶体。称重传感器的传感头将称重轮上的载荷重量信号通过传导线传导至称重传感器并进行显示，可对生长的硅晶体的重量进行实时监控，对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。本实用新型的称重传感器为已有技术，故不再累述。
显然，本实用新型也可采用称重传感器的传感头位置变化实现本实用新型的目的，例如将称重传感器的传感头位置从称重轮与称重罩之间移至称重罩与绕线箱体之间即：在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重罩轴接，称重传感器的传感头51位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。称重时，称重轮上的载荷重量先传至称重罩后传至称重传感器的传感头，进而通过传导线传导至称重传感器并进行显示，也可对生长的硅晶体的重量进行实时监控。故不再累述。
总之，本实用新型能对生长的硅晶体的重量进行实时监控，使对硅晶测重时仍保持炉膛的高温和抽真空状态，可大幅度提高硅晶体合格率和质量，达到理想的使用效果。

Claims (5)

1、一种硅单晶炉生长晶体实时称重装置，主要由绕线箱体、提拉托板、绕丝轮、钢丝绳、重锤和晶体所组成，其特征在于：在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮通过称重传感器的传感头与位于绕线箱体上端的称重罩连接，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上；
在绕丝轮上端，或侧边设有称重轮，称重轮与位于绕线箱体上端的称重罩轴接，称重传感器的传感头位于绕线箱体与称重罩之间，钢丝绳一端绕过称重轮上端后向下与重锤上端连接，钢丝绳另一端固定在绕丝轮上。
2、按权利要求1所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于：所述的称重轮位于绕丝轮的侧上边。
3、按权利要求1所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于：所述的绕线箱体下端为开口箱体。
4、按权利要求1所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于：所述的称重轮侧边与称重罩之间设有压丝轮。
5、按权利要求1所述的硅单晶炉生长晶体实时称重装置，其特征在于：所述的绕线箱体上端为开口箱体。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101880910A (zh) * 2010-06-30 2010-11-10 宁夏日晶电子科技有限公司 单晶炉称重装置
CN102449444A (zh) * 2009-03-31 2012-05-09 Memc电子材料有限公司 用于测量受拉物体重量的系统和方法
CN102534760A (zh) * 2011-12-28 2012-07-04 苏州优晶光电科技有限公司 用于监测晶体生长的装置
CN102995108A (zh) * 2012-11-27 2013-03-27 无锡市蓝德光电科技有限公司 一种连续加料硅单晶炉
CN103911655A (zh) * 2014-04-09 2014-07-09 中山大学 一种晶体提拉装置
CN105177704A (zh) * 2015-10-23 2015-12-23 苏州晶特晶体科技有限公司 一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置
CN106757315A (zh) * 2017-04-07 2017-05-31 天通吉成机器技术有限公司 一种单晶炉的称重装置
CN106757316A (zh) * 2017-04-07 2017-05-31 天通吉成机器技术有限公司 一种单晶炉
CN109355700A (zh) * 2018-10-16 2019-02-19 徐州华奥纺织有限公司 一种用于单晶炉的称重系统
CN110512277A (zh) * 2019-08-02 2019-11-29 合肥嘉东光学股份有限公司 一种自动称重晶体提拉生长装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102449444A (zh) * 2009-03-31 2012-05-09 Memc电子材料有限公司 用于测量受拉物体重量的系统和方法
CN101880910A (zh) * 2010-06-30 2010-11-10 宁夏日晶电子科技有限公司 单晶炉称重装置
CN101880910B (zh) * 2010-06-30 2012-05-23 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 单晶炉称重装置
CN102534760A (zh) * 2011-12-28 2012-07-04 苏州优晶光电科技有限公司 用于监测晶体生长的装置
CN102995108A (zh) * 2012-11-27 2013-03-27 无锡市蓝德光电科技有限公司 一种连续加料硅单晶炉
CN103911655A (zh) * 2014-04-09 2014-07-09 中山大学 一种晶体提拉装置
CN103911655B (zh) * 2014-04-09 2016-08-17 中山大学 一种晶体提拉装置
CN105177704A (zh) * 2015-10-23 2015-12-23 苏州晶特晶体科技有限公司 一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置
CN106757315A (zh) * 2017-04-07 2017-05-31 天通吉成机器技术有限公司 一种单晶炉的称重装置
CN106757316A (zh) * 2017-04-07 2017-05-31 天通吉成机器技术有限公司 一种单晶炉
CN109355700A (zh) * 2018-10-16 2019-02-19 徐州华奥纺织有限公司 一种用于单晶炉的称重系统
CN110512277A (zh) * 2019-08-02 2019-11-29 合肥嘉东光学股份有限公司 一种自动称重晶体提拉生长装置

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