CN201026710Y - 用于托盘激光打标系统的输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于托盘激光打标系统的输送装置，包括并行设置的第一导轨和第二导轨，安装于至少第一导轨或第二导轨内侧的驱动机构，和与所述驱动机构相耦合的托盘固定机构，所述托盘固定机构可运动至与托盘相配合的第一位置和与托盘相分离的第二位置。本实用新型的有益效果在于，通过导轨实现了对托盘的辅助定位，这样，降低了对托盘固定机构的设计难度，并有利于其小型化；由于托盘固定机构的设计小型化，可实现双驱动，双托盘固定机构，在一个托盘固定机构完成一个打标进程中，另一个托盘固定机构可以开始另一个打标进程，从而提高了生产效率，并因此降低了成本。

Description

用于托盘激光打标系统的输送装置

技术领域

本实用新型涉及一种用于对IC进行打标处理的打标系统，尤其是一种打标装置中用于输送IC托盘的全自动输送装置。

背景技术

半导体集成电路生产出来后，生产商往往会在这些经过封装的集成电路上标记上一些信息，如生产商名称、批号、晶圆号等，以便于统计并将这些产品区别开来。半导体的封装材料一般为环氧树脂，在现有技术中，对其进行标记的方法也有多种。

最初是使用传印工艺及装置如，压印模或压辊，将墨水印至集成电路的表面。这种共议的不足之处在于，由于墨水干透需要一段时间，因此，为保证成品率，标记效率较低；标记完成后，由于墨水附于集成电路包装的表面，因此其抗磨损性不强，并且容易受到环境湿度，温度的影响。

为了克服传统传印工艺的不足，现有技术中出现了以激光束在封装的集成电路器件表面标记字符和图案的技术，这种技术的原理是通过激光器件产生激光束，烧掉部分封装材料，从而使烧掉的部分与其他部分具有不同的反射特性，这样，通过将经标记的器件放在光源下时，可以看到烧掉的部分的文字、图案。

针对上述激光标记工艺，现有技术中多种实现方案及系统，其中一种采用了这样一种结构，具有一个传送装置，用于将封装后的器件逐一传送，通过多个传感器检测装置对位置进行检测后，送入一个激光标记装置，逐一进行标记，标记结束后，通过一个检测机构检测残次品，最后通过一个拨针机构将残次品拨离传送系统。然而，这种系统存在很多不足之处，首先，也是最重要的，由于每个经封装的半导体器件需要经历传送装置的传输，因此对器件的强度要求较高，而对于目前出现的体积小，强度低的新型器件来说是不能想象的，在传输过程中，器件就会被磨损甚至失效。其次，再传输装置的传输路径上也经常出现阻塞、掉件等现象，这就需要系统在更多位置配置传感器，并改进控制程序，这从而就增加了系统设计以及维护的开销；另外，由于激光标记中激光能量很强，因此，出于保护操作人员的目的，需要自激光标记单元的入、出侧分别设置闸门以保证激光单元在密闭空间内下工作，这样，当对传送装置上的每个元件进行标记作业时，都需要开关闸门一次，这不仅大大降低了闸门的寿命，同时还降低了作业效率。

基于这种情况，现有技术中提供了这样一种激光标记系统，其采用将器件阵列排布于托盘上，其中，托盘上可以有栅格用以固定器件，根据器件数量以及器件的大小、结构可以适用不同的栅格。托盘被运输到激光标记单元处进行标记。这种系统具有一种传送装置用于将托盘顺序送至位置检测，打标和后续筛选工位，如图1所示，这种传送装置一般包括一个托板801、与托板固连的传动机构802，驱动传动机构沿生产线方向运动的驱动装置803，其中，盛有半导体器件的托盘T置于托板801上，可通过对托盘T或托板801的结构设计，保证定位关系，传动机构可以为一个同步齿形传动带，传动带的固定位置可以设置配合部分与所述托板801的底部相配合，驱动装置可以使伺服电机，这样，可以实现由伺服电机驱动的通过同步齿形传动带带动托板顺序走完各工序的一个打标进程。

但是，这种输送结构的不足之处在于，由于托板需要实现对托盘T的定位、限位功能，因此其结构设计较复杂，成本高，并且，其定位不容易实现。

另外，在完成一个打标进程后，驱动机构需要驱动传动机构将托板送回取料部分，进行下一过程，这样，导致系统生产效率不高，从而使成本增加。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有打标输送装置中存在的结构复杂，生产效率低等不足，提供一种输送轨道的输送装置。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种用于托盘激光打标系统的输送装置，包括并行设置的第一导轨和第二导轨，安装于至少第一导轨或第二导轨内侧的驱动机构，和与所述驱动机构相耦合的托盘固定机构，所述托盘固定机构可运动至与托盘相配合的第一位置和与托盘相分离的第二位置。

进一步的，在所述第一导轨和第二道轨的同一高度位置上设有限制槽。

进一步的，所述限制槽设置于第一导轨与第二道轨的顶部。

进一步的，所述限制槽设置于第一导轨与第二道轨的内侧。

进一步的，所述托盘固定机构包括主体部分，固定于主体的气动控制的托撑定位部分，以及分别固连于主体部分和驱动机构的紧固装置。

进一步的，所述托盘固定机构包括主体部分，固定于主体的夹紧定位部分，以及分别固连于主体部分和驱动机构的紧固装置。

进一步的，所述托盘固定机构与所述驱动装置数量相等。

本实用新型的有益效果在于，通过导轨实现了对托盘的辅助定位，这样，降低了对托盘固定机构的设计难度，并有利于其小型化；由于托盘固定机构的设计小型化，可实现双驱动，双托盘固定机构，在一个托盘固定机构完成一个打标进程中，另一个托盘固定机构可以开始另一个打标进程，从而提高了生产效率，并因此降低了成本。

附图说明

图1为现有技术中的一种激光打标系统的传送装置的结构示意图。

图2为依照本实用新型的一种具体实施例中的用于托盘激光打标系统的输送装置的结构示意图。

图3为图2中导轨与驱动装置的结构示意图。

图4为图2中的一侧导轨、驱动装置以及托盘固定机构的结构示意图。

图5为托盘固定机构的本体与支撑槽的连接关系图。

图6为图2中导轨限位槽部分的结构放大图。

图7A为依照本实用新型的一种具体实施方式的气动托撑定位部分的结构示意图。

图7B为图7A中气动托撑定位部分工作状态的示意图。

图8A为依照本实用新型的一种具体实施方式的夹紧定位部分的结构示意图。

图8B为图8A中夹紧定位部分工作状态的示意图。

具体实施方式

本实用新型的一种具体实施例中的用于托盘激光打标系统的输送装置，如图2所示，通过底座100固连于托盘激光打标系统的机架上，其可以通过一个推盘分离装置，如图中A部所示，接收托盘，通过沿传送装置设置的检测装置，打标装置对托盘内的半导体元件进行定位检测及打标操作，还可以通过设置于打标装置后端的质量检测机构检测打标产品的质量，并通过设置于其后端的次品分离装置进行分离，当然，也可在传送机构的最后端设置托盘收集装置，将打标后的托盘收集码放。

其中，第一导轨10和第二导轨20平行设置，参照图6，第一导轨10上端部具有台阶101，相似的，在第二导轨20上端部也设有同样的台阶，且两台阶相对，形成限制槽，该限制槽与托盘的宽度相对应，保证托盘可在上面顺利滑动。当然，本领域内一般技术人员应该知道，该限制槽可以设置于两平行导轨10、20内侧的任意一个高度平面上。

参照图3，驱动装置可以仅设置于第一导轨10或第二导轨20内侧，也可以同时设置于第一及第二导轨内侧。

以仅具有固连于第一导轨10的具有第一驱动装置情况为例，参照图3，驱动装置301可以包括固连于导轨端部的伺服电机311，与所述伺服电机311耦合于贯穿于导轨长度的传动带312，在传动带的另一端设有带轮313，在这里，传动带最好是同步齿形带；第一驱动装置301还包括支撑轨314，支撑轨314固连于第一导轨10和的长度方向上，并贯穿导轨。

如果设置于导轨的两侧，其配置方式相同，区别仅在于：安装于第二导轨上的驱动装置的伺服电机安装在导轨上，与第一导轨的伺服电机相对的另一侧，以避免结构过于拥挤。

托盘固定机构，如图7A所示，可以是第一托盘固定机构，其包括一个与支撑轨314相耦合的本体部分401，一个气动控制的托撑定位部分402，以及与传动带313固连的紧固部分403。其中，由于托盘T的结构一般在底部都具有凹槽，因此，托撑定位部分402包括托板421，固连于托盘底部的气动升降装置422，如气缸；托板421上具有与托盘T底部结构相对应的定位结构，这样，这些结构都是现有技术中已知的，通过气动升降装置422可以实现托板421与托盘T底部的配合及分离，这样，当配合时，托盘由第一、第二导轨支撑，并由第一托撑定位装置401限制其传送方向上的自由度，因此，随托撑定位装置一并运动；当分离后，如图7B所示，托盘T仅由第一导轨和第二道轨支撑。

如图5所示，在支撑轨314的内侧可以具有凹槽341，本体部分401可以具有钩部411钩在凹槽341上，从而保证托盘固定机构在支撑轨上可靠滑动。

这样设计的效果在于，当托盘固定机构在驱动装置的驱动下，将托盘放置在导轨的某一位置时，托盘固定机构可以返回托盘分离机构取下一托盘。或者，在具有具有第一驱动装置301及另一套，即第二驱动装置的情况下，设置了第二托盘固定机构，第二托盘固定机构的结构与第一托盘固定结构相同，区别仅在于其安装于第二导轨20上，并通过安装在第二导轨上支撑轨支撑。在这里，第一托盘固定机构和第二托盘固定机构所占的宽度必须小于第一导轨10和第二导轨20间距的一半，这样，当第一托盘固定结构带动托盘沿导轨经历检测、达标，质检，分离等工序时，第二托盘固定结构可以收回其上的托板，并从另一侧移动至取料侧，从托盘分离装置取出下一托盘，从而提高了生产效率。

作为对这种具体实施方式的改进，本实用新型第二种具体实施方式中的托盘固定机构50还可以具有以下结构，如图4，8A所示，包括一个与支撑轨314相耦合的本体部分501，安装于本体部分上的一个气动夹紧定位部分502，以及与传动带313和本体部分分别固连的紧固部分503。其中，气动夹紧部分包括相对设置的第一旋转机构510和第二旋转机构520，第一旋转机构510包括第一旋转气缸511和固连于旋转气缸的转子上的第一夹爪512；第二旋转机构520包括第一旋转气缸521和固连于旋转气缸的转子上的第一夹爪522；这样，控制旋转气缸511、521的动作，可以控制第一夹爪512、第二夹爪522直立，或水平，参照图8A，8B。在直立位置时，该第一旋转机构和第二旋转机构可以夹住托盘T，在水平位置时，该托盘固定机构可以放开托盘，并可受控沿导轨运动。

综上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化及修饰，皆应属于本实用新型的技术范畴。

Claims (7)

1.一种用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：包括并行设置的第一导轨和第二导轨，安装于至少第一导轨或第二导轨内侧的驱动机构，和与所述驱动机构向耦合的托盘固定机构，所述托盘固定机构可运动至与托盘相配合的第一位置和与托盘相分离的第二位置。

2.根据权利要求1所述的用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：在所述第一导轨和第二道轨的同一高度位置上设有限制槽。

3.根据权利要求2所述的用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：，所述限制槽设置于第一导轨与第二道轨的顶部。

4.根据权利要求2所述的用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：，所述限制槽设置于第一导轨与第二道轨的内侧。

5.根据权利要求1所述的用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：所述托盘固定机构与所述驱动装置数量相等。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：所述托盘固定机构包括主体部分，固定于主体的气动控制的托撑定位部分，以及分别固连于主体部分和驱动机构的紧固装置。

7.根据权利要求1至5中任意一项所述的用于托盘激光打标系统的输送装置，其特征在于：所述托盘固定机构包括主体部分，固定于主体的夹紧定位部分，以及分别固连于主体部分和驱动机构的紧固装置。

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