CN202106307U - 从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置 - Google Patents
从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202106307U CN202106307U CN2011200540497U CN201120054049U CN202106307U CN 202106307 U CN202106307 U CN 202106307U CN 2011200540497 U CN2011200540497 U CN 2011200540497U CN 201120054049 U CN201120054049 U CN 201120054049U CN 202106307 U CN202106307 U CN 202106307U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- centrifugal separator
- elementary
- centrifugal
- slurry
- retracting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004064 recycling Methods 0.000 title abstract 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 26
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 239000004484 Briquette Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B5/00—Other centrifuges
- B04B5/10—Centrifuges combined with other apparatus, e.g. electrostatic separators; Sets or systems of several centrifuges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
- B04B—CENTRIFUGES
- B04B1/00—Centrifuges with rotary bowls provided with solid jackets for separating predominantly liquid mixtures with or without solid particles
- B04B1/20—Centrifuges with rotary bowls provided with solid jackets for separating predominantly liquid mixtures with or without solid particles discharging solid particles from the bowl by a conveying screw coaxial with the bowl axis and rotating relatively to the bowl
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置，从硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆中，经由初级离心分离机以及次级离心分离机能够短时间内有效地回收有用成分的回收装置。其结构是，对于以相对低的离心力运转的一台离心分离机并联连接多台以相对高的离心力运转的次级离心分离机，将由该一台初级离心分离机处理并分离的液态成分分配给该多台次级离心分离机进行处理。
Description
技术领域
本实用新型涉及从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置。在硅晶片的加工工序中，将硅锭切割成块状，并且用切片锯、线锯等将切割后的硅块切割成晶片状之后，对所切割的晶片实施磨削、研磨等，加工成具有所需要的表面特性的规定厚度以及口径的晶片。在这样的硅晶片的加工工序中，切割、磨削以及研磨等多种加工场合中，使用冷却剂以及磨粒例如含有碳化硅(SiC)的研磨浆，其结果，排出除了这些之外还含有从硅锭、硅块、晶片等被去除下来的硅粒的已使用研磨浆。在该已使用研磨浆自身中含有有用的磨粒、硅粒以及冷却剂等成分，因此希望将其回收并再利用。本实用新型涉及从如上所述的已使用研磨浆中短时间内有效地回收有用成分的装置。
背景技术
以往，作为从自如上所述的硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆中回收有用成分的装置，公开了如下装置：将两台离心分离机串联连接，并将已使用研磨浆供给至上游侧的以相对低的离心力运转的初级离心分离机进行处理之后，将在此分离的液态成分供给至下游侧的以相对高的离心力运转的次级离心分离机进行处理，在初级离心分离机中回收磨粒作为固态成分，另一方面，在次级离心分离机中回收硅粒作为固态成分，并且回收冷却剂作为液态成分(例如，参照日本专利文献1至6)。
但是，由于在这样的以往装置中，考虑到两台离心分离机的维护管理，使用相同的离心分离机作为上游侧的初级离心分离机以及下游侧的次级离心分离机，因此，同以相对低的离心力运转的初级离心分离机相比，以相对高的离心力运转的次级离心分离机的处理量变低，其结果，存在整个处理需要较长时间的问题。
【专利文献】
【专利文献1】日本特开平8-39430号公报
【专利文献2】日本特开2001-277115号公报
【专利文献3】日本特开2006-256894号公报
【专利文献4】日本特开2007-246366号公报
【专利文献5】日本特开2007-246367号公报
【专利文献6】日本特开2010-82568号公报
实用新型内容
本实用新型所要解决的问题是，提供一种从自硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆中，经由初级离心分离机以及次级离心分离机回收有用成分的装置，能够短时间内有效地回收有用成分。
解决上述间题的本实用新型涉及从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置，其将从硅晶片的加工工序中排出的已使用研磨浆供给至以相对低的离心力运转的初级离心分离机以及连接在该初级离心分离机下游侧的以相对高的离心力运转的次级离心分离机，从该已使用研磨浆中回收有用成分，其中，该回收装置构成为：对于一台初级离心分离机并联连接多台次级离心分离机，将由该一台初级离心分离机处理并分离的液态成分分配给该多台次级离心分离机进行处理。
本实用新型涉及的从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置(以下，简称为“本实用新型的回收装置”)，也可以具备初级离心分离机以及次级离心分离机，将从如上所述的硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆，供给至以相对低的离心力运转的初级离心分离机以及连接在该初级离心分离机下游侧的以相对高的离心力运转的次级离心分离机，从该已使用研磨浆中回收有用成分。
本实用新型的回收装置也可以构成为：对于一台初级离心分离机具备多台次级离心分离机，多台次级离心分离机并联连接，将如上所述的已使用研磨浆供给至初级离心分离机而分离为固态成分和液态成分之后，将在此分离的液态成分分配给多台次级离心分离机，在各次级离心分离机中进一步分离为固态成分和液态成分，从而回收已分离的初级离心分离机的固态成分、各次级离心分离机的固态成分以及液态成分。
虽然也依赖于根据运转时施加于初级离心分离机的离心力或施加于各次级离心分离机的离心力而受到影响的初级离心分离机的处理能力或各次级离心分离机的处理能力，但是，例如在各次级离心分离机的处理能力为初级离心分离机的1/2的情况下，对于一台初级离心分离机并联连接二台次级离心分离机。如果这样，由初级离心分离机分离的液态成分不会滞留在初级离心分离机和次级离心分离机之间，从而能够在短时间内有效地进行整个处理。
在本实用新型的回收装置中，作为初级离心分离机以及次级离心分离机，分离固体液体的分离机自身可以使用公知的各种形式的离心分离机，但是，一般优选使用水平放置(或者横型)的沉降型(或者螺旋沉降型(ScrewDecanter))连续式离心分离机，考虑到各离心分离机的维护管理，例如若具备部件的互换性会使检查、修理、更换等变得容易，因此优选都使用相同的离心分离机。
另外，在本实用新型的回收装置中，优选的是，对于一台初级离心分离机经由切换阀并联连接多台接收由该一台初级离心分离机处理并分离的固态成分的收集罐。接收由初级离心分离机从已使用研磨浆中处理并分离的固态成分的收集罐，一般作为为了再使用而具备的调节收集罐使用，这样的收集罐配备搅拌机、另外在需要时还具备加热或者冷却单元，从而能够供给由次级离心分离机处理并分离的液态成分、或新追加的液态成分等。从硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆的情况下，将由初级离心分离机作为固态成分分离的磨粒、例如SiC粒接收到收集罐中，但是，对该收集罐供给由次级离心分离机作为液态成分分离的冷却剂或新追加的冷却剂，在该收集罐中将所需量的磨粒和冷却剂进行混合而提供给再使用。如果对于一台初级离心分离机经由切换阀并联连接多台这样的收集罐，则即使在一个收集罐为了再使用而如上所述地进行调节的期间，也能够使初级离心分离机运转并且将从中分离的固态成分接收到其他收集罐中，其结果，能够在更短时间内有效地进行已使用研磨浆的处理和有用成分的回收。
根据本实用新型的回收装置，具有能够从自硅晶片加工工序中排出的已使用研磨浆中，短时间内有效地回收有用成分的效果。
附图说明
图1是将本实用新型的回收装置的一部分用方框表示的整体结构图。
附图标记说明
11：初级离心分离机；
21、22：次级离心分离机；
31～35：收集罐；
41～45：泵；
51～53：切换阀。
具体实施方式
图1是将本实用新型的回收装置的一实施例的一部分用方框表示的整体结构图。在图1中，11表示初级离心分离机，21、22表示次级离心分离机，31～35表示收集罐，41～45表示泵，51～53表示切换阀，61～64表示搅拌机。
在图1的回收装置的情况下，对于上游侧的一台初级离心分离机11，在下游侧并联连接有两台次级离心分离机21、22。经由泵41将含有从硅晶片的加工工序中排出的冷却剂、磨粒以及硅粒的已使用研磨浆供给至以相对低的离心力运转的一台初级离心分离机11，分离成作为固态成分的磨粒和作为液态成分的冷却剂以及硅粒的混合物之后，将所分离的作为固态成分的磨粒经由切换阀51接收到收集罐31中，另外，将作为液态成分的冷却剂以及硅粒的混合物接收到收集罐33中。
另外，将接收到收集罐33的作为液态成分的冷却剂以及硅粒的混合物用搅拌机63搅拌的同时，经由泵42、43分配给以相对高的离心力运转的两台次级离心分离机21、22，并通过各次级离心分离机21、22进一步分离成作为固态成分的硅粒和作为液态成分的冷却剂之后，将所分离的作为固态成分的硅粒接收到收集罐34中，并且将作为液态成分的冷却剂接收到收集罐35中。
然后，如果在一定时间内连续进行以上的处理，则在收集罐31中积存所需量的磨粒，因此将接收到收集罐35而积存的作为液态成分的冷却剂用搅拌机64搅拌的同时，经由泵44以及切换阀52供给至收集罐31，另外，将不足部分的新冷却剂经由泵45以及切换阀53供给至收集罐31，在收集罐31中用搅拌机61搅拌的同时，混合所需量的磨粒和冷却剂并提供给再使用。为了供给再使用而在如上所述的调节中使用收集罐31的期间，切换切换阀51，将由初级离心分离机11分离的作为固态成分的磨粒，接收到对于初级离心分离机11同收集罐31并联连接的收集罐32中。以下是以上记述的重复，在图1的回收装置的情况下，一台初级离心分离机11以及两台次级离心分离机21、22全都使用相同的水平放置的沉降型连续式离心分离机。
Claims (3)
1.一种从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置，将从硅晶片的加工工序中排出的已使用研磨浆供给至以相对低的离心力运转的初级离心分离机以及连接在该初级离心分离机下游侧的以相对高的离心力运转的次级离心分离机，从该已使用研磨浆中回收有用成分，其特征在于，该回收装置构成为：
对于一台初级离心分离机并联连接多台次级离心分离机，将由该一台初级离心分离机处理并分离的液态成分分配给该多台次级离心分离机进行处理。
2.如权利要求1所述的从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置，其特征在于，
一台初级离心分离机以及多台次级离心分离机均为相同的沉降型连续式离心分离机。
3.如权利要求1或2所述的从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置，其特征在于，
对于一台初级离心分离机，经由切换阀并联连接多台接收由该一台初级离心分离机处理并分离的固态成分的收集罐。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010005789U JP3164027U (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | 使用済みスラリーからの有用成分の回収装置 |
| JP2010-005789 | 2010-08-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202106307U true CN202106307U (zh) | 2012-01-11 |
Family
ID=45439442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011200540497U Expired - Fee Related CN202106307U (zh) | 2010-08-30 | 2011-03-03 | 从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3164027U (zh) |
| KR (1) | KR20120022049A (zh) |
| CN (1) | CN202106307U (zh) |
| TW (1) | TWM414988U (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107081672B (zh) * | 2017-06-26 | 2019-10-22 | 北京交通大学 | 一种并联式研磨装置 |
-
2010
- 2010-08-30 JP JP2010005789U patent/JP3164027U/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-02-23 KR KR1020110015840A patent/KR20120022049A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-03-03 CN CN2011200540497U patent/CN202106307U/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-24 TW TW100205275U patent/TWM414988U/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3164027U (ja) | 2010-11-11 |
| KR20120022049A (ko) | 2012-03-09 |
| TWM414988U (en) | 2011-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003340719A (ja) | スラリ再生方法 | |
| CA2645991A1 (en) | Method for treating spent abrasive slurry | |
| CN101535183B (zh) | 改进拜耳法中浆料的传送 | |
| CN202106307U (zh) | 从已使用研磨浆中回收有用成分的回收装置 | |
| CN210875709U (zh) | 一种电石渣除杂处理系统 | |
| JP6085500B2 (ja) | ワイヤソースラリのクーラント回収装置 | |
| CN103237628A (zh) | 线锯的浆料管理装置 | |
| CN104689897A (zh) | 一种焦炭的自动研磨系统和研磨方法 | |
| CN101935581B (zh) | 硅片线切割废砂浆的分离再生生产工艺 | |
| CN103157543A (zh) | 一种氧化铝结壳块破碎工艺及其生产线 | |
| JP3176156U (ja) | 粉粒体分離回収処理システム | |
| JP2011083845A (ja) | 研磨用固液回収分離装置 | |
| JPH01316170A (ja) | 切削加工法および砥液再利用装置 | |
| KR101694268B1 (ko) | 집진시스템 | |
| CN107653014A (zh) | 矿区洗煤厂连续式煤泥水煤浆制浆成套装备及其制浆方法 | |
| WO2015059522A1 (en) | Non-chemical method and system for recovering silicon carbide particles | |
| JP6271392B2 (ja) | 研磨屑からの有価金属の回収方法 | |
| CN114308340A (zh) | 一种混凝土废料分选回收装置及其工作方法 | |
| CN202181290U (zh) | 一种采用膜过滤二段分离方式的废砂浆在线回收设备 | |
| CN202237546U (zh) | 强化晶硅切割废砂浆中颗粒物分离的旋流-压滤集成装置 | |
| CN202181292U (zh) | 一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备 | |
| JPH09109144A (ja) | シリコン切断廃液からの砥粒回収方法 | |
| CN103347655B (zh) | 分离回收装置 | |
| CN201785371U (zh) | 煤化工用水煤浆制浆系统 | |
| CN218742412U (zh) | 一种精细粉研磨机的卸料机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120111 Termination date: 20140303 |