CN201746583U - 一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极 - Google Patents

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一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持久的霍尔电流环(Hall current)形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。

Description

一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极
技术领域
本实用新型涉及一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，用在半导体、太阳能薄膜、装饰材料和包装行业常用的柔性材料等原料薄膜或基片表面上，通过PECAD(等离子体增强化学气相沉积)方法，使用新型高密度潘宁放电离子源(PDP)，形成纳米硅基氧化物或其它材料镀层沉积固态薄膜的真空镀膜用电极。
背景技术
此前，有公知的真空物理及化学气相沉积镀膜(PVD及CVD)装置内，都设计有各种电极。前者有诸如：真空蒸镀、磁控管溅射及离子束镀、分子束外延生长镀膜装置。后者有诸如：等离子体增强化学气相沉积(PECAD)、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)、光化学气相沉积(LCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)及热激发化学气相沉积(TCVD)等镀膜装置。它们可以在真空状态下，在作为由纸、塑料等形成的各种原料薄膜或基片上，形成可能匹配的金属、非金属(如铝层、氧化铝层、氧化硅、氮化物等)的镀层，以便赋予原料薄膜气体隔离性能和湿气隔离性能，或制备各种用途的薄膜材料。现代的薄膜材料和薄膜技术已经成为新材料研制必备的、不可或缺的重要手段之一，并已渗透到现代科技、国防和国民经济的各个重要领域，如航空航天、医药、能源、交通、通信和信息。
而潘宁放电磁约束离子源是一种磁约束等离子体的技术，当电源通电时，产生内部电场，在磁场的相互作用下，会产生一对持久的霍尔电流环(Hallcurrent)形成实质上的阴极。受霍尔电流环的限制，在两环之间的豁口处，产生一个高密度等离子体，被霍尔电流限制的电子化合物和中心的离子流，在形成实质上的阴极与两电极辊卷绕的基片之间产生离子轰击和化学反应。由于潘宁放电离子源具有操作压力低(10mTorr)，等离子体阻抗值低、且为常数等特点，结果产生了较高的电子温度和较低的中子和离子温度，较高的电子温度，可以从根本上提高了生产效率，同时，一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少。从而得到镀层均匀性优良、相对已知镀膜方法更为高的沉积率、大面积、平滑、较高附着率，且具有较低温度过程的镀膜。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种具有潘宁放电离子源，通过PECAD方法，在原料薄膜PET的内外表面上形成纳米硅基氧化物镀层的真空镀膜电极。
本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现，
一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，其特征在于：所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。
所述固定轴与外辊筒构成的空间内还设置一冷却通道，用来移出热量。
在所述外辊筒和固定轴的连接处，一端通过静密封封闭，一端采用动密封封闭，在两密封件之间确保电极内的真空度。所述动密封口处还设置有绝缘元件建立电场及其位置度。
所述永久磁体在固定轴上设置后，永久磁体的端部设置挡块，用于永久磁体的装配与定位。
本实用新型在使用时，在相邻两电极且作为镀辊之间，通电后，就可以产生一对持久的霍尔电流环(Hall current)形成实质上的阴极，完成相对已知镀膜方法。
本实用新型具有的有益效果是不仅提高了生产效率，而且一对阴极和磁场的存在，中子和离子温度接近室温，使得热能损失减到最少，在使用时电极作为镀辊具有更高的沉积率、较大的镀膜面积、较高附着率，可以连续过程。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图；
图2是图1的侧面示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如图1和图2所示，一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极1，电极1的中间穿过一固定轴11，在固定轴11外套有外辊筒12，将电极1作为镀辊使用，在外辊筒12的两端分别固定安装轴承13和轴承座14，其中在外辊筒12和固定轴11的连接处，一端通过静密封15封闭，一端采用动密封16封闭，从而在两密封件之间确保电极1内的真空度。动密封16口外安装绝缘元件建立电场及其位置度。
外辊筒12在套在固定轴1外后，两端通过轴承13的带动可以围绕在固定轴11外旋转，此时在固定轴11上，和外辊筒12构成的空间内放置永久磁体17，永久磁体17在固定轴11上放置后，其端部安装挡块18用于永久磁体17在固定轴11和外辊筒12之间的装配与定位，在连接高频电源的接线端子后，建立所需的电场，产生等离子体。
其中，固定轴11与外辊筒12构成的空间内还设置一冷却通道，用来移出外辊筒12旋转后产生的热量。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，电极的中间穿过一固定轴，在固定轴外套有外辊筒，将电极作为镀辊使用，其特征在于：所述外辊筒的两端分别固定设置轴承和轴承座，外辊筒通过轴承的带动围绕在固定轴外旋转，在所述固定轴上，和外辊筒构成的空间内设置永久磁体，用于建立所需的电场，产生等离子体。
2.根据权利要求1所述潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，其特征在于：所述固定轴与外辊筒构成的空间内还设置一冷却通道。
3.根据权利要求1所述潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，其特征在于：所述外辊筒和固定轴的连接处，一端通过静密封封闭，一端采用动密封封闭，在两密封件之间确保电极内的真空度，在所述动密封口处还设置有绝缘元件。
4.根据权利要求1所述潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极，其特征在于：所述永久磁体在固定轴上设置后，永久磁体的端部设置挡块。
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