CN102146584A - 单晶炉热屏升降装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种导流筒提升机构。一种单晶炉热屏升降装置，包括直流伺服马达、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；所述的第一转向传动机构包括第一联轴器、支撑座和齿轮转向箱；所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器、第三联轴器、底座、转轴、端盖、压盖和磁流体；所述提升机构包括滑轮、拉绳、压轮和挂钩。本发明由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降，避免了导流筒与单晶硅硅料相接触，减少对硅料的污染。改善了硅晶体的生长环境，使同一规格的石英坩埚装入硅料的重量增加10%以上，结构简单，布局合理，使用方便，大大提高了工作效率。

Description

单晶炉热屏升降装置
技术领域
本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种导流筒提升机构。
背景技术
单晶炉是生产集成电路、太阳能及其他半导体行业原材料的重要设备。单晶炉是根据(C-Z Method)原理，在氩气体炉体内通过高纯等静电石墨加热器以高温将硅材料熔化，自动控制籽晶提升(旋转)机构、坩埚提升（旋转）机构、CCD直径控制系统、温度测定系统等部件的精密配合进行生长。
热屏升降装置的作用如下：在单晶硅装料过程中，用热屏升降装置将导流筒提起，增加了石英坩埚的空间，使石英坩埚内能装入更多的硅料。这样在化料过程中，导流筒与液面不会有接触，避免导流筒沾上材料液体，使晶体生长有了更好的环境。同时，保护了热场，提高了材料的利用率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种单晶炉热屏升降装置，该升降装置由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降，结构简单，布局合理，使用方便。
本发明是这样实现的：一种单晶炉热屏升降装置，包括直流伺服马达、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；
所述的第一转向传动机构包括第一联轴器、支撑座和齿轮转向箱，所述的直流伺服马达通过支撑座固定安装在齿轮转向箱上，直流伺服马达的输出轴通过第一联轴器与齿轮转向箱的输入端相连；
所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器、第三联轴器、底座、转轴、端盖、压盖和磁流体，所述第二联轴器的输入端与齿轮转向箱的输出端相连，第二联轴器的输出端通过软轴与第三联轴器的输入端相连，第三联轴器通过磁流体固定在端盖上，所述的转轴一端装入磁流体内与第三联轴器的输出端相连，转轴的另一端装有轴承，轴承通过压盖安装在端盖上，所述的底座固定在端盖的底部；
所述提升机构包括滑轮、拉绳、压轮和挂钩，所述的滑轮安装在转轴上，压轮安装在底座上，所述拉绳一端固定在滑轮上，拉绳另一端与挂钩相连，压轮定位拉绳。
该热屏升降装置还包括转动限位机构，所述转动限位机构包括光电限位开关和感应挡条，所述光电限位开关通过支撑板固定在齿轮转向箱上，所述感应挡条固定在第二联轴器上。
所述的拉绳为钨丝绳。
本发明单晶炉热屏升降装置由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降，避免了导流筒与单晶硅硅料相接触，减少对硅料的污染。改善了硅晶体的生长环境，使同一规格的石英坩埚装入硅料的重量增加10%以上，结构简单，布局合理，使用方便，大大提高了工作效率。
附图说明
图1为本发明单晶炉热屏升降装置立体结构示意图；
图2为本发明俯视示意图；
图3为本发明中第二转向传动机构和提升机构的结构剖视示意图。
图中：10直流伺服马达、21第一联轴器、22支撑座、23齿轮转向箱、31第二联轴器、32第三联轴器、33底座、34转轴、35端盖、36压盖、37磁流体、38软轴、39轴承、41滑轮、42拉绳、43压轮、44挂钩、51光电限位开关、52感应挡条、53支撑板。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明表述的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
如图1、2、3所示，一种单晶炉热屏升降装置，包括直流伺服马达10、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；
所述的第一转向传动机构包括第一联轴器21、支撑座22和齿轮转向箱23，所述的直流伺服马达10通过支撑座22固定安装在齿轮转向箱23上，直流伺服马达10的输出轴通过第一联轴器21与齿轮转向箱23的输入端相连；
所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器31、第三联轴器32、底座33、转轴34、端盖35、压盖36和磁流体37，所述第二联轴器31的输入端与齿轮转向箱23的输出端相连，第二联轴器31的输出端通过软轴38与第三联轴器32的输入端相连，第三联轴器32通过磁流体37固定在端盖35上，所述的转轴34一端装入磁流体37内与第三联轴器31的输出端相连，转轴34的另一端装有轴承39，轴承39通过压盖36安装在端盖35上，所述的底座33固定在端盖35的底部；
所述提升机构包括滑轮41、拉绳42、压轮43和挂钩44，所述的滑轮41安装在转轴34上，压轮43安装在底座33上，所述拉绳42一端固定在滑轮41上由压片压住，拉绳42另一端与挂钩44相连，压轮43定位拉绳43，在本实施例中所述的拉绳42为钨丝绳。
本发明可进一步描述为，该热屏升降装置还包括转动限位机构，所述转动限位机构包括光电限位开关51和感应挡条52，所述光电限位开关51通过支撑板53固定在齿轮转向箱23上，所述感应挡条52固定在第二联轴器31上。
使用时，将单晶炉中的内导流筒和外导流筒安装在挂钩44上，由直流伺服马达10转动，通过第一联轴器21带动齿轮转向箱23，齿轮转向箱23的两个输出轴分别连接第二联轴器31再通过软轴38带动第三联轴器32，第三联轴器32传动给转轴34，转轴34带动滑轮41旋转，通过滑轮41上的拉绳42实现内导流筒和外导流筒的升降。

Claims (3)

1.一种单晶炉热屏升降装置，其特征是：包括直流伺服马达(10)、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；
所述的第一转向传动机构包括第一联轴器(21)、支撑座(22)和齿轮转向箱(23)，所述的直流伺服马达(10)通过支撑座(22)固定安装在齿轮转向箱(23)上，直流伺服马达(10)的输出轴通过第一联轴器(21)与齿轮转向箱(23)的输入端相连；
所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器(31)、第三联轴器(32)、底座(33)、转轴(34)、端盖(35)、压盖(36)和磁流体(37)，所述第二联轴器(31)的输入端与齿轮转向箱(23)的输出端相连，第二联轴器(31)的输出端通过软轴(38)与第三联轴器(32)的输入端相连，第三联轴器(32)通过磁流体(37)固定在端盖(35)上，所述的转轴(34)一端装入磁流体(37)内与第三联轴器(31)的输出端相连，转轴(34)的另一端装有轴承(39)，轴承(39)通过压盖(36)安装在端盖(35)上，所述的底座(33)固定在端盖(35)的底部；
所述提升机构包括滑轮(41)、拉绳(42)、压轮(43)和挂钩(44)，所述的滑轮(41)安装在转轴(34)上，压轮(43)安装在底座(33)上，所述拉绳(42)一端固定在滑轮(41)上，拉绳(42)另一端与挂钩(44)相连，压轮(43)定位拉绳(43)。
2.如权利要求1所述的单晶炉热屏升降装置，其特征是：该热屏升降装置还包括转动限位机构，所述转动限位机构包括光电限位开关(51)和感应挡条(52)，所述光电限位开关(51)通过支撑板(53)固定在齿轮转向箱(23)上，所述感应挡条(52)固定在第二联轴器(31)上。
3.如权利要求1或2所述的单晶炉热屏升降装置，其特征是：所述的拉绳(42)为钨丝绳。
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