CN1979910A - 薄膜晶体管、其制造方法以及使用薄膜晶体管的平板显示器 - Google Patents
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Abstract
一种薄膜晶体管，一种制造薄膜晶体管的方法以及一种包括薄膜晶体管的平板显示器。薄膜晶体管包括栅极、源极和漏极、与栅极连接的第一导电层、与源极和漏极中之一连接的第二导电层、接触源极和漏极的有机半导体层以及将源极和漏极以及有机半导体层与栅极绝缘的绝缘层，其中栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一包括导电纳米颗粒和固化树脂。薄膜晶体管的导电层可具有精密图案。薄膜晶体管可以低成本、低温工艺来制造。
Description
要求优先权
根据35 U.S.C.ζ119，本申请要求于2004年12月4日提交给韩国知识产权局的申请号为10-2004-0101523的韩国专利申请的优先权，其全部公开在此作为参考引入。
发明背景
发明领域
本发明涉及一种薄膜晶体管，一种制造薄膜晶体管的方法，以及一种包括薄膜晶体管的平板显示器，并特别是，涉及一种包括具有精确图案的导电薄膜的薄膜晶体管，一种用低成本、低温滚动条式(roll-to-roll)连续工艺制造薄膜晶体管的方法，以及一种使用薄膜晶体管的平板显示器。
相关技术的描述
通常，发光器件，作为一种平板显示器件，由于具有大的视角、高的对比度以及短的响应时间的优点成为下一代显示器件。根据用于其发射层的材料，将这种发光器件分为无机发光器件器件和有机发光器件(OLED)。
有机发光器件是自发光显示器件，当荧光有机合成物被电激发时其发光。有机发光器件可在低电压下工作，可制成薄的，具有宽的视角和短的响应时间，并因此作为能够克服例如液晶显示器的传统显示器出现的问题的下一代显示器而受到关注。
有机发光器件包括一个在阳极和阴极之间具有有机材料的发射层。在有机发光器件中，当在阳极和阴极之间施加电压时，空穴通过空穴传输层从阳极迁移到发射层，而电子通过电子传输层从阴极迁移到发射层。空穴和电子在发射层重新结合并因此产生激子(exiton)。当激子从激发态转变为基态时，发射层中的荧光分子发出光，由此形成图像。全色有机发光器件包括多个象素，每个发出三色光，即，红色、绿色和蓝色光，并因此实现全色图像。
例如有机发光器件、无机发光器件等的平板显示器包括薄膜晶体管(TFT)，作为用于控制每个象素工作的开关器件以及用于驱动每个象素的器件。TFF包括一半导体层，其中源极和漏极区掺杂了很多杂质，且源极和漏极区之间限定了一沟道区，一栅极，形成在相应于沟道区的区域但与半导体层绝缘以及分别接触源极区和漏极区的源极/漏电极。
近来，薄膜结构和柔韧性已经成为平板显示器件的要求。为了实现柔韧性要求，平板显示器件已经使用塑料衬底代替常规的玻璃衬底。然而，塑料衬底只能在低温下使用。由于这个原因，包括有机半导体层的有机薄膜晶体管变得比其它多晶硅薄膜晶体管更加普遍。有机半导体层可仅使用低温工艺形成，并可用于制成低成本薄膜晶体管。这种有机半导体层的例子在Kelley等人美国专利号6,433,359中公开。
有机薄膜晶体管中，导电层例如栅极、连接到栅极的栅极导电层、源极和漏极、连接到源极和漏极的源极导电层和漏极导电层等利用例如沉积法形成。然而，利用该沉积法制造有机薄膜晶体管是昂贵的。而且，衬底或有机半导体层会被沉积工艺期间产生的热度损伤。因此，需要对有机薄膜晶体管改进结构和制成较少倾向于使衬底受热的该有机薄膜晶体管的改进方法，其花费不多并且可用于滚动条式工艺。
发明概述
因此本发明的一个目的是提供一种有机薄膜晶体管的改进结构。
本发明的另一个目的是提供一种制成适于柔韧性塑料衬底的有机薄膜晶体管的改进方法。
本发明的又一个目的是提供一种低成本、低温滚动条式连续工艺制造薄膜晶体管的方法。
本发明的再一个目的是提供一种利用有机薄膜晶体管的改进的平板显示器。
这些和其它目的可通过一种包括用导电纳米颗粒(nano-particles)和固化树脂制成的导电层的有机薄膜晶体管、一种制造薄膜晶体管的方法以及一种包括薄膜晶体管的平板显示器来实现。
根据本发明的一方面，提供一种薄膜晶体管，其包括栅极、源极和漏极、与栅极连接的第一导电层、与源极和漏极中之一连接的第二导电层、接触源极和漏极的有机半导体层以及将源极和漏极以及有机半导体层与栅极绝缘的绝缘层，其中栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中的至少一个包括导电纳米颗粒和固化树脂。
根据本发明的另一方面，提供一种制造薄膜晶体管的方法，该方法包括制备包括导电纳米颗粒、可固化树脂和载体(vehicle)的可固化糊状组合物，将可固化糊状组合物涂敷到衬底上，固化可固化糊状组合物的一部分以限定栅极、与栅极连接的第一导电层、源极和漏极以及与源极和漏极中之一连接的第二导电层中至少一个的图案，以及除去可固化糊状组合物的未固化部分，以形成栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中的至少一个。
根据本发明的另一方面，提供一种平板显示器件，其在每个象素中包括上述的薄膜晶体管或使用上述方法制成的薄膜晶体管，其中象素电极与薄膜晶体管的源极或漏极连接。
根据本发明的薄膜晶体管中的导电层可具有精密图案。具有精密的导电层图案的这种薄膜晶体管可利用根据本发明的方法通过低成本、低温滚动条式连续工艺制造。另外，薄膜晶体管的有机半导体层和衬底在制造工艺期间基本不会受到损伤。利用根据本发明的薄膜晶体管可制成具有改进的可靠性的平板显示器。
附图简述
根据下面的详细描述在与附图结合考虑时，本发明的更完整的评价，及其许多伴随的优点将变得容易明白，和更容易理解，附图中相同的参考符号表示相同或相似的元件，其中：
图1是根据本发明的实施方案的薄膜晶体管的平面图；
图2是沿着图1中I-I线的薄膜晶体管的剖面图；
图3是根据本发明的实施方案的平板显示器的剖视图；以及
图4是根据本发明的薄膜晶体管中的第一导电层的电子透射显微照片(TEM)。
发明详述
现在转向附图，图1是根据本发明的实施方案的薄膜晶体管10的平面图，以及图2是沿着图1中I-I线的薄膜晶体管的剖面图。根据图1和2的薄膜晶体管(TFT)10在衬底11上形成。该衬底11可以是由例如丙烯酸类树脂(acryls)、环氧树脂(epoxys)、聚酰胺、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚酮、聚降冰片烯、聚苯醚、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚苯硫醚(PPS)等制成的玻璃衬底或者塑料衬底。
栅极12以预定图案在衬底11上形成。绝缘层13形成以例如覆盖栅极12。源极和漏极14在绝缘层13上形成。尽管如图1所示源极和漏极14重叠了部分栅极12，但是本发明并不局限于此。参考数字12a表示与栅极12连接的第一导电层以向那里提供栅信号，而参考数字14a表示与源极和漏极14中之一连接的第二导电层。在本发明中，栅极12、第一导电层12a、源极和漏极14以及第二导电层14a中的至少之一包含导电纳米颗粒和固化树脂。导电纳米颗粒可以是金、银、铜、镍、铂、钯、铝纳米颗粒或其组合，但是本发明并不以此为限。
导电纳米颗粒的比表面积可以为2.0-10.0m2/g，例如3.0-9.0m2/g。另外，导电纳米颗粒的平均粒径可以为10-100nm，例如20-90nm。当导电纳米颗粒的比表面积小于2.0m2/g或者当平均粒径大于100nm时，栅极、第一导电层、源极和漏极或者第二导电层的线性度(linearity)降低，而电阻增加。另一方面，当导电纳米颗粒的比表面积大于10.0m2/g或者当平均粒径小于10nm时，包含纳米颗粒的导电层不能具有足够的导电性。
导电纳米颗粒可具有层状的、无定形的或者球形的形状。例如，考虑到比表面积、填充比等，导电纳米颗粒可具有球形的形状。
固化树脂通过经由加热或曝光来固化可固化树脂而获得。固化树脂应该能够向导电层，例如栅极、第一导电层、源极和漏极、第二导电层等提供导电性，或者至少不会降低导电纳米颗粒的导电性。
如上所述，固化树脂可通过利用热或光来固化树脂而获得。当利用加热来固化可固化树脂时，固化温度可在100-2000℃，例如200-1000℃的范围内。如果固化温度是100℃或者更低，树脂通过加热而固化的程度低。如果固化温度高于2000℃，有机半导体层和衬底会遭受损伤。另外，固化树脂可通过由激光照射曝光来固化可固化树脂而获得。当利用激光来固化树脂时，能够形成固化树脂的超精密图案。
用于获得固化树脂的可固化树脂的例子包括邻苯二甲酸酯树脂、环氧树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、乙炔树脂、吡咯树脂、噻吩树脂、烯烃树脂、醇树脂、酚树脂以及这些树脂至少两种的组合。可固化树脂的特定例子包括聚邻苯二甲酸乙二酯、聚邻苯二甲酸丁二醇酯、聚邻二羟基甲基环已基对苯二甲酸酯、脲甲醛树脂、三聚氰胺(2，4，6-三氨基-1，3，5-三嗪)-甲醛树脂、三聚氰胺尿素树脂、三聚氰胺酚树脂、聚乙炔、聚吡咯、聚(3-烷基噻吩)、聚亚苯基亚乙烯基(polyphenylene vinylidene)、聚乙烯亚乙烯基(polyethylene vinlidene)、聚乙烯醇以及光致抗蚀树脂，但是，本发明决不局限于这些材料。
栅极12、第一导电层12a、源极和漏极14以及第二导电层14a中至少之一具有5-500，例如10-300的表面粗糙度。如果例如栅极12、第一导电层12a、源极和漏极14以及第二导电层14a的导电区域的表面粗糙度不在上述范围内，可能在另一层间，例如在导电区域上形成的有机层和导电层区域发生接触失败。
有机半导体层15形成在源极和漏极14上。用于有机半导体层15的有机半导体材料的例子包括并五苯、并四苯、蒽、萘、α-6-噻吩、α-4-噻吩、苝及其衍生物、红荧烯及其衍生物、蔻及其衍生物、苝四羧酸二酰亚胺(perylenetetracarboxylic diimide)及其衍生物、苝四羧酸二酐(perylene tetracarboxylicdianhydride)及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚对亚苯基亚乙烯基(polyparaphenylene vinylene)及其衍生物、聚对亚苯基(polyparaphenylene)及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚噻吩亚乙烯基(polythiophene vinylene)及其衍生物、聚噻吩-杂环芳烃共聚物(polythiophene-heterocyclic aromatic copolymer)及其衍生物、萘的寡并苯(oligoacene)及其衍生物、α-5-噻吩的低聚噻吩(oligothiophene)及其衍生物、具有或不具有金属的酞菁及其衍生物、苯均四酸二酐及其衍生物、1，2，4，5-苯四甲酰二亚胺及其衍生物等。另外，前述材料的至少两种的组合可用于有机半导体层15。
根据本发明的薄膜晶体管可具有如上所述的层叠结构，也可具有其它不同的层叠结构。例如，根据本发明的薄膜晶体管可具有其中衬底、栅极、绝缘层、有机半导体层以及源极和漏极顺序层叠的层叠结构，或者其中衬底、源极和漏极、有机半导体层、绝缘层以及栅极顺序层叠的层叠结构。
根据本发明的实施方案的薄膜晶体管的制造方法包括制备包含导电纳米颗粒、可固化树脂以及载体的可固化糊状组合物，将可固化糊状组合物涂敷到衬底上，固化可固化糊状组合物的一部分以限定栅极、与栅极连接的第一导电层、源极和漏极以及与源极和漏极中之一连接的第二导电层中至少之一的图案，然后除去可固化糊状组合物的未固化部分以形成栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一。
可固化糊状组合物包含导电纳米颗粒和可固化树脂。导电纳米颗粒与上述的相同。可固化树脂的例子包括通过暴露于热或光而固化的树脂。
任选地，可固化糊状组合物可进一步包含载体。载体控制可固化糊状组合物的粘性、可印性等，并且载体在固化过程中可至少部分挥发。载体的例子包括，但不局限于TEOS、松油醇、丁基卡必醇(BC)、丁基卡必醇乙酸酯(BCA)、甲苯、texanol、至少两种前述材料的组合等。
根据本发明的可固化糊状组合物可具有10-100cps，例如20-90cps的粘度。如果可固化糊状组合物的粘性不在这个范围内，流动性和可印性变差，从而使其难以形成精确的图案。
将上面制备好的可固化糊状组合物涂敷到衬底上。衬底是指具有区域的支持体，栅极、与栅极连接的第一导电层、源极和漏极以及与源极和漏极中之一连接的第二导电层中至少之一将在该区域内形成。合适的衬底可根据形成的薄膜晶体管的结构来选择。例如，当形成其中有栅极、有机半导体层以及源极和漏极顺序层叠的薄膜晶体管时，将可固化糊状组合物涂敷到玻璃或塑料衬底上以形成栅极。然后，将可固化糊状组合物涂敷到具有栅极和有机半导体层的衬底上以形成源极和漏极。
在涂敷可固化糊状组合物之后，将可固化糊状组合物固化以确定目标图案，例如，栅极、与栅极连接的第一导电层、源极和漏极以及与源极和漏极中之一连接的第二导电层中至少之一。
根据本发明的方法中，可使用各种各样的方法来固化可固化糊状组合物。例如，局部固化处理可利用激光来实施。激光器是一种具有高能量密度的光源，能够沿着超精细图案局部地放射热或光。可用于本发明的激光器包括UV激光器、IR激光器等。例如，可以使用具有635nm波长的半导体激光器、具有514nm波长的氩气激光器。然而，本发明并不局限于此。
在固化处理之后，除去未固化的糊状组合物。未固化的糊状组合物可利用可以溶解上述的未固化树脂的各种溶剂例如丙酮除去。当可固化树脂包括例如羧基的亲水性基团时，可改为使用水溶性的有机碱性化合物，例如氢氧化四甲基铵、胆碱、氢氧化三甲基2-羟乙基铵等。然而，可利用的溶剂并不局限于此。
如上所述，根据本发明的可固化糊状组合物的图案是通过局部固化处理而获得。换句话说，根据本发明的薄膜晶体管的衬底和/或有机半导体层在薄膜晶体管的制造期间并未暴露在高温条件下。因此，基本上防止了根据本发明的薄膜晶体管的衬底和有机半导体层的热损伤。另外，根据本发明，由于利用了局部固化工艺，因此无需实施复杂的光致抗蚀工艺。可改为利用滚动条式连续工艺，从而提高生产率。
如上所述根据本发明的薄膜晶体管以及使用如上所述根据本发明的方法制造的薄膜晶体管可用于例如LCD、OLED等的平板显示器件中。现在转向图3，图3示出了包括根据本发明的TFT的示范的有机发光显示器。图3中，示出了有机发光显示器的一个子象素。有机发光显示器中的每个子象素包括一自发光器件，即，有机发光器件(下文中，“OLED”)以及至少一个薄膜晶体管。尽管未示出，每个子象素也包括电容器。
有机发光显示器根据由有机发光器件发出的光的颜色而具有各种象素图案，例如，红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)象素图案。参考图3，R、G和B子象素的每一个包括TFT结构和有机发光器件。在子象素的每一个中的TFT可以是在上面的实施方案中描述的TFT。然而，子象素的每一个中的TFT并不局限于上述的TFT，而可具有其它各种结构。
参考图3，具有上述结构的TFT20在衬底21上形成。TFT20的栅极22以及源极和漏极24包括导电纳米颗粒以及固化树脂，如上所述。尽管图3中未示出，与栅极22连接的第一导电层和/或与源极和漏极24中之一连接的第二导电层可包括导电纳米颗粒和固化树脂。TFT20的栅极22、绝缘层23以及有机半导体层25与上述的相同。因此，这里将不再对其重复描述。
形成TFT20的有机半导体层25之后，形成钝化层27以例如覆盖TFT20。钝化层27可以是单层或多层结构。钝化层可由有机材料、无机材料或者有机和无机材料的复合材料形成。
有机发光器件30的第一电极31在钝化层27上形成，以及象素限定层28在其上形成。预定开口28a在象素定义层28中形成，并形成有机发光器件30的有机发射层32。
有机发光器件30通过根据电流量而发出红、绿和蓝光来显示预定图像信息。有机发光器件30包括与TFT20的源极和漏极24中之一连接的第一电极31、完全覆盖象素的第二电极33以及布置在第一电极31和第二电极33之间的有机发射层32。与TFT20的源极和漏极24中之一连接的第一电极31可以是象素电极。应理解的是本发明并不局限于这种结构。也应理解本发明也可应用于其它各种有机发光显示器。
有机发射层32可以是小分子量或大分子量有机层。当使用小分子量有机层时，其结构可包括空穴注入层(HIL )、空穴传输层(HTL)、发射层(EML)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)等，并且可层叠为单层或多层。用于有机发射层32的可利用的有机材料包括铜酞菁(CuPc)、N，N’-二(萘-1-基)-N，N’-二苯基-联苯胺(NPB)、三-8-羟基喹啉铝(Alq3)等。小分子量有机层可用真空淀积方法形成。
当使用大分子量有机层时，有机发射层32可具有包括HTL和EML的结构。在这种情况下，HTL由PEDOT(聚3，4-亚乙二氧基噻吩)形成，而EML由例如聚亚苯基亚乙烯基(PPV)、聚芴等大分子量有机材料形成。大分子量有机层可用丝网印刷法或喷墨印刷法形成。应理解本发明决不局限于上述的，同样可改为利用其它各种有机层。
第一电极31用作为阳极，而第二电极33用作为阴极。但是可将第一电极31和第二电极33的极性转换，并且仍在本发明的范围内。
如上所述，如图3中所示根据本发明的薄膜晶体管可设置在每个子象素内，也可设置在不生成图像的驱动电路(未示出)内。
下文中，关于下面的实施例将更详细地描述本发明。下面的实施例是为了例证性的目的而并不打算限制本发明的范围。
实施例1
将作为可固化树脂的光致抗蚀胶油墨(可从Clariant公司买到)以及包括作为导电纳米颗粒的Ag颗粒的Ag油墨(可从Cabot公司买到，平均Ag粒径：30nm)以9∶1的重量比混合。将该混合物以900rpm在玻璃衬底的表面上旋转涂敷30秒，并在110℃软烘烤(soft-baked)2分30秒。将由此产生的结构根据第一导电层的图案以25mJ/cm2的能量曝光5秒，并浸入显影液60秒以显影。将由此产生的结构在130℃硬烘烤3分钟以获得具有15μm宽度和1μm高度的图案。从图4的电子透射显微(TEM)照片可见，形成了第一图案。
实施例2
将5％重量比的作为可固化树脂的聚乙烯醇(PVA)溶液以及包括作为导电纳米颗粒的Ag颗粒的Ag油墨(可从Cabot公司买到，平均Ag粒径：30nm)以9∶1的重量比混合。将该混合物以1000rpm在具有用于第一导电层的光致抗蚀图案的玻璃衬底的表面上旋转涂敷30秒，并在室温下干燥10分钟。将由此产生的结构根据第一导电层的图案以600mJ/cm2的能量曝光120秒，并浸入显影液60秒以显影。将由此产生的结构在100℃硬烘烤20分钟以获得具有15μm宽度和1μm高度的图案。
如上所述，根据本发明的TFT中的导电层可使用例如激光器通过局部固化方法而形成。因此具有以精确图案表示的导电层的TFT可以低成本，以及低温滚动条式连续工艺制造，从而提高生产率。此外，使用根据本发明的TFT可制造出提高了可靠性的平板显示器。
尽管已经参考其示范性的实施例特别地示出和描述了本发明，但是本领域技术人员应理解，在不偏离如下权利要求所限定的本发明的实质和范围的情况下在形式和细节上可作出各种改变。
Claims (20)
1.一种薄膜晶体管，包括：
栅极、源极和漏极；
与栅极连接的第一导电层；
与源极和漏极中之一连接的第二导电层；
接触源极和漏极的有机半导体层；以及
将源极和漏极以及有机半导体层与栅极绝缘的绝缘层，其中栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一包括导电纳米颗粒和固化树脂。
2.权利要求1的薄膜晶体管，其中导电纳米颗粒选自金、银、铜、镍、铂、钯和铝纳米颗粒。
3.权利要求1的薄膜晶体管，其中导电纳米颗粒的比表面积为2.0-10.0m2/g。
4.权利要求1的薄膜晶体管，其中导电纳米颗粒的平均粒径为10-100nm的范围内。
5.权利要求1的薄膜晶体管，其中固化树脂是通过固化至少一种选自下列的材料而制得：邻苯二甲酸酯树脂、环氧树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、乙炔树脂、吡咯树脂、噻吩树脂、烯烃树脂、醇树脂和酚树脂。
6.权利要求1的薄膜晶体管，其中固化树脂是通过固化至少一种选自下列的可固化树脂而制得：聚邻苯二甲酸乙二酯、聚邻苯二甲酸丁二醇酯、聚二羟基甲基环己基对苯二甲酸酯、脲甲醛树脂、三聚氰胺(2，4，6-三氨基-1，3，5-三嗪)-甲醛树脂、三聚氰胺尿素树脂、三聚氰胺酚树脂、聚乙炔、聚吡咯、聚(3-烷基噻吩)、聚亚苯基亚乙烯基、聚乙烯亚乙烯基以及聚乙烯醇。
7.权利要求1的薄膜晶体管，其中栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一具有5-500的表面粗糙度。
8.权利要求1的薄膜晶体管，其中有机半导体层由至少一种选自下列的材料制得：并五苯、并四苯、蒽、萘、α-6-噻吩、α-4-噻吩、苝及其衍生物、红荧烯及其衍生物、蔻及其衍生物、苝四羧酸二酰亚胺及其衍生物、苝四羧酸二酐及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚对亚苯基亚乙烯基及其衍生物、聚对亚苯基及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚噻吩亚乙烯基及其衍生物、聚噻吩-杂环芳烃共聚物及其衍生物、萘的寡并苯及其衍生物、α-5-噻吩的低聚噻吩及其衍生物、具有或不具有金属的酞菁及其衍生物、苯均四酸二酐及其衍生物以及1，2，4，5-苯四甲酰二亚胺及其衍生物。
9.一种制造薄膜晶体管的方法，该方法包括：
制备包括导电纳米颗粒、可固化树脂和载体的可固化糊状组合物；
将可固化糊状组合物涂敷到衬底上；
固化可固化糊状组合物的一部分以限定栅极、与栅极连接的第一导电层、源极和漏极以及与源极和漏极中之一连接的第二导电层中至少之一的图案；以及
固化之后，除去可固化糊状组合物的未固化部分，以形成栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一。
10.权利要求9的方法，其中可固化糊状组合物还包括至少一种选自下列的载体：TEOS、松油醇、丁基卡必醇(BC)、丁基卡必醇乙酸酯(BCA)、甲苯以及texanol。
11.权利要求9的方法，其中可固化糊状组合物具有10-100cps的粘度。
12.权利要求9的方法，其中利用紫外线激光器或红外线激光器来进行可固化糊状组合物的所述部分的固化。
13.一种平板显示器，包括：
薄膜晶体管，其包括：
栅极、源极和漏极，
与栅极连接的第一导电层，
与源极和漏极中之一连接的第二导电层，
接触源极和漏极的有机半导体层，以及
将源极和漏极以及有机半导体层与栅极绝缘的绝缘层，其中栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一包括导电纳米颗粒和固化树脂；以及
象素电极，其与薄膜晶体管的源极和漏极中之一电连接。
14.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的导电纳米颗粒选自金、银、铜、镍、铂、钯和铝纳米颗粒。
15.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的导电纳米颗粒的比表面积为2.0-10.0m2/g。
16.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的导电纳米颗粒的平均粒径为10-100nm。
17.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的固化树脂是通过固化至少一种选自下列的材料而制得：邻苯二甲酸酯树脂、环氧树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、乙炔树脂、吡咯树脂、噻吩树脂、烯烃树脂、醇树脂和酚树脂。
18.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的固化树脂是通过固化至少一种选自下列的可固化树脂而制得：聚邻苯二甲酸乙二酯、聚邻苯二甲酸丁二醇酯、聚二羟基甲基环己基对苯二甲酸酯、脲甲醛树脂、三聚氰胺(2，4，6-三氨基-1，3，5-三嗪)-甲醛树脂、三聚氰胺尿素树脂、三聚氰胺酚树脂、聚乙炔、聚吡咯、聚(3-烷基噻吩)、聚亚苯基亚乙烯基、聚乙烯亚乙烯基以及聚乙烯醇。
19.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的栅极、第一导电层、源极和漏极以及第二导电层中至少之一具有5-500的表面粗糙度。
20.权利要求13的平板显示器，其中薄膜晶体管的有机半导体层由至少一种选自下列的材料制得：并五苯、并四苯、蒽、萘、α-6-噻吩、α-4-噻吩、苝及其衍生物、红荧烯及其衍生物、蔻及其衍生物、苝四羧酸二酰亚胺及其衍生物、苝四羧酸二酐及其衍生物、聚噻吩及其衍生物、聚对亚苯基亚乙烯基及其衍生物、聚对亚苯基及其衍生物、聚芴及其衍生物、聚噻吩亚乙烯基及其衍生物、聚噻吩-杂环芳烃共聚物及其衍生物、萘的寡并苯及其衍生物、α-5-噻吩的低聚噻吩及其衍生物、具有或不具有金属的酞菁及其衍生物、苯均四酸二酐及其衍生物以及1，2，4，5-苯四甲酰二亚胺及其衍生物。
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