JPH0820249B2 - 表面粗さ測定装置 - Google Patents
表面粗さ測定装置Info
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- JPH0820249B2 JPH0820249B2 JP3258455A JP25845591A JPH0820249B2 JP H0820249 B2 JPH0820249 B2 JP H0820249B2 JP 3258455 A JP3258455 A JP 3258455A JP 25845591 A JP25845591 A JP 25845591A JP H0820249 B2 JPH0820249 B2 JP H0820249B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表面粗さ測定装置、特に
粗さパラメータの演算機構の改良に関する。
粗さパラメータの演算機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】被測定物の表面粗さを評価する装置とし
て表面粗さ測定装置が周知であり、該表面粗さ測定装置
は被測定物表面よりその凹凸を検出する検出手段と、該
検出手段より得られた凹凸情報に基づき表面粗さを適切
に表現するパラメータを出力するパラメータ演算手段と
を備えている。
て表面粗さ測定装置が周知であり、該表面粗さ測定装置
は被測定物表面よりその凹凸を検出する検出手段と、該
検出手段より得られた凹凸情報に基づき表面粗さを適切
に表現するパラメータを出力するパラメータ演算手段と
を備えている。
【０００３】すなわち、検出手段より得られた凹凸情報
をそのまま表示するのみでは、単に表面状態を示す粗さ
曲線が得られるのみであり、その表面粗さを適切に把握
することができない。
をそのまま表示するのみでは、単に表面状態を示す粗さ
曲線が得られるのみであり、その表面粗さを適切に把握
することができない。
【０００４】そこで、従来より粗さパラメータとして、
粗さ曲線とその中心線までの偏差の絶対値の平均である
中心線平均値、最も高い山頂から最も深い谷底までの高
さ方向の距離である最大高さなどを用い、被測定物の表
面粗さを適切に表現することが試みられていた。
粗さ曲線とその中心線までの偏差の絶対値の平均である
中心線平均値、最も高い山頂から最も深い谷底までの高
さ方向の距離である最大高さなどを用い、被測定物の表
面粗さを適切に表現することが試みられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の表面
粗さ測定装置は、検出した断面曲線もしくは粗さ曲線を
二次元データとして処理することを原則としており、し
かも粗さパラメータの演算に際しては曲線全区間を対象
とした唯一の値を出力するものである。しかし、現実の
測定対象面における粗さパラメータ値の分布は、直線区
間内で通常かなりのバラツキを示すことが知られてお
り、実際的な粗さ測定を行なうためには、このバラツキ
を考慮したデータ処理を併用することが必要である。
粗さ測定装置は、検出した断面曲線もしくは粗さ曲線を
二次元データとして処理することを原則としており、し
かも粗さパラメータの演算に際しては曲線全区間を対象
とした唯一の値を出力するものである。しかし、現実の
測定対象面における粗さパラメータ値の分布は、直線区
間内で通常かなりのバラツキを示すことが知られてお
り、実際的な粗さ測定を行なうためには、このバラツキ
を考慮したデータ処理を併用することが必要である。
【０００６】 これに対し、近年三次元粗さ測定装置と
して断面曲線もしくは粗さ曲線をそれらの抽出断面に垂
直な方向の配列として検出し得るものも見受けられ、そ
の粗さパラメータの演算機能は、配列曲線群を構成する
各々を個別的に扱って前記同様の処理を行なうものと、
全曲線を一群の三次元データとして統計的に処理するも
のがある。しかしながら、一個の測定対象面に於ける粗
さの異方性は甚だしく、その異方性を必然的に排除する
後者のパラメータ演算機能には課題が多々残されてい
た。
して断面曲線もしくは粗さ曲線をそれらの抽出断面に垂
直な方向の配列として検出し得るものも見受けられ、そ
の粗さパラメータの演算機能は、配列曲線群を構成する
各々を個別的に扱って前記同様の処理を行なうものと、
全曲線を一群の三次元データとして統計的に処理するも
のがある。しかしながら、一個の測定対象面に於ける粗
さの異方性は甚だしく、その異方性を必然的に排除する
後者のパラメータ演算機能には課題が多々残されてい
た。
【０００７】 本発明は前記従来技術の課題に鑑みなさ
れたものであり、その目的は断面曲線もしくは粗さ曲
線、更にはそれらの集合に対し、全体を唯一の値として
評価するだけであった粗さパラメータの演算処理機能
を、二次元粗さパラメータによる局部的評価の連続、又
は／及び断続的分布を求め得る表面粗さ測定装置を提供
することにある。
れたものであり、その目的は断面曲線もしくは粗さ曲
線、更にはそれらの集合に対し、全体を唯一の値として
評価するだけであった粗さパラメータの演算処理機能
を、二次元粗さパラメータによる局部的評価の連続、又
は／及び断続的分布を求め得る表面粗さ測定装置を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ検出手
段と、検出位置制御手段と、検出信号記憶手段と、パラ
メータ演算表示手段とを備える。そして、表面粗さ検出
手段は、被測定物の表面粗さを検出する。また、検出位
置制御手段は、該表面粗さ検出手段の検出位置を被測定
面の基準点に位置させ、該基準点より表面粗さ検出手段
を所定範囲で走査する。検出信号記憶手段は、被測定面
の特定部位とその特定部位に対応する表面粗さの検出デ
ータを対応づけて記憶する。
に本発明にかかる表面粗さ測定装置は、表面粗さ検出手
段と、検出位置制御手段と、検出信号記憶手段と、パラ
メータ演算表示手段とを備える。そして、表面粗さ検出
手段は、被測定物の表面粗さを検出する。また、検出位
置制御手段は、該表面粗さ検出手段の検出位置を被測定
面の基準点に位置させ、該基準点より表面粗さ検出手段
を所定範囲で走査する。検出信号記憶手段は、被測定面
の特定部位とその特定部位に対応する表面粗さの検出デ
ータを対応づけて記憶する。
【０００９】 パラメータ演算表示手段は、前記検出信
号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその座標値
に基づき、前記表面粗さ検出手段が検出走査する全区間
よりも短く設定された評価区間を、表面粗さ検出手段の
走査方向に所望長さずつスライドさせながら、前記表面
粗さの検出データ及び必要に応じて該位置の座標値を演
算し、評価区間毎のパラメータ値を算出して表示する。
号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその座標値
に基づき、前記表面粗さ検出手段が検出走査する全区間
よりも短く設定された評価区間を、表面粗さ検出手段の
走査方向に所望長さずつスライドさせながら、前記表面
粗さの検出データ及び必要に応じて該位置の座標値を演
算し、評価区間毎のパラメータ値を算出して表示する。
【００１０】
【作用】本発明にかかる表面粗さ測定装置は、前述した
ように表面粗さデータが一時的にその座標値と対応させ
て検出信号記憶手段に記憶される。そして、パラメータ
演算表示手段により、粗さ曲線上に設定された複数の評
価区間毎にパラメータ値を求めるので、被測定物の局部
的な粗さパラメータの連続・断続分布を求めることが可
能となる。
ように表面粗さデータが一時的にその座標値と対応させ
て検出信号記憶手段に記憶される。そして、パラメータ
演算表示手段により、粗さ曲線上に設定された複数の評
価区間毎にパラメータ値を求めるので、被測定物の局部
的な粗さパラメータの連続・断続分布を求めることが可
能となる。
【００１１】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の好適な実施例を
説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。図１には本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定
装置の概略構成が示されている。
説明する。なお、本発明は実施例に限定されるものでは
ない。図１には本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定
装置の概略構成が示されている。
【００１２】同図に示す表面粗さ測定装置１０は、プロ
ーブを被測定物表面に接触・移動させ、その表面粗さを
検出する接触式表面粗さ測定装置であり、ベース１２上
に立設された支柱１４と、該支柱１４に支持された表面
粗さ検出手段１６とを備える。そして、前記支柱１４に
はアーム１８が上下動可能に支持され、更にアーム１８
には移動部材２０がＸ軸方向に移動可能に支持されてい
る。前記表面粗さ検出手段１６は移動部材２０に固定さ
れ、モータ２２を駆動させて移動部材２０をＸ方向に移
動させることにより、該表面粗さ検出手段１６のＸ方向
への移動を可能としている。
ーブを被測定物表面に接触・移動させ、その表面粗さを
検出する接触式表面粗さ測定装置であり、ベース１２上
に立設された支柱１４と、該支柱１４に支持された表面
粗さ検出手段１６とを備える。そして、前記支柱１４に
はアーム１８が上下動可能に支持され、更にアーム１８
には移動部材２０がＸ軸方向に移動可能に支持されてい
る。前記表面粗さ検出手段１６は移動部材２０に固定さ
れ、モータ２２を駆動させて移動部材２０をＸ方向に移
動させることにより、該表面粗さ検出手段１６のＸ方向
への移動を可能としている。
【００１３】また、アーム１８は支柱に平行に設置され
たボールネジ２４に螺合されており、モータ２６により
ボールネジ２４を回転駆動することにより、該アーム１
８（すなわち表面粗さ検出手段１６）をＺ軸方向に移動
させることができる。一方、ベース１２上にはＹ軸方向
に移動可能なテーブル２８が載置されており、該テーブ
ル２８はモータ３０の回転駆動によりＹ軸方向に移動す
る。この結果、表面粗さ検出手段１６をＸないしＺ方向
に移動し、テーブル２８をＹ方向に移動させることで、
テーブル２８上に載置された被測定物３２と表面粗さ検
出手段１６との相対位置を三軸方向で設定することがで
きる。
たボールネジ２４に螺合されており、モータ２６により
ボールネジ２４を回転駆動することにより、該アーム１
８（すなわち表面粗さ検出手段１６）をＺ軸方向に移動
させることができる。一方、ベース１２上にはＹ軸方向
に移動可能なテーブル２８が載置されており、該テーブ
ル２８はモータ３０の回転駆動によりＹ軸方向に移動す
る。この結果、表面粗さ検出手段１６をＸないしＺ方向
に移動し、テーブル２８をＹ方向に移動させることで、
テーブル２８上に載置された被測定物３２と表面粗さ検
出手段１６との相対位置を三軸方向で設定することがで
きる。
【００１４】前記各モータ２２，２６，３０は、それぞ
れドライバー４０，４２，４４を介して各軸方向駆動制
御部３４，３６，３８により駆動制御されている。ま
た、各モータ２２，２６，３０は、その駆動量を検出す
るロータリーエンコーダ２３，２７，３１を備えてお
り、各エンコーダ２３，２７，３１の出力は各軸方向駆
動制御部３４，３６，３８にフィードバックされる。従
って、検出位置制御手段４６が各駆動制御部３４，３
６，３８に指示することで、表面粗さ検出手段１６を所
望の位置に位置決めする。そして、例えばＹ位置及びＺ
位置を基準位置に設定し、Ｘ方向に表面粗さ検出手段１
６をスライド移動することで、該Ｙ座標における表面粗
さを測定し、更にＹ軸方向位置をずらして同様の操作を
繰返すことで、被測定物３２の測定面の表面粗さ信号を
得ることができる。
れドライバー４０，４２，４４を介して各軸方向駆動制
御部３４，３６，３８により駆動制御されている。ま
た、各モータ２２，２６，３０は、その駆動量を検出す
るロータリーエンコーダ２３，２７，３１を備えてお
り、各エンコーダ２３，２７，３１の出力は各軸方向駆
動制御部３４，３６，３８にフィードバックされる。従
って、検出位置制御手段４６が各駆動制御部３４，３
６，３８に指示することで、表面粗さ検出手段１６を所
望の位置に位置決めする。そして、例えばＹ位置及びＺ
位置を基準位置に設定し、Ｘ方向に表面粗さ検出手段１
６をスライド移動することで、該Ｙ座標における表面粗
さを測定し、更にＹ軸方向位置をずらして同様の操作を
繰返すことで、被測定物３２の測定面の表面粗さ信号を
得ることができる。
【００１５】この表面粗さ検出結果はＡ／Ｄ変換器４８
によりデジタル信号に変換され、その検出座標に対応し
て検出信号記憶手段５０に記憶される。ここで、記憶手
段５０はＲＡＭからなり、図２に模式的に示されるよう
に各デジタル信号はその信号の得られた座標（ｘ，ｙ）
に対応してＺxyの形態でマトリックス状に記憶される。
なお、測定範囲が広い場合等データ量が著しく多い場合
には、記憶手段５０としてフロッピーディスク或いはハ
ードディスク等の外部記憶装置を用いることも可能であ
る。そして、検出信号記憶手段５０からの表面粗さ情報
に基づき、パラメータ演算手段５２がパラメータ演算を
行ない、表示手段５４へ所望の表示形式で表面粗さパラ
メータの表示を行なう。
によりデジタル信号に変換され、その検出座標に対応し
て検出信号記憶手段５０に記憶される。ここで、記憶手
段５０はＲＡＭからなり、図２に模式的に示されるよう
に各デジタル信号はその信号の得られた座標（ｘ，ｙ）
に対応してＺxyの形態でマトリックス状に記憶される。
なお、測定範囲が広い場合等データ量が著しく多い場合
には、記憶手段５０としてフロッピーディスク或いはハ
ードディスク等の外部記憶装置を用いることも可能であ
る。そして、検出信号記憶手段５０からの表面粗さ情報
に基づき、パラメータ演算手段５２がパラメータ演算を
行ない、表示手段５４へ所望の表示形式で表面粗さパラ
メータの表示を行なう。
【００１６】 次に本発明において特徴的なパラメータ
演算方式について説明する。図３に示すように、表面粗
さ検出手段１６の触針５６は、所定Ｙ軸座標上でＸ軸方
向に一単位測定当たり被測定物３２の表面をＬだけ走査
する。従って、表面粗さデータとしては図４に示すよう
な断面曲線が得られる。次にＹ軸座標を一単位移動し、
更に同様に被測定物３２の表面をＸ軸方向にＬだけ走査
する操作を繰返す。この結果、表面粗さデータとしては
図５に示すように、Ｘ−Ｙ面に対応した被測定面につい
て複数の断面曲線を得ることができる。
演算方式について説明する。図３に示すように、表面粗
さ検出手段１６の触針５６は、所定Ｙ軸座標上でＸ軸方
向に一単位測定当たり被測定物３２の表面をＬだけ走査
する。従って、表面粗さデータとしては図４に示すよう
な断面曲線が得られる。次にＹ軸座標を一単位移動し、
更に同様に被測定物３２の表面をＸ軸方向にＬだけ走査
する操作を繰返す。この結果、表面粗さデータとしては
図５に示すように、Ｘ−Ｙ面に対応した被測定面につい
て複数の断面曲線を得ることができる。
【００１７】次に、測定者が任意に設定した評価区間Ｌ
v毎に表面粗さパラメータを算出する。すなわち、図４
において、ｎ番目の評価区間、ｎ＋１番目の評価区間…
というように走査距離Ｌ内で複数個の評価区間が設定さ
れ、この各評価区間毎に所望の表面粗さパラメータＲを
算出している。このようにして、パラメータ演算手段５
２で算出されたパラメータＲも、それぞれ対応する被測
定物３２の座標区域毎に得られることとなり、これらの
パラメータＲは図６に示すようにその得られた座標に応
じてＲx,yの形態でパラメータ記憶手段５８に記憶され
る。
v毎に表面粗さパラメータを算出する。すなわち、図４
において、ｎ番目の評価区間、ｎ＋１番目の評価区間…
というように走査距離Ｌ内で複数個の評価区間が設定さ
れ、この各評価区間毎に所望の表面粗さパラメータＲを
算出している。このようにして、パラメータ演算手段５
２で算出されたパラメータＲも、それぞれ対応する被測
定物３２の座標区域毎に得られることとなり、これらの
パラメータＲは図６に示すようにその得られた座標に応
じてＲx,yの形態でパラメータ記憶手段５８に記憶され
る。
【００１８】そして、被測定物の座標に応じて表示手段
５４上に例えば一単位走査の結果であれば、図７に示す
ように、又被測定面全体であれば図８に示すようにそれ
ぞれの評価区間のパラメータの連続的ないし断続的な表
示が可能となる。図９には本実施例にかかる表面粗さ測
定装置の作動状態を示すフローチャート図が示されてい
る。同図に示すように、まず触針５６のＸ軸方向測定距
離Ｌを設定し、更に所定Ｙ軸座標値でのＸ軸方向への走
査が終了した後にＹ軸方向へ移動させる駆動ピッチＰ及
びＹ軸方向への駆動回数Ｎ（被測定面上で何本の断面曲
線を得るか）を設定する。
５４上に例えば一単位走査の結果であれば、図７に示す
ように、又被測定面全体であれば図８に示すようにそれ
ぞれの評価区間のパラメータの連続的ないし断続的な表
示が可能となる。図９には本実施例にかかる表面粗さ測
定装置の作動状態を示すフローチャート図が示されてい
る。同図に示すように、まず触針５６のＸ軸方向測定距
離Ｌを設定し、更に所定Ｙ軸座標値でのＸ軸方向への走
査が終了した後にＹ軸方向へ移動させる駆動ピッチＰ及
びＹ軸方向への駆動回数Ｎ（被測定面上で何本の断面曲
線を得るか）を設定する。
【００１９】 そして測定開始スイッチをＯＮすると、
検出手段１６の触針５６がＺ軸方向に降下し、原点位置
合せを行なった後、第一回目のＸ軸方向走査が行なわれ
る。そして、検出手段１６からの信号Ｚｉｊをピッチｐ
毎に採取して検出信号記憶手段５０に記憶し、距離Ｌの
走査が終了すると、検出手段１６をＸ方向原点位置に復
帰させる。
検出手段１６の触針５６がＺ軸方向に降下し、原点位置
合せを行なった後、第一回目のＸ軸方向走査が行なわれ
る。そして、検出手段１６からの信号Ｚｉｊをピッチｐ
毎に採取して検出信号記憶手段５０に記憶し、距離Ｌの
走査が終了すると、検出手段１６をＸ方向原点位置に復
帰させる。
【００２０】 次に検出手段１６をＹ軸方向にピッチＰ
だけ移動させ、同様の走査を繰返し、走査回数がＮとな
ったらば測定走査を終了する。ここで必要により測定手
段１６の上昇、検出信号の表示を行なう。
だけ移動させ、同様の走査を繰返し、走査回数がＮとな
ったらば測定走査を終了する。ここで必要により測定手
段１６の上昇、検出信号の表示を行なう。
【００２１】 次に所望パラメータの演算を行なうた
め、Ｘ軸方向評価範囲Ｘ、Ｙ軸方向評価範囲ｊ、評価区
間Ｌｖ移動長さＬｓの設定をおこなう。そして、Ｘ軸方
向評価範囲の算出パラメータ数Ｓを演算し、更に求める
べきパラメータＲの選択を行なった後、パラメータ演算
を開始する。そして、Ｙ軸方向の基準位置に於ける、各
（Ｘ方向）評価区間について検出データＺｍｊ〜ＺＭｊ
を検出信号記憶手段５０より読み込んでＲａｊを演算
し、パラメータ記憶手段５８に記憶する。
め、Ｘ軸方向評価範囲Ｘ、Ｙ軸方向評価範囲ｊ、評価区
間Ｌｖ移動長さＬｓの設定をおこなう。そして、Ｘ軸方
向評価範囲の算出パラメータ数Ｓを演算し、更に求める
べきパラメータＲの選択を行なった後、パラメータ演算
を開始する。そして、Ｙ軸方向の基準位置に於ける、各
（Ｘ方向）評価区間について検出データＺｍｊ〜ＺＭｊ
を検出信号記憶手段５０より読み込んでＲａｊを演算
し、パラメータ記憶手段５８に記憶する。
【００２２】この操作をＳ回繰返し、Ｘ軸方向評価範囲
についてＳ個の表面粗さパラメータＲajを得る。このＹ
軸位置ｊでのパラメータ算出が終了したならば、次にＹ
軸方向にピッチＰだけ離れた隣接するＸ軸方向評価範囲
についても同様の操作を行なう。全てのパラメータの演
算が終了したらば、各パラメータが得られた被測定物表
面上の座標と対応させて表示手段上にパラメータを三次
元的に出力する。以上説明したように本実施例の表面粗
さ測定装置によれば、被測定物のＸ，Ｙ平面上の表面粗
さを、任意のＸ軸方向評価範囲毎に演算・表示すること
が可能となる。
についてＳ個の表面粗さパラメータＲajを得る。このＹ
軸位置ｊでのパラメータ算出が終了したならば、次にＹ
軸方向にピッチＰだけ離れた隣接するＸ軸方向評価範囲
についても同様の操作を行なう。全てのパラメータの演
算が終了したらば、各パラメータが得られた被測定物表
面上の座標と対応させて表示手段上にパラメータを三次
元的に出力する。以上説明したように本実施例の表面粗
さ測定装置によれば、被測定物のＸ，Ｙ平面上の表面粗
さを、任意のＸ軸方向評価範囲毎に演算・表示すること
が可能となる。
【００２３】なお、本発明において算出パラメータ数を
多くしたい場合には、例えば図１０ないし図１１に示す
ように移動長さを評価区間より短くし、評価区間が重な
るようにしてもよい。また、本発明において被測定面に
おけるＸ−Ｙ面での面情報を要求されない場合、すなわ
ち一本のＸ軸方向断面曲線だけを対象とする場合には、
例えば図１２に示すように、前記図９に示すフローチャ
ートよりＹ軸方向への移動を行なう工程を除去した手順
で操作を行なえばよい。この場合には前記図７に相当す
る表面粗さパラメータ情報を得ることができる。
多くしたい場合には、例えば図１０ないし図１１に示す
ように移動長さを評価区間より短くし、評価区間が重な
るようにしてもよい。また、本発明において被測定面に
おけるＸ−Ｙ面での面情報を要求されない場合、すなわ
ち一本のＸ軸方向断面曲線だけを対象とする場合には、
例えば図１２に示すように、前記図９に示すフローチャ
ートよりＹ軸方向への移動を行なう工程を除去した手順
で操作を行なえばよい。この場合には前記図７に相当す
る表面粗さパラメータ情報を得ることができる。
【００２４】以上説明したように本発明によれば、断面
曲線若しくは粗さ曲線における評価区間方向に沿って粗
さパラメータ値の分布情報を得るために、曲線全区間よ
りも短く設定された評価区間を、同じく設定された移動
長さずつ評価区間方向にずらしながらパラメータ値を求
め、それをグラフ化することとしたので、測定範囲内で
の粗さパラメータのバラツキを適切に拾い上げることが
可能となる。また、この操作を平行測定された複数の断
面曲線に対して行なうことにより、適切な面粗さパラメ
ータ分布を得ることができる。なお、必要に応じて得ら
れたパラメータ値の分布データに統計演算処理等を施
し、平均値、標準偏差等を求めて表示することも好適で
ある。
曲線若しくは粗さ曲線における評価区間方向に沿って粗
さパラメータ値の分布情報を得るために、曲線全区間よ
りも短く設定された評価区間を、同じく設定された移動
長さずつ評価区間方向にずらしながらパラメータ値を求
め、それをグラフ化することとしたので、測定範囲内で
の粗さパラメータのバラツキを適切に拾い上げることが
可能となる。また、この操作を平行測定された複数の断
面曲線に対して行なうことにより、適切な面粗さパラメ
ータ分布を得ることができる。なお、必要に応じて得ら
れたパラメータ値の分布データに統計演算処理等を施
し、平均値、標準偏差等を求めて表示することも好適で
ある。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる表面
粗さ測定装置によれば、被測定物の表面粗さデータをそ
の座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段、及び
検出信号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその
座標値に基づき、曲線全区間よりも短く設定された評価
区間を、所定移動長さづつ評価区間方向にずらしながら
パラメータ値を求めるパラメータ演算手段を備えたの
で、二次元粗さパラメータによる局部的評価の連続、断
続的分布を求めることができる。
粗さ測定装置によれば、被測定物の表面粗さデータをそ
の座標値と対応させて記憶する検出信号記憶手段、及び
検出信号記憶手段に記憶された表面粗さデータ及びその
座標値に基づき、曲線全区間よりも短く設定された評価
区間を、所定移動長さづつ評価区間方向にずらしながら
パラメータ値を求めるパラメータ演算手段を備えたの
で、二次元粗さパラメータによる局部的評価の連続、断
続的分布を求めることができる。
【図１】本発明の一実施例にかかる表面粗さ測定装置の
概略構成の説明図である。
概略構成の説明図である。
【図２】図１に示した装置において、検出信号記憶手段
における信号記憶形態の説明図である。
における信号記憶形態の説明図である。
【図３】図１に示した装置において、表面粗さ検出手段
の作動状態の説明図である。
の作動状態の説明図である。
【図４】，
【図５】図１に示した装置において、移動長さと評価区
間の関係の一例の説明図である。
間の関係の一例の説明図である。
【図６】図１に示した装置において、処理データの記憶
形態の説明図である。
形態の説明図である。
【図７】図４に示したデータに基づく粗さパラメータ分
布曲線の表示例である。
布曲線の表示例である。
【図８】図５に示したデータに基づく粗さパラメータ分
布曲線の表示例である。
布曲線の表示例である。
【図９】図１に示した装置の作動状態を示すフローチャ
ート図である。
ート図である。
【図１０】，
【図１１】図１に示した装置において、移動長さと評価
区間の他の関係の説明図である。
区間の他の関係の説明図である。
【図１２】本発明の他の実施例の説明図である。
１０ 表面粗さ測定装置 １６ 表面粗さ検出手段 ４６ 検出位置制御手段 ５０ 検出信号記憶手段 ５２ パラメータ演算手段 ５４ 表示手段 ５８ パラメータ記憶手段
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物と相対移動してその被測定面の
表面粗さを走査検出する表面粗さ検出手段と、 被測定物が与えられた際に、その被測定面上の特定の点
を基準点として、その基準点から所望一定範囲で前記表
面粗さ検出手段が検出走査するように、被測定物と表面
粗さ測定手段の相対移動を制御する検出位置制御手段
と、 被測定物の表面粗さが得られる際に、被測定面の特定部
位とその特定部位に対応する検出データを対応付けて記
憶する検出信号記憶手段と、 該記憶手段に対応付けられて記憶された表面粗さデータ
及びその部位の位置に基づき、前記表面粗さ検出手段の
検出走査する全区間よりも短く設定された所望の評価区
間を、表面粗さ検出手段の走査方向に所望の長さずつス
ライドさせながら、前記表面粗さの評価区間に対応する
検出データ及び必要に応じて該部位の位置の値を演算
し、評価区間毎のパラメータ値を算出して表示するパラ
メータ演算表示手段と、 を備えた表面粗さ測定装置において、二次元粗さパラメータによる局部的評価の連続又は／及
び断続的な分布を求め得ることを特徴とする表面粗さ測
定装置 。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3258455A JPH0820249B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | 表面粗さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3258455A JPH0820249B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | 表面粗さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0571952A JPH0571952A (ja) | 1993-03-23 |
| JPH0820249B2 true JPH0820249B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17320456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3258455A Expired - Fee Related JPH0820249B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | 表面粗さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820249B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE602006009202D1 (de) | 2005-11-08 | 2009-10-29 | Mitutoyo Corp | Formmessgerät |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62235511A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-10-15 | Kobe Steel Ltd | 表面状態検査装置 |
| JPH0328708A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-06 | Fanuc Ltd | レーザ加工物の表面粗さ計測方法及び表示方法 |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP3258455A patent/JPH0820249B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0571952A (ja) | 1993-03-23 |
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