CN1892080A - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

有阀体的真空阀，该阀体有内腔和围住主通流路径的主阀座，穿过内腔在真空阀入口和出口间有主通流路径；有主闭锁构件，其可在阀体内腔里在从阀座上抬起的开启位置和紧靠在主阀座上的关闭位置之间调整，在开启位置主通流路径由真空阀开通，在关闭位置由真空阀使主通流路径关闭，该主闭锁构件有附加通流路径穿过的内腔和围住附加通流路径的附加阀座；有附加闭锁构件，其可在主闭锁构件的内腔里在从附加阀座抬起的开启位置和紧贴附加阀座的关闭位置间调整，在开启位置附加通流路径由真空阀开通，在关闭位置由真空阀使附加通流路径关闭，附加通流路径经过在主闭锁构件和附加闭锁构件间可变的中间腔，其大小可通过相对于主闭锁构件转动附加闭锁构件改变。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，其包括一个阀体，所述阀体具有一个内部空腔和一个围住主通流路径的主阀座，穿过所述内部空腔在真空阀的入口和出口之间引导一个主通流路径；所述真空阀还包括一个主闭锁构件，它在阀体内部空腔里可以在一个从主阀座上提起的开启位置和一个紧靠在主阀座上的关闭位置之间进行调整，在该开启位置上主通流路径通过真空阀而开通，而在关闭位置上则通过真空阀使主通流路径关闭，而且该主闭锁构件具有一个被附加通流路径穿过的内部空腔和一个围住附加通流路径的附加阀座；所述真空阀还包括一个附加闭锁构件，它在主闭锁构件的内部空腔里可以在一个从附加阀座上提起的开启位置和一个紧靠在附加阀座上的关闭位置之间进行调整，在该开启位置上附加通流道通过真空阀而开通，而在关闭位置上通过真空阀使附加通流道关闭。
背景技术
开头所述类型的这种真空阀是已知的并且也称为“双通道”阀、“软起动”阀或者“软泵送”阀。
一种这样的真空阀例如由美国专利Nr.5,172,722公开。附加通流路径的开口横截面或者说流导值这里可以进行调整，其方法是通过将附加闭锁构件从附加阀座上抬起到一个希望的值来调整。对开口横截面或者流导值大小的设定的校准这里是困难的。
另一种这样的真空阀由美国专利Nr.US 6,814,338 B2公开，在该阀中可以通过将附加闭锁构件从附加阀座上抬起到一个希望的值来调整。
另一种“软起动”真空阀已经由美国专利Nr.6,289,932式B1公开。主通流路径的开通和附加通流路径的开通这里按如下方法进行：操纵活塞从一个中间位置出发或者在一个方向上或者在另一个方向上推动阀杆。
也已知“软起动”阀，其中附加通流道的开孔横截面或者流导值通过调整一个遮挡孔而进行调整。
在其它类型的真空阀中可以通过只设有一个单个的闭锁构件使真空阀达到一种具有小的流导值的状态，所述单个的闭锁构件具有一个锥形突出部分，其中当闭锁构件从阀座上较小抬起时，那么阀体和闭锁构件之间的间隙就相对较小。这样的真空阀例如已经由公开的美国专利US 2003/0197141 A1和US 2004/0 232 369 A1得知。
发明内容
本发明的一个重要任务是提出一种开头所述类型的真空阀，在该真空阀中可以使附加通流道的开孔横截面或者流导值方便地进行调整。
本发明的另一个任务是提出一种开头所述类型的真空阀，在这种真空阀中可以使附加通流路径的流导值以规定的和可重复的方式调整到不同的值。
本发明的另一个任务是提出一种开头所述类型的真空阀，在这种真空阀中可以将附加通流道的流导值调整到预先规定的绝对值。
本发明的另一个任务是提出一种开头所述类型的真空阀，其制造和运行都是成本经济的。
一种按照本发明的真空阀包括一个阀体，所述阀体具有一个内部空腔和一个围住主通流路径的主阀座，穿过所述中间空腔在真空阀的入口和出口之间是一个主通流路径；所述真空阀还包括一个主闭锁构件，它在阀体的内部空腔里可以在一个从主阀座上抬起的开启位置和一个紧贴着主阀座的关闭位置之间进行调整，在开启位置上主通流路径通过真空阀而开通，而在关闭位置上则通过真空阀使主通流路径关闭，而且该主闭锁构件具有一个被附加通流路径穿过的内部空腔和一个围住附加通流路径的附加阀座；所述真空阀还包括一个附加闭锁构件，它在主闭锁构件的内部空腔里可以在一个从附加阀座上抬起的开启位置和一个紧贴住附加阀座的关闭位置之间进行调整，在开启位置上附加通流路径通过真空阀而开通，而在关闭位置上则通过真空阀使附加通流路径关闭；其中附加通流路径经过一个在主闭锁构件和附加闭锁构件之间可以变化的中间腔，而且中间腔的大小可以通过相对于主闭锁构件使附加闭锁构件围绕一个转动轴线转动而改变。
附加通流路径的流导值因此可以以简单的方式通过相对于主闭锁构件来转动附加闭锁构件而改变。若对于附加闭锁构件相对于主闭锁构件的转动位置设有一个标记和/或一个定位机构，那就可以可重现地设定附加通流路径的流导值。这种设定也可以与附加通流路径流导值的规定的绝对值联系起来。
在本发明的一种有利的实施方式中主闭锁构件不可转动地布置在阀体里，并且为了调整附加通流路径的流导值使附加闭锁构件转动。更为有利地可以使附加闭锁构件的这种转动通过一个阀杆的转动来实现，附加闭锁构件设置于该阀杆上，其中该阀杆的纵轴线构成了附加闭锁构件转动的转动轴线。附加闭锁构件这里有一个部段，它具有圆柱体形状，该圆柱体带有一个布置于外表面上的布置于圆柱体的圆周方向上的凹槽，其中凹槽的深度从一个最小的起始值一直至一个最大的终止值而改变。附加闭锁构件的这个部段的外壁限制住了在主闭锁构件和附加闭锁构件之间的可以变化的中间腔。
本发明的其它优点和细节以下根据附图中所示的实施例加以说明，由此也得出本发明的其它任务。
附图说明
附图所示为：
图1：一种按照本发明的真空阀的斜视图；
图2：图1所示真空阀的纵向剖视图，(图5的剖切线B-B)其中主闭锁构件和附加闭锁构件位于它们的关闭位置上；
图3：对应于图2的纵向剖视图，其中主闭锁构件在其关闭位置上，而附加闭锁构件在其开启位置上；
图4：对应于图2的纵向剖视图，其中主闭锁构件和附加闭锁构件位于它们的开启位置上；
图5：沿图2中A-A线的横截面；
图6和7：阀杆连同装在阀杆上的附加闭锁构件在不同转动位置时的斜视图；
图8：图2中C向的真空阀的俯视图，去掉了缸盖；
图9：沿图8中D-D线一个剖视图。
具体实施方式
附图所示的按照本发明的真空阀具有一个阀体(或者说阀壳)1，它有一个入口(或者入口孔)2和一个出口(或者出口孔)3。在所示的本发明实施例中真空阀是一种角形阀，也就是说入口2和出口3的轴线相互成直角。
阀体1具有一个内部空腔4，入口2和出口3都通入其中。在该内部空腔4里设有一个主闭锁构件5，它可以在一个于图2和图3中所示的关闭位置和一个图4中所示的开启位置之间并且反过来进行调整。调整方向在图2中用箭头21表示。
在主闭锁构件5的开启位置上该构件开通一个主通流路径用于在入口2和出口3之间的气体。该主通流路径通过阀体1的内部空腔4。气体也可以在相反方向上流过阀，因此附图中称为入口2的开孔形成出口，而附图中称为出口3的开孔则形成入口。
主阀座6由阀体1的一段限制住内部空腔4的内壁构成，它包围住主通流路径。在关闭位置上主闭锁构件5用一个前端面贴靠在主阀座6上，其中主闭锁构件5相对于阀体1密封。在所示的实施例中为此在主闭锁构件5上设置一个最好弹性的密封圈7，它贴靠在主阀座6的一个密封面上。也可以考虑并且也可以将密封圈7装在主阀座6上，而在主闭锁构件5上设有密封面。
被主阀座6包围的主通流路径部段也可以称为真空阀的主阀孔。
在主闭锁构件5关闭位置时靠在主阀座6上的主闭锁构件5的密封部位在所示实施例中由密封圈7构成，但也可以由一个密封面构成，该密封面贴在一个装在主阀座6上的密封圈上，该密封部位位于一个更靠近在入口2处的主闭锁构件5的外表面的入口侧部位8和一个更靠近在出口3处的主闭锁构件5的外表面的出口侧部位9之间。
主闭锁构件5具有一个内部空腔10。在该空腔里设有一个附加闭锁构件11，它可以在一个图2所示的关闭位置和一个图3所示的开启位置之间并且反过来进行调整(在图4所示的真空阀的状态下附加闭锁构件11同样也处于其开启位置)。附加闭锁构件11的调整方向在所示实施例中平行于主闭锁构件5的调整方向21。
在其开启位置上附加闭锁构件11开通了一个用于气体的附加通流路径。该附加通流路径从阀体1的入口2经过一段接着该入口的阀体1的内部空腔4经过主闭锁构件5里的入口孔12进入主闭锁构件5的内部空腔10里，经过主闭锁构件5的一个出口孔13从主闭锁构件5的内部空腔10进入阀体1的内部空腔4并经过该阀体从阀体1通向出口3。气体可以如上所述在相反方向上流过阀，因此附加通流路径在如上所述相反方向上引导。在附图中称为入口孔12的开孔则是出口孔，而在图中所示称为出口孔13的开孔则是入口孔。
主闭锁构件5具有一个附加阀座14，它包围住附加通流路径。附加阀座14由主闭锁构件5的一段限制住内部空腔10的内壁构成。
在其关闭位置上附加闭锁构件11用一个前端面贴靠在主闭锁构件5的附加闭座14上，其中它相对于主闭锁构件5密封。为此在所示实施例中在附加闭锁构件11上设有一个最好是弹性的密封圈15，它贴靠在附加阀座14的一个密封面上。也可以考虑并且可以使密封圈15设置在附加阀座14上，而附加闭锁构件11在其关闭位置上用一个密封面贴在该密封圈上。
也可以这样说：被附加阀座14包围的附加通流路径部段构成了一个附加阀孔，它可以被附加闭锁构件11关闭住。这个附加阀孔在所示的实施例中靠近在主闭锁构件5的入口孔12处。
在所示实施例中主闭锁构件5包括一个基础部件16和一个与基础部件16借助于螺纹件18连接起来的板状部件17。部件16，17通过一个置于它们之间的密封圈19相互密封。在板状件17里设有入口孔12而且该板状件17构成了附加阀座14。
进入主闭锁构件5内部空腔10里的入口孔12布置在主闭锁构件5的外表面的入口侧部位8里，而从主闭锁构件5内部空腔10里出来的出口孔13则布置在主闭锁构件5的外表面的出口侧部位9里。
附加闭锁构件11借助于一个密封圈20相对于限制住主闭锁构件5的内部空腔10的内壁密封，其中附加闭锁构件11在内部空腔10里可以在其关闭位置和其开启位置之间相对于主闭锁构件5的内壁密封地移动。密封圈20相对于主闭锁构件5和附加闭锁构件11的调整方向21来说离开入口孔12比出口孔13更远。
附加闭锁构件11设置于一个阀杆22上并与该阀杆不可相对转动地连接。阀杆22在一个缸筒23里可以移动地支承，该缸筒23与阀体1刚性连接，其中阀杆22穿过密封的滑动部位伸入到阀体1里。滑动部位的密封借助于一个弹性密封圈24实现，该密封圈布置在缸筒的滑动部位通孔里并贴靠在阀杆22的外表面上。
在所示实施例中缸筒23与向着缸筒23打开的阀体1的内部空腔4密封。为此在缸筒23和阀体1之间设有一个弹性密封圈。缸筒23具有一个可取下的缸筒盖40。
阀杆22在阀体1的内部空腔4部位里被一个折叠套管或波纹管形状的套管25包围，套管25用其一端紧密连接于阀体1，用其另一端紧密连接于主闭锁构件5。在图2至4和图9中套管25只在其纵向长度的一个部分上画出，而在其余长度上只示意表示出。
阀杆22作用在附加闭锁构件11的背离前端面的背面上。主闭锁构件5的内部空腔10的这个部位借助于密封圈20相对于内部空腔10的部位密封，附加闭锁构件11的背面就位于该部位里，附加通流路径穿过该部位。
阀杆22在其纵轴线26方向上可以由一个操纵机构27来调整，纵轴线26平行于主闭锁构件5和附加闭锁构件11的调整方向21。操纵机构27在一个图2所示的前端位置、一个规定的中间位置(见图3)和一个图4所示的后端位置之间调整阀杆22，在前端位置上主闭锁构件5和附加闭锁构件11位于其关闭位置；在中间位置上主闭锁构件5在其关闭位置上而附加闭锁构件11在其开启位置上；在后端位置上主闭锁构件5和附加闭锁构件11在其开启位置上。中间位置位于前端位置和后端位置之间的一个规定位置上。
操纵机构27包括一个主操纵活塞28，它布置在缸筒23的一个主缸筒腔29里并可以在一个图2所示的前端位置和一个图4所示的后端位置之间调整，在后端位置上阀杆22就止挡在缸筒盖40上。主操纵活塞28与阀杆22在其纵轴线方向上可以移动地连接。为此在阀杆22上设有夹紧环30，31，主操纵活塞28和另一个下面还要说明的定位板32都布置在夹紧环之间。
阀杆22可以相对于主操纵活塞28围绕其纵轴线26转动。为使阀杆22和主操纵活塞28之间实现密封设有一个弹性密封圈33。
操纵机构27还包括有一个附加操纵活塞37，它布置在一个附加缸筒腔35里并且可以在一个图2所示的前端位置和一个图3和4所示的后端位置之间滑动。附加操纵活塞34此处可以相对于阀杆22在其纵轴线26方向上移动，其中密封圈36用于在阀杆22和附加操纵活塞34之间实现密封。在后端位置上附加操纵活塞34碰到缸筒23的一个挡块55上，该挡块由一个装入缸筒23里的夹紧环构成。
附加操纵活塞34具有一个套筒状的在向着主操纵活塞28方向上突出的突出部分37。当主操纵活塞28位于其前端位置上而附加操纵活塞34从其前端位置出发在其后端位置方向上移动时，那么突出部分37就推压主操纵活塞28在其后端方向上一个相应距离，其中使阀杆22相应地一起带动。阀杆22位于其中间位置上，在该位置上附加操纵活塞34位于其后端位置而且突出部分37靠在主操纵活塞28上(见图3)。若主操纵活塞28位于其前端位置(图2)，则阀杆位于其前端位置上。若主操纵活塞28位于其后端位置上(图4)，那么阀杆22位于其后端位置上。
也可以在主操纵活塞28上设有一个突出部分来代替布置于附加操纵活塞34上的突出部分37，所设突出部分在向附加操纵活塞34的方向上伸出。
主闭锁构件5和附加闭锁构件11借助于弹簧38，39预紧在其关闭位置上。主关闭弹簧38布置在阀体1或者与阀体1刚性连接的缸筒23和主闭锁构件5之间。也可以考虑和可以布置在缸筒盖40和主操纵活塞28之间。附加关闭弹簧39布置在主闭锁构件5和附加闭锁构件11之间。由主关闭弹簧38施加于主闭锁构件5的关闭力大于由附加关闭弹簧39施加于附加闭锁构件11上的关闭力。
压力介质，最好是压缩空气用来使附加操纵活塞34和主操纵活塞28移动到它们的后端位置上，压力介质空气进入在相应活塞28，34的指向阀体1的那个面上的相应缸筒腔29，35里。用于输入压力介质的管路或者孔在附图中为了简化起见没有表示出来。用于控制压力介质的只是图1所示的控制阀41，42。
当阀杆22从其前端位置出发借助于附加操纵活塞34移动至其图3所示的中间位置时，由于附加关闭弹簧39的关闭力较小首先是附加闭锁构件11从附加阀座14上抬起并使附加通流路径开通。当在其后端位置方向上继续调整阀杆22时，附加闭锁构件11就碰上主闭锁构件5的挡块54。因此通过阀杆在其后端位置方向上继续滑移就使主闭锁构件5从主阀座6上抬起，直至达到其开启位置(见图4)。
阀杆22如上所述至少在一个规定的角度范围上可以围绕其纵轴线26转动。在围绕阀杆纵轴线26转动阀杆22时附加闭锁构件11相应地相对于主闭锁构件5转动，也就是说围绕阀杆22的纵轴线26作为转动轴线。这里使主闭锁构件5和附加闭锁构件11之间的可变的中间腔43(见图3和5)的大小发生变化，附加通流路径经过该中间腔。该中间腔43位于限制住主闭锁构件5的内部空腔10的主闭锁构件5的内壁的一个部段44和附加闭锁构件11的一个部段46的外壁45之间。如图5可见，外壁45和转动轴线47之间的距离在附加闭锁构件11的圆周方向上，至少在附加闭锁构件11的整个圆周的一个部分上发生变化。这里间距a从一个最大的开始值连续地降低到一个最小的终值。
换句话说，附加闭锁构件11的部段46具有一种圆柱体的形状，该圆柱体有一个在圆柱的圆周方向上设置在其外壁里的凹槽，其深度在圆周方向上有变化。凹槽最好只是在整个圆周的一个部分上，正如由图5至7所见那样。
根据附加闭锁构件11的部段46的外壁45的哪个部分与主闭锁构件5的内壁的部段44对置，附加通流路径的流导值(或者说孔横截面)大小是不同的。
在所示的实施例中设有一个定位机构用于对附加通流路径的流导值进行分段式的可重现的调整。这种定位机构包括与阀杆22不可相对转动地连接的定位板32。定位板32具有一个设于一个假想的圆周线上的孔系如由图8可见的那样。位于主操纵活塞28里的球座圈49与该孔系的孔48共同作用。定位板32还具有一个部分圆形的导向孔53，在该孔里伸入一个设于主操纵活塞28上的止动螺纹件50。因此就限制了定位板32相对于主操纵活塞28的转动。
主操纵活塞28在主缸筒腔29里围绕阀杆22的纵轴线26不可转动地支承。为此该主操纵活塞在所示实施例中具有一个与圆形不同的外轮廓51，该外轮廓与主缸筒腔29的对应的不同于圆形的内轮廓共同作用，如由图8可见那样。借助于定位板32相对于主操纵活塞28的卡紧住的转动位置因此就可以确定附加闭锁构件11相对于主闭锁构件5的转动位置。
可以通过转动从缸筒23里在主闭锁构件5的开启位置上伸出去的把手部段52来使阀杆22转动。
设于所示实施例中的套管25也用于使主闭锁构件5相对于阀体1不可相对转动地固定住。也可以在主闭锁构件5和阀体1之间设有一个密封的滑动导向机构来代替套管25。在这种情况下必须设有一种相应的用于主闭锁构件5的防转保险机构。
一种按照本发明的真空阀也可以是不同于角型阀形式的另一种形式。例如入口2和出口3也可以沿着一个共同轴线布置。主阀座6可以在这种情况下布置于阀体1上倾斜于该轴线，以便使阀杆22通过倾斜于该轴线的穿过从阀体1里引出来。
对于主闭锁构件5和附加闭锁构件11也可以设单独的阀杆，它们分别可以通过自身的操纵机构来调整。对于本发明的一种这样的实施方式最好至少一个设置有主闭锁构件5的阀杆和设置有附加闭锁构件的阀杆可以分别在它们纵轴线方向上进行调整，其中阀杆的纵轴线相互平行。由主闭锁构件5和附加闭锁构件11的关闭位置出发，附加闭锁构件11可以移动布置于自身的缸筒里的附加操纵活塞至其开启位置，在该位置上它靠在主闭锁构件5的一个挡块上。因此就限制了附加操纵活塞在其缸筒里的移动。为使阀完全打开，使至少一个主闭锁构件的阀杆通过移动至少一个布置在自身的缸筒里的主操纵活塞而移动。附加操纵活塞此时在其自身缸筒里被一起带动，为此该缸筒具有相应的长度。一种这样的实施方式尤其适合于大阀孔的阀。
在本发明的另外一种实施方式中阀体1可以具有第一和第二内部空腔，其中第一内部空腔构成了经过阀的主通流路径并被一个主阀座围住，而第二内部空腔则构成了一个经过阀的附加通流路径并被一个附加阀座围住。主闭锁构件可以在第一内部空腔里在一个从主阀座上抬起的开启位置和一个紧靠在主阀座上的关闭位置之间进行调整，其中在开启位置上主通流路径打通，而在关闭位置上主通流路径则关闭。附加闭锁构件可以在第二内部空腔里在一个从附加阀座上抬起的、附加通路开通了的开启位置和一个紧靠在附加阀座上的、附加通流路径关闭了的关闭位置之间进行调整。主闭锁构件和附加闭锁构件在这种情况下又可以通过单独的阀杆来调整，在阀杆上设置主闭锁构件或者附加闭锁构件并可以相应地借助于操纵机构，最好是活塞-缸筒单元来进行调整。
在这种最后的实施方式中，附加通流路径因此可以是一种相对于主通流路径的旁路。也可以考虑和可以使被主关闭构件可关闭住的主通流路径和被附加闭锁构件可关闭住的附加通流路径依次布置或者说串联。阀体可以在这种情况下也是两件式的，其中第一阀壳具有第一内部空腔，其中设有主闭锁构件，而第二阀壳具有第二内部空腔，其中设有附加闭锁构件。
在以下实施方式中阀体具有第一和第二内部空腔，在这些内部空腔里一面设有主闭锁构件，另一面设有附加闭锁构件，可以改变的、被附加通流路径经过的中间腔位于阀体和附加闭锁构件之间。附加闭锁构件可以如上所述和图中所示那样地设计并通过转动设置有附加闭锁构件的阀杆而转动，以改变中间腔的大小。
如由以上说明得知，本发明的范围并不局限于所示实施例，而应该参照所附的权利要求书连同其可能的等效发明的整个范围来确定。
上面的说明和附图表示出了本发明，而对于专业人士来说很显然，可以实现各种不同的修改，而并不偏离本发明的真正构思和范围。
                附图标记列表
1       阀体                   30    夹紧环
2       入口                   31    夹紧环
3       出口                   32    定位板
4       内部空腔               33    密封圈
5       主闭锁构件             34    附加操纵活塞
6       主阀座                 35    附加缸筒腔
7       密封圈                 36    密封圈
8       入口侧部位             37    突出部分
9       出口侧部位             38    主关闭弹簧
10      内部空腔               39    附加关闭弹簧
11      附加闭锁构件           40    缸筒盖
12      入口孔                 41    控制阀
13      出口孔                 42    控制阀
14      附加阀座               43    中间腔
15      密封圈                 44    部段
16      基础部件               45    外壁
17      板状部件               46    部段
18      螺纹件                 47    转动轴线
19，20  密封圈                 48    孔
21      调整方向               49    球座圈
22      阀杆                   50    止动螺纹件
23      缸筒                   51    外轮廓
24      密封圈                 52    把手部段
25      套管                   53    导向孔
26      纵轴线                 54    挡块
27      操纵机构               55    挡块
28      主操纵活塞
29      主缸筒腔

Claims (19)

1.真空阀，具有一个阀体(1)，所述阀体具有一个内部空腔(4)和一个围住主通流路径的主阀座(6)，穿过所述内部空腔在真空阀的入口(2)和出口(3)之间引导一个主通流路径；
具有一个主闭锁构件(5)，其可以在阀体内部空腔(4)里在一个从阀座(6)上抬起的开启位置和一个紧靠在主阀座(6)上的关闭位置之间进行调整，在开启位置上主通流路径通过真空阀而开通，而在关闭位置则通过真空阀使主通流路径关闭，而且该主闭锁构件(5)具有一个被附加通流路径穿过的内部空腔(10)和一个围住附加通流路径的附加阀座(14)；
具有一个附加闭锁构件(11)，其可以在主闭锁构件(5)的内部空腔(10)里在一个从附加阀座(14)上抬起的开启位置和一个紧贴在附加阀座(14)上的关闭位置之间进行调整，在开启位置上附加通流路径通过真空阀而开通，而在关闭位置上则通过真空阀使附加通流路径关闭，
其中附加通流路径经过一个在主闭锁构件(5)和附加闭锁构件(11)之间可以变化的中间腔(43)，而且该中间腔(43)的大小可以通过相对于主闭锁构件(5)转动附加闭锁构件(10)而改变。
2.按照权利要求1所述的真空阀，其中附加闭锁构件(11)在其调整时可以在其开启位置和其关闭位置之间在调整方向(21)上进行调整而且一个转动轴线(47)平行于调整方向(21)，附加闭锁构件(11)可以围绕转动轴线(47)相对于主闭锁构件(5)转动。
3.按照权利要求2所述的真空阀，其中主闭锁构件(5)在其调整时可以在其开启位置和其关闭位置之间在调整方向(21)上进行调整，该调整方向平行于附加闭锁构件(11)的调整方向。
4.按照权利要求1所述的真空阀，其中主闭锁构件相对于阀体是不可相对转动的。
5.按照权利要求1所述的真空阀，其中可调整的中间腔(43)位于一个限制住主闭锁构件(5)的内部空腔(10)的主闭锁构件的内壁的一个部段(44)和附加闭锁构件(11)的一个部段(46)的外壁(45)之间，其中在该外壁(45)和一个转动轴线(47)之间的距离(a)在附加闭锁构件(11)的圆周方向上变化，所述附加闭锁构件(11)可以围绕转动轴线(47)相对于主闭锁构件(5)转动。
6.按照权利要求5所述的真空阀，其中外壁(45)和转动轴线(47)之间的距离(a)在附加闭锁元件(11)的圆周方向上连续地从一个最大开始值降到一个最小的终止值。
7.按照权利要求1所述的真空阀，其中所述附加闭锁构件(11)设于一个阀杆(22)上，该阀杆可围绕其纵轴线(26)可转动地支承，其中阀杆(22)在其围绕其纵轴线(26)转动时将附加闭锁构件(11)一起带动并使该附加闭锁构件相对于主闭锁构件(5)转动。
8.按照权利要求7所述的真空阀，其中阀杆(22)在其纵轴线(26)方向上可以由一个操纵机构(27)在一个前端位置、一个中间位置和一个后端位置之间进行调整，在前端位置上主闭锁构件(5)和附加闭锁构件(11)位于它们的关闭位置上，在中间位置上主闭锁构件(5)在其关闭位置上，而附加闭锁构件在其开启位置上；在后端位置上主闭锁构件(5)和附加闭锁构件(11)位于它们的开启位置上，中间位置位于前端位置和后端位置之间的一个确定位置上。
9.按权利要求8所述的真空阀，其中操纵机构(27)具有一个与阀杆(22)在其纵轴线(26)方向上不可移动地连接的主操纵活塞(28)，该主操纵活塞在一个主缸筒腔(29)里可以在一个前端位置和一个后端位置之间移动地布置；所述操作机构还有一个附加操纵活塞(34)，它在一个附加缸筒腔(35)里可以在一个前端位置和一个后端位置之间移动地布置，并且相对于附加操纵活塞阀杆(22)可以在其纵轴线(26)的方向上可移动地支承，并且当附加操纵活塞在其移动时在其前端位置和其后端位置之间使在其前端位置上相连接的主操纵活塞(28)通过接触于其本身而移动至一个中间位置，在该位置上阀杆处于其中间位置上。
10.按权利要求8所述的真空阀，其中设有一个对主闭锁构件(5)加载至其关闭位置的主关闭弹簧和一个对附加闭锁构件(11)加载至其关闭位置的附加关闭弹簧(39)，其中主关闭弹簧(38)作用于主闭锁构件(5)上的关闭力大于附加关闭弹簧(39)作用于附加闭锁构件(11)上的关闭力。
11.按权利要求10所述的真空阀，其中主闭锁构件(5)具有一个挡块(54)用来限制附加闭锁构件(11)从附加阀座(14)上的抬起。
12.按权利要求7所述的真空阀，其中阀杆(22)在阀体(1)的内部空腔(4)范围里被一个套管(25)围住，该套管在其一端紧密连接于阀体(1)上，在其另一端紧密连接于主闭锁构件(5)上。
13.按权利要求1所述的真空阀，其中附加闭锁构件(11)借助于一个设于其外壁上的弹性密封圈(20)相对于主闭锁构件(5)密封。
14.按权利要求9所述的真空阀，其中主操纵活塞(28)不可转动地设置于主缸筒腔(29)里。
15.按权利要求14所述的真空阀，其中主操纵活塞具有一个与圆形不同的周围轮廓，而主缸筒腔(29)具有一个对应的与圆形不同的内轮廓。
16.按权利要求7所述的真空阀，其中设有一个定位机构用于固定住阀杆(22)的调定的转动位置。
17.按权利要求16所述的真空阀，其中所述定位机构包括一个与阀杆(22)不可转动地连接的定位板(32)，它贴靠在主操纵活塞(28)上并可以相对于该活塞转动并且可以用主操纵活塞(26)固定在不同的转动位置上。
18.按权利要求17所述的真空阀，其中主操纵活塞(28)具有至少一个与定位板(32)的一个孔系的孔共同作用的球座圈(49)。
19.真空阀，具有一个阀体，所述阀体具有一个第一内部空腔、一个包围主通流路径的主阀座、一个第二内部空腔和一个包围附加通流路径的附加阀座，穿过所述第一内部空腔在真空阀的入口和出口之间引导一个主通流路径，一个附加通流路径穿过所述第二内部空腔；
具有一个主闭锁构件，其可以在阀体的第一内部空腔里在一个从主阀座上抬起的开启位置和一个紧贴在主阀座上的关闭位置之间进行调整，在开启位置上主通流路径通过真空阀开通，而在关闭位置上主通流路径通过真空阀而关闭；
具有一个附加闭锁构件，其可以在阀体的第二内部空腔里在一个从附加阀座上抬起的开启位置和一个紧贴于附加阀座上的关闭位置之间进行调整，在开启位置上通过真空阀使附加通流路径开通，而在关闭位置上附加通流路径通过真空阀关闭；
其中附加通流路径经过一个在阀体和附加闭锁构件之间的可变中间腔，而且该中间腔的大小可以通过附加闭锁构件相对于阀体的转动来改变。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve
CN104976350A (zh) * 2014-04-02 2015-10-14 Vat控股公司 真空阀
CN107664222A (zh) * 2016-07-27 2018-02-06 新莱应材科技有限公司 直角阀
CN108351043A (zh) * 2015-11-20 2018-07-31 Vat控股公司 具有滑道驱动机构的真空角阀
CN111886128A (zh) * 2018-07-25 2020-11-03 陈坚章 具有结构化柱单元的真空绝缘玻璃板

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1396488B1 (it) * 2009-12-09 2012-12-14 Dgflow S R L Dispositivo valvolare
US8448663B2 (en) * 2010-01-28 2013-05-28 Delaware Capital Formation, Inc. Vacuum relief valve
JP5613420B2 (ja) * 2010-02-05 2014-10-22 株式会社フジキン 流体制御器
DE102011100218A1 (de) * 2011-05-02 2012-11-08 Vat Holding Ag Ventil
CN103629422B (zh) * 2012-08-29 2016-04-06 上海宝信软件股份有限公司 抽真空换气用压差缓冲阀
EP2728226B1 (de) * 2012-10-31 2015-03-25 VAT Holding AG Vakuumventil
JP7106062B2 (ja) 2018-06-22 2022-07-26 Smc株式会社 真空バルブ
US11542964B2 (en) * 2019-10-11 2023-01-03 Swagelok Company Arrangements and methods for controlled flow rate of pneumatic actuated valves
DE102021102284A1 (de) * 2021-02-01 2022-08-04 Vat Holding Ag Ventilplatte für eine Verschlusseinrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand
DE102021102283A1 (de) * 2021-02-01 2022-08-04 Vat Holding Ag Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0280274A (ja) * 1988-09-16 1990-03-20 Tokyo Electric Co Ltd 印字装置
JPH0284080A (ja) * 1988-09-19 1990-03-26 Brother Ind Ltd 振動子及び超音波モ−タ
US5172722A (en) * 1990-09-17 1992-12-22 Motoyama Eng. Works, Ltd. Stop valve for a vacuum apparatus
AU679736B2 (en) * 1993-06-07 1997-07-10 Sekisui Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Vacuum valve control device and vacuum valve
DE4402683A1 (de) * 1994-01-29 1995-08-03 Braun Ag Wassereinleitvorrichtung für Dampfbügeleisen
JP3454603B2 (ja) * 1995-05-18 2003-10-06 株式会社鷺宮製作所 電動式コントロールバルブ
JP3745427B2 (ja) * 1995-11-14 2006-02-15 Ｓｍｃ株式会社 真空圧制御用スロー排気バルブ
EP0780615B1 (en) * 1995-12-21 1999-08-18 Benkan Corporation Vacuum exhaust valve
JP2000231418A (ja) * 1999-02-12 2000-08-22 Showa Corp ディテント機構
US6289932B1 (en) * 1999-06-28 2001-09-18 Nor-Cal Products, Inc. Dual port soft start valve
JP3442714B2 (ja) * 2000-03-21 2003-09-02 Ｓｍｃ株式会社 パイロット式２ポート真空バルブ
CH695247A5 (de) * 2000-06-16 2006-02-15 Balzers Hochvakuum Vakuumventil
JP3445569B2 (ja) * 2000-09-18 2003-09-08 Ｓｍｃ株式会社 パイロット式２ポート真空バルブ
JP4110512B2 (ja) * 2002-04-18 2008-07-02 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧弁
JP3890561B2 (ja) * 2002-07-12 2007-03-07 Ｓｍｃ株式会社 弁開度を調整可能な２ポート真空バルブ
JP4171900B2 (ja) * 2003-05-19 2008-10-29 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8833383B2 (en) 2011-07-20 2014-09-16 Ferrotec (Usa) Corporation Multi-vane throttle valve
CN104976350A (zh) * 2014-04-02 2015-10-14 Vat控股公司 真空阀
CN104976350B (zh) * 2014-04-02 2019-03-05 Vat 控股公司 真空阀
CN108351043A (zh) * 2015-11-20 2018-07-31 Vat控股公司 具有滑道驱动机构的真空角阀
US10738910B2 (en) 2015-11-20 2020-08-11 Vat Holding Ag Vacuum-tight angle valve with sliding-block guide drive
CN107664222A (zh) * 2016-07-27 2018-02-06 新莱应材科技有限公司 直角阀
CN111886128A (zh) * 2018-07-25 2020-11-03 陈坚章 具有结构化柱单元的真空绝缘玻璃板
CN111886128B (zh) * 2018-07-25 2022-03-29 陈坚章 具有结构化柱单元的真空绝缘玻璃板

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Publication number Publication date
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JP4918295B2 (ja) 2012-04-18

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