CN1963385A - 形状测定机 - Google Patents

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Abstract

一种形状测定机，其具备：输出含有工件评价对象面的截面形状信息的测定数据的粗糙度传感器；使工件上的该粗糙度传感器位置沿该评价对象面相对移动，并将该相对移动量以移动分辨率 Δθ间距作为对准移动量信息输出的相对移动机构；以比该相对移动机构移动移动分辨率Δθ所需要的时间短的一定时间间隔ts对来自于该粗糙度传感器的测定数据进行实时采样的实时采样装置；基于来自于该相对移动机构的对准移动量信息，将来自于该实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据设为间隔定间距的测定数据，并基于该间隔定节距测定数据评价工件的表面粗糙度的数据处理机构。

Description

形状测定机
本申请主张2005年11月8日申请的日本国特许申请2005-324140号的优先权，在此基础上使用。
技术领域
本发明涉及形状测定机，特别是涉及表面粗糙度测定机构的改良。
背景技术
目前，为对工件的形状进行精密测定，而使用形状测定机。形状测定机有具备转动机构的圆度测定机。另外，形状测定机有具备直动机构的表面粗糙度测定机、轮廓形状测定机、三维测定机等。
例如，为进行圆筒形工件的圆度测定，而使用圆度测定机。现有的圆度测定机具备旋转工作台等转动机构和设于转动机构上的旋转角度测定装置。旋转角度测定装置是用于得到进行圆度测定所需要的圆筒形工件的位置信息的装置。作为现有的旋转角度测定装置，例如可使用通常的旋转角度测定装置(例如参照特开平6-42942号公报、特开2000-136944号公报、特开2004-245634号公报)。
而且，在圆度测定机中，通过一边用检测器检测载置于旋转工作台上的圆筒形工件的表面位置，一边使旋转工作台旋转，由此取得圆筒形工件的截面曲线数据。从这样得到的截面曲线数据算出用于进行圆度测定的参数。
但是，圆筒形工件的精密测定，除上述圆度测定以外，也有表面粗糙度测定。
目前，为进行圆筒形工件的圆度测定，而使用具备转动机构的圆度测定机构。另一方面，为进行圆筒形工件的表面粗糙度测定，使用具备直动机构的表面粗糙度测定机。
但是，在圆度测定用和表面粗糙度测定用中准备不同形状的测定机，存在空间、成本等问题。
因此，本发明者们希望用一台形状测定机进行圆筒形工件的圆度测定和表面粗糙度测定。特别是对于圆筒形工件来说，对使用圆度测定机进行表面粗糙度测定有强烈的要求。
但是，简单地将圆度测定机就这样用于表面粗糙度测定，不能进行达到满足的表面粗糙度测定，不能达到实际应用的水平。另外，目前该原因也还不明确。
因此，目前对于可使用转动机构进行旋转测定的圆筒形工件来说，表面粗糙度测定时使用具备直动机构的表面粗糙度测定机获取测定数据。
如上，在这种领域中，对可进行更高精密的表面粗糙度测定的技术的开发有强烈的要求，但目前不存在能够解决该问题的适宜的技术。
发明内容
本发明是鉴于上述现有技术课题而构成的，其目的在于，提供一种可适宜进行表面粗糙度测定的形状测定机。
本发明是着眼于以下问题点而开发的。
即，为进行更适当的表面粗糙度测定，目前着眼于高度方向的检测精度，但本发明者们明了提高测定轴方向的分辨率是非常重要的。即，在测定微小凹凸的粗糙度测定时，凹凸间隔微小，必须将该微小间隔作为数据来充分采样。
在此，为提高测定轴方向的分辨率，通常考虑使用更高分辨率的装置作为检测粗糙度传感器的X轴方向(测定轴方向)的移动量的X轴检测器。
但是，由于这种X轴检测器非常昂贵，因此，多数情况难以采用。因此，即使是低的分辨率的X轴检测器，也多有要进行精密的粗糙度测定的要求。
为对应这样的要求，本发明者重新进行了专心研究，其结果是，使用将工件上的粗糙度传感器位置的相对移动量以Δθ间距输出的相对移动机构及进行粗糙度传感器输出的实时采样的实时采样装置，得到作为粗糙度评价用非常小且间隔定间距的测定数据，由此即使是具备分辨率低的X轴检测器的形状测定机，发现也能够进行更精密的粗糙度测定，由此完成本发明。
即，为实现上述目的，本发明提供形状测定机，其特征在于，具备工作台、粗糙度传感器、相对移动机构、实时采样装置以及数据处理机构。而且，所述数据处理机构以比移动分辨率Δθ间距更小且间隔一定的间距得到测定数据，使得能够用于高精度的粗糙度评价。
在此，所述工作台载置具有表面粗糙度的评价对象面的工件。
另外，所述粗糙度传感器检测载置于所述工作台上的工件评价对象面的截面形状，输出含有该截面形状信息的测定数据。
所述相对移动机构使所述工作台和所述粗糙度传感器相对移动，以使所述工件上的所述粗糙度传感器位置相对移动，并将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为对准移动量信息输出。
所述实时采样装置以比所述相对移动机构移动移动分辨率Δθ所需要的时间短的一定时间间隔ts对来自于所述粗糙度传感器的测定数据进行实时采样。
所述数据处理机构基于来自于所述相对移动机构的对准移动量信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据设为间隔定间距的测定数据。所述数据处理机构基于该间隔定间距的测定数据评价所述工件评价对象面的表面粗糙度。
这里说的移动分辨率Δθ间距是指，在相对移动机构是转动机构的情况下为角度分辨率Δθ间距，在相对移动机构是直动机构的情况下为有关直线移动的分辨率Δθ间距。
另外，这里说的对准移动量信息是指，在相对移动机构是转动机构的情况下为旋转角度信息，在相对移动机构是直动机构的情况下为直线移动量信息。
这里说的间隔定间距的测定数据是指，在相对移动机构是转动机构的情况下测定数据点为一定角度间隔(角度定间距)的测定数据点序列。另外，这里说的间隔定间距的测定数据是指，在相对移动机构是直动机构的情况下测定数据点为一定长度间隔(长度定间距)的测定数据点序列。
<转动机构>
由于使用所述那样的具备分辨率低的X轴检测器的形状测定机进行精密的粗糙度测定，因此，考虑进行使用了圆度测定机的圆筒形工件的表面粗糙度测定。
本发明者们对使用了圆度测定机的圆筒形工件的表面粗糙度测定进行了专心研究，其结果是，一台形状测定机难以同时进行圆度测定和表面粗糙度测定原因在于，以下的圆度测定和表面粗糙度测定的传感器特性不同，且相对于圆度测定和表面粗糙度测定的测定数据的要求性能不同。
第一，虽然传感器特性不同，但在由检测器追踪圆筒形工件评价对象面得到的测定截面曲线数据中，圆度是周期长的成分，表面粗糙度是周期短的成分。即使在用检测周期长的成分的圆度检测器进行表面粗糙度测定时，也难以高灵敏度地检测周期短的成分。因此，不能得到可进行满意的表面粗糙度测定的测定数据。
关于这种传感器特性不同的问题，可通过经由检测器支架将粗糙度传感器安装在圆度测定机上来解决。
第二，虽然相对于测定数据的要求性能不同，但在表面粗糙度测定中，与圆度测定相比，获取更准确的角度位置信息是重要的。
在此，在圆度测定机中，为获取更准确的角度位置信息，且由于在成本方面也有利，因此考虑使用对准旋转工作台作为旋转工作台。
因此，在使用圆度测定机的圆筒形工件的表面粗糙度测定中，为得到更准确的角度位置信息，也考虑使用对准旋转工作台作为旋转工作台。
但是，仅将对准旋转工作台用作旋转工作台时，终究不能进行达到满意的表面粗糙度测定，而目前其原因也是不明确的。
因此，为了用一台形状测定机同时进行圆度测定和表面粗糙度测定，目前只滞留在在具有作为旋转工作台的对准旋转工作台的圆度测定机中设置粗糙度传感器，而适于表面粗糙度测定的结构没有开发。
对于这一点来说，本发明者们进一步进行了研究，达至以下点。
即，即使简单地将对准旋转工作台作为旋转工作台使用，也不能得到表面粗糙度评价所要求的非常小的测定间距。
因此，在具有对准旋转工作台的圆度测定机中，考虑进行实时采样代替角度采样。
但是，即使简单地使用实时采样，在旋转工作台的转速不十分稳定时，也不能得到表面粗糙度评价所要求的角度定间距的数据。
因此，也考虑在旋转工作台的转速充分稳定的状态下进行测定，但是，到旋转工作台的转速充分稳定的时间太长，且即使耗费了时间，旋转工作台的转速也不足够稳定。特别是在部分圆度测定中，也有需要在旋转工作台的转速不充分稳定的状态下进行测定的情况。
本发明者们探讨得到的结果是，使用圆度测定机的旋转结构适宜进行表面粗糙度测定的关键点是，得到相关于表面粗糙度评价时要求的非常小的采样间距且长度的定间距测定数据，进而实现将转动结构的旋转不稳的影响抑制在最小限的数据处理是非常重要的。
本发明者们基于所述圆度测定和表面粗糙度测定同时存在的关键事项的见解，发现通过采用以下课题的解决方法，即使使用圆度测定机也可以适宜进行表面粗糙度的测定，直至完成本发明。
即，在本发明中，所述移动分辨率Δθ间距是角度分辨率Δθ间距，
所述对准移动量信息是对准角度信息，
所述间隔定间距测定数据是角度定间距测定数据，
另外，作为所述相对移动机构，使用使所述工作台和所述粗糙度传感器相对旋转，并将该旋转角度以所述角度分辨率Δθ间距作为所述对准角度信息输出的旋转机构，
所述数据处理机构基于来自于所述转动机构的对准角度信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据设为角度定间距的测定数据。所述数据处理机构基于该角度定间距的测定数据对所述工件的评价对象面的表面粗糙度进行评价。
另外，在本发明中，使用所述粗糙度传感器代替圆度测定机的圆度检测器，
使用圆度测定机的对准旋转工作台作为所述工作台及所述转动机构，
所述圆度测定机的对准旋转工作台将所述工件相对于基台旋转自如地载置，将相对于该基台的旋转角度以角度分辨率Δθ间距作为上述对准角度信息输出。
作为本发明的转动机构，例如含有使粗糙度传感器相对于工件旋转的装置，使工件相对于粗糙度传感器旋转的对准旋转工作台等。
另外，作为本发明的工件，作为一例列举可使用转动机构旋转测定的机构。更具体地说，例如作为一例列举具有突起或圆完全全周成立的全圆，乃至突起或圆完全不全周成立的部分圆等的截面形状为曲线的评价对象面的机构。
<直动机构>
另外，在本发明中，所述移动分辨率Δθ间距是有关直线移动的移动分辨率Δθ间距，
所述对准移动量信息是有关直线移动的对准移动量信息，
所述间隔定间距的测定数据是有关直线移动的长度定间距的测定数据，
另外，作为所述相对移动机构，使用使所述工作台和所述粗糙度传感器相对直线移动，以使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对移动，且将该相对移动量以所述移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出的直动机构，
所述数据处理机构基于来自于所述直动机构的对准移动量信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔的测定数据设为长度定间距测定数据。所述数据处理机构基于该长度定间距的测定数据对所述工件评价对象面的表面粗糙度进行评价。
<表面粗糙度测定机>
在本发明中，使用表面粗糙度测定机的直动机构作为所述直动机构，
所述表面粗糙度测定机的直动机构使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对直线移动，并将该相对移量以移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出。
<轮廓形状测定机>
在本发明中，使用所述粗糙度传感器代替轮廓形状测定机的轮廓检测器，
使用所述轮廓形状测定机的直动机构作为所述直动机构，
所述轮廓形状测定机的直动机构使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对直线移动，并将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出。
<三维测定机>
在本发明中，使用所述粗糙度传感器代替三维测定机的检测器，
使用所述三维测定机的直动机构作为所述直动机构，
所述三维测定机的直动机构使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对直线移动，并将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出。
<数据处理机构>
另外，在本发明中，所述数据处理机构优选具有推测装置、定间距化装置以及评价装置。
在此，所述推测装置基于具有同值的对准移动量信息的测定数据数，及具有该对准移动量信息的测定数据中的顺序，推测具有该对准移动量信息的各测定数据的测定位置。
另外，所述定间距化装置基于由所述推测装置推测的各测定数据的测定位置，通过由所述实时采样装置得到的测定数据得到间隔定间距(长度定间距或角度定间距)的测定数据。
所述评价装置通过由所述定间距化装置得到的间隔定间距的测定数据评价所述工件评价对象面的表面粗糙度。
另外，在本发明中，所述推测装置优选具有时间推测部、速度推测部以及位置推测部。
在此，所述时间推测部基于所述对准时间移动量信息θm(m＝0，1，2...)的区间sm内存在的测定数据数n(＝1，2...)，及所述采样时间间隔ts，推测在移动宽度Δθ的该区间sm移动所需要的所需时间tm(＝n×ts)。
另外，所述速度推测部基于由所述时间推测部推测的区间sm的所需时间tm及该区间sm具有的移动宽度Δθ推测该区间sm内的移动速度ωm(Δθ/tm)。
所述位置推测部基于由所述速度推测部推测的区间sm的移动速度存ωm、该区间sm内存在的测定数据中的顺序为i(＝1，2...)，及所述采样时间间隔ts，推测在该区间sm中顺序为该i序的测定数据的测定位置pmi(＝θm+ωm×its)。
<检测器支架>
另外，在本发明中，优选具备对所述粗糙度传感器的更换容易度优良的检测器支架。
根据本发明的形状测定机，由于具备输出对准移动量信息的相对移动机构，及使用实时采样装置得到作为粗糙度评价十分小且间隔定间距的测定数据的数据处理机构，因此，可进行更适当的表面粗糙度测定。
<转动机构>
在本发明中，由于具备作为所述相对移动机构的转动机构，及使用实时采样装置得到作为粗糙度评价十分小且角度定间距的测定数据的数据处理机构，从而可进行更适当的表面粗糙度测定。
另外，在本发明中，由于使用所述粗糙度传感器代替圆度测定机的圆度检测器，还使用圆度测定机的转动机构作为所述相对移动机构，从而可使用圆度测定机使表面粗糙度的测定更适当进行。
<直动机构>
根据本发明的形状测定机，由于具备作为上述相对移动机构的直动机构，及通过实时采样装置得到作为粗糙度评价十分小且长度定间距的测定数据的数据处理机构，从而可进行更适当的表面粗糙度测定。
另外，在本发明中，通过使用表面粗糙度测定机的直动机构作为所述直动机构，从而可更适当地进行表面粗糙度测定机进行的表面粗糙度测定。
在本发明中，通过使用所述粗糙度传感器代替轮廓形状测定机的轮廓检测器，使用轮廓形状测定机的直动机构代替所述直动机构，从而可使用轮廓形状测定机进行适当的表面粗糙度测定。
在本发明中，通过使用所述粗糙度传感器代替三维测定机的检测器，使用三维测定机的直动机构代替所述直动机构，从而可使用三维测定机进行适当的表面粗糙度测定。
<数据处理机构>
在本发明中，由于所述数据处理机构具备所述推测装置、所述定间距化装置及所述评价装置，从而可更适当地进行所述表面粗糙度测定。
在本发明中，由于所述推测装置具备所述时间推测部、所述速度推测部及所述位置推测部，从而可更适当地进行所述表面粗糙度测定。
<检测器支架>
还有，在本发明中，具备使所述粗糙度传感器相对于测定机主体拆卸自如的检测器支架，由此可容易地进行与所述粗糙度传感器的更换，因此，可更容易地进行适当的表面粗糙度测定。
附图说明
图1(A)、(B)是本发明一实施方式的形状测定机(圆度测定机)的概略构成的说明图；
图2是将用本实施方式的形状测定机得到的测定数据值相对于来自对准旋转工作台的对准角度信息曲线化的图；
图3(A)、(B)是本实施方式的形状测定机的对准旋转工作台的定时采样得到的测定数据的说明图；
图4是将用本实施方式的形状测定机得到的测定数据值相对于推测测定角度位置曲线化的图；
图5是将本实施方式中得到的定间距补插数据值相对于推测测定角度位置曲线化的图；
图6(A)、(B)是本发明其它实施方式的形状测定机(表面粗糙度测定机)的概略构成的说明图；
图7(A)、(B)是本发明其它实施方式的形状测定机(轮廓形状测定机)的概略构成的说明图；
图8(A)、(B)是本发明其它实施方式的形状测定机(三维测定机)的概略构成的说明图；
具体实施方式
第一实施方式
下面，参照附图对本发明的优选一实施方式进行说明。
图1表示本发明一实施方式的形状测定机的概略构成。另外，同图(A)是本实施方式的形状测定机的整体图，同图(B)是同形状测定机的框图。
在本实施例中，假设使用具备转动机构的圆度测定机作为形状测定机，假设使用粗糙度传感器代替圆度测定机的圆度检测器。
同图所示的圆度测定机(形状测定机)10具备对准旋转工作台(工作台、转动机构、相对移动机构)12、粗糙度传感器14、实时采样装置16及计算机17的数据处理机构18。
在此，上述对准旋转工作台12例如具有作为工作台及转动机构的功能。上述工作台载置具有表面粗糙度评价对象面的圆筒形状工件(具有截面形状为部分圆至完全圆的评价对象面的工件)。上述转动机构使工作台和粗糙度传感器相对旋转(移动)，使得工件上的粗糙度传感器位置沿工件评价对象面扫描，将该旋转角度(相对移动量)以角度分辨率Δθ间距(移动分辨率Δθ间距)作为对准角度信息(对准移动量信息)输出。
在本实施方式中，上述对准旋转工作台12相对于基台20旋转自如地载置圆筒形工件22。上述对准旋转工作台12将相对于基台20的旋转角度以角度分辨率Δθ间距作为对准角度信息输出。
另外，上述粗糙度传感器14检测载置于上述对准旋转工作台12上的圆筒形工件22的评价对象面的截面形状，输出含有该截面形状信息的测定数据。
上述实时采样装置16以比对准旋转工作台12高速的一定时间间隔ts对来自于上述粗糙度传感器14的测定数据实时采样。即，上述实时采样装置16以比对准旋转工作台12旋转(移动)角宽度(移动宽度、移动分辨率)Δθ所需要的时间短的一定时间ts对来自于粗糙度传感器14的测定数据实时采样。
上述数据处理机构18基于来自于上述对准旋转工作台12的对准角度信息将来自于上述实时采样装置16的一定时间间隔ts的测定数据设为角度定间距(间隔定间距)的测定数据。上述数据处理机构18基于角度定间距距测定数据评价圆筒形工件22的评价对象面的表面粗糙度。
另外，在本实施例中，具备检测器支架24。
上述检测器支架24使粗糙度传感器14在圆度测定机主体上拆装自如，代替圆度测定机10的圆度检测器。
另外，在本实施例中，上述数据处理机构18具备同图(B)所示的推测装置26、定间距化装置28及评价装置30。
在此，上述推测装置26基于具有同值对准角度信息(对准移动量信息)的测定数据数，及具有该对准角度信息的测定数据中的顺序推测具有该对准角度信息的各测定数据的测定角度位置(测定位置)。
因此，上述推测装置26具备时间推测部32、速度推测部34及位置推测部36。
在此，时间推测部32基于来自于对准旋转工作台12的对准角度信息θm(m＝0，1，2...)的区间sm内存在的测定数据数n(＝1，2...)及采样时间间隔ts，推测对准旋转工作台12在具有角宽度(移动幅度)Δθ的区间sm旋转(移动)所需要的时间tm(＝n×ts)。
另外，上述速度推测部34基于由上述时间推测部32推测的区间sm的所需时间tm及该区间sm的角宽度Δθ推测在区间sm的对准旋转工作台12的旋转角速度(移动速度)ωm(＝Δθ/tm)。
上述位置推测部36基于由上述速度推测部34推测的区间sm的旋转角速度ωm、区间sm内存在的测定数据中的顺序为i(＝1，2...)序号及采样时间间隔ts，推测该区间sm中顺序为该i序号的测定数据的测定角度位置(测定位置)pmi(＝θm+ωm×its)。
上述定间距化装置28基于由上述推测装置26推测的各测定数据的测定角度位置，从由实时采样装置16得到的测定数据得到角度定间距的测定数据。
在本具体实施方式中，为得到角度定间距的测定数据，而对来自于实时采样装置16的一定时间间隔ts的测定数据进行补插计算。
上述评价装置30通过由上述定间距化装置28得到的角度定间距的测定数据评价圆筒形工件22的评价对象面的表面粗糙度。
本实施例的圆度测定机10大致如上述那样构成，下面对其作用进行说明。
本发明中，特征在于，用一台形状测定机就可以充分进行如目前圆度测定时使用圆度测定机，表面粗糙度测定时使用表面粗糙度测定机那样的必须使用两个形状测定机的圆筒形工件的圆度测定和表面粗糙度测定。
在本实施方式中，使用圆度测定机10的对准旋转工作台12适宜进行圆筒形工件22的表面粗糙度的测定。
即，在本实施方式中，为了消除表面粗糙度测定和圆度测定所要求的传感器特性的差异，而使用检测器支架24将粗糙度传感器14安装到圆度测定机10上。
而且，当将粗糙度传感器14设置在圆筒形工件22上并使对准旋转工作台12旋转时，粗糙度传感器14的测头沿圆筒形工件22的凹凸进行变位。粗糙度传感器14将该变位变换为电信号，用实时采样装置16进行AD变换，得到数值化的测定数据。实时采样装置16的通过实时采样得到的测定数据与来自于对准旋转工作台12的对准角度信息一起送到数据处理机构18。
在数据处理机构18中，进行用于适宜进行使用圆度测定机10的圆筒形工件22的表面粗糙度测定的数据处理。
在此，现行圆度测定机中采用的对准旋转工作台的角度分辨率中，由于可实现表面粗糙度评价时所要求的非常小的测定间距，因此，不使用角度采样，而通过实时采样即可处理。
另外，在表面粗糙度测定中，由于为进行数字滤波处理而必须获取定间距数据，因此，其在旋转工作台的转速十分稳定的状态下进行测定。
但是，特别是在部分圆测定中，由于不能等到旋转速度稳定或即使在全周测定时旋转速度稳定后再开始测定，在对准旋转工作台中，旋转不稳的情况也较大，因此，实时采样测到的数据对于长度来说不是定间距，且受旋转不稳的影响，因此，在该状态下不能正确反映圆筒形状工件的表面性状。
因此，在本实施方式中，为了使用圆度测定机10适宜地进行圆筒形工件22的表面粗糙度测定，而对表面粗糙度评价时要求的非常小的采样间距且长度进行成为定间距测定数据的数据处理，进而进行将对准旋转工作台12的旋转不稳影响抑制在最小限的数据处理。
首先，在本实施方式中，推测装置26进行推测处理。
即，在推测工序中，基于具有同值的对准角度信息的测定数据数，及具有该对准角度信息的测定数据中的顺序，推测具有该对准角度信息的各测定数据的测定角度位置。
在进行了上述推测后，在本实施方式中进行定间距化装置28的定间距化工序。
即，在上述定间距化工序中，基于由上述推测工序推测的各测定数据的测定角度位置，从通过实时采样装置16测到的测定数据得到角度定间距的测定数据。
在进行了上述定间距化后，在本实施方式中进行评价装置30的评价工序。
即，在上述评价工序中，通过由上述定间距化工序得到的角度定间距测定数据评价圆筒形工件22的评价对象面的表面粗糙度。
这样，在本实施方式中，同时进行实时采样和对准采样，且基于对准采样使通过实时采样装置测到的测定数据与角度定间距的数据近似。因此，在本实施方式中，即使是在加减速度的状态下测定旋转工作台的部分圆的表面粗糙度的测定，也可以对其适宜地进行。
其次，对上述各数据处理作更具体地说明。
在本实施方式中，数据处理使用以下的测定数据。
即，在圆度测定机10中，使用对准旋转工作台12作为旋转工作台，但获取测定数据的定时为了测到更小的采样间距，不使用角度采样，而使用实时采样。
在对准旋转工作台12上的实时采样的测定数据附加由对准旋转工作台12得到的旋转角度信息作为对准角度信息。例如使用分辨率Δθ的对准旋转工作台12在采样时间间隔ts进行了实时采样的测定数据点序列具有Δθ间距的旋转角度信息即对准角度信息。
图2表示对准旋转工作台12的实时采样取得的测定数据之一例。
图3表示对准旋转工作台12的实时采样取得的测定数据的说明图。同图(A)是对应圆筒形工件22的形状，将由实时采样取得的测定数据曲线化的图，同图(B)是表示同样的测定数据的图。
数据处理机构18在这样的测定数据的读入结束后，再进行以下的推测工序。
在本实施例中，作为推测工序，进行以下的时间推测工序、速度推测工序、位置推测工序。
时间推测
时间推测部32进行以下的时间推测工序。
<区间sm的所需时间tm>
区间sm的所需时间tm的推测需如下。
(1)提取具有对准角度信息θm(m＝0，1，2...)的测定数据。
(2)求出提取到的测定数据数n。
(3)基于求出的测定数据数n(＝1，2...)、采样时间间隔ts、该对准角度信息θm的区间sm具有的角宽度Δθ，推测对准旋转工作台12在具有角宽度Δθ的区间sm旋转所需要的时间tm(＝n×ts)。
其次，参照图3对各区间的所需时间作更具体说明。
<区间s0的所需时间>
区间s0的所需时间t0的推测工序如下。
(1)提取具有对准角度信息θ0的测定数据(数据号0，1，2，3)。
(2)求出提取到的测定数据(数据号0，1，2，3)数n0(＝4)。
(3)基于求出的测定数据数n0(＝4)的区间s0采样时间间隔ts、及该对准角度信息θ0的区间s0具有的角宽度Δθ，推测对准旋转工作台12在具有角宽度Δθ的区间s0旋转所需要的时间t0(＝4×ts)。
<区间s1的所需时间>
区间s1的所需时间t1的推测工序如下。
(1)提取具有对准角度信息θ1的测定数据(数据号4，5)。
(2)求出提取到的测定数据(数据号4，5)数n1(＝2)。
(3)基于求出的测定数据数n1(＝2)、采样时间间隔ts、对准角度信息θ1的区间s1具有的角宽度Δθ，推测对准旋转工作台12在具有角宽度Δθ的区间s1旋转所需要的时间t1(＝2×ts)。
<区间s2的所需时间>
区间s2的所需时间t2的推测工序如下。
(1)提取具有对准角度信息θ2的测定数据(数据号6，...)。
(2)求出提取到的测定数据(数据号6，...)数n2。
(3)基于求出的测定数据数n2、采样时间间隔ts、对准角度信息θ2的区间s2具有的角宽度Δθ，推测对准旋转工作台12在具有角宽度Δθ的区间s2旋转所需要的时间t2(＝n2×ts)。
这样，在本实施例中，在对准旋转工作台12的实时采样的测定数据附加从对准旋转工作台12得到的对准角度信息。在本实施方式中，将对准旋转数据12前进角宽度Δθ所需要的时间t作为具有同值的对准角度信息的测定数据数n×采样时间间隔ts推测。
另外，在本实施方式中，通过来自于计算机17的触发信号，使对准旋转工作台12的对准角度信息的对准采样的开始，和实时采样装置16得到的粗糙度传感器14的输出实时采样的开始同时进行。
速度推测
在上述所需要时间的推测终了后，速度推测部34进行以下的速度推测工序。
<区间sm的旋转角速度>
区间sm的旋转角速度ωm的推测工序如下。
即，基于上述时间推测工序推测的区间sm的所需时间tm及区间sm具有的角宽度Δθ，推测该区间sm的对准旋转工作台12的旋转角速度ωm(＝Δθ/tm)。
其次，参照图3对各区间的旋转角速度作更具体说明。
<区间s0的旋转角速度>
区间s0的旋转角速度ω0的推测工序如下。
即，基于上述时间推测工序推测的区间s0的所需时间t0及区间s0具有的角宽度Δθ，推测该区间s0的对准旋转工作台12的旋转角速度ω0(＝Δθ/t0)。
<区间s1的旋转角速度>
区间s1的旋转角速度ω1的推测工序如下。
即，基于上述时间推测工序推测的区间s1的所需时间t1及区间s1具有的角宽度Δθ，推测该区间s1的对准旋转工作台12的旋转角速度ω1(＝Δθ/t1)。
<区间s2的旋转角速度>
区间s2的旋转角速度ω2的推测工序如下。
即，基于上述时间推测工序推测的区间s2的所需时间t2及区间s2具有的角宽度Δθ，推测该区间s2的对准旋转工作台12的旋转角速度ω2(＝Δθ/t2)。
这样，在本实施方式中，可从测定数据点序列将角宽度Δθ的微小区间的对准旋转工作台12的旋转角速度ω作为ω＝Δθ/t推测。
<推测角度位置pmi>
区间sm内存在的测定数据中的顺序为i序号的测定数据的测定角度位置pmi(＝θm+ωm×its)的推测工序如下。
即，基于对准角度信息θm区间sm的对准旋转工作台12的旋转角速度ωm、区间sm内存在的测定数据中的顺序为i及采样时间间隔ts，可推测在对准角度信息θm的区间sm顺序为i序号的测定数据的测定角度位置pmi(＝θm+ωm×its)。
其次，参照图3对各数据测定角度位置的推测作更具体说明。
<数据(序号0)的角度位置>
对准角度信息θ0的区间s0的顺序为0序号的测定数据(图中为序号0)的测定角度位置p00的推测工序如下。
即，基于速度推测部34推测的区间s0的对准旋转工作台12的旋转速度ω0、区间s0的顺序为0序号、及采样时间间隔ts，可推测该区间s0的顺序为0序号的测定数据(图中为序号0)的测定角度位置p00(＝ω0×0ts)。例如，该测定角度位置p00为0。以该值为基准，可推测以下的测定角度位置。
<数据(序号1)的角度位置>
上述区间s0的顺序为1序号的测定数据(图中为序号1)的测定角度位置p01的推测工序如下。
即，基于上述区间s0的对准旋转工作台12的旋转速度ω0、该测定数据(图中为序号1)在区间s0的顺序为1序号、及采样时间间隔ts，可以以上述测定角度p00为基准，推测该区间s0的顺序为1序号的测定数据(图中为序号1)的测定角度位置p01(＝ω0×1ts)。
<数据(序号2)的角度位置>
上述区间s0的顺序为2序号的测定数据(图中为序号2)的测定角度位置p02的推测工序如下。
即，基于上述区间s0的对准旋转工作台12的旋转速度ω0、测定数据(图中为序号2)在区间s0的顺序为2序号、及采样时间间隔ts，可以以上述测定角度位置p00为基准，推测该区间s0的顺序为2序号的测定数据(图中为序号2)的测定角度位置p02(＝ω0×2ts)。
<数据(序号3)的角度位置>
上述区间s0的顺序为3序号的测定数据(图中为序号3)的测定角度位置p03的推测工序如下。
即，基于上述区间s0的对准旋转工作台12的旋转速度ω0、测定数据(图中为序号3)在区间s0的顺序为3序号、及采样时间间隔ts，可以以上述测定角度位置p00为基准，推测区间s0的顺序为3序号的测定数据(图中为序号3)的测定角度位置p03(＝ω0×3ts)。
<数据(序号4)的角度位置>
对准角度信息θ1的区间s1的顺序为1序号的测定数据(图中为序号4)的测定角度位置p11的推测工序如下。
即，基于上述区间s1的对准旋转工作台12的旋转速度ω1、测定数据(图中为序号4)在区间s1的顺序为1序号、及采样时间间隔ts，可以以上述测定角度位置p00为基准，推测区间s1的顺序为1序号的测定数据(图中为序号4)的测定角度位置p11(＝θ1+ω1×1ts)。
<数据(序号5)的角度位置>
上述区间s1的顺序为2序号的测定数据(图中为序号5)的测定角度位置p12的推测工序如下。
即，基于上述区间s1的对准旋转工作台12的旋转速度ω1、测定数据(图中为序号5)在区间s1的顺序为2序号、及采样时间间隔ts，可以以上述测定角度位置p00为基准，推测区间s1的顺序为2序号的测定数据(图中为序号5)的测定角度位置p12(＝θ1+ω1×2ts)。
<数据(序号6)的角度位置>
对准角度信息θ2的区间s2的顺序为1序号的测定数据(图中为序号6)的测定角度位置p21的推测工序如下。
即，基于上述区间s2的对准旋转工作台12的旋转速度ω2、测定数据(图中为序号6)在区间s2的顺序为1序号、及采样时间间隔ts，可以以上述测定角度位置p00为基准，推测区间s2的顺序为1序号的测定数据的测定角度位置p21(＝θ2+ω2×ts)。
这样，在本实施方式中，若各区间的角宽度Δθ足够小，则可考虑具有角宽度Δθ的各区间的对准旋转工作台12的旋转等速。因此，可从该对准角度信息推测该对准角度信息的区间内存在的测定数据的测定角度位置。
另外，在本实施方式中，由于可从各区间的对准旋转工作台12的角速度推测对准旋转工作台12的交加速度，因此，在推测测定角度位置时，也可以使用对准旋转工作台12的角加速度。
定间距化
图4表示将来自于实时采样装置16的测定数据的测定值相对于上述推测工序推测的各测定数据的测定角度位置曲线化的图。
在此，在由上述推测工序推测的测定角度位置的状态下，不构成角度定间距测定数据点序列。
因此，在本实施方式中，在上述推测工序终了后，通过进行定间距化工序，基于各样品点(自实时采样装置的测定数据点)的测定角度位置将时间定间距的数据点序列设为角度定间距点序列。
在本实施方式中，由于将时间定间距的测定数据点序列设为角度定间距的测定数据点序列，因此，使用线形补插、近似多项式得到的补插等的补插方法，进行测定角度位置的测定数据间的补插，得到补插数据值。
图5表示将由本实施方式的定间距化工序得到的定间距补插数据值相对于测定角度位置曲线化的图。
评价
在本实施方式的评价装置中，通过图5所示的角度定间距的数据点序列算出用于进行表面粗糙度评价的参数。
即，在本实施方式中，通过评价工序，使用角度定间距的数据求出表面粗糙度参数。本实施方式中，在来自于定节距化装置28的数据中，用滤波器除去周期长的成分，取出周期短的表面粗糙度成分，算出表面粗糙度参数。
这样，在本实施方式中，通过检测器支架24将粗糙度传感器14安装在圆度测定机10上，同时进行对准旋转工作台12进行的对准采样和实时采样装置16进行的实时采样，并对得到的数据进行本实施方式中特征的数据处理。
其结果是，在本实施方式中，可使用圆度测定机10的对准旋转工作台12进行表面粗糙度测定数据的获取。
另外，在本实施方式中，也可以不需要等待到对准旋转工作台12的旋转稳定，而进行部分圆表面粗糙度测定。
还有，在本实施方式中，可进行将对准旋转工作台12的旋转不稳的影响抑制在最小限的数据处理。
再有，在本实施方式中，可对长度(角度)取得定间距的数据。
如上，在本实施方式中，可对于表面粗糙度评价时要求的非常小的采样间距且长度实现定间距的数据处理，进而可实现将旋转不稳的影响抑制在最小限的数据处理。
因此，在本实施方式中，由于可使用上述非常小的采样间距且角度定间距测定数据进行表面粗糙度测定，因此，可适宜地进行表面粗糙度测定。
由此，在本实施方式中，通过进行目前极其困难的圆度测定机的旋转工作台的旋转测定，可适宜进行圆筒形工件的表面粗糙度测定。
<圆度测定>
另外，在本实施方式中，可用一台圆度测定机10检验圆筒形工件的圆度和表面粗糙度。
即，在本实施方式中，通过检测器支架24将粗糙度传感器14安装在圆度测定机10上，进行表面粗糙度测定程序，由此进行表面粗糙度测定，但也可以对用粗糙度传感器测定的数据进行圆度评价。
进而在本实施方式中，也可以适宜进行圆度测定。即，在本实施方式中，在进行圆度测定时，将圆度检测器安装在检测器支架24上，并使用圆度测定程序。在本实施方式中，例如在数据处理机构中，根据圆度测定程序，在来自于圆度检测器的测定截面曲线数据中，用滤波器除去周期短的表面粗糙度成分，取出周期长的成分，算出用于进行圆度评价的参数。
<旋转机构>
在上述构成中，对使对准旋转工作台12相对于粗糙度传感器14旋转的例子进行了说明，但本发明不限于此，也可以适用于使粗糙度传感器14相对于对准旋转工作台12旋转的旋转机构。
第二实施方式
在上述构成中，作为形状测定机，对使用了具备旋转机构的圆度测定机的例子进行了说明，但本发明不限于此，只要在本发明主旨的范围内，则本发明也适用于具备直动机构的形状测定机、例如表面粗糙度测定机、轮廓形状测定机、三维测定机等。
下面，对使用下述的表面粗糙度测定机、轮廓形状测定机、三维测定机作为具备直动机构的形状测定机的例子进行说明。
<表面粗糙度测定机>
为了在表面粗糙度测定机中也进行更精密的粗糙度测定，而优选应用本发明的对准移动量信息的检测、实时采样、得到长度定间距测定数据的数据处理的组合。作为表面粗糙度测定机，例如可使用记载于特开平5-71952号公报中记载的测定机。
图6表示本发明其它实施方式的表面粗糙度测定机的概略构成。同图(A)是表面粗糙度测定机的概略构成的立体图，同图(B)是该表面粗糙度测定机的主要部分的框图。与上述图1对应的部分添加符号100表示，省略说明。
同图所示的表面粗糙度测定机(形状测定机)110具备粗糙度传感器114。
另外，作为本发明的相对移动机构，含有表面粗糙度测定机110的进给装置(直动机构)112。上述进给装置112含有电动机140、回转式编码器(X轴检测器)142。
上述电动机140是使粗糙度传感器114向X轴方向(测定轴方向)直线移动的装置。
上述回转式编码器(X轴检测器)142用于检测使粗糙度传感器114向X轴方向移动时的移动量。回转式编码器142以移动分辨率Δθ间距将粗糙度传感器114向X轴方向的移动量作为对准移动量信息输出。
而且，数据处理机构118基于来自于进给装置112的对准移动量信息，通过来自于实时采样装置116的一定时间间隔的测定数据测定长度定间距的测定数据。数据处理机构118基于长度定间距(间隔定间距)的测定数据评价工件122的评价对象面的表面粗糙度。
另外，同图中在Y轴工作台111上载置有工件122。
<数据处理机构>
另外，同图中，数据处理机构118具备推测装置126、定间距化装置128和评价装置130。
在此，推测装置126基于具有同值的对准移动量信息的测定数据数，及具有该对准移动量信息的测定数据中的顺序推测具有该对准移动量信息的各测定数据的测定位置。
另外，定间距化装置128基于由推测装置126推测的各测定数据的测定位置，通过实时采样装置得到的一定时间间隔的测定数据得到长度定间距的测定数据。
评价装置130基于由定间距化装置128得到的长度定间距的测定数据评价工件122的评价对象面的表面粗糙度。
<推测装置>
另外，同图中，推测装置126具备时间推测部132、速度推测部134、位置推测部136。
在此，时间推测部132基于对准移动量信息θm(m＝0，1，2...)的区间sm内存在的测定数据数n(＝1，2...)、及采样时间间隔ts，推测具有移动宽度Δθ的该区间sm直线移动所需要的所需时间tm(＝n×ts)。
速度推测部134基于由时间推测部132推测的区间sm的所需时间tm及该区间sm具有的移动宽度Δθ，推测该区间sm的直线移动速度ω m(＝Δθ/tm)。
位置推测部136基于由上述速度推测部134推测的区间sm的的旋转角速度ωm、该区间sm内存在的测定数据中的顺序为i(＝1，2...)序号、及采样时间间隔ts，在该区间sm推测该顺序为该i序号的测定数据的测定位置pmi(＝θm+ωm×its)。
这样，即使在具备粗糙度传感器114的表面粗糙度测定机110中，通过将作为相对移动机构的进给装置112、实时采样装置116及数据处理机构118组合，可进行更精密的粗糙度测定。
即，在表面粗糙度测定机110中，例如使粗糙度传感器114向X轴方向移动时的移动量用回转式编码器142等X轴检测器检测。
在此，由于可进行粗糙度测定，因此，通过使用高分辨率的装置作为X轴检测器提高X轴方向的分辨率，从而可进行更高精度的粗糙度测定。
需要提高X轴方向的分辨率的理由是，在测定微小凹凸的粗糙度测定中，X轴方向的凹凸间隔是微小的，需要将该微小间隔作为数据进行充分采样。在该情况下，对使粗糙度传感器114的输出和回转式编码器142的输出成对的数据列进行采样，通过该数据列计算各种粗糙度参数。
但是，在使用高分辨率的装置作为X轴检测器时，由于其价格非常高昂，因此，即使是低分辨率的X轴检测器，也有很多进行精密的粗糙度测定的要求。
为了对应于这样的要求，同图中采用了进给装置112、实时采样装置116、数据处理机构118的组合。由此，也可以降低X轴检测器的分辨率，可以以低廉的价格制造精密的表面粗糙度测定机。
另外，在上述构成中，对使用回转式编码器142作为X轴检测器的例子进行了说明，但本发明不限于此，使用线性编码器也能够得到与使用回转式编码器142的情况相同的效果。
另外，同图中，具备Y轴工作台111等Y轴驱动机构144，但其在进行上述X轴方向的粗糙度测定的情况下不是必须的。在进行与上述X轴正交的Y轴方向的粗糙度测定时，即使将进给装置112等X轴驱动机构设为停止状态，通过Y轴驱动机构144使粗糙度传感器向Y轴方向相对移动，也可以实施本发明的表面粗糙度测定。
进而，也可以将X轴驱动机构和Y轴驱动机构同时进行二轴控制，实施任意方向的表面粗糙度测定。
<轮廓形状测定机>
轮廓形状测定机的轮廓检测器与粗糙度传感器相比，其测定范围广泛，但分辨率低。另外，使用X轴检测器的分辨率也低的构造。因此，通常的轮廓形状测定机不适于需要0.1μm以下程度的分辨率的粗糙度测定。
在这样的轮廓形状测定机中，用粗糙度传感器代替轮廓检测器，且实施本发明的表面粗糙度测定，由此，可使用轮廓形状测定机进行精密的表面粗糙度测定。
下面，对可进行精密的表面粗糙度测定机的轮廓形状测定机作具体说明。
图7表示本发明其它实施方式的轮廓形状测定机的概略构成。同图(A)是轮廓形状测定机的概略构成的立体图，同图(B)是该轮廓形状测定机的主要部分的框图。与上图6对应的部分添加符号100表示，省略说明。
同图所示的轮廓形状测定机(形状测定机)210具有与上述图6所示的表面粗糙度测定机110大致类似的基本构成，使用粗糙度传感器21代替轮廓形状测定机210的轮廓检测器。
同图中，作为轮廓形状测定机210的轮廓检测器，具备将粗糙度传感器214在轮廓形状测定机210的主体上自如拆装的检测器支架224。
另外，作为直动机构，使用轮廓形状测定机210的进给装置212。
而且，同图中，通过实施本发明的表面粗糙度测定，即使使用具备低的分辨率的线性编码器242等X轴检测器的轮廓形状测定机210，也可以进行精密的表面粗糙度测定。
<三维测定机>
另外，三维测定机中的X轴标度、Y轴标度及Z轴标度的分辨率为与轮廓形状测定机同程度的1μm程度。因此，通常的三维测定机不适用于需要0.1μm以下程度的分辨率的粗糙度测定。
在这样的三维测定机中，也将Z轴主轴前端部的检测器更换为粗糙度传感器，通过实施本发明的表面粗糙度测定，即使使用三维测定机，也可以进行精密的表面粗糙度测定。作为三维测定机，例如可使用特开2003-50124号公报等中记载的结构。
下面，对可进行精密的表面粗糙度测定的三维测定机作更具体说明。
图8表示本发明其它实施方式的三维测定机的概略构成。同图(A)是三维测定机的概略构成的立体图，同图(B)是该三维测定机的主要部分的框图。与上述图6对应的部分添加符号200表示，省略说明。
同图所示的三维测定机(形状测定机)310使用粗糙度传感器314代替三维测定机310的检测器。
同图中，使用Z轴主轴作为用于将粗糙度传感器314在三维测定机310的主体上自如拆装的检测器支架324。
另外，作为上述直动机构312，含有三维测定机310的导轨(下面称作导轨312)和立柱349等。导轨312含有用于将粗糙度传感器314向Y轴方向进给移动的驱动机构350等。由此，将工件322上的粗糙度传感器314的位置沿Y轴方向相对移动。另外，三维测定机310的导轨312含有求取导轨312的移动量的Y轴标度354。
同图中，将三维测定机310的Y轴标度354作为求取粗糙度传感器314向Y轴方向的移动量的Y轴检测器使用。Y轴标度354以移动分辨率Δθ间距将粗糙度传感器314向Y轴方向的移动量作为对准移动量信息输出。
而且，同图中，通过实施本发明的表面粗糙度测定，从而即使使用具备低的分辨率的Y轴标度354的三维测定机310，也可以进行更高精密的表面粗糙度测定。
在本实施方式的三维测定机310中，表示了通过向Y轴方向的移动进行Y轴方向的表面粗糙度测定的例子，但本发明不限于此，也可以通过X轴检测器或Z轴检测器检测向X轴方向及Z轴方向的移动，实施X方向或Z轴方向的表面粗糙度测定。
进而，本发明也可以通过使X轴、Y轴、Z轴同时二轴或同时三轴移动，实施任意方向的表面粗糙度(平面的表面粗糙度或曲面的表面粗糙度)的测定。
另外，在同图中，在工件台311上载置工件322。
这样，根据具备本发明实施方式的制动机构的形状测定机，与使用转动机构的结构相同，使用用于得到对准移动量信息的相对移动机构及实时采样装置，对于粗糙度评价用足够小且长度来说，得到定间距的测定数据。其结果是，根据本实施方式，即使X轴检测器(测定轴检测器)的分辨率低于粗糙度评价所需要的X轴分辨率(测定值分辨率)，也可以进行更高精密的表面粗糙度测定。

Claims (10)

1、一种形状测定机，其特征在于，具备：
载置具有表面粗糙度评价对象面的工件的工作台；
检测所述工作台上载置的工件评价对象面的截面形状，输出含有该截面形状信息的测定数据的粗糙度传感器；
使该工作台和该粗糙度传感器相对移动，以使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿所述评价对象面相对移动，且将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为对准移动量信息输出的相对移动机构；
以比所述相对移动机构移动了移动分辨率Δθ所需要的时间短的一定时间间隔ts对来自于所述粗糙度传感器的测定数据进行采样的实时采样装置；
基于来自于所述相对移动机构的对准移动量信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据设为间隔定间距的测定数据，并基于该间隔定间距测定数据评价工件评价对象面的表面粗糙度的数据处理机构，
所述数据处理机构得到比所述相对移动机构的移动分辨率Δθ间距小且其大小为粗糙度评价所需要的大小的间隔定间距的测定数据。
2、如权利要求1所述的形状测定机，其特征在于，
所述移动分辨率Δθ间距是角度分辨率Δθ间距，
所述对准移动量信息是对准角度信息，
所述间隔定间距的测定数据是角度定间距的测定数据，
另外，作为所述相对移动机构，使用使所述工作台和所述粗糙度传感器相对旋转运动，且将该旋转角度以所述角度分辨率Δθ间距作为所述对准角度信息输出的转动机构，
所述数据处理机构基于来自于所述转动机构的对准角度信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据作为所述角度定间距的测定数据，并基于该角度定间距的测定数据评价所述工件评价对象面的表面粗糙度。
3、如权利要求2所述的形状测定机，其特征在于，
使用所述粗糙度传感器代替圆度测定机的圆度检测器，
使用圆度测定机的对准旋转工作台作为所述工作台及所述转动机构，
所述圆度测定机的对准旋转工作台将所述工件相对于基台旋转自如地载置，将相对于该基台的旋转角度以所述角度分辨率Δθ间距作为所述对准角度信息输出。
4、如权利要求1所述的形状测定机，其特征在于，
所述移动分辨率Δθ间距是有关直线移动的移动分辨率Δθ间距，
所述对准移动量信息是有关直线移动的对准移动量信息，
所述间隔定间距的测定数据是有关直线移动的长度定间距的测定数据，
另外，作为所述相对移动机构，使用使所述工作台和所述粗糙度传感器相对直线移动，以使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对移动，且将该相对移动量以所述移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出的直动机构，
所述数据处理机构基于来自于所述直动机构的对准移动量信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据设为长度定间距测定数据，并基于该长度定间距的测定数据评价所述工件评价对象面的表面粗糙度。
5、如权利要求4所述的形状测定机，其特征在于，
使用表面粗糙度测定机的直动机构作为所述直动机构，
所述表面粗糙度测定机的直动机构使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对直线移动，并将该相对移量以移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出。
6、如权利要求4所述的形状测定机，其特征在于，
使用所述粗糙度传感器代替轮廓形状测定机的轮廓检测器，
使用所述轮廓形状测定机的直动机构作为所述直动机构，
所述轮廓形状测定机的直动机构使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对直线移动，并将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出。
7、如权利要求4所述的形状测定机，其特征在于，
使用所述粗糙度传感器代替三维测定机的检测器，
使用所述三维测定机的直动机构作为所述直动机构，
所述三维测定机的直动机构使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿评价对象面相对直线移动，并将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为所述对准移动量信息输出。
8、如权利要求1所述的形状测定机，其特征在于，
所述数据处理机构具备：基于具有同值的对准移动量信息的测定数据数及具有该对准移动量信息的测定数据中的顺序，推测具有该对准移动量信息的各测定数据的测定位置的推测装置；
基于由所述推测装置推测的各测定数据的测定位置，通过由所述实时采样装置得到的一定时间间隔ts的测定数据得到间隔定间距的测定数据的定间距化装置；
通过由所述定间距化装置得到的间隔定间距的测定数据评价所述工件评价对象面的表面粗糙度的评价装置。
9、如权利要求8所述的形状测定机，其特征在于，
所述推测装置具备：
基于所述对准移动量信息θm(m＝0，1，2...)的区间sm内存在的测定数据数n(＝1，2...)、及所述采样时间间隔ts，推测在移动宽度Δθ的该区间sm移动所需要的所需时间tm(＝n×ts)的时间推测部；
基于由所述时间推测部推测的区间sm的所需时间tm及该区间sm具有的移动宽度Δθ推测该区间sm内的移动速度ωm(Δθ/tm)的速度推测部；
基于由所述速度推测部推测的区间sm的移动速度ωm、该区间sm内存在的测定数据中的顺序为i(＝1，2)序号及所述采样时间间隔ts，推测在该区间sm顺序为该i序号的测定数据的测定位置pmi(＝θm+ωm×its)的位置推测部。
10、如权利要求1所述的形状测定机，其特征在于，
其具备使所述粗糙度传感器在形状测定机主体上拆卸自如的检测器支架。
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