CN201321511Y - 一种新型晶体生长炉 - Google Patents
一种新型晶体生长炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201321511Y CN201321511Y CNU2008202276105U CN200820227610U CN201321511Y CN 201321511 Y CN201321511 Y CN 201321511Y CN U2008202276105 U CNU2008202276105 U CN U2008202276105U CN 200820227610 U CN200820227610 U CN 200820227610U CN 201321511 Y CN201321511 Y CN 201321511Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- guide shell
- crucible
- furnace
- union lever
- leading screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种新型晶体生长炉,包括炉体、炉盖、坩埚、导流筒,坩埚位于炉体内部,导流筒位于炉体内坩埚的上方,炉盖上安装有一个导流筒提升机构,导流筒提升机构穿过炉盖,一部分位于炉盖内部,一部分位于炉盖外部,装料前,转动手轮带动丝杠旋转,通过连接杆、销,带动支架将导流筒匀速升起后将炉盖提升旋开,将硅原料装入坩埚后升降到加热区内,旋合炉盖。待原料熔为液体后,转动手轮,匀速降下导流筒置于液面上规定位置。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶体硅生长炉,尤其是一种新型晶体生长炉。
背景技术
在现有单晶硅加工过程中,根据晶体生长工艺的要求,熔化硅料时,坩埚必须升降于炉室内的加热区内,晶体生长时坩埚不但要位于加热区内而且坩埚内液面要与其上方的导流筒保持一定且较近的距离。制备单晶所需的固体多晶硅料多为块状,熔化前与熔化后所占空间差别很大,要想让液面与导流筒保持近距离就必须化完料后再调整两者位置关系,目前,常用的方法是化料后升降坩埚,但炉室内加热区范围较窄,如增加投料量坩埚将降至超出加热区,坩埚升降幅度受限。
同时,导流筒的底端面通常位于坩埚的区域内,在向导流筒内加固体多晶硅料时则须避开导流筒,使加料量减少,影响了生产效率。
实用新型内容
为了解决现有技术中存在的问题,本实用新型提供了一种可实现导流筒与坩埚距离调节的晶体生长炉。
为实现上述目的,本实用新型的新型晶体生长炉,包括炉体、炉盖、坩埚、导流筒,坩埚位于炉体内部,导流筒位于炉体内坩埚的上方,炉盖上安装有一个导流筒提升机构。
作为对本实用新型的改进,本实用新型的新型晶体生长炉,导流筒提升机构包括支撑套筒、丝杠、连接杆、支架,支撑套筒固装在炉盖外部,丝杠穿过支撑套筒端部的顶盖,丝杠的螺杆部分与连接杆置于支撑套筒内,连接杆杆内设置内螺纹与丝杠的外螺纹相配合,支架与连接杆联接,导流筒安装在支架上。
作为对本实用新型的进一步改进,本实用新型的新型晶体生长炉,在丝杠的顶端配装有转动手轮,连接杆与支撑套筒间隙处设有轴瓦,位于连接杆轴瓦的上方设有密封波纹管。
该装置中由于导流筒设有与炉盖相连的提升机构,可按生产需要将坩埚上方的导流筒进行升降,保证了坩埚内液面要与其上方的导流筒保持了一定距离,同时增大了坩埚的有效空间,使原料装料量增加约三分之一,从而使产量增加,经济效益非常明显。
附图说明
图1为本实用新型的新型晶体生长炉的结构图。
图2为本实用新型的新型生长炉导流筒提升机构的剖视图。
具体实施方式
由图1、图2可知,本实用新型的新型晶体生长炉,包括炉体1、炉盖2、坩埚3、导流筒4,坩埚3位于炉体1内部,导流筒4位于炉体1内坩埚3的上方,炉盖2上安装有一个导流筒提升机构,导流筒提升机构穿过炉盖2,一部分位于炉盖2内部,一部分位于炉盖2外部,支撑套筒9固装在炉盖2外部,丝杠6穿过支撑套筒9端部的顶盖,丝杠6的螺杆部分与连接杆7置于支撑套筒9内,连接杆7杆内设置内螺纹与丝杠6的外螺纹相配合,支架8与连接杆7联接,导流筒4安装在支架8上,在丝杠6的顶端配装有转动手轮5,连接杆7与支撑套筒9间隙处设有轴瓦10,位于连接杆轴瓦10的上方设有密封波纹管11。
装料前,转动手轮5带动丝杠6旋转,通过连接杆7带动支架8将导流筒4匀速升起后将炉盖2提升旋开,将硅原料装入坩埚3后升降到加热区内,旋合炉盖2。待原料熔为液体后,转动手轮5匀速降下导流筒4置于液面上规定位置。
丝杠的上端可用轴承使其转动灵活省力,上端的支撑套筒9上开有长方形视口,可定期润滑丝杠副,避免出现卡滞现象。波纹管11连接密封保证炉体内惰性气体纯度。轴瓦10保证了连接杆7滑动顺畅、精密。
Claims (4)
1、一种新型晶体生长炉,包括炉体(1)、炉盖(2)、坩埚(3)、导流筒(4),坩埚(3)位于炉体(1)内部,导流筒(4)位于炉体(1)内坩埚(3)的上方,其特征在于:炉盖(2)上安装有一个导流筒提升机构。
2、根据权利要求1所述的新型晶体生长炉,其特征在于:所述导流筒提升机构包括支撑套筒(9)、丝杠(6)、连接杆(7)、支架(8),支撑套筒(9)固装在炉盖(2)外部,丝杠(6)穿过支撑套筒(9)端部的顶盖,丝杠(6)的螺杆部分与连接杆(7)置于支撑套筒(9)内,连接杆杆内设置内螺纹与丝杠(6)的外螺纹相配合,支架(8)与连接杆联接,导流筒(4)安装在支架(8)上。
3、根据权利要求2所述的新型晶体生长炉,其特征在于:在丝杠(6)的上顶端配装有转动手轮(5)。
4、根据权利要求2或3所述的新型晶体生长炉,其特征在于:连接杆(7)与支撑套筒(9)间隙处设有轴瓦(10),位于连接杆轴瓦(10)的上方设有密封波纹管(11)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2008202276105U CN201321511Y (zh) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | 一种新型晶体生长炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNU2008202276105U CN201321511Y (zh) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | 一种新型晶体生长炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN201321511Y true CN201321511Y (zh) | 2009-10-07 |
Family
ID=41158897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNU2008202276105U Expired - Fee Related CN201321511Y (zh) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | 一种新型晶体生长炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN201321511Y (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102146584A (zh) * | 2011-04-20 | 2011-08-10 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉热屏升降装置 |
CN102808218A (zh) * | 2011-05-31 | 2012-12-05 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 上装料多晶炉 |
CN108298454A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-07-20 | 宜春万申制药机械有限公司 | 一种流化床导流筒升降装置 |
-
2008
- 2008-12-03 CN CNU2008202276105U patent/CN201321511Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102146584A (zh) * | 2011-04-20 | 2011-08-10 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉热屏升降装置 |
CN102146584B (zh) * | 2011-04-20 | 2012-08-22 | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 | 单晶炉热屏升降装置 |
CN102808218A (zh) * | 2011-05-31 | 2012-12-05 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 上装料多晶炉 |
CN102808218B (zh) * | 2011-05-31 | 2015-04-08 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 上装料多晶炉 |
CN108298454A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-07-20 | 宜春万申制药机械有限公司 | 一种流化床导流筒升降装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN202380122U (zh) | 硅熔体连续加注的直拉硅单晶生长炉 | |
CN102418140A (zh) | 硅熔体连续加注的直拉硅单晶生长炉及其方法 | |
CN101070608B (zh) | 旋转多坩埚下降法晶体生长系统 | |
CN108103568A (zh) | 单晶炉的自动加料装置及其操作方法 | |
CN100460571C (zh) | 直线导轨式坩埚提升装置 | |
CN208362524U (zh) | 一种单晶炉的自动加料装置 | |
CN201089803Y (zh) | 一种应用于单晶炉的加料管 | |
CN102312285A (zh) | 用于单晶炉的外部连续投料机构 | |
CN201321511Y (zh) | 一种新型晶体生长炉 | |
CN102242395A (zh) | 用于硅单晶生长的连续加料装置及设置该装置的单晶炉 | |
CN110195256A (zh) | 单晶硅多次加料连续生长的装置和工艺 | |
US11739436B2 (en) | Apparatus and method for continuous crystal pulling | |
CN110184646A (zh) | 大直径高效n型单晶硅的制备装置 | |
CN109023508B (zh) | 单晶炉用新型连续加料装置 | |
CN201261817Y (zh) | 一种单晶拉制加料装置 | |
CN200992594Y (zh) | 直线导轨式坩埚提升装置 | |
CN202202013U (zh) | 用于单晶炉的外部连续投料机构 | |
CN202450186U (zh) | 单晶炉二次加料漏斗装置 | |
CN202297852U (zh) | 用于直拉法单晶炉的二次投料装置 | |
CN203960392U (zh) | 直接生长蓝宝石整流罩的设备 | |
CN204224737U (zh) | 焰熔法晶体生长设备 | |
CN105951180B (zh) | 多晶硅铸锭炉二次加料装置及多晶铸锭系统 | |
CN202576639U (zh) | 一种单晶炉整体 | |
JP2010222162A (ja) | ドープ剤供給装置及び半導体単結晶製造装置 | |
CN200992592Y (zh) | 多坩埚下降法晶体生长系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20091007 Termination date: 20141203 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |