CN1943100B - 电源装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于得到一种电源装置，其具有将交流电压变换为直流电压的变换器部(2)；将由前述变换器部(2)输出的直流电压变换为交流电压的逆变器部(3)；与负载(20)所具有的静电电容构成串联谐振电路的电感器；以及对由前述逆变器部(3)输出的交流电压进行升压的变压器(4)，通过在于前述逆变器部(3)的输出部中与前述变压器(4)并联连接电感器(7)，前述负载(20)所具有的放电部(6)中，由于放电停止时前述逆变器部(3)内的回流二极管中恢复电流不流动，或恢复电流的量被减少，所以不增加回流二极管元件数也能够抑制回流二极管的发热。

Description

电源装置

技术领域

本发明涉及一种电源装置的技术，该电源装置向具有放电部的负载供给交流电压以使其产生放电。

背景技术

日本特开平9-129953号公报中公开的现有的气体激光振荡器用电源装置的结构如图7所示。商用电源1的交流电压利用变换器部2变换为直流电压，输入逆变器部3。在逆变器部3中，根据门信号输出电路10的门信号，开关元件接通/断开，将直流电压变换为方形波交流电压。逆变器部3的输出电压利用具有电感L的高频变压器4被升压，施加于具有静电电容C的电介质电极5a、5b之间，由此产生放电6。根据由NC装置9输出的指令值，设定流过电介质电极5a、5b之间的放电电流的大小。门信号输出电路10根据检测前述放电电流的放电电流检测电路8的输出值和NC装置9的指令值，通过PWM控制以放电频率 $\mathrm{fso}(>1/2\mathrm{\π}\sqrt{\mathrm{}}\left(\mathrm{LC}\right))$ 向逆变器部3输出门信号。

放电6起动的情况下(以下称为放电动作时)的逆变器部3的动作如下所示。图8是表示现有技术中的逆变器部3的结构的图，由开关元件11a、11b、11c、11d和与其并联的回流二极管12a、12b、12c、12d构成。图9是通过PWM方式控制逆变器部3的情况下的逆变器部3的输出电压、电流波形的例子。图9中的电压波形以及电流波形的正半周中，电压波形表示在图8中输出电压在箭头方向上为正(高电位)侧时，电流波形表示在图8中输出电流按箭头方向流动时。此时，为了具有高功率因数且减少构成逆变器部3的元件的开关损耗，通常逆变器部3以比由高频变压器4的电感L和电介质电极5a、5b的静电电容C确定的串联谐振频率 $\mathrm{fr}(=1/2\mathrm{\π}\sqrt{\mathrm{}}\left(\mathrm{LC}\right))$ 稍高的频率 $\mathrm{fso}(>1/2\mathrm{\π}\sqrt{\mathrm{}}\left(\mathrm{LC}\right))$ 进行动作。如图9所示，相对于逆变器部输出电压，逆变器部输出电流相位滞后。如果从开关元件11a、11b接通的状态(图9的t1期间)开始11b转换为断开，则图8的虚线所示的回流电流If，在正方向流过回流二极管12c(图9的t2期间)。在此状态下，开关元件11c接通，然后开关元件11d接通。在开关元件11d接通的时刻，即在图9的B时，向回流二极管12a施加反向电压，但由于B时回流电流If向正方向流动，所以回流二极管12a中不流过正方向的电流，因此，回流二极管12a中不产生恢复电流。

同样地，如果从开关元件11c、11d接通的状态(图9的t3期间)开始11d转换为断开，则向与图8的虚线所示的回流电流If相反的方向即负方向，回流电流If’流过回流二极管12a(图9的t4期间)。此状态下开关元件11a接通、然后11b接通。在开关元件11b接通的时刻即图9的A时，向回流二极管12c施加反向电压，但由于A中回流电流If’沿负方向流动，所以回流二极管12c中不流过正方向电流，因此，回流二极管12c中不产生恢复电流。

这样，现有技术中，通常相对于输出电压使输出电流相位滞后，由此实现在放电动作的情况下，回流二极管中不产生恢复电流。

但是，在放电6未起动的情况下(以下称为放电停止时)，向电介质电极施加电压直至放电动作的期间，无论是否施加电压，都保持放电电流不流过的状态。该情况下的逆变器部3的输出电压·电流波形，成为例如图10所示的输出电压、电流动作。图10中的电压波形以及电流波形的正半周中，电压波形表示在图8中输出电压在箭头方向上为正(高电位)侧时，电流波形表示在图8中输出电流按箭头方向流动时。如图10所示，放电停止时的逆变器部3的输出电流，是相对于输出电压波形非同步的波形。这是由于，在电介质电极5a、5b之间放电动作时，电介质电极5a、5b之间的间隙起到直流电阻成分的作用，但在放电没有起动时，前述间隙起到电容的作用，所以前述电容等价于串联接入了电介质电极5a、5b的电路，因此由于电流的阻抗以及谐振频率发生变化，所以由它们确定的峰值和频率的暗电流流动。这样，由于等价于与电介质电极5a、5b串联插入前述电容的电路，所以通常放电部整体的静电电容变小，谐振频率变高。

在如图10所示的暗电流流动的情况下，在图10的开关元件11b接通的时刻A，开关元件11b接通，向回流二极管12c施加反向电压，但A时刻暗电流向正方向即开关元件11a→高频变压器→回流二极管12c的方向流动，回流二极管12c中在正方向流过电流，所以回流二极管12c中流过恢复电流，回流二极管12c中会产生异常发热。

同样地，在图10的开关元件11d接通的时刻B，开关元件11d接通，向回流二极管12a施加反向电压，但B中暗电流向负方向即开关元件11c→高频变压器→回流二极管12a的方向流动，回流二极管12c中在正方向流过电流，所以回流二极管12a中流过恢复电流，回流二极管12c中会产生异常发热。

这样，在具有放电动作时和放电停止时不连续的负载的气体激光振荡器用电源装置中，现有技术中，针对放电停止时发生的上述问题，只能通过增加回流二极管的并联数量，使由回流二极管的恢复电流产生的损耗分散。不过近年来，气体激光振荡器用电源装置中的放电频率逐步高频化，所使用的回流二极管的响应速度也被要求高速化，这样由恢复电流产生的损耗也增大。而且，由于必须以多个并联的方式使用比较昂贵的高速二极管，从成本以及安装空间的扩大这方面来说，存在非常严重的问题。

发明内容

本发明的目的在于，针对放电动作时和放电停止时这样的具有不连续的负载的电源装置，提供一种更小型且廉价的电源装置，其可以在所有的动作区域中，防止或者减少逆变器部的回流二极管进入恢复模式，其结果减少由恢复电流产生的回流用二极管的发热。

本发明所涉及的电源装置具有：具有：变换器部，其利用整流原件将商用交流电压变换为直流电压；逆变器部，其将从前述变换器部输出的直流电压变换为高频的交流电压；变压器，其具有第1电感器，将从逆变器输出的高频交流电压升压为高电压，所述第1电感器与负载所具有的静电电容构成串联谐振电路，该电源装置还具有第2电感器，其与前述变压器并联地与前述逆变器的输出部连接。

由于本发明所涉及的电源装置具有：具有：变换器部，其利用整流原件将商用交流电压变换为直流电压；逆变器部，其将从前述变换器部输出的直流电压变换为高频的交流电压；变压器，其具有与负载所具有的静电电容构成串联谐振电路的第1电感器，将从逆变器输出的高频交流电压升压为高电压，该电源装置还具有第2电感器，其与前述变压器并联地与前述逆变器的输出部连接，所以，在负载放电停止时，前述逆变器中的回流二极管中不流过恢复电流，或者恢复电流的量减少，因此不增加回流二极管的元件数即可以抑制二极管的发热，从而达到实现电源装置的小型化以及低成本化。

附图说明

图1是本发明的实施方式1所涉及的电源装置的基本结构图。

图2是表示本发明的实施方式1所涉及的电源装置的逆变器部的负载侧的等价电路图。

图3是本发明的实施方式1所涉及的电源装置的逆变器部的负载在放电动作时的输出电压、电流波形。

图4是本发明的实施方式1所涉及的电源装置的逆变器部的负载在放电停止时的输出电压、电流波形。

图5是本发明的实施方式2所涉及的电源装置的基本结构图。

图6是本发明的实施方式3所涉及的电源装置的基本结构图。

图7是现有的气体激光振荡器用电源装置的基本结构图。

图8是现有的气体激光振荡器用电源装置的逆变器部的基本结构图。

图9是现有的气体激光振荡器用电源装置的逆变器部在放电动作时的输出电压、电流波形。

图10是现有的气体激光振荡器用电源装置的逆变器部在放电停止时的输出电压、电流波形。

具体实施方式

实施方式1

图1是表示用于实施本发明的实施方式1中的电源装置的结构图，是作为负载与气体激光振荡器连接的图，该气体激光振荡器具有电介质电极，在前述电介质电极之间产生放电。

图1中，商用电源1的交流电压由变换器部2变换为直流电压，输入到逆变器部3中。利用由开关元件及与之并联的回流二极管构成的逆变器部3，根据门信号输出电路10的门信号，开关元件接通/断开，将直流电压变换为方形波交流电压。逆变器部3的输出电压利用具有电感L的高频变压器4被升压，由电源装置输出。由电源装置输出的高频高压电力，例如施加于作为负载与电源装置连接的气体激光振荡器的具有静电电容C的电介质电极5a、5b之间，在电介质电极5a、5b之间产生放电6，进行激光振荡。由高频变压器4的电感L和作为负载的激光振荡器的电介质电极5a、5b的静电电容C，构成串联谐振电路。另外，在逆变器部3的输出侧，与高频变压器4并联地连接并联电感器7。另外，利用由NC装置9输出的指令值，设定在电介质电极5a、5b之间流动的放电电流的大小。门信号输出电路10根据检测前述放电电流的放电电流检测电路8的输出值和NC装置9的指令值，通过PWM控制，以放电频率 $\mathrm{fso}(>1/2\mathrm{\π}\sqrt{\mathrm{}}\left(\mathrm{LC}\right))$ 向逆变器部3输出门信号。另外，由于本实施方式1中所示逆变器部3是与图8所示的电路相同的结构，因此在本实施方式中，用图8中记载的标号进行说明。

下面，对本实施方式1的动作进行说明。图2表示上述实施方式l中所示的电源装置中的逆变器部3的负载侧的等价电路。另外，图3表示放电动作时逆变器部3的输出电压、电流波形。图3中的电压波形以及电流波形的正符号表示以下情况，即，图8中的输出电压在箭头方向上为正(高电位)的情况、以及输出电流按箭头方向流动的情况。图3中的虚线i1如图2所示，是流经高频变压器4侧的电流波形，是与图9所示的不具有并联电感器7的现有电源装置的输出电流波形相同的波形。图3中点划线i2如图2所示，是流经电感器7侧的电流波形，由于是纯粹的电感性负载，所以如图3所示，相对于输出电压，输出电流相位滞后。图3中的实线i0如图2所示，是逆变器部3的输出电流的波形，i0＝i1+i2。因此，输出电流i0是与现有技术中的逆变器部3的放电动作时的输出电压、电流波形(图9)相比，增加了流过并联电感器7的电流i2部分的波形，如图3所示，维持在开关元件11b接通时刻A回流电流向负向流动，在开关元件11d接通的时刻B回流电流向正向流动的状态。由此，作为逆变器部3的动作，和现有的放电动作时的动作相同，所以，逆变器部3内的回流二极管12a、12b中不产生恢复电流。

图4表示上述实施方式所示的装置中的逆变器部3在放电停止时的输出电压、电流波形。图4中的电压波形以及电流波形的正符号表示以下情况，即，图8中的输出电压在箭头方向上为正向(高电位)侧的情况，以及输出电流按箭头方向流动的情况。在图4中，虚线为流经高频变压器4侧的电流i1a，是与图10所示的不具有并联电感器7的现有电源装置的暗电流相同的波形。点划线为流经并联电感器7侧的电流i2a，由于是纯粹的电感性负载，所以和图3相同地，相对于输出电压，输出电流相位滞后。实线表示逆变器部3的输出电流i0a，和放电动作时同样地，i0a＝i1a+i2a成立。

在图4中，在开关元件11d接通的时刻B，流经高频变压器4的电流i1a向负方向(开关元件11c→高频变压器4→回流二极管12a)流动，但流经并联电感器7侧的电流i2a向正方向(开关元件11a→并联电感器7→回流二极管12c)流动，如果i2a的绝对值大于或等于i1a的绝对值，则作为其合计电流的逆变器部3的输出电流i0a，向正方向(开关元件11a→并联电感器7→回流二极管12c)流动或者没有电流流动，所以在回流二极管12a中不产生恢复电流。在i2a的绝对值小于i1a的绝对值时，输出电流i0a向负向流动而回流二极管12a中产生恢复电流，但由于通过连接并联电感器7而使向负方向流动的电流量变小，所以具有如下效果，即，回流二极管12a中流过的恢复电流的量，与不具有并联电感器7时相比能够减少。

同样地，在开关元件11b接通的时刻A，流经高频变压器4的电流i1a向正方向(开关元件11a→高频变压器4→回流二极管12c)流动，但流经并联电感器7侧的电流i2a向负方向(开关元件11c→并联电感器7→回流二极管12a)流动，如果i2a的绝对值大于或等于i1a的绝对值，则作为合计电流的逆变器部3的输出电流i0a向负方向(开关元件11c→并联电感器7→回流二极管12a)流动或者没有电流流动，所以回流二极管12c中不产生恢复电流。在i2a的绝对值小于i1a的绝对值时，输出电流i0a向正方向流动而回流二极管12c中产生恢复电流，但与开关元件11d接通的时刻B相同地，具有如下效果，即，回流二极管12c中流过的恢复电流量，与不具有并联电感器7时相比能够减少。在这里，关于图4的i0a，记述了A以及B时i2a的绝对值大于i1a的绝对值的情况下的电流波形。

利用本实施方式1所示的结构，由于负载中的放电动作时以及放电停止时都不会在逆变器部3内的回流二极管中产生恢复电流，或者可以减少恢复电流，所以回流二极管的发热少，可以实现电源装置的小型化以及低成本化。特别是，在回流二极管12a、12c中施加反向电压的图4的A、B时，流经高频变压器4的电流i1a的方向和回流二极管12a、12c的正方向为同一方向的情况下，通过以使得流经并联电感器7的电流i2a的绝对值大于流经高频变压器4的暗电流i1a的绝对值的方式设定并联电感器7的值，能够实现不产生恢复电流的结构。

在这里，在本实施方式1中，作为本发明所涉及的电源装置的负载，使用具有电介质电极且前述电介质电极之间产生放电的气体激光振荡器为例说明本实施方式1，但负载并不特别限定为气体激光振荡器，只要是具有静电电容而与前述高频变压器4的电感L构成串联谐振电路的负载即可。

实施方式2

图5是表示用于实施本发明的实施方式2的结构图的一个例子。由于基本结构与实施方式1相同，所以对于相同的结构标注相同标号而省略说明，对与图1不同的地方进行以下说明。

在图5中，在并联电感器7的一端具有切换装置13，其通过对应于放电6的有无而从NC装置9输出的转换信号，在放电动作时将并联电感器7从电路中分离，放电停止时将并联电感器7与电路连接。放电6的有无，是由放电动作信号输出电路14判定由放电电流检测电路8检测出的电流值的大小，放电动作信号输出电路14向NC装置9输出判断有无放电动作的信号。向切换装置13输出的切换信号，并不一定要从NC装置9中输出，由放电动作信号输出电路14直接输出也没关系，并不限于上述方法。另外，本实施方式所示的逆变器部3，是与图8所示的电路相同的构造，所以本实施方式根据图8中所述的标号进行说明。

下面，对本实施方式2的动作进行说明。因为由电流检测电路8检测出的放电动作时流经高频变压器二次侧的放电电流i1D，大于放电停止时流经高频变压器二次侧的暗电流i1E(i1D>i1E)，所以设定为i1D>is>i1E的电流值is，存储于放电动作信号输出装置14的存储部中。

由电流检测电路8检测出的电流ix，在放电动作信号输出装置14的比较部中与设定值is进行比较，如果ix>is则判定为放电动作时，从放电动作信号输出装置14的输出部向NC装置9发送使得将并联电感器7从电路中分离的信号。接收到分离信号的NC装置9输出使得在切换装置13中切断电路的信号，切换装置13切断电路，使得并联电感器7从电路中分离，其结果，与逆变器部3的输出连接的电路结构与现有结构(图7)相同。因此，逆变器部3的输出电流全部流经高频变压器4，成为图9所示的输出电压、电流波形。

如果ix<is则判定为放电停止时，从放电动作信号输出装置14的输出部向NC装置9发送将并联电感器7连接到电路中的信号。接收到分离信号的NC装置9向切换装置13输出连接电路的信号，切换装置13连接电路，使得并联电感器7连接到电路中。其结果，与逆变器部3的输出连接的电路结构，与实施方式1(图1)相同。因此，逆变器部3的输出电压、电流波形成为图4所示的波形，能够使逆变器部3中的回流二极管中不产生恢复电流或者减少恢复电流。

利用本实施方式2所示的结构，因为在负载中的放电动作时以及放电停止时都不会在逆变器部3的回流二极管中产生恢复电流，或者可以减少恢复电流，所以可以得到与实施方式1相同的效果，即，回流二极管的发热减少，可以实现电源装置的小型化以及低成本化。特别是，在回流二极管12a、12c之间施加反向电压的图4的A、B时，流经高频变压器4的电流i1a的方向与回流二极管12a、12c的正方向为同一方向时，通过以使得流经并联电感器7的电流i2a的绝对值大于流经高频变压器4的暗电流i1a的绝对值的方式设定并联电感器7的值，当然能够实现不产生恢复电流的结构。

而且，在放电动作时，实施方式1中逆变器部3的输出电流比现有结构增大了流经并联电感器7的电流部分，从而增加了逆变器部3的负载，但在本实施方式2中，通过放电动作时将并联电感器7从电路中分离，不需要流经并联电感器7的电流，可以使逆变器部3的输出电流值与现有结构相同。由此，可以提高电源装置的效率，减少逆变器部3的开关元件11a～11d的负载。

实施方式3

在实施方式1以及实施方式2中，本发明所涉及的电源装置所具有的高频变压器的电感、和负载所具有的静电电容构成串联谐振电路，但如图6所示，在负载也具有电感，负载内构成LC串联谐振电路，并且电源装置没有高频变压器的情况下，通过在电源装置中设置与负载并联的并联电感器7，电源装置的逆变器部的负载侧的等价电路就和图2相同，可以得到和实施方式1相同的效果。当然，通过具备实施方式2中所使用的切换装置13，就可以得到和实施方式2相同的效果。

工业实用性

如上所示，本发明所涉及的电源装置，特别适用于向具有电介质电极且前述电介质电极之间产生放电的气体激光振荡器供给电力。

Claims (9)

1.一种电源装置，其特征在于，具有：

变换器部，其将交流电压变换为直流电压；

逆变器部，其具有开关元件以及与之并联的回流二极管，将从前述变换器部输出的直流电压变换为交流电压；

变压器，其具有第1电感器，对从前述逆变器部输出的交流电压进行变压，所述第1电感器与负载所具有的静电电容构成串联谐振电路；以及

第2电感器，其与前述变压器并联地与前述逆变器部的输出部连接。

2.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，

前述第2电感器的值设定为，使得在通过接通前述开关元件而向前述回流二极管施加反向电压时，流经前述变压器的电流方向与前述二极管的正方向为同一方向的情况下，流经前述第2电感器的电流的绝对值比流经前述变压器的电流的绝对值更大。

3.根据权利要求1或者2所述的电源装置，其特征在于，具有：

切换单元，其设置于前述第2电感器的一端与前述逆变器部的输出部之间，用于对前述第2电感器和前述逆变部的输出部的切断和连接进行切换；以及

控制装置，其控制前述切换单元。

4.根据权利要求3所述的电源装置，其特征在于，

前述控制装置控制前述切换单元，以使得当前述负载所具有的放电部中发生放电时，切断前述第2电感器和前述逆变器部的输出部，当放电停止时连接前述第2电感器和前述逆变器部的输出部。

5.根据权利要求4所述的电源装置，其特征在于，

具有电流检测单元，其检测流经前述负载的电流值，

前述控制装置通过将由前述电流检测单元检测出的电流值与设定值进行比较，判断前述负载中是否发生放电。

6.一种电源装置，用于向具有LC串联谐振电路的负载供给电力，该电源装置具有：

变换器部，其将交流电压变换为直流电压；以及

逆变器部，其具有开关元件以及与之并联的回流二极管，将由前述变换器部输出的直流电压变换为交流电压，

其特征在于，

该电源装置具有电感器，其与前述负载并联地与前述逆变器部的输出部连接，

前述电感器的值设定为，使得在通过接通前述开关元件而向前述回流二极管施加反向电压时，流经前述负载的电流方向与前述二极管的正方向为同一方向的情况下，流经前述电感器的电流的绝对值比流经前述负载的电流的绝对值更大。

7.根据权利要求6所述的电源装置，其特征在于，具有：

切换单元，其设置于前述电感器的一端和前述逆变器部的输出部之间，用于对前述电感器和前述逆变器部的输出的切断和连接进行切换；以及

控制装置，其控制前述切换单元。

8.根据权利要求7所述的电源装置，其特征在于，

前述控制装置控制前述切换单元，以使得当前述负载所具有的放电部中发生放电时，切断前述电感器和前述逆变器部的输出部，当放电停止时连接前述电感器和前述逆变器部的输出部。

9.根据权利要求8所述的电源装置，其特征在于，

具有电流检测单元，其检测流经前述负载的电流值，

前述控制装置通过将由前述电流检测单元检测出的电流值与设定值进行比较，判断前述负载中是否发生放电。

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