CN1932432B - 光波干涉装置 - Google Patents

光波干涉装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1932432B
CN1932432B CN2006101536596A CN200610153659A CN1932432B CN 1932432 B CN1932432 B CN 1932432B CN 2006101536596 A CN2006101536596 A CN 2006101536596A CN 200610153659 A CN200610153659 A CN 200610153659A CN 1932432 B CN1932432 B CN 1932432B
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
detected
light
measurement
optical axis
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2006101536596A
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
CN1932432A (zh
Inventor
植木伸明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujinon Corp
Original Assignee
Fujinon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujinon Corp filed Critical Fujinon Corp
Publication of CN1932432A publication Critical patent/CN1932432A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1932432B publication Critical patent/CN1932432B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
CN2006101536596A 2005-09-15 2006-09-12 光波干涉装置 Expired - Fee Related CN1932432B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-269217 2005-09-15
JP2005269217A JP4738949B2 (ja) 2005-09-15 2005-09-15 光波干渉装置
JP2005269217 2005-09-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1932432A CN1932432A (zh) 2007-03-21
CN1932432B true CN1932432B (zh) 2010-09-15

Family

ID=37878386

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006101536596A Expired - Fee Related CN1932432B (zh) 2005-09-15 2006-09-12 光波干涉装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP4738949B2 (enExample)
CN (1) CN1932432B (enExample)
TW (1) TW200712444A (enExample)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4947774B2 (ja) * 2006-08-18 2012-06-06 富士フイルム株式会社 光波干渉測定装置および光波干渉測定方法
JP2009008594A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Konica Minolta Opto Inc 光学素子ユニット及び干渉計
JP2009145081A (ja) * 2007-12-11 2009-07-02 Fujinon Corp 回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置
JP5025501B2 (ja) * 2008-01-17 2012-09-12 オリンパス株式会社 光学素子保持機構および光学素子測定装置
JP2009236694A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Konica Minolta Opto Inc レンズ測定装置、レンズ測定方法、及びレンズ生産方法
JP5044495B2 (ja) * 2008-07-17 2012-10-10 富士フイルム株式会社 平行平板の厚み測定方法
JP5095539B2 (ja) * 2008-07-17 2012-12-12 富士フイルム株式会社 収差測定誤差補正方法
JP5235591B2 (ja) * 2008-10-10 2013-07-10 富士フイルム株式会社 複屈折性光学素子の透過波面測定方法
JP5208075B2 (ja) * 2008-10-20 2013-06-12 富士フイルム株式会社 光波干渉測定装置
JP4573252B2 (ja) * 2008-11-06 2010-11-04 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 アライメントシステム、アライメントシステムの制御方法、プログラム及び測定装置
JP5473743B2 (ja) * 2010-04-20 2014-04-16 富士フイルム株式会社 軸外透過波面測定装置
JP5525367B2 (ja) * 2010-07-28 2014-06-18 Ｈｏｙａ株式会社 レンズ位置調整機構
WO2016157344A1 (ja) * 2015-03-27 2016-10-06 オリンパス株式会社 波面計測装置及び波面計測方法
CN114323582A (zh) * 2021-12-22 2022-04-12 光皓光学(江苏)有限公司 一种带平台透镜的波前测试方法及装置
CN119714129A (zh) * 2024-12-12 2025-03-28 丹阳丹耀光学股份有限公司 一种用于光学组件四基准检测透射偏心的方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1609547A (zh) * 2003-10-24 2005-04-27 富士能株式会社 干涉仪装置的被检透镜载置台

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61195328A (ja) * 1985-02-26 1986-08-29 Asahi Optical Co Ltd 半球レンズを用いた干渉計
JPS63163137A (ja) * 1986-12-25 1988-07-06 Hitachi Electronics Eng Co Ltd レンズ表面欠陥検査装置
JPH07167630A (ja) * 1993-10-14 1995-07-04 Asahi Optical Co Ltd 干渉測定装置および干渉測定方法
JP3758279B2 (ja) * 1997-03-06 2006-03-22 ソニー株式会社 光学ピックアップ用対物レンズの調整方法及び調整装置
JP2003066300A (ja) * 2001-08-29 2003-03-05 Sony Corp 対物レンズ製造装置及び対物レンズ製造方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1609547A (zh) * 2003-10-24 2005-04-27 富士能株式会社 干涉仪装置的被检透镜载置台

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2004-340693A 2004.12.02
JP特开平7-83609A 1995.03.28

Also Published As

Publication number Publication date
TW200712444A (en) 2007-04-01
JP4738949B2 (ja) 2011-08-03
CN1932432A (zh) 2007-03-21
JP2007078593A (ja) 2007-03-29
TWI292033B (enExample) 2008-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1932432B (zh) 光波干涉装置
JP4947774B2 (ja) 光波干渉測定装置および光波干渉測定方法
TW200907318A (en) Eccentricity amount measuring device
KR101808388B1 (ko) 프로브 장치 및 프로브 방법
CN1168971C (zh) 双折射测定方法及其装置
EP2549222B1 (en) Use of an abscissa calibration jig, abscissa calibration method and laser interference measuring apparatus
JP3206984B2 (ja) レンズ総合検査機
KR20110065365A (ko) 비구면체 측정 방법 및 장치
JP2016211933A (ja) 面形状計測装置、面形状計測方法、及び加工装置、並びにそれによって加工された光学素子
JP4573252B2 (ja) アライメントシステム、アライメントシステムの制御方法、プログラム及び測定装置
JP2002062220A (ja) 走査光学系の検査方法及び検査装置
JP5325481B2 (ja) 光学素子の測定方法及び光学素子の製造方法
KR100820220B1 (ko) 광파 간섭장치
JP2008304200A (ja) 偏芯測定用ヘッドの高さ位置調整方法
JP2001174217A (ja) 光学検査装置のアライメント方法およびその機構
JP3167870B2 (ja) 非球面レンズの偏心測定装置およびその偏心測定方法
JPH1194700A (ja) レンズの測定装置及び測定方法
JP2016142691A (ja) 形状計測方法、及び形状計測装置
JP5044495B2 (ja) 平行平板の厚み測定方法
JP5095539B2 (ja) 収差測定誤差補正方法
JP3118989B2 (ja) 干渉計装置
JPH11211611A (ja) 偏心測定装置
JP2005083981A (ja) 非球面偏心測定装置と非球面偏心測定方法
JP4760012B2 (ja) レンズ偏芯量測定方法と装置
JP2006090950A (ja) 被検面傾斜測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100915

Termination date: 20210912