CN1880022B - 陶瓷结合剂磨具的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于:即使是难磨削材料,也不用频繁地磨锐而可以高效率地进行磨削,且不使被磨削物的品质降低。而且,使由树脂形成的海绵构件含浸流动性磨粒,并在使有机物结合剂材料与海绵构件材料发生氧化,同时用陶瓷结合剂材料烧结磨粒,由此构成带有气孔的陶瓷结合剂磨具,所述流动性磨粒是通过混炼至少以SiO2作为主成分的陶瓷结合剂材料、有机物结合剂材料、磨粒以及液体而得到的。由于带有气孔,自锐性作用容易产生,因此不必频繁地进行磨锐,能够提高生产率、被磨削物的磨削面不产生面胶着和挤裂,能够提高被磨削物的品质。
Description
技术领域
本发明涉及自锐性作用良好的陶瓷结合剂磨具及其制造方法。
背景技术
对于表面上形成多个IC、LSI等器件的晶片,其背面被磨削而形成规定的厚度以后,由切割装置等分割成各个器件。所分割的器件被应用于各种电子设备中。
作为磨削对象的晶片,其由硅、氮化硅、砷化镓、蓝宝石、钽酸锂、碳化硅等形成。另一方面,磨削磨具有陶瓷结合剂(vitrified bond)磨具、树脂结合剂磨具、金属结合剂磨具等,在这些磨具中,选择适合于晶片材料的磨具,并将其用于磨削。氮化硅、蓝宝石、以及碳化硅的硬度较高,因此在磨削由这些材料所形成的晶片时,具有以下构成的磨具被采用,即,陶瓷结合剂磨具和金属结合剂磨具等的金刚石磨粒能被牢固地保持。这样的技术被记载在日本国特开2003-136410号公报中。
但是,对于通过陶瓷结合剂和金属结合剂将磨粒牢固地保持的构成的磨具,由于其难以产生自锐性作用,所以在比较短的时间内引起磨具气孔堵塞,需要频繁地进行磨锐,因此存在连续工作困难、生产率降低的问题。此外,所谓“自锐性作用”是指,使用中刀尖的被磨损的磨粒变得不能使用时,产生脱落而接着出现新磨粒的作用。
并且,由于难以产生自锐性作用,还存在以下问题:在被磨削物的磨削面上产生面胶着和挤裂这一现象,使被磨削物的品质下降。
发明内容
于是,本发明要解决的课题在于:即使是难磨削材料,也不用频繁地磨锐、可高效率地磨削,且不会使被磨削物的品质下降。
第1发明:带有气孔的陶瓷结合剂磨具,其是通过下列方法得到的:使由树脂形成的海绵构件含浸流动性磨粒,并使有机物结合剂材料和海绵构件发生氧化,同时用该陶瓷结合剂材料烧结磨粒,所述流动性磨粒是通过混炼至少以SiO2作为主成分的陶瓷结合剂材料、有机物结合剂材料、磨粒以及液体而得到的。
第2发明:带有气孔的陶瓷结合剂磨具的制造方法,其特征在于:该方法由下列工序构成:
含浸海绵体形成工序:混炼至少以SiO2作为主成分的陶瓷结合剂材料、有机物结合剂材料、磨粒以及液体而形成流动性磨粒,并使带有气孔的由树脂形成的海绵构件含浸流动性磨粒,从而构成含浸海绵体;
固化工序:使构成含浸海绵体的液体蒸发,同时使有机物结合剂材料固化;
烧结工序:烧结固化工序后的含浸海绵体,并使有机物结合剂材料与海绵构件发生氧化,同时利用陶瓷结合剂材料对磨粒进行烧结,从而形成带有气孔的烧结体。
在含浸海绵体形成工序中,磨粒优选是在粒径为2μm或以下的金刚石磨粒中混入作为填充剂的绿碳化硅、白刚玉。在含浸海绵体形成工序中,优选的是,液体由重量比为55%的水、和重量比为10%的乙醇构成,有机物结合剂材料是重量比为5%的丙烯酸系结合剂材料。
在固化工序中,优选的是,在50℃下加热含浸海绵体2小时而使液体蒸发,并在120℃下加热有机物结合剂材料2小时而对其进行烧结。
在在烧结工序中,优选的是,在400℃下烧结固化工序后的含浸海绵体1小时而使有机物结合剂材料与海绵构件发生氧化,并在700℃下烧结4小时,从而形成烧结体。
烧结工序之后,用切削刀片切削烧结体而进行整形,制作固定在砂轮上的磨具。
附图说明
图1是表示海绵构件的立体图。
图2是表示将该海绵构件浸渍在流动性磨粒中的状态的立体图。
图3是表示成型烧结体的状态的立体图。
图4是表示固定有片断(segment)状陶瓷结合剂磨具的砂轮的立体图。
图5是表示安装了与上述相同的砂轮的磨削装置的立体图。
具体实施方式
以下,参照附图,就本发明的一个实施例进行说明。
首先,混炼以SiO2作为主成分的陶瓷结合剂材料、由丙烯酸树脂等组成的有机物结合剂材料、磨粒以及液体而形成流动性磨粒。作为磨粒,可以列举有代表性的金刚石磨粒。也可以在流动性磨粒中进一步混入绿碳化硅(绿色碳化硅质)和白刚玉(白色氧化铝质)等填充剂。液体是水或乙醇。
然后,如图1所示那样,(含浸海绵体形成工序)形成使由尿烷等合成树脂构成的带有气孔的海绵构件1含浸有上述流动性磨粒的海绵体(以下,称其为含浸海绵体)。例如,如图2所示那样,将流动性磨粒2贮存在容器3中,通过将该流动性磨粒2浸渍在海绵构件1中,由此使海绵构件1含浸流动性磨粒。流动性磨粒具有流动性,海绵构件1在内部的各个角落都具有气孔,因此流动性磨粒能够浸透到气孔的各个角落,直至其内部,流动性磨粒都能均匀地到达。
而且,海绵构件1是厚度较薄的板状的长方体形状,但其实质上是后来形成的陶瓷结合剂磨具的原型,因此优选形成为磨具所要求的形状或者容易加工的形状。
其次,通过对构成含浸了流动性磨粒的海绵构件1的液体进行加热使其蒸发,然后使含浸海绵体中含有的有机物结合剂材料固化(固化工序)。通过将该有机物结合剂材料固化,则有机物结合剂材料使磨粒与海绵构件1相结合,则磨粒不会从海绵构件1脱落。而且,通过固化工序,蒸发液体、烧结有机物结合剂材料被固化后的含浸海绵体,并使有机物结合剂材料与海绵构件发生氧化,同时用陶瓷结合剂材料烧结磨粒。这样,形成带有气孔的烧结体,该烧结体成为陶瓷结合剂磨具。
例如,如图3所示那样,所形成的陶瓷结合剂磨具4通过使高速旋转的切削刀片5沿着多个切削线6纵横切入,作成单片矩形而被整形,成为多个片断状的陶瓷结合剂磨具7。
多个片断状陶瓷结合剂磨具7如图4所示那样,在砂轮814的下面被大致呈环形排列并被多枚固定。而且,该砂轮814用于例如图5所示的磨削装置8中。
该磨削装置8具有保持被磨削物的卡盘台80、以及对卡盘台80所保持的被磨削物施以磨削加工的磨削机构81。磨削机构81的构成是:在通过台架810可被旋转支撑的、且在垂直方向具有轴心的主轴811的上端与电机812连接,同时在主轴811的下端设置的砂轮支架813上装设有砂轮814。其构成如上述那样,在砂轮814上固定有多枚片断状陶瓷结合剂磨具7,通过电机812的旋转,砂轮814也旋转。
台架810被与升降板820相连接的支持部821支撑,升降板820与在垂直方向配设的导轨822滑动连接,同时内部的螺母(图中未示出)与垂直方向配设的滚珠螺杆823相配合。滚珠螺杆823的一端与脉冲电机824相连接。通过脉冲电机824的旋转,滚珠螺杆823旋转,与此相伴的是,升降板820由导轨822作导向而升降。伴随该升降板820的升降,磨削机构81也升降。
如图示的例子那样,在表面上,保护装置用的保护带T被粘贴在表面侧的晶片W的背面被磨削的场合,将粘贴有保护带T的表面侧朝下,晶片W由卡盘台80支持。然后,卡盘台80在水平方向移动,被定位在磨削机构81的正下方,在旋转卡盘台80的同时,通过一边旋转砂轮814、一边降低磨削机构81,旋转的片断状陶瓷结合剂磨具7与晶片W的背面相接触,并磨削该背面。
片断状陶瓷结合剂磨具7是使海绵构件含浸流动性磨粒并烧结而形成的,因此,在内部形成很多气孔。所以,在防止磨具气孔堵塞的同时,磨粒容易脱落、自锐性作用良好,因此,即使在晶片W由蓝宝石或碳化硅等的难磨削材料形成的场合,仍然能够高效率地磨削。而且,由于自锐性作用良好,因此晶片的被磨削面不会产生面胶着和挤裂,能够使晶片的品质提高。
在磨削卡盘台80、使卡盘台80的上面与片断状陶瓷结合剂磨具7的下面(磨削面)相一致的自磨的场合,即使卡盘台80是由碳化硅等难磨削材料形成,也能够高效率地磨削卡盘台80。
实施例1
以下,表示陶瓷结合剂磨具的制造方法的实例。首先,在含浸海绵体形成工序中,分别以体积比计,按下列比例混炼粒径2μm或以下的金刚石磨粒35%、作为填充剂的绿碳化硅、白刚玉5%、以SiO2作为主成分的陶瓷结合剂材料60%,生成重量比30%的粉末混炼物。然后,向该重量比30%的粉末混炼物混合重量比5%的丙烯酸系结合剂材料(有机物结合剂材料)、重量比55%的水、重量比10%的乙醇,制成重量比100%的流动性磨粒,使海绵构件1含浸该流动性磨粒,制成含浸海绵体。
其次,在固化工序中,通过在50℃加热含浸海绵体2小时,使水以及乙醇中的水分蒸发。然后,通过在120℃加热2小时,使丙烯酸系结合剂材料固化。
在烧结工序中,在400℃下加热固化工序后的含浸海绵体1小时而使有机物结合剂和海绵构件发生氧化。然后,在700℃下烧结4小时,从而形成烧结体。该烧结体成为陶瓷结合剂磨具。
这样,对于本实施例的陶瓷结合剂磨具,由于其经过低温烧结,因此具有容易发挥磨具本身的性能的效果。
本发明通过使海绵构件含浸流动性磨粒而进行烧结,由此构成内部带有气孔的陶瓷结合剂磨具,因此,由于气孔的作用,磨粒容易脱落,容易产生自锐性作用。因此,磨具气孔难以产生堵塞,不需要频繁地进行磨锐,因此即使是难磨削材料,也能够高效率地进行磨削。而且由于自锐性作用良好,所以在被磨削物的磨削面上不产生面胶着和挤裂,能够提高被磨削物的品质。
Claims (5)
1.一种带有气孔的陶瓷结合剂磨具的制造方法,该方法由下列工序构成:
含浸海绵体形成工序:混合陶瓷结合剂材料、有机物结合剂材料、磨粒以及液体而形成流动性磨粒,并使带有气孔的由树脂形成的海绵构件含浸所述流动性磨粒,从而构成含浸海绵体,其中所述陶瓷结合剂材料至少以SiO2作为主成分;
固化工序:使构成所述含浸海绵体的液体蒸发,同时使所述有机物结合剂材料固化;
烧结工序:烧结所述固化工序后的含浸海绵体,并使所述有机物结合剂材料与所述海绵构件发生氧化,同时利用所述陶瓷结合剂材料对所述磨粒进行烧结,从而形成带有气孔的烧结体,
其中,在所述含浸海绵体形成工序中,所述磨粒是在粒径为2μm或以下的金刚石磨粒中混入作为填充剂的绿碳化硅、白刚玉。
2.根据权利要求1所述的陶瓷结合剂磨具的制造方法,在所述含浸海绵体形成工序中,所述液体由水和乙醇构成,所述水占所述流动性磨粒的重量比为55%,所述乙醇占所述流动性磨粒的重量比为10%,所述有机物结合剂材料是占所述流动性磨粒的重量比为5%的丙烯酸系结合剂材料。
3.根据权利要求1所述的陶瓷结合剂磨具的制造方法,在所述固化工序中,在50℃下加热所述含浸海绵体2小时而使所述液体蒸发,在120℃下加热所述有机物结合剂材料2小时而对其进行烧结。
4.根据权利要求1所述的陶瓷结合剂磨具的制造方法,在所述烧结工序中,在400℃下烧结所述固化工序后的含浸海绵体1小时而使所述有机物结合剂材料和所述海绵构件发生氧化,并在700℃下烧结4小时,从而形成所述烧结体。
5.根据权利要求1所述的陶瓷结合剂磨具的制造方法,在所述烧结工序之后,用切削刀片切削所述烧结体而进行整形,制作固定在砂轮上的磨具。
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103537993B (zh) * | 2013-09-29 | 2016-08-10 | 河南华茂新材料科技开发有限公司 | 一种大薄壁整环陶瓷砂轮的生产方法 |
CN103600306A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-02-26 | 江苏苏北砂轮厂有限公司 | 陶瓷磨轧辊砂轮 |
CN104149041A (zh) * | 2014-07-30 | 2014-11-19 | 浙江中晶科技股份有限公司 | 一种有机物海绵体塑形制造硅棒抛光用陶瓷砂轮方法 |
JP7049848B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2022-04-07 | 株式会社ディスコ | 保持面の研削方法 |
CN108381409B (zh) * | 2018-04-26 | 2020-03-10 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种砷化镓晶片减薄用超硬树脂砂轮及其制备方法 |
CN112059930B (zh) * | 2020-09-11 | 2021-11-26 | 新乡市荣锋材料科技有限公司 | 一种用于合金材料加工的磨盘用磨块及其制备方法和磨盘 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1126962A (zh) * | 1994-04-12 | 1996-07-17 | 诺顿有限公司 | 优质磨料砂轮 |
EP1120197A2 (en) * | 2000-01-26 | 2001-08-01 | Noritake Co., Limited | Vitrified grindstone having pores partially filled with resin, and method of manufacturing the same |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6286102A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-04-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 工具用複合焼結体の製造法 |
JPS63147875A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-06-20 | 株式会社デンソー | 多孔質セラミックス構造体 |
JP2678288B2 (ja) * | 1988-04-20 | 1997-11-17 | 昭和電工株式会社 | 超砥粒ビトリファイドボンド砥石及び製造方法 |
JPH01320277A (ja) * | 1988-06-18 | 1989-12-26 | Mitsui Kensaku Toishi Kk | MgO・Al↓2O↓3スピネル多孔体 |
JPH1058331A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-03-03 | Noritake Dia Kk | ラッピング用超砥粒ホイール |
DE19723751A1 (de) * | 1997-06-06 | 1998-12-10 | Basf Ag | Formkörper und Verfahren zu dessen Herstellung |
JP2001009732A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Noritake Co Ltd | ビトリファイドボンド砥石及びその製造方法 |
US6319108B1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Metal bond abrasive article comprising porous ceramic abrasive composites and method of using same to abrade a workpiece |
JP4273195B2 (ja) * | 2000-02-18 | 2009-06-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 炭化ケイ素系耐熱性軽量多孔質構造材の製造方法 |
JP2002283244A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Ando Michihiro | 仕上げ用砥石及びその製造方法 |
JP2002331461A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-19 | Mizuho:Kk | 超仕上げ用砥石 |
KR100453451B1 (ko) * | 2002-07-24 | 2004-10-20 | 이해동 | 초경합금 연삭용 비트리파이드 다이아몬드 숫돌 |
-
2005
- 2005-06-15 JP JP2005174979A patent/JP4734041B2/ja active Active
-
2006
- 2006-06-12 CN CN2006100917641A patent/CN1880022B/zh active Active
- 2006-06-14 KR KR1020060053409A patent/KR101231110B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1126962A (zh) * | 1994-04-12 | 1996-07-17 | 诺顿有限公司 | 优质磨料砂轮 |
EP1120197A2 (en) * | 2000-01-26 | 2001-08-01 | Noritake Co., Limited | Vitrified grindstone having pores partially filled with resin, and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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KR101231110B1 (ko) | 2013-02-07 |
JP4734041B2 (ja) | 2011-07-27 |
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