JP5044495B2 - 平行平板の厚み測定方法 - Google Patents
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Description
コンピュータシミュレーションにおいて仮想的にまたは前記干渉計において実際に、前記レンズと前記ヌル光学素子との間に前記平行平板と同一の材料からなる、厚みが既知の模擬平行平板が配置された状態を構成し、該レンズおよび該模擬平行平板を透過してなる模擬透過波面の球面収差を測定する模擬透過波面測定を、該模擬平行平板の厚みを変化させる毎に複数回行い、該模擬平行平板の厚みと該模擬透過波面の球面収差の測定値との対応関係を求める対応関係特定ステップと、
前記干渉計において実際に、前記レンズと前記ヌル光学素子との間に前記平行平板を配置し、該レンズおよび該平行平板を透過してなる被検透過波面の球面収差を測定する球面収差実測ステップと、
前記対応関係特定ステップにおいて得られた前記対応関係と、前記球面収差実測ステップにおいて得られた前記被検透過波面の球面収差の測定値とに基づき、前記平行平板の厚みを算定する平行平板厚み算定ステップと、をこの順に行うことを特徴とする。
前記平行平板は、前記干渉計において前記光記録媒体の保護層に対応させて配置される補正板である、とすることができる。
2 レンズ部
3 フランジ部
3A フランジ下面
4 基準板
5 レンズ搭載治具
6 補正板
7 基準球面反射鏡(ヌル光学素子)
8 シャッター装置
8A 遮光板
8B 駆動部
5A 中央窓
5B 張出面反射光用窓
5C 補正板反射光用窓
5D 張出面受け領域
11 手動2軸チルトステージ(基準板調整用)
12 手動2軸チルトステージ(補正板調整用)
13 電動2軸チルトステージ
14 電動Y軸ステージ
15 電動X軸ステージ
16 電動Z軸ステージ
20 干渉計本体部
21 光源
22 ビーム径拡大用レンズ
23 ビームスプリッタ
24 コリメータレンズ
25 結像レンズ
26 撮像手段
27 解析制御装置
28 モニタ装置
29 入力装置
30 被検体ポジショニング部
31 対応関係記憶部
32 透過波面収差解析部
33 厚み算定部
L 測定光軸
Claims (2)
- 測定位置に配置されたレンズに測定光を照射し、該レンズを透過した波面をヌル光学素子を介して折り返し、再び該レンズを透過した透過波面を参照波面と干渉せしめて得られる干渉縞画像に基づき、該透過波面の球面収差を測定する透過波面測定用の干渉計において、前記レンズと前記ヌル光学素子との間に配置された透明な平行平板の厚みを測定する方法であって、
コンピュータシミュレーションにおいて仮想的にまたは前記干渉計において実際に、前記レンズと前記ヌル光学素子との間に前記平行平板と同一の材料からなる、厚みが既知の模擬平行平板が配置された状態を構成し、該レンズおよび該模擬平行平板を透過してなる模擬透過波面の球面収差を測定する模擬透過波面測定を、該模擬平行平板の厚みを変化させる毎に複数回行い、該模擬平行平板の厚みと該模擬透過波面の球面収差の測定値との対応関係を求める対応関係特定ステップと、
前記干渉計において実際に、前記レンズと前記ヌル光学素子との間に前記平行平板を配置し、該レンズおよび該平行平板を透過してなる被検透過波面の球面収差を測定する球面収差実測ステップと、
前記対応関係特定ステップにおいて得られた前記対応関係と、前記球面収差実測ステップにおいて得られた前記被検透過波面の球面収差の測定値とに基づき、前記平行平板の厚みを算定する平行平板厚み算定ステップと、をこの順に行うことを特徴とする平行平板の厚み測定方法。 - 前記レンズは、光記録媒体への信号記録用および/または該光記録媒体の信号再生用の光ピックアップレンズあり、
前記平行平板は、前記干渉計において前記光記録媒体の保護層に対応させて配置される補正板である、ことを特徴とする請求項1記載の平行平板の厚み測定方法。
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