CN1941403A

CN1941403A - 有机el装置和光学装置

Info

Publication number: CN1941403A
Application number: CNA2006101414813A
Authority: CN
Inventors: 三矢将之
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-09-30
Filing date: 2006-09-29
Publication date: 2007-04-04
Also published as: US7477014B2; JP4483757B2; JP2007095614A; TWI360364B; US20070075618A1; TW200721893A; KR100743948B1; KR20070037344A

Abstract

孔部(90)从第一侧壁面(48a)向涂敷液(51)开口，沿图中Y方向延伸到围堰部(47)中。在涂敷液被涂敷在凹部(62)时，使涂敷液的一部分借助孔部从凹部逃逸。干燥前的涂敷液通过毛细管现象从孔部被吸到凹部的外侧即延伸至围堰部中的孔部。此时，相对残留在凹部的涂敷液，力(Fy1)沿图中Y方向起作用，涂敷液的表面沿Y方向变得平坦。同时，通过力(Fy1)沿着Y方向作用于涂敷液，使力(Fx1)起作用以使沿X方向的涂敷液的表面平坦化，分别从第一侧壁面(48a)和第二侧壁面(48b)作用于涂敷液的力被调节，以使从第二侧壁面(48b)作用于涂敷液的力相对减小。除了Y方向之外，涂敷液的表面沿着X方向也被平坦化。

Description

有机EL装置和光学装置

技术领域

本发明涉及例如使用喷墨法制造的有机EL显示装置等有机EL装置和滤色器等光学装置的技术领域。

背景技术

在这种有机EL装置中，就构成作为发光层的有机EL层的材料而言，使用了低分子的发光材料和高分子的发光材料。由低分子的发光材料构成的发光层可以通过以真空蒸镀法为代表的干式法形成。因此，难以以均匀的膜厚在大型基板上形成由低分子材料构成的发光层。由高分子的发光材料构成的发光层，是使用旋涂法等涂敷方法，在基板上涂敷涂敷液而形成，所述涂敷液通常通过将作为高分子材料的发光材料分散和溶解于溶剂中而得到。因此，难以通过分别涂敷含有发出各种颜色的光的发光材料来制造可以全色显示的全色显示器。

在这样的实际情况下，专利文献1提出如下的有机EL装置，即在使用喷墨法分别涂敷红色和绿色的有机EL材料之后，通过在发出红色和绿色光的有机层上和规定的区域蒸镀蓝色的发光材料，可以实现全色显示。另外，专利文献1提示了在使用大型基板制造的有机EL装置中，有应用专利文献1所公开的有机EL显示装置的可能性。

而且，在使用喷墨法形成发光层的情况下，在由用于相互隔开发光层的隔壁规定的区域，涂敷包含有机EL材料的液滴，随后，通过使液滴干燥，可形成平坦的发光层。此时，使溶剂从液滴气化时的液滴的行为，因液滴所含的有机EL材料和溶剂的种类、以及干燥条件而不同，所以，为了使发光层的亮度在像素内和整个基板内变得均匀，必须注意不要损坏干燥液滴而得到的发光层的平坦性。考虑到这样的注意点，专利文献2公开有为了抑制急剧的干燥而在原本不发挥像素区域功能的区域涂敷液滴的技术。

另外，专利文献3公开有如下的技术，所述技术是指，对形成有发光层的区域、即涂敷有包含有机EL材料的液滴的区域进行规定的隔壁的表面，实施粗面处理，由此，来改善隔壁表面的液滴的润湿性，使经过干燥工序形成的发光层变得平坦。

专利文献1：特开平10-153967号公报

专利文献2：特开2002-252083号公报

专利文献3：特开2002-148429号公报

这种有机EL装置中，在要求开口率进一步提高的前提下，优选涂敷有机EL材料而形成的发光部的平面形状与圆形相比为非圆形。更具体而言，为了进一步提高有机EL装置的开口率，将沿着一个方向延伸的具有各向异性的圆筒状平面形状的发光部排列成阵列状，与将平面形状为圆形的发光部排列成阵列状相比，可以进一步提高有机EL装置整体的开口率。

不过，其技术上存在着下述的问题点，即，为了形成这样的具有各向异性的平面形状的发光部，当对由隔壁围成的圆筒状的区域涂敷液滴时，从隔壁的侧壁面作用于所涂敷的液滴的力为各向异性，在干燥液滴时，从接触液滴的各侧壁面施加给液滴的力在各方向上不均匀，很难形成平坦的发光层。

当考虑到这样的技术问题时，通过专利文献1和2所公开的技术，难以形成具有足够均匀的膜厚的发光层。另外，根据专利文献3所公开的技术，只对隔壁的侧壁面实施粗面处理，难以在各方向间调节从对涂敷有液滴的各向异性区域进行规定的侧壁面作用于液滴的力，而使液滴的表面平坦，由此，难以经过干燥工序形成平坦的发光层。并且，当使用喷墨法在大型基板上的由隔壁所规定的多个像素分别形成发光层时，根据接近基板端部的区域和接近中央的区域各自之间的位置不同，使分别涂敷在这些区域的液滴均匀干燥，形成平坦的发光层，这伴随有制造工艺上的难度。

发明内容

由此，本发明正是鉴于上述问题点等而完成的发明，其目的在于，提供一种例如具有如下所述的平坦发光层的有机EL装置、与这样的有机EL装置一样使用喷墨法在各向异性区域涂敷含有光学材料的涂敷液而形成的滤色器等光学装置，所述发光层是使用喷墨法在圆筒形状等的各向异性区域涂敷包含有机EL材料的涂敷液后，经过干燥工序而形成的。

为了解决上述课题，本发明的第一发明所涉及的有机EL装置，具备：基板；隔壁部，其设置在上述基板上，对具有俯视为各向异性的形状的多个凹部进行规定；发光部，其通过在分别将包含有机EL材料的涂敷液个别涂敷在上述多个凹部之后，干燥涂敷在上述凹部的涂敷液而形成；排液机构，其形成在所述隔壁部，让涂敷在上述凹部的涂敷液的一部分从上述凹部逃逸，以使上述发光部的表面变得平坦。

通过本发明的第一发明所涉及的有机EL装置，隔壁部例如对个别设置在各像素的多个凹部分别进行规定。更为具体而言，隔壁部将发光层相互电分离，所述发光层通过将包含有机EL材料的涂敷液涂敷在多个凹部而形成。这样的发光部可以相互独立发光，例如分别在多个凹部涂敷分别含有发出红色、绿色和蓝色等各种颜色的光的有机EL材料的涂敷液，由此形成发光部，从而可显示全色的图像。

就发光部而言，例如在使用喷墨法等涂敷法将涂敷液分别涂敷在多个凹部之后，通过干燥涂敷在各凹部的涂敷液而形成。多个凹部具有俯视呈各向异性的平面形状，以便提高有机EL装置的开口率，例如具有由隔壁部规定的圆筒状的平面形状，以便在基板上的像素区域排列成阵列状。因此，通过形成在各凹部的发光部，与具有圆形等各向同性平面形状的发光部排列而成的有机EL装置相比，可以提高开口率。另外，本说明书中，在形成有发光部的各像素或各像素部，将可以发光的区域称为“开口区域”，且将开口区域以外的区域称为“非开口区域”，进而，将占各像素的整个区域(即开口区域和其以外的非开口区域)的开口区域的面积比例称为“开口率”，进行说明。

这里，就涂敷在凹部的涂敷液而言，因各向异性的各凹部的平面形状的影响，在涂敷液已涂敷到凹部的状态下或对涂敷在凹部的涂敷液进行干燥时，从对这些凹部进行规定的隔壁部的侧壁面受到的力也具有各向异性，其表面在这些各向异性力的作用下，成为具有从凹部的中心来看高度沿各方向不均匀的面。当在这样的状态下干燥已涂敷在凹部的涂敷液时，难以使发光部的表面变得平坦，形成在同一凹部的发光部的各部分中的膜厚也存在偏差。通过这样的发光部，在同一发光部流过的驱动电流根据膜厚不均而在发光部内的各部中各不相同，由此，在同一发光部内的各部会产生亮度不均。

因此，通过本发明的第一发明所涉及的有机EL装置，在干燥涂敷液之前，借助排液机构使涂敷液的一部分从凹部逃逸，由此从隔壁部向涂敷液施加力，以使涂敷在凹部的涂敷液的液面变得平坦。这样，通过从已平坦化的涂敷液的表面，例如使涂敷液所含的溶剂均匀气化，可以使最终形成的发光部的表面变得平坦。

由此，通过本发明的第一发明所涉及的有机EL装置，例如即使在使用喷墨法将含有发出红色、绿色和蓝色等各种颜色的光的有机EL材料分别涂敷在各凹部的情况下，也可以使发光部的表面变得平坦，由此，可降低由发光部内的膜厚偏差引起的亮度偏差，可以显示亮度不均得到降低的高品位的图像。

在本发明的第一发明所涉及的有机EL装置的一个实施方式中，上述排液机构可以设置成从上述隔壁部的侧壁面接触上述涂敷液。

通过该实施方式，从自上述隔壁部的侧壁面接触上述涂敷液的排液机构向涂敷液直接加力。更为具体而言，通过从排液机构直接向涂敷液加力，调节从凹部中心观察时沿各方向施加给涂敷液的力，可以在凹部内使涂敷液的表面平坦。

在本发明的第一发明所涉及的有机EL装置的一个实施方式中，上述侧壁面中沿着上述凹部的宽度方向延伸的第一侧壁面的面积，小于上述侧壁面中沿着上述凹部的长度方向延伸的第二侧壁面的面积，上述排液机构可以设置成从上述第一侧壁面接触上述涂敷液。

通过该实施方式，例如在凹部的平面形状为圆筒状的情况下，第一侧壁面沿着侧壁面中相对于长度方向较短的宽度方向延伸。当凹部的深度在凹部内一定时，第一侧壁面的面积与沿长度方向延伸的第二侧壁面的相比，相对较小。从这样的第一侧壁面和第二侧壁面施加给涂敷液的力，根据该涂敷液所接触的第一侧壁面和第二侧壁面的面积而沿着宽度方向和长度方向相互不同。更为具体而言，涂敷液接触第一侧壁面的接触面积与涂敷液接触第二侧壁面的接触面积相比相对较小，涂敷液从第一侧壁面沿着长度方向受到的力小于涂敷液从第二侧壁面沿宽度方向受到的力。

因此，在该实施方式中，设置成接触第一侧壁面的排液机构，使涂敷在凹部的涂敷液的一部分从第一侧壁面直接逃逸到凹部之外，调节从第一侧壁面和第二侧壁面施加给涂敷液的力，以使涂敷液的表面变得平坦。由此，通过直接干燥涂敷在凹部的涂敷液，可以形成平坦的发光部。

在该实施方式中，上述排液机构是以在上述第一侧壁面开口的方式沿着上述长度方向延伸到上述隔壁部内的孔部，上述涂敷液可以借助上述孔部从上述凹部逃逸。

根据该实施方式，借助孔部使涂敷液的一部分从第一侧壁面逃逸，由此，从第一侧壁面和第二侧壁面施加给涂敷液的力被调节，使得涂敷液的表面变得平坦。孔部沿着长度方向延伸到隔壁部内。涂敷液的一部分通过毛细管现象从孔部逃逸到凹部的外部。此时，通过涂敷液的一部分逃逸，沿着长度方向对残留在凹部的涂敷液施加力，例如，可以降低涂敷在凹部的涂敷液的表面在第一侧壁面的近旁向第一侧壁面凹陷。并且，通过增大涂敷液从第一侧壁面受到的力，可以相对减小涂敷液从第二侧壁面受到的力，在涂敷液的表面当中，能够使在第二侧壁面的附近朝向第二侧壁面上升的部分接近平坦。另外，就从孔部逃逸的涂敷液的量而言，可以在观察涂敷液的组成和使涂敷液干燥的涂敷液的行为的基础上，从实验、理论、模拟的角度设定孔部的尺寸，更为具体而言，只要设定从第一侧壁面至凹部的开口部分的尺寸、以及沿着长度方向延伸的孔部的长度即可。

在本发明的第一发明所涉及的有机EL装置的其他实施方式中，上述排液机构是以在上述第一侧壁面和上述隔壁部开口的方式沿着上述长度方向延伸的槽部，上述涂敷液可以借助上述槽部从上述凹部逃逸。

根据该实施方式，从第一侧壁面借助孔部使涂敷液的一部分逃逸，以使来自第一侧壁面和第二侧壁面的涂敷力均匀。槽部以沿着长度方向延伸的方式设置在隔壁部。涂敷液的一部分通过毛细管现象从槽部逃逸到凹部的外部。由此，例如可以降低涂敷在凹部的涂敷液的表面在第一侧壁面的附近向第一侧壁面凹陷。并且，通过增大涂敷液从第一侧壁面受到的力，可以相对减小涂敷液从第二侧壁面受到的力，由此，可以使涂敷液的表面在第二侧壁面附近向第二侧壁面上升的部分接近平坦。另外，就从槽部逃逸的涂敷液的量而言，可以在观察涂敷液的组成和使涂敷液干燥的涂敷液的行为的基础上，从实验、理论、模拟的角度设定孔部的尺寸，更为具体而言只要设定从第一侧壁面至凹部的开口部分的尺寸、以及沿着长度方向延伸的孔部的长度即可。

本发明的第二发明所涉及的有机EL装置为了解决上述课题，具备：基板；隔壁部，其设置在上述基板上，对具有俯视为各向异性的形状的多个凹部进行规定；多个发光部，其通过在分别将包含有机EL材料的涂敷液个别地涂敷在上述多个凹部之后，干燥涂敷在上述多个凹部的涂敷液而形成；和排液机构，其根据上述基板上的上述多个凹部各自被规定的位置，使相互不同量的涂敷液分别从上述多个凹部逃逸，由此使上述多个发光部各自的发光面平坦。

根据本发明的第二发明所涉及的有机EL装置，隔壁部例如对个别设置在各像素的多个凹部分别进行规定。更为具体而言，通过将包含有机EL材料的涂敷液涂敷在多个凹部而形成的发光层被相互电分离。各发光部可以相互独立发光，例如分别在多个凹部分别涂敷含有发出红色、绿色和蓝色等各种颜色的光的有机EL材料的涂敷液，来显示全色的图像。

就发光部而言，例如在使用喷墨法等涂敷法将涂敷液分别涂敷在多个凹部之后，通过干燥涂敷在各凹部的涂敷液而形成。多个凹部具有俯视呈各向异性的平面形状，用于提高有机EL装置的开口率，例如具有由隔壁部规定的圆筒状的平面形状，以便在基板上的像素区域排列成阵列状。因此，根据形成在各凹部的发光部，与排列具有圆形等各向同性平面形状的发光部而成的有机EL装置相比，可以提高开口率。

这里，就涂敷在凹部的涂敷液而言，因各向异性的各凹部的平面形状的影响，从对这些凹部进行规定的隔壁部的侧壁面受到的力也具有各向异性，其表面在这些各向异性力的作用下，成为具有从凹部的中心来看高度沿各方向不均匀的面。并且，根据基板上的多个凹部各自被规定的位置，涂敷在这些多个凹部的涂敷液的干燥速度会出现差异。更为具体而言，例如在接近基板边缘的区域被规定的凹部中，涂敷液容易干燥，在基板中央附近的区域被规定的凹部中，与接近边缘区域的凹部相比，涂敷液相对较难干燥。特别是在伴随有机EL装置的大型化的要求而在大型基板上被规定的多个凹部中，通过设置有各凹部的基板上的位置的不同，涂敷液的干燥速度的不同十分明显。由于这样的干燥速度的不同，形成在各凹部的发光部的平坦性出现差异，有时会产生亮度不均。

因此，通过本发明的第二发明所涉及的有机EL装置，为了使多个发光部各自的发光面平坦，借助排液机构并根据由基板上的多个凹部分别规定的位置，分别从多个凹部使相互不同量的涂敷液逃逸。

由此，可以使涂敷在各凹部的涂敷液的表面平坦。通过使这样的涂敷液干燥，可以分别使各发光部平坦，而且，可以降低各发光部的膜厚相互间出现偏差。更为具体而言，即使是使用大型基板而形成的有机EL装置，也可以降低在接近基板边缘的区域形成发光部和在基板的中央附近的区域形成的发光部之间产生的亮度不均，由此，可以显示高品位的图像。

在本发明的第二发明所涉及的有机EL装置的一个实施方式中，上述排液机构可以是以根据上述位置具有不同尺寸的方式，形成在上述隔壁部的多个孔部或槽部。

通过该实施方式，可以通过借助孔部或槽部的毛细管现象使涂敷液从凹部逃逸。另外，孔部或槽部的尺寸可以根据凹部各自的位置从实验、理论或模拟的角度进行设定，可以根据孔部或槽部的尺寸设定从各凹部逃逸的涂敷液的量，与此相伴，从隔壁部施加给涂敷液的力被调节，以使涂敷在各凹部的涂敷液的表面变平坦。

为了解决上述课题，本发明的第三发明所涉及的光学装置，具备：基板；隔壁部，其设置在上述基板上，对具有俯视为各向异性的形状的多个凹部进行规定；光学层，其通过在分别将含有光学材料的涂敷液个别地涂敷在上述多个凹部之后，干燥涂敷在上述凹部的涂敷液而形成；和排液机构，其形成在所述隔壁部，让涂敷在上述凹部的涂敷液的一部分从上述凹部逃逸，以使上述光学层的表面变得平坦。

根据本发明的第三发明所涉及的光学装置，与本发明的第一发明所涉及的有机EL装置相同，可以形成平坦的光学层，由此，可抑制由光学层内的膜厚不均引起的光学特性的降低。

为了解决上述课题，本发明的第四发明所涉及的光学装置，具备：基板；隔壁部，其设置在上述基板上，对具有俯视为各向异性的形状的多个凹部进行规定；多个光学层，其通过在分别将含有光学材料的涂敷液个别地涂敷在上述多个凹部之后，干燥涂敷在该多个凹部的涂敷液而形成；和排液机构，其根据上述基板上的上述多个凹部各自被规定的位置，使相互不同量的涂敷液分别从上述多个凹部逃逸，由此使上述多个光学层各自的表面平坦。

根据本发明的第四发明所涉及的光学装置，与本发明的第二发明所涉及的有机EL装置相同，可以分别使各光学层平坦化，而且可以降低各光学层的膜厚相互间出现偏差，由此，可确保在整个光学装置中具有均匀的光学特性。

本发明的这样的作用和其他优点可以从如下所说明的实施方式中得知。

附图说明

图1是表示第一实施方式的有机EL装置10的整体构成的框图。

图2是表示第一实施方式的有机EL装置10的概略构成的俯视图。

图3是图2的III-III’线剖视图。

图4是对从凹部62的底部延伸的有机EL层50的平面形状进行比较的俯视图。

图5是图4(b)的Va-Va’线剖视图和Vb-Vb’线剖视图。

图6是放大表示第一实施方式的有机EL装置10的像素部70的俯视图。

图7是图6的VIIa-VIIa’线剖视图和VIIb-VIIb’线剖视图。

图8是表示第一实施方式的有机EL装置的变形例的一个例子的俯视图。

图9是剖开显示第二实施方式的有机EL装置的变形例的其它例子的一部分的立体图。

图10是第二实施方式的有机EL装置300的俯视图。

图11是放大显示图10所示的像素部70a和70b的俯视图。

图12是具备本发明的有机EL装置而形成的电子设备的一个例子的立体图。

图13是具备本发明的有机EL装置而形成的电子设备的其它例子的立体图。

图中：10、100、200、300-有机EL装置，34-阳极，47-围堰部，51-有机EL层，62-凹部，70-像素部，90，91，93a、93b-孔部，92-槽部。

具体实施方式

下面，参照附图，详细说明本实施方式的有机EL装置和光学装置。

(第一实施方式)

首先，参照图1～图7，说明第一实施方式的有机EL装置。图1是表示本实施方式的有机EL装置10的整体构成的框图。

在图1中，有机EL装置10是采用驱动电路内置型的有源驱动方式进行驱动的显示装置，有机EL装置10所具有的各像素部70具备有机EL元件72。

在有机EL装置10的像素区域110，设置有纵横布线的数据线114和扫描线112，与它们的交点对应的各子像素部70R、70G和70B被排列成矩阵状，以这3个子像素部为一组构成一个像素部70。子像素部70R、70G、和70B，分别具有发出红色光的有机EL元件72R、发出绿色光的有机EL元件72G、和发出蓝色光的有机EL元件72B。并且，在像素区域110设置有与子像素部70R、70G和70B对应的电源供给线117，所述子像素部70R、70G和70B相对于各数据线114排列。

在位于像素区域110的周边的周边区域，设置有扫描线驱动电路130和数据线驱动电路150。扫描线驱动电路130依次向多条扫描线112提供扫描信号。数据线驱动电路150向布线在像素区域110的数据线114提供图像信号。另外，扫描线驱动电路130的动作和数据线驱动电路150的动作借助同步信号线160实现相互间的同步。用于驱动像素部的像素驱动用电源从外部电路被提供给电源供给线117。在图1中，如果着眼于一个像素部70，则在像素部70设置有有机EL元件72R、72G和72B，并且，例如还按照每个子像素部设置有使用TFT构成的开关用晶体管76和驱动用晶体管74、以及保持电容78。开关用晶体管76的栅电极与扫描线112电连接，开关用晶体管76的源电极与数据线114电连接，开关用晶体管76的漏电极与驱动用晶体管74的栅电极电连接。驱动用晶体管74的的漏电极与电源供给线117电连接，驱动用晶体管74的源电极与有机EL元件72的阳极电连接。另外，除了图1例示的像素电路的构成之外，还可以采用电流程序方式的像素电路、电压程序方式的像素电路、电压比较方式的像素电路、子帧方式的像素电路等各种方式的像素电路。

接着，参照图2和图3，说明有机EL装置10的具体构成。图2是表示有机EL装置10的概略构成的俯视图，图3是图2的III-III’线剖视图。

在图2中，有机EL装置10具备：基板1、像素部70、作为本发明的“隔壁部”一个例子的围堰部47、以及作为本发明的“排液机构”一个例子的孔部90、有机EL元件72。

像素部70在基板1上的像素区域110被配设成矩阵状。像素部70是将沿着图中横方向排列的3个子像素部70R、70G和70B作为一组而构成的，分别沿着像素区域110的图中纵向和横向排列。

围堰部47在各像素中对形成有这些有机EL元件72的凹部62进行规定，并延伸存在于基板1上的像素区域110整体。分别设置在子像素部70R、70G和70B的有机EL元件72R、72G和72B，从凹部62的底部延伸到基板1的上侧、即图中靠眼前一侧。孔部90设置在围堰部47中，其开口部分接触凹部62。形成有机EL层50的凹部62具有俯视呈细长的圆筒形状的平面形状，以便在像素区域110提高由最终在凹部62的底部形成的有机EL层50引起的开口率。有机EL元件72所具备的有机EL层借助未图示的阴极从凹部62的底部面向基板1。另外，孔部90的构成和功能将在后面详细说明。

在图3中，有机EL装置10具备：基板1、形成在基板1上的有机EL元件72、驱动用晶体管74、围堰部47和密封部20。另外，有机EL元件72是向图中下侧射出光的底部发射型有机EL元件，但即便是具备向图中上侧射出光的顶部发射型有机EL元件的有机EL装置，当然也可以应用本发明的发光装置。而且，围堰部47的下侧是不从有机EL层50射出光的非开口区域，有机EL层50的下侧是开口区域。

基板1例如是由玻璃基板等构成，有机EL元件72使向图中下侧射出的光透过。因此，图1所示的驱动用晶体管74和开关用晶体管76以避开基板1的有机EL元件72的下侧的区域的方式而形成。基板1不仅在基板1上形成有机EL元件72，还具备图1所示的扫描线驱动电路130和数据线驱动电路150等各种电路。这样的电路设置在基板1的像素区域110的周边区域。

有机EL元件72具备：作为本发明的“发光部”的一个例子的有机EL层50、阴极49和阳极34。

有机EL层50分别如后所示具备包括发光层的多个有机层，这些有机层是通过在由围堰部47包围的凹部62上个别涂敷包含有机EL材料的涂敷液而形成，所述围堰部47作为用于相互隔开多个有机EL层50的元件分离部而发挥功能。更为具体而言，有机EL层50，通过使用作为涂敷法的一个例子的喷墨法将形成各有机EL层50的油墨个别地涂敷在凹部62，随后在规定的干燥条件下干燥涂敷在凹部62的涂敷液而形成。有机EL层50的表面平坦，在其驱动时有驱动电流在各有机EL层50均匀流过，可以以均匀的亮度发光，另外，在本实施方式中，有机EL元件72具有由阳极34、有机EL层50和阴极49构成的3层结构，但空穴注入/输送层可以形成在阳极34和有机EL层50之间，电子注入/输送层可以形成在阴极49和有机EL层50之间。

围堰部47是由第一围堰部47a和第二围堰部47b构成，对形成有机EL层50的凹部62进行规定。第一围堰部47a是由SiO、SiO₂或TiO₂等无机材料构成的无机材料层，例如使用CVD(Chemical Vapor Deposition；化学蒸镀)法、涂敷法、溅射法等膜形成法形成在保护层45上。第二围堰部47b是由丙烯酸树脂、或聚酰亚胺树脂等有机材料构成的有机材料层，具有朝向图中上侧且头细的锥形。第二围堰部47b通过在第一围堰部47a上形成了有机材料层之后，使用光刻技术等图案形成该有机材料层而形成。就第二围堰部47b而言，形成为其底部沿着图中横向比第一围堰部47a小。

阴极49形成为覆盖第二围堰部47b的表面和有机EL层50的表面。阴极49是在形成于基板1上的各有机EL元件72中公用的公用电极，俯视观察，在基板1上作为在多个有机EL元件72之间物理连接的电极、或者一片连续的电极而延伸存在。阴极49例如含有从Al、Cu、Ag、Au中选择的至少一种材料而构成，使用真空蒸镀法等物理薄膜形成法将这些材料蒸镀到有机EL层50和围堰部47的各自的表面而形成。

阳极34以埋入到依次形成于基板1上的栅极绝缘层2、层间绝缘膜41、保护层45、和第一围堰部47a中的第一围堰部47a中的方式形成。阳极34例如是由ITO等透明材料形成的透明电极，以便使从有机EL层50射出的光向图中下侧透过。

驱动用晶体管74的源电极74s与图1所示的电源供给线117电连接，漏电极74d与阳极34电连接。驱动用晶体管74借助图1所示的数据线114并按照提供给栅电极3a的数据信号进行导通截止，将驱动电流提供给有机EL元件72。含有这样元件的电路以避开有机EL元件72的下侧的方式，设置成不遮蔽从有机EL元件72向基板1侧射出的光。另外，与驱动用晶体管74一样，图1所示的开关用晶体管76也形成在基板1上。

半导体层3例如是使用低温多晶硅技术形成的多晶硅层或非晶硅层。在半导体层3上，嵌入半导体层3形成有开关用晶体管76和驱动用晶体管74的栅极绝缘层2。驱动用晶体管74的栅电极3a和图1所示的扫描线112形成在栅极绝缘层2上。扫描线112的一部分作为开关用晶体管76的栅电极而形成。

埋入扫描线112或驱动用晶体管74的栅电极3a，在栅极绝缘层2上形成有图3所示的层间绝缘层41。层间绝缘层41和栅极绝缘层2例如由硅氧化膜构成。在层间绝缘层41上形成有例如分别由含有铝(Al)或ITO(Indium Tin Oxide)的导电材料构成的数据线114和电源供给线117，进而形成有驱动用晶体管74的源电极74s。在层间绝缘层41中形成有从层间绝缘层41的表面贯通层间绝缘层41和栅极绝缘层2、到达驱动用晶体管74的半导体层3的接触孔501和502。构成电源供给线117和漏电极74d的导电膜，连续形成为沿着接触孔501和502各自的内壁到达半导体层3的表面。在层间绝缘层41上，埋入电源供给线117和漏电极74d，作为保护层45例如形成有硅氮化膜(SiNx)或硅氧化膜(SiOx)。在保护层45上，形成有例如由硅氧化膜构成的第一围堰部47a，进而在第一围堰部47a上形成有第二围堰部47b。通过第一围堰部47a和第二围堰部47b，规定像素部中的有机EL层50的形成区域。

密封板20防止水分从有机EL装置10的外部浸入到有机EL层50中。更为具体而言，密封板20通过胶粘剂与基板1上粘接，密封有机EL元件72以使有机EL装置10的外气不接触有机EL元件72。将密封板20粘接在基板1上的胶粘剂含有热固化树脂或紫外线固化树脂，例如，使用分配器等涂敷机构将作为热固化树脂的一例的环氧树脂涂敷在密封板20的周缘部。

接着，参照图4～图7，对有机EL装置10所具备的孔部90的具体构成以及设置这样的孔部的发明人的着眼点进行说明。

图4是对从凹部62的底部延伸的有机EL层50的平面形状进行比较的俯视图。图4(a)是表示以往的有机EL层50的平面形状的俯视图，图4(b)是表示本实施方式的有机EL装置10所具备的有机EL层50的平面形状的俯视图。图5(a)和(b)是图4(b)的Va-Va’线剖视图和Vb-Vb’线剖视图。在图4(a)中，围堰部47’对涂敷有包含有机EL材料的涂敷液的凹部62’进行规定。凹部62’的平面形状为圆形。因此，在将包含有机EL材料的涂敷液涂敷在凹部62’时，沿着图中X方向和Y方向等各方向，相等的力F以拉伸涂敷液51’的方式从围堰部47’的侧壁面施加给涂敷在凹部62’的涂敷液51’。换言之，相对于涂敷在凹部62’的涂敷液51’，以俯视为各向同性的方式从围堰部47’的侧壁面施加力F。因此，在凹部62’为圆形的情况下，涂敷在凹部62’的涂敷液的表面被沿着各方向平坦化，以便最终使涂敷液干燥而成的有机EL层的表面变得平坦。

另一方面，如图4(b)所示，当凹部62的平面形状是具有沿着图中Y方向的长度方向的圆筒形状时，从第一侧壁面48a施加给涂敷液51的力Fy的大小与从第二侧壁面48b施加给涂敷液的力Fx的大小相互不同，所述第一侧壁面48a在对围堰47中的凹部62进行规定的侧壁面中沿着图中X方向横向延伸，所述第二侧壁面48b沿着长度方向延伸。更为具体而言，第一侧壁面48a接触涂敷液51的面积，与第二侧壁面48b接触涂敷液51的面积相比，相对较小，由此引起施加给涂敷液51的力Fx和Fy各不相同。通过这样的力Fx和Fy，如图5(a)所示，涂敷液51的表面沿着Y方向在凹部62的第一侧壁面48a附近下降，涂敷液51的中央部与接近第一侧壁面48a的一侧的部分相比上升。另外，如图5(b)所示，涂敷液51的表面的中央部与接近第一侧壁面48a的一侧的部分相比凹陷下去。由此，如图5(a)和(b)所示，通过干燥涂敷液51，难以使形成于凹部62的底部的有机EL层50的表面变得平坦。

因此，发明人着眼于涂敷在具有各向异性的平面形状的凹部62上的涂敷液51的表面，因为凹部62的平面形状而导致的力使得平坦性受损，如图6所示，在有机EL装置10中设置有孔90。图6是放大显示有机EL装置10的像素部70的俯视图。另外，由于图5所示的涂敷液的截面形状是一个例子，根据涂敷液含有的有机EL材料和溶剂的种类，凹部62内的涂敷液的截面形状可以采用各种形状，所以，例如存在着用Va-Va’线切开涂敷液的剖面形状以及用Va-Vb’线切开涂敷液的剖面形状相互交替的情况。即便在这样的情况下，通过使后述的孔部90等的形状最佳化，可以使涂敷在凹部62的涂敷液的表面变得平坦。

在图6中，孔部90从第一侧壁面48a在涂敷液51处开口，沿着图中Y方向延伸至围堰部47中。孔部90在将涂敷液51涂敷在凹部62时，使涂敷液51的一部分借助孔部90从凹部62逃逸。干燥前的涂敷液51，通过毛细管现象从孔部90被吸出到凹部62的外侧，即在围堰部47中延伸的孔部90。此时，相对于在凹部62中残留的涂敷液51，力Fy1沿着图中Y方向发挥作用，使得涂敷液51的表面沿着Y方向变得平坦。与此同时，通过力FY1沿着Y方向作用于涂敷液51，由此力Fx1发挥作用使得沿着X方向的涂敷液51的表面平坦化，调节从第一侧壁面48a和第二侧壁面48b分别作用于涂敷液51的力，以使从第一侧壁面48b作用于涂敷液51的力相对减小。由此，涂敷液51的表面不仅沿着Y方向平坦化，而且还沿着X方向平坦化。另外，从孔部90逃逸的涂敷液的量，可以在观察涂敷液的组成和使涂敷液干燥的涂敷液行为的基础上，从实验、理论、模拟的角度个别且具体地设定孔部90的尺寸，更为具体而言，设定从第一侧壁面48a至凹部62的开口部分的尺寸、以及沿着Y方向延伸的孔部90的长度即可。

如图7(a)和(b)所示，通过对沿着X方向和Y方向使涂敷液51的表面平坦化而形成的涂敷液52进行干燥，形成了在具有各向异性的平面形状的圆筒状凹部62的底部具有平坦表面的有机EL层50。

根据这样的有机EL层50，即使在使用喷墨法将含有发出红色、绿色和蓝色等各种颜色的光的有机EL材料的涂敷液，分别涂敷在各凹部62的情况下，也可以使有机EL层50的表面平坦化，由此，可以减少由有机EL层50内的膜厚偏差引起的亮度偏差，可以显示降低了亮度不均的高品位图像。

(变形例)

参照图8和图9，对本实施方式的有机EL装置的变形例进行说明。图8是表示本实施方式的有机EL装置的变形例的一个例子的俯视图，图9是剖开显示本实施方式的有机EL装置的变形例的其它例子的一部分的立体图。另外，在以下的各例和第二实施方式中，对与上述的有机EL装置共同的部分附加共同的参照符号，并省略共同部分的详细说明。

在图8中，本例的有机EL装置100以在第二侧壁面48b上开口的方式形成有孔部91，所述第二侧壁面48b沿着平面形状为圆筒状的凹部62的长度方向延伸。由于涂敷在凹部62的涂敷液的表面平坦性，因涂敷液中所含的有机EL材料和溶剂的特性而不同，所以，以在沿着凹部62的长度方向延伸的第二侧壁面48b开口的方式设置孔部91，与以在第一侧壁面48a开口的方式设置孔部的情况相比，有时更容易使涂敷液的表面平坦化。因此，不限于设置在第一侧壁面48a开口的孔部90的情况，可以像本例的有机EL装置100那样，以在第二侧壁面48b开口的方式设置孔部91，使涂敷液51的表面平坦化。由此，借助干燥工序可以形成具有平坦表面的有机EL层50。

在图9中，本例的有机EL装置200具备使涂敷液的一部分从凹部62逃逸的槽部92。槽部92沿着图中作为凹部62的长度方向的Y方向延伸存在，从第一侧壁面48a在凹部62中开口。通过槽部92，涂敷在凹部62的涂敷液的一部分通过毛细管现象从凹部62逃逸到槽部92，可以使涂敷液的表面平坦化。这样，通过干燥表面被平坦化的涂敷液，可以以从图中凹部62的底部面对上侧的方式形成具有平坦表面的有机EL层50。另外，就从槽部92逃逸涂敷液的量而言，在观察涂敷液的组成以及使涂敷液干燥的涂敷液行为的基础上，从实验、理论、模拟的角度个别且具体地设定槽部92的尺寸，更为具体而言，设定从第一侧壁面48a至凹部62的开口部分的尺寸、以及沿着长度方向延伸的槽部92的长度即可。另外，由于图3所示的驱动用晶体管74在形成于保护层45的下侧的层间绝缘膜41中以便避开有机EL层50的方式形成，所以在图9中没有图示。

(第二实施方式)

接着，参照图10和图11，说明本发明的第二发明所涉及的有机El装置的实施方式。图10是本实施方式的有机EL装置300的俯视图。

在图10中，有机EL装置300具备多个像素部70，所述多个像素部70具备使用喷墨法形成的有机EL层50。在构成像素区域的多个像素部70中，在沿着基板301上的边缘的区域所形成的像素部70b和基板301的中央附近所形成的像素部70a之间，涂敷在由围堰部47所规定的凹部62的涂敷液的干燥速度相互不同。更为具体而言，基板301越是大型尺寸的基板，越可以精细控制干燥条件，即便如此，与像素部70a相比，像素部70b中的涂敷液的干燥速度相对增快，难以在基板301上的各区域均匀维持涂敷液的干燥速度。

因此，如图11所示，就有机EL装置300而言，在位于接近基板301的边缘的区域的像素部70b和位于基板301的中央附近的像素部70a中，分别具备孔部93a和93b，所述孔部93a和93b在使涂敷液干燥之前，分别对应于各像素部70a和70b的位置使相互不同量的涂敷液从各凹部62逃逸。

图11是放大显示图10所示的像素部70a和70b的俯视图。

在图11(a)中，像素部70a以在凹部62的第一侧壁面48a开口的方式具备形成于围堰部47内的孔部93a。如图11(b)所示，像素部70b以在凹部62的第一侧壁面48a开口的方式具备形成于围堰部47内的孔部93b。如图11(a)和(b)所示，孔部93a和93b分别沿着图中Y方向，即具有圆筒状的平面形状的凹部62的长度方向，从第一侧壁面48a延伸到围堰部47内，孔部93a和93b的长度相互不同。更为具体而言，孔部93b的长度与孔部93a的长度相比相对较大。因此，像素部70b中，在涂敷液的干燥工序之前，涂敷在凹部62的涂敷液中借助孔部93b从凹部62逃逸的涂敷液的量，与在像素部70a中从凹部62逃逸的涂敷液的量相比更多。从像素部70a和70b逃逸的涂敷液的量分别由像素部70a和70b在基板301上的位置的不同、即涂敷在凹部62的涂敷液的干燥速度来决定。通过根据像素部70的位置改变从凹部62逃逸的涂敷液的量，可以减少由干燥时的涂敷液的行为、例如涂敷液的干燥速度引起的在有机EL层50的表面产生凹凸不平。由此，即使在使用喷墨法等涂敷法向各凹部62个别涂敷涂敷液的情况下，也可以在各像素部70形成具有平坦表面的有机EL层50。另外，在本实施方式中，将像素部70a所具备的孔部的尺寸设定成小于像素部70b所具备的孔部93b的尺寸，但可以根据在用于形成有机EL层50涂敷液中所含的有机EL材料和溶剂的特性、涂敷液的干燥条件、以及基板301的尺寸，个别且具体地使形成于各像素部70的孔部的尺寸最佳化。而且，也可以将孔部形成于在各像素部延伸的围堰部47，所述孔部以尺寸从基板301的中央附近向边缘顺序增大的方式形成。并且，也可以在隔壁部设置槽部来代替孔部，借助该槽部使不同量的涂敷液从各凹部逃逸。

如上述所说明的那样，根据第一实施方式的有机EL装置，即便在使用喷墨法将含有发出红色、绿色和蓝色等各种颜色的光的有机EL材料的涂敷液分别涂敷到各凹部的情况下，也可以提高开口率并使有机EL层的表面平坦化。由此，可以降低由有机EL层内的膜厚偏差引起的亮度偏差，可以显示降低了亮度不匀的高品位图像。另外，通过第二实施方式的有机EL装置，即使是使用大型基板形成的有机EL装置，也可以降低在接近基板边缘的区域形成的有机EL层、和形成于基板的中央附近的区域的有机EL层之间产生的亮度偏差，从而，可以显示高品位的图像。

另外，还可以将第一和第二实施方式的有机EL装置的结构应用于如下所述的滤色器，所述滤色器具备在由围堰部规定的区域使红色、绿色和蓝色等各种颜色透过的光学层而形成。这样的滤色器在使用喷墨法等涂敷法涂敷光学材料之后，借助设置在围堰部的孔部或槽部，可以使所涂敷的涂敷液的液面变得平坦。然后，通过干燥所涂敷的涂敷液，可以形成具有平坦表面的光学层，由此，可提供各光学层的光学特性一致的滤色器。

(电子设备)

接着，参照图12和图13，说明具备上述的有机EL装置而形成的各种电子设备。

<A：移动型计算机>

参照图12，对将上述的有机EL装置应用于移动型计算机的例子进行说明。图12是表示计算机1200的构成的立体图。

在图12中，计算机1200包括：具备键盘1202的主体部1204、和具有使用未图示的有机EL装置构成的显示部1005的显示单元1206。显示部1005因为具备平坦的有机EL层，所以，可以显示高品位的图像。而且，即使在将显示部1005的尺寸大型化的情况下，由于基板上的各像素部分别具备平坦的有机EL层，所以，可以显示大画面且高品位的图像。另外，通过在显示部1005所具备的多个有机EL显示器基板上形成发出红、绿、蓝三原色的光的有机EL元件，显示部1005可以以全色显示进行图像显示。

<B：便携式电话机>

进而，对于将上述的有机EL装置用于便携式电话机的例子，参照图13进行说明。图13是表示便携式电话机1300的构成的立体图。

在图13中，便携式电话机1300具备多个操作按钮1302，同时还包括具有作为本发明一个实施方式的有机EL装置的显示部1305。

由于显示部1305具备平坦的有机EL层，所以可以显示高品位的图像。另外，通过显示部1305所具备的多个有机EL元件发出红、绿、蓝三原色的光，由此显示部1305可以以全色显示进行图像显示。

另外，本发明并不限于上述的实施例，在不违反可从技术方案读取的发明要旨或思想的范围内能够进行适当变更，伴随这样变更的有机EL装置和光学装置也包括在本发明的技术范围内。

Claims

1.一种有机EL装置，具备：

基板；

隔壁部，其设置在所述基板上，对具有俯视为各向异性形状的多个凹部进行规定；

发光部，通过在分别将包含有机EL材料的涂敷液个别地涂敷在所述多个凹部之后，干燥涂敷在所述凹部的涂敷液而形成；和

排液机构，其形成在所述隔壁部，让涂敷在所述凹部的涂敷液的一部分从所述凹部逃逸，以使所述发光部的表面变得平坦。

2.如权利要求1所述的有机EL装置，其特征在于，

所述排液机构被设置成从所述隔壁部的侧壁面接触所述涂敷液。

3.如权利要求2所述的有机EL装置，其特征在于，

所述侧壁面中沿着所述凹部的宽度方向延伸的第一侧壁面的面积，小于所述侧壁面中沿着所述凹部的长度方向延伸的第二侧壁面的面积，

所述排液机构设置成从所述第一侧壁面接触所述涂敷液。

4.如权利要求3所述的有机EL装置，其特征在于，

所述排液机构是以在所述第一侧壁面开口的方式沿着所述长度方向向所述隔壁部内延伸的孔部，所述涂敷液经由所述孔部从所述凹部逃逸。

5.如权利要求3所述的有机EL装置，其特征在于，

所述排液机构是以在所述第一侧壁面和所述隔壁部上开口的方式沿着所述长度方向延伸的槽部，所述涂敷液经由所述槽部从所述凹部逃逸。

6.一种有机EL装置，具备：

基板；

多个发光部，通过在分别将包含有机EL材料的涂敷液个别涂敷在所述多个凹部之后，干燥涂敷在所述多个凹部的涂敷液而形成；和

排液机构，其根据所述基板上的所述多个凹部各自被规定的位置，使相互不同量的涂敷液分别从所述多个凹部逃逸，由此使所述多个发光部各自的表面平坦。

7.如权利要求6所述的有机EL装置，其特征在于，

所述排液机构是以根据所述位置具有不同尺寸的方式形成在所述隔壁部的多个孔部或槽部。

8.一种光学装置，具备：

基板；

光学层，通过在分别将含有光学材料的涂敷液个别地涂敷在所述多个凹部之后，干燥涂敷在所述凹部的涂敷液而形成；和

排液机构，其形成在所述隔壁部，让涂敷在所述凹部的涂敷液的一部分从所述凹部逃逸，以使所述光学层的表面变得平坦。

9.一种光学装置，具备：

基板；

多个光学层，通过在分别将含有光学材料的涂敷液个别地涂敷在所述多个凹部之后，干燥涂敷在所述多个凹部的涂敷液而形成；和

排液机构，其根据所述基板上的所述多个凹部各自被规定的位置，使相互不同量的涂敷液分别从所述多个凹部逃逸，由此使所述多个光学层各自的表面平坦。