CN1960847A - 液体流的合流装置和多层薄膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种液体流的合流装置，具有第1合流形成装置，该第1合流形成装置具有设有待合流的2个液体流各自通过的多个狭缝的单元A、和设有第1合流部的单元B，所述第1合流部将通过各液体流从多个狭缝通过而形成的多个的层状液体流合流成层状，形成第1层状液体流，并且，单元A独立地装备2个以上，单元B独立地装备2个以上。

Description

液体流的合流装置和多层薄膜的制造方法

技术领域

本发明涉及一种液体流的合流装置，用于使至少2个的液体流合流成层状，形成各液体流排列成层状而形成的层状液体流，以及使用该装置的多层薄膜的制造方法。更详细地讲，涉及一种液体流的合流装置，用于使特性相互不同的2种以上的液体流合流成层状，形成具有不同的液体流合流成层状所形成的多界面的层状液体流。

背景技术

使多个液体流合流、形成多层液体流的装置，正被用作高效率地制造有多层结构的薄膜的手段。

作为具体例，已知多层共挤出供料模头组(参照后述的专利文献1～3)。另外，也熟知被称作边界面形成装置(ISG：Intefaial Surface Generator)的所谓的方形混合器(参照后述的专利文献4和5)。

然而，在为专利文献1～3所提出的装置的场合，在实用上有限度，可获得总层数为300以下的多层薄膜。在制造具有300层以上层数的多层薄膜中使用该现有装置的场合，装置单向地大型化。因此装置内会产生液体的滞留部分。滞留在装置内的液体遭受热老化，造成异物产生。在极端的情况下，会产生液体在装置内不均匀地流动的现象。

在为专利文献4和5所提出的装置的场合，通过组合多层共挤出供料模头组和方形混合器，可以高效地增加层数。但制造光学干涉薄膜或控制折射率薄膜等要求具有非常高的层合精度的多层薄膜时，起因于混合器内的液体流的流道变形而产生层紊乱。因此要维持高层合精度，700层以下的层数是极限。这些现有的方法或装置不能制造具有控制折射率薄膜等所要求的复杂层厚度构成的多层薄膜。

专利文献1：美国专利3884606号公报

专利文献2：美国专利3687589号公报

专利文献3：特开平2003-112355号公报(第2页)

专利文献4：美国专利3565985号公报

专利文献5：特许3264958号公报(第2页)

发明内容

根据本发明，可解决所述的现有技术的问题，提供一种液体流的合流装置，该装置不大型化，基本上不产生异物，可按任意的层构成高效率地制得有极高的层合精度、700层以上的多层结构的多层薄膜。本发明所涉及的液体流的合流装置，优选用于制造宽带域的干涉反射薄膜、控制折射率薄膜、层厚度为纳米级的多层薄膜。

本发明的液体流的合流装置，是使至少2个液体流合流成层状的液体流的合流装置，具有

(a)设有上述各液体流各自通过的多个的狭缝的单元A，和

(b)设有第1合流部的单元B，所述的第1合流部，将通过上述各液体流从上述多个狭缝通过而形成的多个层状的液体流按规定的顺序合流成层状，形成第1层状液体流，

(c)上述单元A分别独立地存在2个以上，并且上述单元B分别独立地存在2个以上，

(d)具有设有贮液部的单元C，所述的贮液部，接纳要供给至上述液体流的合流装置的上述各液体流，并向上述各单元A供给上述各液体流，并且

(e)具有设有第2合流部的单元D，所述的第2合流部，将采用上述各单元B形成的上述各第1层状液体流按规定的顺序合流成层状，形成第2层状液体流。

本发明的液体流的合流装置中，优选设在上述单元A中的狭缝数是10～400。

本发明的液体流的合流装置中，优选设在上述单元A中的各狭缝的间隙是10μm～30,000μm。

本发明的液体流的合流装置中，优选上述单元C存在3个以上，用于将相同种类的上述液体供给2个以上的上述单元C的流道分割部，设在上述相同种类液体流的供给源和上述各单元C的之间。

本发明的液体流的合流装置中，优选上述单元A和上述单元B的单元对之中，在至少2个单元对中，按采用上述单元B形成的上述第1层状液体流中的上述各液体流的界面相互平行的方式配置上述单元对。

本发明的液体流的合流装置中，优选在相邻的上述单元A之间配置上述单元C。

本发明的液体流的合流装置的一种形态中，从上述单元C向设在上述单元A中的各狭缝供给上述液体流的流道形成为微细孔。

本发明的液体流的合流装置的一种形态中，在设在上述单元A上的各狭缝中，液体供给面侧与液体非供给面侧的狭缝的纵截面积相互不同。

本发明的液体流的合流装置中，设在上述单元A中的各狭缝的宽度优选是10mm～200mm。

本发明的液体流的合流装置中，设在上述单元A中的各狭缝的长度优选是20mm～200mm。

本发明的液体流的合流装置的一种形态中，设在上述单元A中的各狭缝的形状包含阶梯地变化的部位。

本发明的液体流的合流装置的一种形态中，从上述单元B到上述单元D的上述第1层状液体流的流道截面形状是方形。

本发明的液体流的合流装置的上述一种形态中的上述方形的角的圆度R优选是10μm～1mm。

本发明的多层薄膜的制造方法，包括：向上述本发明的液体流的合流装置供给至少2个液体流，利用该液体流的合流装置形成上述各液体流排列成层状而形成的层状液体流，由所形成的层状液体流形成多层薄膜。

作为在本发明的实施中使用的液体流，优选使用由以下说明的材料形成的液体流。

作为材料之一，有热塑性树脂。作为热塑性树脂，有例如，聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚甲基戊烯等聚烯烃树脂；脂环族聚烯烃树脂；尼龙6、尼龙66等聚酰胺树脂；芳族聚酰胺树脂；聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯、聚丁二酸丁酯、聚-2，6-萘二甲酸乙二醇酯等的聚酯树脂；聚碳酸酯树脂；聚芳酯树脂；聚缩醛树脂；聚苯硫醚树脂；四氟乙烯树脂、三氟乙烯树脂、三氟氯乙烯树脂、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物、偏二氟乙烯树脂等的氟树脂；丙烯酸树脂；甲基丙烯酸树脂；聚缩醛树脂；聚乙醇酸树脂；聚乳酸树脂。这些热塑性树脂可以是均聚树脂，也可以是共聚树脂或2种以上的掺混物。在热塑性树脂中可以添加各种添加剂，例如抗氧化剂、抗静电剂、晶核剂、无机颗粒、有机颗粒、减粘剂、热稳定剂、润滑剂、红外线吸收剂、紫外线吸收剂、用于调节折射率的掺杂剂等。

热塑性树脂更优选是聚酯。因为聚酯一般地与其他的热塑性树脂比，分子量低，而且容易选择最佳的粘度，因此通过使用本发明的液体流的合流装置，可以高效地容易地形成有700以上层数的层状液体流。

作为聚酯，有作为二羧酸骨架成分与二元醇骨架成分的缩聚物的均聚聚酯、共聚聚酯。

作为均聚聚酯，例如有，聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚-2，6-萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸-1，4-环己烷二甲醇酯、聚二苯甲酸乙二醇酯。尤其是聚对苯二酸乙二醇酯由于价廉可用于非常广泛的用途，因而优选。

作为共聚聚酯，有由选自以下举出的二羧酸骨架成分和二醇骨架成分中的至少3种以上的成分形成的缩聚物。作为二羧酸骨架成分，可举出，对苯二甲酸、间苯二甲酸、邻苯二甲酸、1，4-萘二甲酸、1，5-萘二甲酸、2，6-萘二甲酸、4，4’-二苯基二羧酸、4，4’-二苯基砜二羧酸、己二酸、癸二酸、二聚酸、环己烷二甲酸和它们的酯衍生物等。作为二元醇骨架成分，可举出，乙二醇、1，2-丙二醇、1，3-丁二醇、1，4-丁二醇、1，5-戊二醇、二甘醇、聚烷撑二醇，2，2-双(4’-β-羟基乙氧基苯基)丙烷、异山梨醇、1，4-环己二甲醇等。

作为形成在本发明的实施中使用的液体流的其他材料的例子，有各种有机溶剂、水等的低分子化合物、包含树脂与有机溶剂、或单体与有机溶剂、树脂与水、单体与水等的2种以上的组合物的混合物等。另外作为液体流的状态，除了通常的液体或熔融流体外，还包括超临界流体、液晶等。另外，也包括分散有固形物的液体、分散有气泡的液体等。

所谓在本发明的液体流的合流装置中采用的合流，是指向一个流道供给由各个流道供给的液体流。因此，待合流的至少2个液体流可以是有相互不同的特性的液体流，也可以是有相互相同的特性的液体流。也可以将由某一个供给源供给的液体流暂先分割成多个液体流之后，再次使用本发明的液体流合流装置来合流。

本发明的使液体流合流成层状的液体流的合流装置，具有设有至少2个液体流各自通过的多狭缝的单元A、和设有第1合流部的单元B，所述第1合流部通过各液体流从多个狭缝通过而形成的多个层状的液体流合流成层状而形成第1层状液体流，并且在该合流装置中独立地装有2个以上的上述单元A，独立地装有2个以上的上述单元B，装有设置了向上述各单元A供给上述各液体流的贮液部的单元C，此外，还装有设有第2合流部的单元D，所述第2合流部，将采用上述各单元B形成的上述各第1层状液体流合流成层状从而形成第2层状液体流。其结果，本发明的液体流的合流装置，在装置没有大型化，装置内基本上不产生异物的状态下能形成具有极高的层合精度的多层液体流，能够形成用于制造具有700个以上的层的多层薄膜的多层液体流。另外，即使是非常多的层数，也能自由控制各层的厚度。

附图说明

图1是本发明合流装置的一实施例的概略侧面图。

图2是图1所示装置的正面图。

图3是将在本发明的合流装置中使用的一形态的第1合流形成装置的各部件分解、顺序地展开表示的正面图。

图4是图3中液体导入板的一形态的正面图。

图5是图4中的S1-S1向视截面图。

图6是图3中的狭缝板的一形态的正面图。

图7是图6中的S2-S2向视截面图。

图8是图6中的S3-S3向视截面图。

图9是将图3中的狭缝板和位于该板相邻两侧的液体导入板组合后的状态下的图6所示的S2-S2向视截面图。

图10是将图3中的狭缝板和位于该板相邻两侧的液体导入板组合后的状态下的图6所示的S3-S3向视截面图。

图11是在装有图3所示的第1合流形成装置的合流装置中使用的第2合流形成装置的一形态的正面概略模式图。

图12是图11中的S4-S4、S5-S5、S6-S6和S7-S7向视图，这些截面图顺次用(a)、(b)、(c)和(d)表示。

图13是将在本发明的合流装置中使用的另一形态的第1合流形成装置的各部件分解、顺序展开表示的正面图。

图14是在装有图13所示的第1合流形成装置的合流装置中使用的第2合流形成装置的一形态的正面概略模式图。

图15是图14中的S8-S8、S9-S9、S10-S10和S11-S11向视截面图。这些截面图顺次用(a)、(b)、(c)和(d)表示。

图16是将在本发明的合流装置中使用的又一形态的第1合流形成装置的各部件分解、顺序展开表示的正面图。

图17是在本发明的合流装置中使用的又一形态的第2合流形成装置的正面概略模式图。

图18是图17中的S12-S12、S13-S13、和S14-S14向视截面图。这些截面图顺次用(a)、(b)和(c)表示。

图19是表示使用本发明的合流装置制造的一例多层薄膜的反射率测定结果的曲线图。

符号说明

1液体流的合流装置

2液体流供给装置

3第1合流形成装置

4第2合流形成装置

12液体流导入板

13狭缝板

21液体流导入开口

22贮液部

31狭缝隔壁

32狭缝

33狭缝部

51层状液体流

61第1合流部

62第1合流部出口

81第1层状液体流

82第2层状液体流

83合成层状液体流

84第2合流部

121a、121b孔

A单元A

B单元B

C单元C

D单元D

具体实施方式

以下一边参照附图一边说明本发明的液体流合流装置的实施形态。

本发明的液体流的合流装置的一个实施形态示于图1～图3。本发明的液体流的合流装置1包括，液体流供给装置2、第1合流形成装置3和第2合流形成装置4构成。图3表示分解第1合流形成装置3、将各部件顺序展开的状态。

第1合流形成装置3在两端有端板11a、11b。在该形态中，端板11a和端板11b具有与镜面对象相同的结构。以下有时将端板11a和端板11b统称为端板11。

第1合流形成装置3中，在端板11a和端板11b之间1，从端板11a朝向端板11b方向顺序地排列有第1板12a、第2板13a、第3板12b、第4板13b、和第5板12c。这种排列方向在图1中用Y座标方向表示。在这种形态中，第2板13a和第4板13b有相同的结构，第1板12a、第3板12b和第5板12c分别有相同的结构。

另外，第1合流形成装置3中，第2板13a和第4板13b也可以是有与镜面对象相同的结构那样的形态。

这些板，通过端板11a的背面和第1板12a的前面、第1板12a的背面和第2板13a的前面、第2板13a的背面和第3板12b的前面、第3板12b的背面和第4板13b的前面、第4板13b的背面和第5板12c的前面、第5板12c的背面和端板11b的前面按所述的顺序接合而被组装，形成了第1合流形成装置3。各个板的接合部分可根据需要设置防止液体漏出的装置。在图1中，在Y座标方向看各板的面时，正对着侧为前面、背后侧为背面。图4是第1板12a的正面图。图5是图4中的S1-S1向视图。第1板12a在其顶部有液体流导入开口21，并且有由从开口21扩开的空间构成的贮液部22。第3板12b和第5板12c如上所述在该状态中具有与第1板12a相同的结构。再者，以下有时将第1板12a、第3板12b和第5板12c统称为液体流导入板12。

图6是第2板13a的正面图。图7是图6中的S2-S2向视截面图，图8是图6中的S3-S3向视截面图。在第2板13a内侧的上部隔有间隔地设置着多个的狭缝隔壁31。在相邻的狭缝隔壁31之间形成从第2板13a的前面贯通到背面的狭缝32。由多个狭缝隔壁31和多个狭缝32形成狭缝部33。在该形态中，多个狭缝32包括2种狭缝，即由狭缝32a组成的第1狭缝组和由狭缝32b组成的第2狭缝组。

形成第1狭缝组的狭缝32a的纵截面形状示于图7。形成第2狭缝组的狭缝32b的纵截面形状示于图8。如图7和图8所示，狭缝32a的棱线34a和各狭缝32b的棱线34b，相对于第2板13a的厚度方向(图7和图8中的Y座标方向)倾斜。棱线34a的倾斜方向和棱线34b的倾斜方向为相互相反的方向。第4板13b如上所述，在该形态中有与第2板13a相同的结构。再者，以下有时将第2板13a和第4板13b统称为狭缝板13。

图9表示交替地层合有3片液体流导入板12(第1板12a、第3板12b、第5板12c)和2片狭缝板13(第2板13a、第2板13b)的状态下的与图6的S2-S2向视方向相同的向视方向的截面图。图10表示该层合状态下的与图6的S3-S3向视方向相同的向视方向的截面图。

图9和图10中，各液体流导入板12中的贮液部22的底面23的距液体流导入板12的底边BL的高度方向的位置，位于棱线34a的上端部41a和下端部42a之间，同时位于棱线34b的上端部41b和下端部42b之间。

通过这种配置，在图9中，第1液体流51a从贮液部22通过棱线34a的上端部41a侧，向第2板13a的狭缝32a中流入，但由于从棱线34a的下端部42a侧，成为狭缝32a被封闭的状态，因此第1液体流51a不流入第4板13b的狭缝32a。另一方面，在图9和图10中，第2液体流51b从贮液部22通过棱线34a的上端部41a侧，向第4板13b的狭缝32a中流入，但从棱线34a的下端部42a侧，成为狭缝32a被封闭的状态，因此第2液体流51b不流入第2板13a的狭缝32a。此外，通过这种配置，在图10中，第1液体流51a从贮液部22通过棱线34b的上端部41b侧，向第4板13b的狭缝32b中流入，但由于从棱线34b的下端部42b侧，成为狭缝32b被封闭的状态，因此第1液体流51a不流入第2板13a的狭缝32b。另一方面，在图9和图10中，第2液体流51b从贮液部22通过棱线34b的上端部41b侧，向第2板13a的狭缝32b中流入，但由于从棱线34b的下端部42b侧，成为狭缝32b被封闭的状态，因此第2液体流51b不流入第4板13b的狭缝32b。

这样，在图9中，第1液体流51a，从第3板12b的供给第1液体流51a的贮液部22向第2板13a的狭缝32a中流入。此外，第2液体流51b，从第5板12c的供给第2液体流51b的贮液部22向第4板13b的狭缝32a中流入。另一方面，在图10中，第1液体流51a，从第3板12b的供给第1液体流51a的贮液部22向第4板13b的狭缝32b中流入。此外，第2液体流51b，从第1板12a的供给第2液体流51b的贮液部22向第2板13a的狭缝32b中流入。

在该形态中，狭缝板13在狭缝部33的下方进一步具有形成第1层状液体流的第1合流部61。通过从狭缝部33的各狭缝中通过而形成的层状的各液体流51a、51b，在维持层状形态的状态下，在第1合流部61进行合流。通过该合流，形成层状液体流51。层状液体流51从设在狭缝板13的底边BL上的第1合流部出口62连续地向液体流道流出。这样，利用第1合流形成装置3，形成至少2个的层状液体流51。

这里，端板11、液体导入板12、狭缝板13等所使用的材料，是用作为形成现有的液体流合流装置的部件的材料的铁等金属、不锈钢等合金，或者，在热、尺寸精度上没有问题的场合，是树脂等。尤其是在强度、加工适性、尺寸精度、耐热性、耐腐蚀性方面，优选不锈钢。

形成层状液体流51的液体流51a和液体流51b各自分别从液体流供给装置2向第1合流形成装置3供给。在图1中，液体流供给装置2具有与液体流导入板12上的液体流导入开口21结合的液体流供给通路72a、71和72b。液体流供给通路71，与供给第1液体流L1(51a)的第1液体流供给管73结合。液体流供给通路72a、72b与供给第2液体流L2(51b)的第2液体流供给管74结合。第1液体流供给管73与第1液体流供给源(未图示)相连，第2液体流供给管74与第2液体流供给源(未图示)相连。

从液体流供给装置2分别供给至第1合流形成装置3的第1液体流L1(51a)和第2液体流L2(51b)，按上述那样，从第2板13a的第1合流部出口62，成为液体流51a和液体流51b交替地层状层合的第1层状液体流81而流出，进而从第4板13b的第1合流部出口62，成为液体流51a和液体流51b交替地层状层合的第2层状液体流82而流出。这种状态示于图11。再者，在该形态中，第1层状液体流81和第2层状液体流82具有相同的层状结构。

图11是第2合流形成装置4的正面概略模式图。在图11中，第2合流形成装置4包括：第1层状液体流81在维持其层状的状态下流经的流道81a和81b，第2层状液体流82在维持其层状的状态下流经的流道82a和82b，以及从流道81a、81b流过来的第1层状液体流81和从流道82a、82b流过来的第2层状液体流82合流、形成合成层状液体流83的第2合流部84。

图12是顺序排列图11中的液体流的流动方向上的4处的流道横截面的概况图。图12(a)是图11中的S4-S4向视截面图，图12(b)是图11中的S5-S5向视截面图，图12(c)是图11中的S6-S6向视截面图，图12(d)是图11中的S7-S7向视截面图。

图12(a)表示出流道81a入口部中的第1层状液体流81和流道82a入口部中的第2层状液体流82的位置关系。图12(b)表示出在图12(a)中沿Y座标方向(与图11的纸面垂直的方向)排列的流道81a和流道82a沿X座标方向(图11纸面的左右方向)它们的排列状态发生变化的状态下的第1层状液体流81和第2层状液体流82的位置关系。图12(c)表示出第2合流部84入口部中的第1层状液体流81和第2层状液体流82的位置关系。图12(d)表示出在第2合流部84的出口，第1层状液体流81和第2层状液体流82被合流、形成合成层状液体流83的状态。

该形态中，具有狭缝部33的第2板13a和第4板13b，相当于本发明所说的设有各液体流各自通过的多个的狭缝的单元A，单元A分别独立地存在2个。具有第1合流部61的第2板13a和第4板13b，相当于本发明所说的设有形成第1层状液体流的第1合流部的单元B，分别独立地存在2个。具有贮液部22的液体流导入板12，相当于本发明所说的设有向各单元A供给各液体流的贮液部的单元C。此外，使第1层状液体流81和第2层状液体流82合流、形成合成层状液体流83的第2合流形成装置4，相当于本发明所说的设有第2合流部的单元D，所述第2合流部，将采用各单元B形成的各第1层状液体流按规定的顺序合流成层状、形成第2层状液体流。

使用本发明的液体流合流装置、制造层数为700以上的多层薄膜的场合，在第1合流形成装置3中，设有多个单元A和与该单元A对应个数的单元B。

图13表示将形成另一形态的第1合流形成装置3a中的单元A、单元B和单元C的各板与图3的场合同样地顺序展开的状态。该形态中的第1合流形成装置3a包括端板11a、第1板12a、第2板13a、第3板12b、第4板13b、第5板12c、第6板13c、第7板12d、第8板13d、第9板12e和端板11b。在第2板13a、第4板13b、第6板13c和第8板13d上分别形成有单元A和单元B。即，在第1合流形成装置3a中，单元A分别独立地存在4个，单元B分别独立地存在4个。另外，第1板12a、第3板12b、第5板12c、第7板12d和第9板12e上分别形成有单元C。这些板的组装与图3的形态的场合同样地进行。

使用图13所示的第1合流形成装置3a的场合的形成层状液体流的状态，与图11和图12的场合同样地，示于图14和图15中。使用第1合流形成装置3a形成第1层状液体流91、第2层状液体流92、第3层状液体流93和第4层状液体流94。所形成的每一个层状液体流分别从流道91a和91b、流道92a和92b、流道93a和93b、及流道94a和94b流过，到达第2合流部96。在第2合流部96中，各层状液体流进行合流、形成合成层状液体流95。

通过使用装备有这样的多个的单元A和单元B的第1合流形成装置，可以一边维持高的精度一边制造包含700以上的层的各种的多层薄膜。

具体地，利用液体流L1形成的层和利用液体流L2形成的层，按L1(1)/L2(1)/L1(2)/L2(2)L1(3)/L2(3)/……/L1(n-1)/L2(n-1)/L1(n)的顺序层合的场合，也可以制造这样的多层薄膜：利用液体流L1形成的层，从L1(1)到L1(n)层的厚度逐渐变薄，利用液体流L2形成的层，从L2(1)到L2(n-1)层的厚度逐渐变厚。这里，n是从某一方的表面统计的场合的、由液体L1或液体流L2形成的层的层序号。

另外，也可以制造这样的多层薄膜：关于利用液体流L1形成的层，在从L1(1)到L1(n/2)的部分中，层的厚度逐渐变厚，在从L1((n+1)/2)到L1(n)的部分中，层的厚度逐渐变薄，另一方面，关于利用液体流L2形成的层，在从L2(1)到L2((n-1)/2)的部分中，层的厚度逐渐变薄，在从L2((n)/2)到L2(n-1)的部分中，层的厚度逐渐变厚。这里，n是从某一方的表面统计的场合的、由液体流L1或液体流L2形成的层的层序号。

在现有的技术中，要使层合数非常多，就不得不使用静态混合器，因此只能制得：相同层厚度的层合体、各层的厚度顺序地变厚或者各层的厚度顺序地变薄的形态的各层的厚度单纯地向一个方向增加或减少的层合体、具有由于不能控制的液体流的流动不均匀而产生的不规则的层厚度的层合体。

根据本发明，层厚度可通过调整各狭缝的形状、尤其是狭缝间隙和/或狭缝长度来控制，并且由于独立地具有2个以上的单元A，因此即使是以往不可能实现的非常多的层数也能设计任意的层构成。

单元A具有的狭缝数优选是10～400个。更优选是100～350个。狭缝数小于10个时，由于需要非常多的单元A，因此难以对准各单元的位置。若使用这样的装置，则在层合体的制造成本方面不利。另外，装置向Y座标方向(参照图1)大型化，因此不优选。另一方面，狭缝数大于400个的场合，由于装置在X座标方向(参照图2)过于大型化，因此在装置内产生流动的液体流的滞留部、或位于X座标方向的端部侧的狭缝中的液体流的流速变得不均匀等等。因此不优选狭缝数大于400个的装置。狭缝数是100～350个时，装置变为在X座标方向和Y座标方向可取得均衡的大小，成为容易使用的装置。在这样的装置中，除了装置内不易形成液体流的滞留部以外，还不产生液体流的不均匀流速。通过使用这样的装置，可以高效率地制造具有非常多的层数的层合体。

狭缝的间隙优选是10～30,000μm。所谓狭缝的间隙，对于图6的狭缝32a和狭缝32b而言，是指狭缝的X座标方向的宽度。狭缝的间隙更优选是100～10,000μm。狭缝的间隙小于10μm时，由于加工精度有限，因此进行狭缝中的均匀的流量控制变难。狭缝的间隙大于30,000μm的场合，装置在X座标方向过于大型化。另外，根据液体流的流量不同，有时由于在各狭缝中的压力损失过小，因此不能使从各狭缝中流动的液体流的流量均匀。狭缝的间隙为100～10,000μm时，装置不会大型化，可维持形成各层的液体流的横向(Y座标方向)的分布和各层间的厚度分布的均匀性，其结果，可得到层合精度极高的层合体。

狭缝的长度优选是20～200mm。所谓狭缝的长度，对于图6的狭缝32a和狭缝32b而言，是指狭缝的Z座标方向的长度。狭缝的长度更优选是30～100mm。狭缝的长度比20mm短时，由于在狭缝中的液体流的压力损失过小，因此有时不能均匀地控制从各狭缝中流动的液体流的流量。另外，由于在狭缝内部沿Y座标方向产生液体流的流速分布，因此在横向(Y座标方向)产生液体流的层合不均匀。另一方面，狭缝的长度比200mm长时，由于液体流的压力损失过大，因此容易发生液体流从装置中的泄漏。另外，反复使用装置时，有时狭缝发生变形等等。

狭缝的宽度优选是10～200mm。所谓狭缝的宽度，对于图6的狭缝32a和狭缝32b而言，是指Y座标方向(参照图7与图8)的长度。狭缝的宽度更优选是20～100mm。狭缝的宽度小于10mm的场合，狭缝的强度不足，狭缝容易变形。狭缝的宽度大于200mm的场合，不能高精度地加工狭缝间隙。另外，在Y座标方向的液体流的流速分布变大。

狭缝，优选通过调整上述的狭缝间隙、长度、或宽度来进行设计以使得在狭缝的入口部和出口部的压力损失差为0.5MPa～10MPa。压力损失差更优选是1MPa～8MPa。压力损失差小于0.5MPa的场合，由于各狭缝内的液体流在按照设计那样的流量下不均匀流动，因此液体流的层合精度变差。压力损失差大于8MPa的场合，由于合流装置内的整体的压力损失差过大，因此对液体流供给装置施加大的负荷。另外，经反复使用，狭缝形状发生变形，因此液体流的层合精度容易变差。

单元A的狭缝部33(参照图6)，优选包含在X座标方向阶梯地变化的部位(狭缝组)，通过这样设计，可以容易地在层合体中形成层厚度逐渐变化的部位。这种形态优选用于例如干涉反射薄膜的制造。由此，干涉反射薄膜的反射带的宽带化变得容易。另外，优选用于折射率控制薄膜的制造。由此能够制造薄膜内部的折射率逐渐变化的薄膜。

本发明中单元C中的贮液部22(参照图4)，具有向单元A的狭缝分配液体流的功能。通过具有贮液部22，可以高效率地向狭缝供给液体流。另外，在狭缝内流动的液体流的流量基本上由狭缝中液体流的压力损失决定，因此可以只利用狭缝间隙、狭缝长度来控制在单元A内的各狭缝内流动的液体流的各流量。由此，不用说单元A的设计变得容易，合流装置整体的设计也变得容易。

更优选单元A的液体流的供给面侧和液体流的非供给面侧的狭缝的纵截面积不同。图7表示出该形态的例，象图7中的狭缝32a那样，虽然狭缝的间隙(参照图6)一定，但液体流的供给面侧的狭缝长度LS2、和液体流的非供给侧的狭缝长度LS1不同为好。更优选液体流的供给面侧的狭缝长度LS2比液体流的非供给面侧的狭缝长度LS1长。通过这样地设计，将单元C和单元A直接连结，形成具有交替地层合有第1液体流51a和第2液体流51b的多层结构的层状液体流51变得容易。为了形成这样的截面积不同的结构，如图7和图8所示，优选狭缝32a、32b的Y-Z座标面变成梯形。

当单元C和单元A直接连结时，第1合流形成装置3的部件数变少，装置可小型化。另外，构成单元C和构成单元A的位置对准精度可以不高，并且，可只利用狭缝的间隙来控制压力损失的调节，因此可获得具有更高的层合精度的层合体。另外，由于Y座标方向的液体流的流量分布之差变小，因此Y座标方向的不同位置的液体流的层合精度也高。

图3或图13所示的形态，具有这样的结构：按图7和图8所示的那样，使棱线34a或棱线34b所表示的狭缝的底面倾斜，并且象图9和图10所示那样选定棱线34a的下端部42a或棱线34b的下端部42b与贮液部22的底面23的位置关系，由此使从单元C的贮液部22到狭缝部33的液体流流入狭缝32a中，而不流入狭缝32a的相邻的狭缝32b中。在该形态中，单元A的各狭缝的液体流入口，利用采用图9中的棱线34a的上端部41a与贮液部22的底面23之间的高度和狭缝32a的狭缝间隙形成的面、或者、采用图10中的棱线34b的上端部41b与贮液部22的底面23之间的高度和狭缝32b的狭缝间隙形成的面来形成。但是，单元A的各狭缝的液体流入口的形成方式不限于该形态。图16表示出另外的形态。

图1 6表示出与图3或图13所示的板的排列不同的形态的板的排列。但是在图16中，省略了位于板的排列的两端的端板。作为这些端板，可以使用与图3或图13所示的端板11a和端板11b同样的端板。

图16中所示的板的排列，包括第1板112a、第2板113a、第3板114a、第4板113b和第5板112b。图16中的、第1板112a和第5板112b，与图3中的第1板12a和第3板12b相同，形成具有贮液部的单元C。图16中，第3板114a是与图3中的第2板13a的狭缝板对应的狭缝板，但与图3中的狭缝板不同之处是，在图16的狭缝板中各狭缝的长度(Z座标方向的狭缝壁的长度)完全相同。

在图16的形态中，狭缝板的各狭缝的长度完全相同，因此为了选择性地进行来自单元C的贮液部的液体流向某个狭缝及其相邻的狭缝中的流入，在形成单元C的第1板112a和形成单元A的第3板114a之间设有第2板113a和第4板113b。第2板113a上隔开间隔地设置有孔121a。各孔121a相对于第3板114a的全部狭缝，以与每隔一个的狭缝对应的位置关系设在第2板113a上。在第4板113b上与第2板113a同样地隔开间隔设置有孔121b。各孔121b相对于第3板114a的全部狭缝，以与每隔一个的狭缝对应的位置关系设在第2板113b上，但是，第2板113a的孔121a和第4板113b的孔121b的位置，相对于第3板的狭缝位置，存在错开一个狭缝位置的关系。根据这种构成，由第1板112a供给的液体流(第1液体流)和由第4板112b供给的液体流(第2液体流)分别向相邻的狭缝供给。再者，以下有时将有孔121a的第2板113a和有孔121b的第4板113b统称为液体流导入孔板113。

在图16中，省略了至少还需要一组的相当于第2板113a、第3板114a、第4板113b和第5板112b组的组的图示。另外，在该形态中，设有从狭缝通过而形成的层状的第1液体流和层状的第2液体流合流、形成第1层状液体流的第1合流部的单元B，与图3的第2板13a的场合同样地，在第3板114a上设在其狭缝部的下方。液体流导入孔板113的孔121a、121b的形状可以是圆形、方形和梯形等中的任意的形状。

根据使用液体流选择性地通过的孔121a的组和孔121b的组的图16所示的形态，与需要使单元A的液体流供给面侧和液体流非供给面侧的狭缝的截面积不同的图3所示的形态比，单元A的形状变得单纯。但是，在图16所示的形态中，因为需要液体流导入孔板113，因此构成装置的部件数变多、要求具有更高的位置对准精度。另外，在Y座标方向上的液体流的流量分布之差容易变大。

本发明中的单元A和单元B，象图3的第2板13a或图16的第3板114a那样，优选设在同一部件上。单元A和单元B设在同一部件上的场合，将这些单元组装入第1合流形成装置时，不需要单元A和单元B之间的位置对准，可制造具有更高的层合精度的层合体。

本发明具有设置有第2合流部的单元D，第2合流部，用于将利用至少2个分别独立地设置的单元A和与这些单元A对应的单元B形成的至少2个第1层状液体流合流、形成第2层状液体流。

设有第2合流部的单元D的例子，已在图11中作为第2合流形成装置4、或在图14中作为第2合流形成装置4a表示出。按图11和图12所示的那样，第1层状液体流81从流道81a、81b通过，流向第2合流部84，第2层状液体流82从流道82a、82b通过，流向第2合流部84。在图14和图15中也示出了同样的情况，层状液体流81和82向第2合流部84流动的时候，流道81a和流道82a的Y座标方向或X座标方向的位置关系变更成流道81b和流道82b的X座标方向或Y座标方向的位置关系。另外，流道81b和流道82b的横截面形状，在到达第2合流部84的时候为了与第2合流部84结合而发生变化。流道位置的变更、或者流道横截面形状的变化可以逐渐地连续地进行，或者可以阶梯性地进行。更优选流道的横截面形状的变化在横截面积维持为恒定的状态下进行。流道的横截面积恒定时，流路内的液体流的流速分布的变化少，在合成层状液体流83中，得到各液体流的高层合精度变得容易。

图17和图18表示出第1层状液体流81从流道81a的入口向出口流动的期间，以及，第2层状液体流82从流道82a的入口向出口流动的期间，流道81a和流道82a的排列的方向从Y座标方向变更成X座标方向的状态。在该形态中，从流道81a的出口通过的第1层状液体流81和从流道82a的出口通过的第2层状液体流82立即合流，然后沿着流道82流动，到达第2合流部84。该流道82横截面形状随着朝向第2合流部84接近，按照该流道的X座标方向的边的长度逐渐变短、其Y座标方向的边的长度逐渐变长的方式一边维持横截面积为一定的状态，一边发生变化。象该形态那样，使第1层状液体流81和第2层状液体流82合流后，使该合流的液体流沿着横截面形状发生变化的流道流动，使之达到第2合流部84的合流方法，与图11所示的合流方法比，为更优选。

单元D的液体流的流动方向的长度L优选满足下述式(1)。长度L小于下述式的下限时，由于流道的变形过于急剧，因此液体流的流速分布发生偏差，产生层合精度的降低。另外，长度L大于下述式的上限的场合，由于装置过于大型化等等，因此装置的制造、组装变得困难。

$Q/\left(10\sqrt{s}\right)\≤L\≤Q/\left(80\sqrt{s}\right)$ 式(1)

式中，L是单元D的流道长度[m]，Q是液体流的流量[t/h]，S是单元D的入口部的总流道截面积(图12(a)、图15(a)或图18(a)中的各流道的横截面积的合计量)[m²]。

单元D的流道的横截面形状优选是方形。流道的横截面形状不是方形的场合，横截面的周边部的各液体流的层合状态大幅度地混乱。方形更优选为其角的圆度R为10μm～1mm的方形。角的圆度R小于10μm的场合，成为液体流在流道内滞留的原因，有时产生液体流的热老化等。另外，角的圆度R超过1mm时，有时横截面的周边部的各液体流的层合状态恶化。

在本发明的液体流合流装置中，单元C至少存在3个以上，将相同种类的液体流向2个以上的单元C供给的过程中，与该液体流的一个供给源连接的液体流的流道(液体流的供给管)，优选为在中途分支以便能同时向该2个以上的单元C供给该液体流的流道(管路)构成。该例在图1的第2液体流供给管74上可看到。通过这样地设计，可以减少所需的挤出机和泵等的液体供给装置的数量。

在本发明的液体流合流装置中，优选在相邻的单元A之间配置1个单元C，从1个单元C向2个单元A供给液体流。该例可以在图3或图13中的第1板12a、第2板13a和第3板12b的组合中看到。另外，可以在图16中的第1板112a、第2板113a、第3板114a、第4板113b和第5板112b的组合中看到。通过这样地设计，可以谋求第1合流形成装置3的小型化。

当相邻的单元A之间存在2个单元C时，就变成1个单元C和1个单元A一对一地对应，成为浪费的流道构成。

在本发明的液体流的合流装置中，优选调整2个单元A的狭缝的朝向以使得利用单元C形成的2个层状液体流中的各液体流的层状排列方向(界面的排列方向)排列成相互相同的方向。该例在图12(a)、图15(a)或图18(a)中可看到。2个层状液体流中的各液体流的层状排列方向不相同，而呈非平行的状态配置2个单元A的狭缝的场合，在合成层状液体流83中，为了使各液体流的层(界面)相互实质上平行，需要将流道、例如流道81a或流道82a扭转。这样的场合下，在液体流的横截面的边部容易产生液体流的层合混乱。更优选各单元A的所有狭缝在Y座标方向或X座标方向上以相同的方向排列。这样的排列可以利用板形成各单元A，带来装置的紧凑化。另外，由于能避免无用的流道、扭转的流道的存在，因此可防止液体流在流道内的滞留和各液体流的层合精度的降低。

通过使用本发明的液体流的合流装置，可以制造具有只使用现有的液体流合流装置不能实现的非常多的层数的层合体(多层薄膜)，具体地，能制造具有300层以上、700层以上、或1,000层以上的层数的层合体(多层薄膜)。在该制造中，也可防止由于形成层合体(多层薄膜)的材料(聚合物)的热老化而产生的异物向层合体(多层薄膜)中的混入，另外，也可防止由液体流流量的不均匀性导致的层结构混乱所造成的层合体(多层薄膜)的层结构不均匀性。

另外，根据本发明的液体流的合流装置，与现有的液体流合流装置并用方形混合机的场合比较，可以容易地制造具有高的层合精度的层合体(多层薄膜)，同时也能够自由地进行具有采用方形混合机所不能得到的更复杂的层构成的层合体(多层薄膜)的设计。

因此，根据本发明的液体流合流装置，可以制造具有包含所期望的层构成的700层以上的多层结构的多层薄膜。另外，即使是非常多的层数也能自由地设计各层的厚度。这样的多层薄膜可以用作为高性能的反射宽带的光的薄膜、控制薄膜内的折射率的薄膜、光波导薄膜、各层厚度或一部分的层厚度为纳米级的薄膜。

本说明书中出现的物性值的测定方法(评价方法)如下。

层合厚度、层合数：

薄膜的层构成，通过对使用切片机切取截面的样品，使用电子显微镜观察而求出。即，使用透射电镜HU-12型((株)日立制作所制)，将薄膜的截面放大到3,000～40,000倍进行观察，拍摄截面照片，测定层构成和各层厚度。虽然由于在后述的实施例中可获得充分的对比度而未实施，但通过所使用的热塑性树脂的组合，采用公知的染色技术也可以提高对比度。

反射率：

在日立制作所制的分光光度计(U-3410 Spectrophotomater)上安装直径60(mm)积分球130-0632((株)目立制作所制)和10°倾斜间隔物，测定薄膜的反射率。再者，谱带参数设定为2/servo，增益设定为3，以120nm/分的测出速度对187nm～2,600nm的范围进行测定。另外，为了将反射率基准化，使用附属的BaSO₄作为标准反射板。

熔融粘度：

使用岛津制作所制的流动试验机(CFT-500)，测定剪切速度100(秒)时的熔融粘度。此时使用的模头的直径为1mm，测定行程为10～13^-1(mm)。再有，测定次数(n数)为3，采用它们的平均值作为测定值。

实施例1

作为2种的热塑性树脂，准备热塑性树脂L1和热塑性树脂L2。作为热塑性树脂L1，使用280℃下的熔融粘度为1,800泊(poise)的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)[东丽公司制F20S]。作为热塑性树脂L2，使用280℃下的熔融粘度为3,500泊的、相对于乙二醇共聚了30mol％的环己烷二甲醇而成的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PE/CHDM·T)[イ一ストマン公司制的PETG6763]。这些热塑性树脂L1和L2分别干燥后，分别向不同的挤出机供给。

热塑性树脂L1和L2分别在挤出机中形成为280℃的熔融状态，通过齿轮泵和过滤器后，在本发明的液体流合流装置1中合流。液体流的合流装置1，使用组装有3个包含201个狭缝的单元A和1个包含200个狭缝的单元A的图13所示的第1合流形成装置3、和图14所示的第2合流形成装置4a作为单元C。狭缝部33的各狭缝的形状，为液体流的供给面侧与液体流的非供给面侧的截面积不同的图7和图8所示的形状。狭缝的形状，设计每一个的狭缝长度，使得在作为本实施例的热塑性树脂的总供给量即200kg/h时，压力损失差是1.5MPa，层的厚度随着从表面侧的层朝向背面侧的层而逐渐变薄，其表面层厚度/背面层厚度的比率为0.69。

向图13的第1板12a的单元C、第5板12c的单元C、和第9板12e的单元C供给热塑性树脂L1 。向图13的第3板12b的单元C和第7板12d的单元C供给热塑性树脂L2。由热塑性树脂L1构成的层和由热塑性树脂L2构成的层交替地层合，在这样得到的多层薄膜中，两表层由热塑性树脂L1构成，各层的厚度随着从表面侧朝向背面侧而逐渐变厚。调整狭缝的形状和热塑性树脂L1、L2的供给量，使得邻接的由热塑性树脂L1构成的层和由热塑性树脂L2构成的层的厚度比成为0.95。将这样得到的合计包含803层的层合体(合成层状液体流83)向T型模头供给，成型成片状之后，通过施加静电，在表面温度保持在25℃的进行旋转的流延鼓上一边接触一边急冷固化。

对得到的流延薄膜使用设定在90℃的辊组进行加热，在拉伸区间长度100mm之间一边利用辐射加热器从薄膜两面将薄膜急速加热，一边沿纵向拉伸3.4倍，然后在空气中对单向拉伸薄膜的两面实施电晕放电处理，调整薄膜的润湿张力使之为55mN/m。接着，通过在电晕放电处理过的面上顺序地涂布各个材料，从而形成由玻璃化转变温度为18℃的聚酯树脂构成的层(透明层)、由玻璃化转变温度为82℃的聚酯树脂构成的层(易滑层)和由平均粒径为100nm的二氧化硅颗粒构成的层(易粘合层)。

接着，将该单向拉伸薄膜导入拉幅机，使用110℃的热风预热后，在横向拉伸3.7倍。接着，将拉伸后的薄膜原样不变地直接在拉幅机内使用230℃的热风进行热处理，再在该温度下在横向实施5％的松弛处理，然后缓冷到室温后进行了卷绕。得到的薄膜的总厚度是125μm。制得的薄膜具有这样的层合结构：由热塑性树脂L1构成的层的厚度，随着从表面到背面，从180nm逐渐减薄到125nm，由热塑性树脂L2构成的层的厚度，随着从表面到背面，从190nm逐渐减薄到130nm。图19中用曲线表示出该薄膜的反射率的测定结果。图19的曲线的横座标表示波长WL(单位为nm)，纵座标表示反射率REF(单位为％)。由该曲线图可知，制得的多层薄膜具有极高的反射率和波长选择性。另一方面，即使连续制膜一星期，也没有发生热老化异物的流出、和由异物导致的薄膜破裂的较多发生，薄膜的物性也没变化。

实施例2

使用了以下的2种热塑性树脂L3和L4。

热塑性树脂L3：

包含特性粘度为0.65的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)20重量％和特性粘度为0.62的聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)80重量％的树脂。

热塑性树脂L4：

包含特性粘度为0.65的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)90重量％和特性粘度为0.62的聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)10重量％的树脂。

将这些热塑性树脂L3、L4分别干燥后，向各自的挤出机供给，形成为290℃的熔融状态。

使熔融的热塑性树脂L3、L4通过齿轮泵和过滤器后，向与实施例1同样的本发明的液体流合流装置1供给，使之合流。热塑性树脂L3、L4在液体流的合流装置中形成为各层的厚度随着从表层侧朝向中央侧逐渐地变化，树脂L3包括402层、树脂L4包括401层的、在厚度方向交替地层合了树脂L3和树脂L4的结构(在两表层上配置有树脂L3)。各层的厚度通过单元A的微细狭缝的形状来调节。树脂L3和树脂L4的挤出量进行调节以使得整体的层合比(＝重量比)为树脂L3/树脂L4＝1.5。

将这样得到的合计包含803层的层合体向T型模头供给，成型成片状之后，通过施加静电，在表面温度保持在25℃的进行旋转的流延鼓上一边接触一边急冷固化。所得到的薄膜的厚度是44μm。

得到的薄膜的两表层的树脂L3的层厚度是10nm，最接近两表层的树脂L4的层厚度是100nm，在中央部，树脂L3的层厚度是100nm，树脂L4的层厚度是10nm。是树脂L3的层厚度随着从表层侧到中央部，从10nm增加到100nm，树脂L4的层厚度随着从表层侧到中央部，从100nm减少到10nm的构成。树脂L3的层厚度的分布是薄膜中央部变得最厚的二次函数分布，树脂L4的层厚度的分布是薄膜中央部变成最薄的二次函数分布。

得到的薄膜的厚度方向的折射率分布是平方分布，是GI(gratedindex)型。该薄膜由于具有GI型的折射率分布，因此可以用作能进行宽带通信的光波导薄膜。另一方面，即使连续制膜1星期，也没有发生热老化异物的流出、和由异物导致的薄膜破裂的较多发生，薄膜的物性也没有变化。

产业上的可利用性

本发明是液体流的合流装置，其特征在于，具有第1合流形成装置，该第1合流形成装置具有设有待合流的2个液体流各自通过的多个的狭缝的单元A、和设有第1合流部的单元B，所述第1合流部将通过各液体流从多个狭缝通过而形成的多个的层状的液体流合流成层状，形成第1层状液体流，并且，单元A独立地装备2个以上，单元B独立地装备2个以上。通过使用该液体流合流装置，可制造层合数极多的、例如层合数超过700的多层薄膜。另外，能制造不仅层数多、而且可使各层的厚度种种地变化的多层薄膜。这样的多层薄膜可用作为宽带的干涉反射薄膜、控制折射率薄膜、光波导薄膜、或层厚度为纳米级的层合薄膜。

Claims (14)

1.一种液体流的合流装置，是使至少2个液体流合流成层状的液体流合流装置，具有，

(a)设有上述各液体流各自通过的多个的狭缝的单元A，和

(b)设有第1合流部的单元B，所述的第1合流部，将通过上述各液体流从上述多个狭缝通过而形成的多个层状的液体流按规定的顺序合流成层状，形成第1层状液体流，

(c)上述单元A分别独立地存在2个以上，并且上述单元B分别独立地存在2个以上，

(d)具有设有贮液部的单元C，所述的贮液部，接纳要被供给至上述液体流的合流装置的上述各液体流，并向上述各单元A供给上述各液体流，并且

(e)具有设有第2合流部的单元D，所述的第2合流部，将采用上述各单元B形成的上述各第1层状液体流按规定的顺序合流成层状，形成第2层状液体流。

2.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元A中的狭缝数是10～400。

3.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元A中的狭缝的间隙是10μm～30,000μm。

4.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元C存在3个以上，用于将相同种类的上述液体供给2个以上的上述单元C的流道分割部，设在上述相同种类的液体流的供给源与上述各单元C之间。

5.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元A和上述单元B的单元对之中，在至少2个该单元对中，按采用上述单元B形成的上述第1层状液体流中的上述各液体流的界面相互平行的方式配置上述单元对。

6.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，在邻接的上述单元A之间配置有上述单元C。

7.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，从上述单元C向上述单元A的狭缝供给上述液体流的流道的形状为微细孔。

8.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，在上述单元A中的狭缝中，液体供给面侧和液体非供给面侧的狭缝的纵截面积不同。

9.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元A中的狭缝的宽度是10mm～200mm。

10.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元A的狭缝的长度是20mm～200nm。

11.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，上述单元A的狭缝形状包含阶梯地变化的部位。

12.如权利要求1所述的液体流的合流装置，其中，从上述单元B到上述单元D的上述第1层状液体流的流道截面形状是方形。

13.如权利要求12所述的液体流的合流装置，其中，上述方形的角的圆度R是10μm～1mm。

14.一种多层薄膜的制造方法，向权利要求1～13的任一项所述的液体流合流装置供给至少2个液体流，由从该液体流的合流装置导出的上述第2层状液体流形成层状薄膜。

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