CN202181292U - 一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备 - Google Patents
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Abstract
一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，包括一号分离机，二号分离机，新砂浆罐，调试砂浆罐，一次分离液罐，废砂浆罐，再生砂浆罐，分离废弃物罐，二次分离液罐；其中：一号分离机同时与调试砂浆罐、一次分离液罐和废砂浆罐连通，二号分离机同时与一次分离液罐、分离废弃物罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和二次分离液罐连通，调试砂浆罐和再生砂浆罐连通，用户切片机分别与废砂浆罐和再生砂浆罐连通。本实用新型的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及切割液回收设备领域，特别涉及了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备。
背景技术
目前，硅片线切割工艺的现状，为了保证切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本，因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备。
发明内容
本实用新型的目的是为了最大程度上避免浪费，使切割液回收再利用，特提供了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备。
本实用新型提供了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机1，二号分离机2，新砂浆罐3，调试砂浆罐4，一次分离液罐5，废砂浆罐6，再生砂浆罐7，分离废弃物罐8，二次分离液罐9；
其中：一号分离机1同时与调试砂浆罐4、一次分离液罐5和废砂浆罐6连通，二号分离机2同时与一次分离液罐5、分离废弃物罐8和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4和再生砂浆罐7连通，用户切片机10分别与废砂浆罐6和再生砂浆罐7连通。
所述的一号分离机1和二号分离机2为卧式螺旋沉降离心机。
工作原理：
切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机1的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机2的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理；
一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。
本实用新型的优点：
本实用新型所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，硅片切割废砂浆在线回收设备与线切割机可采用1：4或1：5配置。有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本。
附图说明
下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：
图1为 采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备原理结构示意图。
具体实施方式
实施例1
本实施例提供了一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机1，二号分离机2，新砂浆罐3，调试砂浆罐4，一次分离液罐5，废砂浆罐6，再生砂浆罐7，分离废弃物罐8，二次分离液罐9；
其中：一号分离机1同时与调试砂浆罐4、一次分离液罐5和废砂浆罐6连通，二号分离机2同时与一次分离液罐5、分离废弃物罐8和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4和二次分离液罐9连通，调试砂浆罐4和再生砂浆罐7连通，用户切片机10分别与废砂浆罐6和再生砂浆罐7连通。
所述的一号分离机1和二号分离机2为卧式螺旋沉降离心机。
工作原理：
切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机1的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机2的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理；
一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。
Claims (2)
1.一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备包括一号分离机（1），二号分离机（2），新砂浆罐（3），调试砂浆罐（4），一次分离液罐（5），废砂浆罐（6），再生砂浆罐（7），分离废弃物罐（8），二次分离液罐（9）；
其中：一号分离机（1）同时与调试砂浆罐（4）、一次分离液罐（5）和废砂浆罐（6）连通，二号分离机（2）同时与一次分离液罐（5）、分离废弃物罐（8）和二次分离液罐（9）连通，调试砂浆罐（4）和二次分离液罐（9）连通，调试砂浆罐（4）和再生砂浆罐（7）连通，用户切片机（10）分别与废砂浆罐（6）和再生砂浆罐（7）连通。
2.按照权利要求1所述的采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的一号分离机（1）和二号分离机（2）为卧式螺旋沉降离心机。
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| CN2011202947402U CN202181292U (zh) | 2011-08-15 | 2011-08-15 | 一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备 |
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| CN2011202947402U CN202181292U (zh) | 2011-08-15 | 2011-08-15 | 一种采用二段分离方式的废砂浆在线回收设备 |
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| CN (1) | CN202181292U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103934910A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-07-23 | 常州有则科技有限公司 | 热循环砂浆在线回收机 |
| CN111805775A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-10-23 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 砂浆供应方法、砂浆供应设备及晶棒切割系统 |
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2011
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103934910A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-07-23 | 常州有则科技有限公司 | 热循环砂浆在线回收机 |
| CN103934910B (zh) * | 2014-05-08 | 2015-11-04 | 常州有则科技有限公司 | 热循环砂浆在线回收机 |
| CN111805775A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-10-23 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 砂浆供应方法、砂浆供应设备及晶棒切割系统 |
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