CN111235628A - 一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置及单晶炉 - Google Patents

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吴春生
罗汉昌
朱其欢
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Abstract

本发明公开了一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置及单晶炉，钨丝绳在上下运动的过程中与滚轮滚动接触，磨损很小，避免污染硅料。另外，本发明采用两个方向对钨丝绳的位置进行调节，调节精度高，能让钨丝绳与转动中心保持较高的同心度。同时，调节完成后可以对调节机构进行锁紧，以免使用时间长后调节位置发生变化，安全可靠。两个方向的调节只需打开一个端盖就可以同时进行，操作方便，避免了重复的拆装工作。

Description

一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置及单晶炉
技术领域
本发明属于硅晶体材料单晶炉技术领域。
背景技术
直拉法硅单晶炉多用钨丝绳或者钢丝绳将籽晶浸入坩埚内的熔融原料中，在转动籽晶及坩埚的同时提拉籽晶，并在籽晶下端生长晶棒。这需要钨丝绳与转动中心保持较高的同心度，以保证晶体生长过程的稳定性及晶体质量。现阶段多在上提拉机构中安装塑料材质的保持环，用于限制钨丝绳的径向位置，保持与转动中心的大致同心。由于钨丝绳提拉晶体一直在上下移动，且钨丝绳硬度高，导致塑料件磨损加快，污染硅料。另外保持环的位置是固定的，无法进行调节，钨丝绳与坩埚的同心度不高。
故，需要一种新的技术方案以解决上述技术问题。
发明内容
发明目的：本发明提供一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置，以使钨丝绳在上下运动的过程中磨损很小，避免污染硅料同时，能让钨丝绳与转动中心保持较高的同心度。
技术方案：为达到上述目的，本发明可采用如下技术方案：
一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置，包括基座、位于基座内的滑动座、位于基座前端的滚轮支架、位于滚轮支架中间的滚轮、自前向后贯穿基座的滑动轴、位于滑动轴一侧且与滑动轴平行设置的径向调节螺钉；
所述基座内部为中空的空腔，空腔的前端及后端设有向空腔两侧延伸的导轨，导轨的外侧为贯穿基座前端及后端的长槽，空腔内设有滑动座及两个楔块；滑动座面对楔块具有两个斜侧面，该两个斜侧面形成一个中间突出的三角形凸面；该两个楔块具有与两个斜侧面分别贴合的斜楔面；径向调节螺钉穿过两个楔块，且其中一个楔块的穿孔内设有与径向调节螺钉的外螺纹配合的内螺纹；当径向调节螺钉正转或反转时，两个楔块相对靠近或者相对远离；当两个楔块相对靠近时，滑动座被两个楔块挤压而沿着导轨向远离两个楔块的方向移动；
滑动轴自前向后穿过滑动座，滑动轴与滑动座之间通过平面配合接触，滑动轴相对基座及滑动座向前或者向后移动。
进一步的，所述滑动座内部设有开槽，开槽内设有滑动板，滑动板的两侧与开槽的两个内侧面定位。
进一步的，两个楔块之间设有套在调节螺丝上的压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别抵靠两个楔块。
进一步的，所述基座的后端插入轴向调节螺钉，该轴向调节螺钉的前端抵靠滑动轴。
本发明还提供了具有上述单晶炉用钨丝绳对中调节装置的单晶炉，该单晶炉还包括钨丝绳及上提拉机构。
有益效果：相对于现有技术，本发明技术方案的优点为：
本发明采用滚轮与钨丝绳接触，钨丝绳在上下运动的过程中与滚轮滚动接触，磨损很小，避免污染硅料。另外，本发明采用两个方向对钨丝绳的位置进行调节，调节精度高，能让钨丝绳与转动中心保持较高的同心度。同时，调节完成后可以对调节机构进行锁紧，以免使用时间长后调节位置发生变化，安全可靠。两个方向的调节只需打开一个端盖就可以同时进行，操作方便，避免了重复的拆装工作。
附图说明
图1是本发明单晶炉用钨丝绳对中调节装置的俯视图。
图2是本发明单晶炉用钨丝绳对中调节装置的后视图。
具体实施方式
请结合图1及图2所示，本发明公开一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置，包括基座1、位于基座1内的滑动座2、位于基座1前端的滚轮支架10、位于滚轮支架10中间的滚轮11、自前向后贯穿基座的滑动轴16、位于滑动轴16一侧且与滑动轴16平行设置的径向调节螺钉12、前封盖8、闷盖7和后封盖6。滚轮11通过销轴9安装在滚轮支架10上。
所述基座1内部为中空的空腔，空腔的前端及后端设有向空腔两侧延伸的导轨(未图示)。导轨的外侧为贯穿基座1前端及后端的长槽(未图示)。空腔内设有滑动座2及两个楔块5、15；滑动座2面对楔块具有两个斜侧面，该两个斜侧面形成一个中间突出的三角形凸面。该两个楔块5、15具有与两个斜侧面分别贴合的斜楔面。径向调节螺钉12穿过两个楔块。且其中一个楔块15的穿孔内设有与径向调节螺钉12的外螺纹配合的内螺纹。当径向调节螺钉12正转或反转时，两个楔块5、15相对靠近或者相对远离。当两个楔块5、15相对靠近时，滑动座2被两个楔块挤压而沿着导轨向远离两个楔块的方向移动，即能够在基座1内径向移动，同样带动滑动轴16及滑动轴前端的滚轮支架10径向移动。由于基座1前端及后端具有长槽，滑动轴16的前端及后端在基座1前端及后端额长槽内移动，滑动轴16的移动不会与基座1造成干涉。两个楔块5、15之间设有套在调节螺丝上的压缩弹簧4，压缩弹簧4的两端分别抵靠两个楔块，用于使调节后的两个楔块进行回位。
滑动轴16自前向后穿过滑动座2，滑动轴16与滑动座2之间通过平面配合接触，滑动轴16相对基座1及滑动座向前或者向后移动，带动滑动轴16及滑动轴前端的滚轮支架10向前或者向后移动。所述滑动座2内部设有开槽，开槽内设有滑动板3，滑动板3的两侧与开槽的两个内侧面定位。滑动板3限制滑动轴16实现轴向运动的同时防止转动。所述基座1的后端插入轴向调节螺钉14，该轴向调节螺钉14的前端抵靠滑动轴2。轴向调节螺钉14的旋转用于驱动滑动轴16在滑动座2中进行轴向运动。基座后端还设有锁紧垫片13，用于调节好轴向位置后对调节机构进行锁紧。
在工作的过程中，只需要拆卸闷盖7，使用1把内六角螺丝刀，通过拧径向调节螺钉12和轴向调节螺钉14来调节滑动轴16及滚轮11的径向和轴向位置，进一步的来调节钨丝绳的径向和轴向位置，方便快捷。通过专门的检测工具可以使钨丝绳的中心与上提拉机构旋转中心的同心度偏差控制在0.1mm以内，调节精度高。
本发明还公开了具有上述单晶炉用钨丝绳对中调节装置的单晶炉，该单晶炉还包括钨丝绳及上提拉机构。
本发明具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本发明的优选实施方式。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

Claims (5)

1.一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置，其特征在于，包括基座、位于基座内的滑动座、位于基座前端的滚轮支架、位于滚轮支架中间的滚轮、自前向后贯穿基座的滑动轴、位于滑动轴一侧且与滑动轴平行设置的径向调节螺钉；
所述基座内部为中空的空腔，空腔的前端及后端设有向空腔两侧延伸的导轨，导轨的外侧为贯穿基座前端及后端的长槽，空腔内设有滑动座及两个楔块；滑动座面对楔块具有两个斜侧面，该两个斜侧面形成一个中间突出的三角形凸面；该两个楔块具有与两个斜侧面分别贴合的斜楔面；径向调节螺钉穿过两个楔块，且其中一个楔块的穿孔内设有与径向调节螺钉的外螺纹配合的内螺纹；当径向调节螺钉正转或反转时，两个楔块相对靠近或者相对远离；当两个楔块相对靠近时，滑动座被两个楔块挤压而沿着导轨向远离两个楔块的方向移动；
滑动轴自前向后穿过滑动座，滑动轴与滑动座之间通过平面配合接触，滑动轴相对基座及滑动座向前或者向后移动。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用钨丝绳对中调节装置，其特征在于：所述滑动座内部设有开槽，开槽内设有滑动板，滑动板的两侧与开槽的两个内侧面定位。
3.根据权利要求1或2所述的单晶炉用钨丝绳对中调节装置，其特征在于：两个楔块之间设有套在调节螺丝上的压缩弹簧，压缩弹簧的两端分别抵靠两个楔块。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用钨丝绳对中调节装置，其特征在于：所述基座的后端插入轴向调节螺钉，该轴向调节螺钉的前端抵靠滑动轴。
5.一种具有如权利要求1至4中任一项所述单晶炉用钨丝绳对中调节装置的单晶炉，其特征在于，该单晶炉还包括钨丝绳及上提拉机构。
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