CN109355700A - 一种用于单晶炉的称重系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于单晶炉的称重系统,包括传送支架、称重支架、滚筒、称重座和称重传感器,所述的传送支架与称重支架左右连接,所述的传送支架和称重支架的底部都安装有升降机构,所述的传送支架内的底部连接有三个或三个以上的滚筒,所述的滚筒的外壁上开设有限位槽,所述的称重座通过称重传感器安装在称重支架上,所述的称重座上开设有V型槽,所述的传送支架的左侧设置有支撑板,所述的支撑板上安装有气缸,所述的气缸与活塞杆相连,所述的活塞杆的右端设置有推送头,所述的活塞杆上安装有固定座,所述的固定座的顶部安装有电动缸,所述的电动缸通过传动螺杆与夹具相连;本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域,特别是一种用于单晶炉的称重系统。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
在硅单晶拉制过程中,需要测量晶棒的重量,便于计算石英锅内剩余硅料的质量,所以需要一套单晶炉称重装置。现有的称重装置,都是采用复杂的机械动作来实现,比较费力,而且测量的精度不高,易造成硅料的浪费等现象。
发明内容
本发明通过推送头能够把料棒推送到称重座上,而且能够通过夹具自动把料棒从称重座上取出,大大提高了其的工作效率;提供一种用于单晶炉的称重系统。
为解决上述的技术问题,本发明的结构包括传送支架、称重支架、滚筒、称重座和称重传感器,所述的传送支架与称重支架左右连接,所述的传送支架和称重支架的底部都安装有升降机构,所述的传送支架内的底部连接有三个或三个以上的滚筒,所述的滚筒的外壁上开设有限位槽,所述的称重座通过称重传感器安装在称重支架上,所述的称重座上开设有V型槽,所述的传送支架的左侧设置有支撑板,所述的支撑板上安装有气缸,所述的气缸与活塞杆相连,所述的活塞杆的右端设置有推送头,所述的活塞杆上安装有固定座,所述的固定座的顶部安装有电动缸,所述的电动缸通过传动螺杆与夹具相连。
进一步:所述的称重座右侧的称重支架内连接安装板,所述的安装板上连接有第二螺杆,所述的第二螺杆的左端安装有挡板并伸入至V型槽内,所述的第二螺杆的右端穿过安装板,所述的安装板左右两侧的第二螺杆上连接有第一锁紧螺母,所述的安装板通过两侧的第一锁紧螺母与第二螺杆固定连接。
又进一步:所述的活塞杆的外壁上设置有外接螺纹,所述的固定座活动连接在活塞杆的外接螺纹上,所述的固定座两侧的活塞杆的外接螺纹上各连接有一个第二锁紧螺母,所述的固定座通过两侧的第二锁紧螺母与活塞杆固定连接。
又进一步:所述的夹具包括上夹头和下夹头,所述的传动螺杆穿过上夹头,所述的上夹头左右两侧的传动螺杆上各连接有一个第三锁紧螺母,所述的上夹头通过两侧的第三锁紧螺母与传动螺杆固定连接,所述的上夹头的两侧设置有第一连接座,所述的下夹头的两侧设置有第二连接座,所述的第一连接座上安装有第二气缸,第二气缸的出轴端穿过第一连接座与第二连接座相连。
又进一步:所述的上夹头内还设置有内夹头,所述的内夹头通过弹簧与上夹头相连,所述的内夹头的顶部连接有导向杆,所述的上夹头上开设有与导向杆相匹配的导向孔,所述的导向杆沿着导向孔穿过上夹头。
再进一步:所述的升降机构包括下支撑杆、导向座和顶紧螺栓,所述的传送支架和称重支架的底部都设置有导向座,所述的导向座的底面开设有与下支撑杆相匹配的连接孔,所述的下支撑杆的上端连接在连接孔内,所述的导向座下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与下支撑杆相连。
采用上述结构后,本发明通过推送头能够把料棒推送到称重座上,而且能够通过夹具自动把料棒从称重座上取出,大大提高了其的工作效率;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为夹具的结构示意图。
图3为滚筒的结构示意图。
具体实施方式
如图1和图3所示的一种用于单晶炉的称重系统,包括传送支架1、称重支架2、滚筒12、称重座3和称重传感器4,所述的传送支架1与称重支架2左右连接,所述的传送支架1和称重支架2的底部都安装有升降机构,所述的传送支架1内的底部连接有三个或三个以上的滚筒12,所述的滚筒12的外壁上开设有限位槽12-1,所述的称重座3通过称重传感器4安装在称重支架2上,所述的称重座3上开设有V型槽,所述的传送支架1的左侧设置有支撑板13,所述的支撑板13上安装有气缸15,所述的气缸15与活塞杆14相连,所述的活塞杆14的右端设置有推送头20,所述的活塞杆14上安装有固定座18,所述的固定座18的顶部安装有电动缸16,所述的电动缸16通过传动螺杆19与夹具相连。本发明通过推送头能够把料棒推送到称重座上,而且能够通过夹具自动把料棒从称重座上取出,大大提高了其的工作效率。
如图1所示的称重座3右侧的称重支架2内连接安装板9,所述的安装板9上连接有第二螺杆10,所述的第二螺杆10的左端安装有挡板8并伸入至V型槽内,所述的第二螺杆10的右端穿过安装板9,所述的安装板9左右两侧的第二螺杆上连接有第一锁紧螺母11,所述的安装板9通过两侧的第一锁紧螺母与第二螺杆10固定连接,通过挡板8防止料棒全部进入V型槽内,使料棒的左端裸露在外侧,起到了便于夹取的作用。
如图1所示的活塞杆14的外壁上设置有外接螺纹,所述的固定座18活动连接在活塞杆14的外接螺纹上,所述的固定座18两侧的活塞杆14的外接螺纹上各连接有一个第二锁紧螺母17,所述的固定座18通过两侧的第二锁紧螺母17与活塞杆14固定连接。
如图2所示的夹具包括上夹头21和下夹头22,所述的传动螺杆19穿过上夹头21,所述的上夹头21左右两侧的传动螺杆19上各连接有一个第三锁紧螺母,所述的上夹头21通过两侧的第三锁紧螺母与传动螺杆19固定连接,所述的上夹头21的两侧设置有第一连接座26,所述的下夹头22的两侧设置有第二连接座27,所述的第一连接座26上安装有第二气缸28,第二气缸28的出轴端穿过第一连接座26与第二连接座27相连。
如图2所示的上夹头21内还设置有内夹头25,所述的内夹头25通过弹簧23与上夹头21相连,所述的内夹头的顶部连接有导向杆24,所述的上夹头21上开设有与导向杆24相匹配的导向孔,所述的导向杆24沿着导向孔穿过上夹头21。
如图1所示的升降机构包括下支撑杆4、导向座6和顶紧螺栓7,所述的传送支架1和称重支架2的底部都设置有导向座6,所述的导向座6的底面开设有与下支撑杆4相匹配的连接孔,所述的下支撑杆4的上端连接在连接孔内,所述的导向座6下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与下支撑杆4相连,本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
Claims (6)
1.一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括传送支架、称重支架、滚筒、称重座和称重传感器,所述的传送支架与称重支架左右连接,所述的传送支架和称重支架的底部都安装有升降机构,所述的传送支架内的底部连接有三个或三个以上的滚筒,所述的滚筒的外壁上开设有限位槽,所述的称重座通过称重传感器安装在称重支架上,所述的称重座上开设有V型槽,所述的传送支架的左侧设置有支撑板,所述的支撑板上安装有气缸,所述的气缸与活塞杆相连,所述的活塞杆的右端设置有推送头,所述的活塞杆上安装有固定座,所述的固定座的顶部安装有电动缸,所述的电动缸通过传动螺杆与夹具相连。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的称重座右侧的称重支架内连接安装板,所述的安装板上连接有第二螺杆,所述的第二螺杆的左端安装有挡板并伸入至V型槽内,所述的第二螺杆的右端穿过安装板,所述的安装板左右两侧的第二螺杆上连接有第一锁紧螺母,所述的安装板通过两侧的第一锁紧螺母与第二螺杆固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的活塞杆的外壁上设置有外接螺纹,所述的固定座活动连接在活塞杆的外接螺纹上,所述的固定座两侧的活塞杆的外接螺纹上各连接有一个第二锁紧螺母,所述的固定座通过两侧的第二锁紧螺母与活塞杆固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的夹具包括上夹头和下夹头,所述的传动螺杆穿过上夹头,所述的上夹头左右两侧的传动螺杆上各连接有一个第三锁紧螺母,所述的上夹头通过两侧的第三锁紧螺母与传动螺杆固定连接,所述的上夹头的两侧设置有第一连接座,所述的下夹头的两侧设置有第二连接座,所述的第一连接座上安装有第二气缸,第二气缸的出轴端穿过第一连接座与第二连接座相连。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的上夹头内还设置有内夹头,所述的内夹头通过弹簧与上夹头相连,所述的内夹头的顶部连接有导向杆,所述的上夹头上开设有与导向杆相匹配的导向孔,所述的导向杆沿着导向孔穿过上夹头。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:所述的升降机构包括下支撑杆、导向座和顶紧螺栓,所述的传送支架和称重支架的底部都设置有导向座,所述的导向座的底面开设有与下支撑杆相匹配的连接孔,所述的下支撑杆的上端连接在连接孔内,所述的导向座下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与下支撑杆相连。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201811204597.6A CN109355700A (zh) | 2018-10-16 | 2018-10-16 | 一种用于单晶炉的称重系统 |
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Publications (1)
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN109355700A (zh) |
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