CN202744508U - 一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备 - Google Patents

一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备 Download PDF

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Abstract

一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，包括二号分离机，五号罐，六号罐，传输泵，四号罐，给料泵，电控柜，一号分离机，一号罐，二号罐，三号罐；一号分离机水平摆放在整个设备正面，将二号分离机垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐、二号罐和三号罐摆放在四号罐、五号罐和六号罐的侧面，电控柜安装在设备一端，电控柜分别一号分离机和二号分离机相连，二号罐与二号分离机相连，二号分离机再与三号罐相连，给料泵与四号罐相连。本实用新型的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。降低了企业的生产成本，同时在布局上更加合理，减小了占地面积。

Description

一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备
技术领域
本实用新型涉及机电一体化设备领域，特别涉及了一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备。 
背景技术
目前，硅片线切割工艺的现状，为了保证切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本，因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的设备，现有设备结构复杂，布局松散，占地面积大。 
实用新型内容
本实用新型的目的是为了减小设备占地面积，合理布局，特提供了一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备。 
本实用新型提供了一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，包括二号分离机1，五号罐2，六号罐3，传输泵4，四号罐5，给料泵6，电控柜7，一号分离机8，一号罐9，二号罐10，三号罐11； 
其中：一号分离机8水平摆放在整个设备正面，将二号分离机 1垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐9、二号罐10和三号罐11摆放在四号罐5、五号罐2和六号罐3的侧面，减少了占地面积，电控柜的功能为对整套设备进行供电及控制。1#罐功能为调和罐。2#罐为存贮罐。电控柜7安装在设备一端，电控柜7分别一号分离机8和二号分离机1相连，二号罐10与二号分离机1相连，二号分离机1再与三号罐11相连，三号罐11功能为存贮罐，四号罐5功能为存储罐，四号罐5与一号分离机8及一号罐9相连，五号罐2为调和罐，五号罐2与一号罐9相连，六号罐3为存储罐，与一号罐9相连，给料泵6与四号罐5相连。 
所述的一号分离机8为卧式螺旋沉降离心机。 
所述的二号分离机1为卧式螺旋沉降离心机。 
工作原理： 
切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理； 
一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。 
罐体之间的平行布局，减小了设备整体尺寸，减小了使用时的占地面积，为企业带来了布局上的方便。 
本实用新型的优点： 
本实用新型所述的罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，同时亦 适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。硅片切割废液中，PEG、SiC的回收率可达80%以上，硅片切割废砂浆在线回收设备与线切割机可采用1：4或1：5配置。有效地避免了浪费，降低了企业的生产成本，同时在布局上更加合理，减小了占地面积。 
附图说明
下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明： 
图1为罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备的原理结构示意图； 
图2为罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备的俯视图。 
具体实施方式
实施例 
本实施例提供了一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，包括二号分离机1，五号罐2，六号罐3，传输泵4，四号罐5，给料泵6，电控柜7，一号分离机8，一号罐9，二号罐10，三号罐11； 
其中：一号分离机8水平摆放在整个设备正面，将二号分离机1垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐9、二号罐10和三号罐11摆放在四号罐5、五号罐2和六号罐3的侧面，减少了占地面积，电控柜的功能为对整套设备进行供电及控制。1#罐功能为调和罐。2#罐为存贮罐。电控柜7安装在设备一端，电控柜7分别一号分离机8和二 号分离机1相连，二号罐10与二号分离机1相连，二号分离机1再与三号罐11相连，三号罐11功能为存贮罐，四号罐5功能为存储罐，四号罐5与一号分离机8及一号罐9相连，五号罐2为调和罐，五号罐2与一号罐9相连，六号罐3为存储罐，与一号罐9相连，给料泵6与四号罐5相连。 
所述的一号分离机8为卧式螺旋沉降离心机。 
所述的二号分离机1为卧式螺旋沉降离心机。 
工作原理： 
切片机产生的废旧砂浆，经一号分离机的分离后，形成一次分离液和回收的粗粉；一次分离液经二号分离机的分离后，产生回收的液相和回收固相，对回收固相进行再处理； 
一次分离产生回收的粗粉，与新配置的砂浆、二次分离后产生回收的液相三者混合处理，形成新的可利用的砂浆，用于切片机使用。 
罐体之间的平行布局，减小了设备整体尺寸，减小了使用时的占地面积，为企业带来了布局上的方便。 

Claims (3)

1.一种罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，包括二号分离机（1），五号罐（2），六号罐（3），传输泵（4），四号罐（5），给料泵（6），电控柜（7），一号分离机（8），一号罐（9），二号罐（10），三号罐（11）；
其中：一号分离机（8）水平摆放在整个设备正面，将二号分离机（1）垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐（9）、二号罐（10）和三号罐（11）摆放在四号罐（5）、五号罐（2）和六号罐（3）的侧面，电控柜（7）安装在设备一端，电控柜（7）分别一号分离机（8）和二号分离机（1）相连，二号罐（10）与二号分离机（1）相连，二号分离机（1）再与三号罐（11）相连，四号罐（5）功能为存储罐，四号罐（5）与一号分离机（8）及一号罐（9）相连，五号罐（2）为调和罐，五号罐（2）与一号罐（9）相连，六号罐（3）与一号罐（9）相连，给料泵（6）与四号罐（5）相连。
2.按照权利要求1所述的罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的一号分离机（8）为卧式螺旋沉降离心机。
3.按照权利要求1所述的罐体平行排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的二号分离机（1）为卧式螺旋沉降离心机。 
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