CN1818748A - 电光装置及其制造方法、以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供的电光装置，能够减少例如起因于产生于摩擦辊的交织材料的纤维紊乱的带状的取向不匀。开口部(63)及(107)的开口形状，是圆形。从而，开口部(63)及(107)的各自的边缘(64)及(108)，减少了沿图中摩擦方向延伸的部分，即平行于摩擦方向、或者实际上看作平行的程度地延伸的部分。更具体地，相比较于例如具有沿着摩擦方向的边缘的长方形状的开口部，开口部(63)及(107)中的沿摩擦方向的部分减少了。

Description

电光装置及其制造方法、以及电子设备

技术领域

本发明，例如，涉及经过对取向膜进行摩擦的摩擦工序而制造的液晶装置等的电光装置及其制造方法，以及，例如具备液晶装置等的电子设备的技术领域。

背景技术

这种电光装置，由在玻璃基板、石英基板等构成的2片基板间密封进液晶而构成，在一块基板上，将薄膜晶体管(Thin Film Transistor，以下，称为TFT。)等开关元件配置成矩阵状，并在另一基板上配置对向电极，通过相应于图像信号使两基板间的密封的液晶层的光学特性发生变化，而可以进行图像显示。

分别形成配置TFT的TFT基板及形成对向电极的对向基板，对形成于与液晶层相接的面上的取向膜进行摩擦处理之后，以高精度贴合。为了使叠层于TFT基板的上层的外部端子电极，或者用于电连接TFT基板及对向基板的电极等露出到外侧，一般在除了TFT基板的图像显示区域之外的区域中形成凹槽。

并且，在这种电光装置中，进行各种用于提高显示质量的技术开发，例如，已经公开利用上述凹槽而提高显示质量的技术(例如，专利文献1。)。

【专利文献1】特开平10-232399号公报

可是，由于TFT基板上的凹槽等凹凸形状的存在，在取向膜中会形成微细的取向不匀，而存在由取向不匀的存在而降低显示质量的问题。虽然为了解决这样的问题而研讨了各种技术，但是仍然处于不能说是充分的情况。例如，考虑到：在形成于TFT基板的表面的开口部的边缘具有平行延伸于摩擦方向的部分的情况下，以该平行延伸的部分为边界在摩擦辊的交织材料中会产生纤维紊乱。更具体地，在用已产生纤维紊乱的摩擦辊进行摩擦处理的情况下，则有可能在取向膜中产生带状的取向不匀。本申请发明人认为：由于产生于摩擦辊的交织材料的纤维紊乱而产生取向不匀，该取向不匀为降低液晶装置等显示质量的一个原因。

发明内容

因此，本发明鉴于上述问题点等而作出，任务在于提供：例如，减少起因于在摩擦辊的交织材料中产生的纤维紊乱的带状的取向不匀，具有高的显示质量的液晶装置等电光装置及其制造方法，以及具备该液晶装置的电子设备。

本发明的电光装置为了解决上述问题，具备：基板；形成于该基板上的与外部连接用端子部；形成于该连接用端子部上的绝缘膜；和开口部，其由去除前述绝缘膜的一部分使得上述连接用端子部的表面的一部分露出而形成，具有沿着对形成于前述绝缘膜上的取向膜进行摩擦时的摩擦方向而延伸的部分为曲线的边缘。

在本发明的电光装置中，例如，形成在基板上包括TFT等元件、导电层及层间绝缘膜的叠层结构，连接用端子部，与TFT或者导电层直接或者间接地电连接。连接用端子部的表面的一部分，通过去除形成于连接用端子部上的绝缘膜的一部分而露出。即，在本发明的电光装置中，开口部，通过在基板上形成连接用端子部之后，例如对形成于连接用端子部之上的绝缘膜进行蚀刻使得连接用端子部的表面的一部分露出而形成。绝缘膜，也可以例如为形成于基板上的叠层结构的最上层，避开开口部地形成。依照本发明的电光装置，例如，在从绝缘膜的上侧使对向基板粘合到TFT基板的情况下，设置于对向基板的导电部及TFT基板的连接用端子部的表面相接，并能够电连接TFT基板及对向基板。

开口部，因为具有沿着对形成于绝缘膜上的取向膜进行摩擦时的摩擦方向而延伸的部分已减少的边缘，所以能够降低沿摩擦方向而在摩擦辊的交织材料产生纤维紊乱。更具体地，例如，能够减少以沿边缘中的摩擦方向延伸的部分为边界而在摩擦辊的交织材料的纤维紊乱中产生极端差。在此，所谓“沿摩擦方向”，意味着：与摩擦方向平行，或者直到实际上看作平行的程度，边缘的一部分所延伸的方向与摩擦方向一致。即，在交织材料的表面上纤维紊乱的程度之差不会极端地变化，在沿交织材料的表面中的摩擦方向的边界的两侧的区域，交织材料的纤维紊乱的分布在交织材料的表面平稳地变化。从而，能够减小起因于沿着摩擦方向交织材料的纤维紊乱极端地变化而在取向膜中产生带状的取向不匀的现象。依照本发明的电光装置，例如，能够减少在显示图像时在图像显示面可被看出的条纹等显示不良，可以使显示质量提高。

在本发明的电光装置的一个方式中，前述开口部的开口形状，也可以是圆形。

依照该方式，不管摩擦方向是绝缘表面的哪个方向，沿边缘中的摩擦方向的部分都减少了，能够减少起因于沿摩擦方向延伸的边缘而产生的交织材料的纤维紊乱。从而，不但能够减少在取向膜中产生带状的取向不匀，例如，与边缘不平行延伸于摩擦方向地形成开口部的情况相比，去除形成开口部时的绝缘膜的工序中的工艺控制也变得简单方便，能够简单方便地形成开口部。在此，所谓“开口部”，是在与绝缘膜的表面相同面内由边缘所围的形状。依照该方式，例如，一边通过端子部而进行TFT基板及对向基板的电连接，同时能够减少产生于取向膜的带状的取向不匀，可以使显示质量提高。

在本发明的电光装置的另一方式中，前述开口部的开口形状，也可以是具有沿前述摩擦方向的长轴的椭圆形。

依照该方式，能够减少沿摩擦方向的交织材料的纤维紊乱之差在取向膜表面内的各区域过于变大。而且，即使在以沿相交于摩擦方向的方向，即开口部的短轴方向的窄的间距而形成多个开口部的情况下，也能够降低交织材料的纤维紊乱在沿摩擦方向的边界急剧地变化。

在本发明的电光装置的另一方式中，前述开口部的开口形状，也可以是具有沿从前述摩擦方向倾斜的角度的长轴的椭圆形。

依照该方式，能够使开口部的边缘之中的沿着摩擦方向的线段分量变小，能够有效地减少交织材料的纤维紊乱之差在取向膜表面内的各区域过于变大。

在本发明的电光装置的另一方式中，前述开口部，也可以由沿前述摩擦方向互相连结的多个辅助开口部而构成。

依照该方式，例如，通过使由导电构件构成的探针分别接触于多个辅助开口部，能够容易地检查电光装置的电特性。更具体地，沿前述摩擦方向互相连结的多个辅助开口部，因为沿摩擦方向偏移，所以即使在相交于摩擦方向的方向以窄的间距形成开口部的情况下，也能够以沿摩擦方向使探针偏移的状态检查电光装置的电特性。

在该方式中，前述辅助开口部的开口形状，也可以是圆形。

依照该方式，不管是对于辅助开口部从哪个方向进行摩擦的情况，都不会沿摩擦方向在磨擦相交中产生纤维紊乱。从而，能够提供由于可容易地检查电特性而确保可靠性，显示质量也得到提高的高性能的电光装置。

在本发明的另一方式中，前述边缘，也可以包括沿前述摩擦方向波状延伸的部分。

依照该方式，因为边缘包括波状延伸的部分，所以能够减少沿摩擦方向所产生的磨擦相交的纤维紊乱，能够减少由于磨擦相交的纤维紊乱而产生的取向膜的不匀。

在本发明的另一方式中，前述边缘之中的在相交于前述摩擦方向的方向上延伸的部分的形状，也可以是曲线。

依照该方式，也能够减少例如起因于相交于摩擦方向的方向延伸的边缘而产生的磨擦相交的纤维紊乱。从而，能够减少沿摩擦方向及相交于摩擦方向的方向而产生的磨擦相交的纤维紊乱，相比较于仅减少沿摩擦方向而产生的磨擦相交的纤维紊乱的情况可以有效地提高显示质量。

在本发明的电光装置的另一方式中，前述边缘，具有在对于前述摩擦方向倾斜的方向上分别直线延伸的部分；前述开口部的开口形状，也可以是由该直线延伸的部分所围成的形状。

依照该方式，通过具有在对于前述摩擦方向倾斜的方向上分别直线延伸的部分的边缘，例如，能够使开口部的开口形状为菱形等四边形。在此，菱形等四边形的各边，因为对于前述摩擦方向倾斜所以能够减少通过摩擦产生于取向膜的沿摩擦方向而产生的磨擦相交的纤维紊乱。还有，勿需赘言：被边缘的直线延伸的部分所围成的形状，并不限定于四边行，也可以是其他多边形。

本发明的电光装置为了解决上述问题，具备：在基板上形成与外部的连接用端子部的工序；在该连接用端子部上形成绝缘膜的工序；和形成开口部的工序，该开口部由去除前述绝缘膜的一部分使得上述连接用端子部的表面的一部分露出而形成，并具有沿着对形成于前述绝缘膜上的取向膜进行摩擦时的摩擦方向而延伸的部分为曲线的边缘。

依照该方式，与上述的本发明的电光装置同样地，例如，能够减少在显示图像时被看出的条纹等显示不良，可以使电光装置的显示质量提高。

在本发明的电光装置的制造方法的一个方式中，也可以进一步具备：在前述绝缘膜上形成前述取向膜的工序；和通过使摩擦辊在对于前述边缘所延伸的方向倾斜的方向上行进而对前述取向膜进行摩擦的工序。

依照该方式，不但对边缘的延伸方向进行控制，还通过对摩擦方向进行控制而相对地能够减少沿摩擦方向产生的磨擦相交的纤维紊乱。从而，通过对边缘延伸的方向及摩擦方向双方进行调整，而有效地减少磨擦相交的纤维紊乱，可以使显示质量提高。

在本发明的电光装置的制造方法的另一方式中，在形成前述开口部的工序中，也可以形成前述开口部，使得：前述开口部的开口形状，成为圆形、具有沿前述摩擦方向的长轴的椭圆形、具有沿从上述摩擦方向倾斜的角度的长轴的椭圆形、包括波状的部分的形状，或者连结多个圆形的形状。

依照该方式，与上述的本发明的电光装置同样地能够有效地减少交织材料的纤维紊乱。

本发明的电子设备为了解决上述问题，具备上述的本发明的电光装置。

依照本发明的电子设备，因为具备上述的本发明的电光装置，所以能够实现可以高质量的显示的投影型显示装置、液晶电视、便携电话机、电子笔记本、文字处理机、取景器型或监视器直视型的磁带录像机、工作站、电视电话、POS终端和触摸面板等各种电子设备。并且，作为本发明的电子设备，除了例如电子纸等电泳装置之外，还可以实现利用电子发射元件的显示装置(Field Emission Display场致发射显示器及Surface-Conduction Electron-Emitter display传导型电子发射显示器)，DLP(Digital Light Processing数字光处理)等。

本发明的像这样的作用及其它优点可从其次说明的实施方式而明确。

附图说明

图1是本实施方式的液晶装置80的平面图。

图2是图1的H-H’线剖面图。

图3是表示摩擦装置的要部构成的立体图。

图4是模式地表示设置于TFT基板210上的开口部160和摩擦辊2的位置关系的立体图。

图5是模式地表示产生于TFT基板210的取向膜90的取向不匀及摩擦辊2的位置关系的立体图。

图6是表示TFT基板110的构成的平面图。

图7是图6的A-A’线剖面图。

图8是表示本实施方式的开口部的其他例(变形例1)的平面图。

图9是表示本实施方式的开口部的其他例(变形例2)的平面图。

图10是表示本实施方式的开口部的其他例(变形例3)的平面图。

图11是表示本实施方式的开口部的其他例(变形例4)的平面图。

图12是表示本实施方式的液晶装置的制造工序的工序剖面图。

图13是表示本实施方式的电子设备的一例的立体图。

图14是表示本实施方式的电子设备的另一例的立体图。

附图符号说明

110…TFT基板，120…对向基板，63、107、111、121、131、141…开口部，132…辅助开口部，64、108…边缘

具体实施方式

以下，参照附图对本实施方式的电光装置及其制造方法、以及电子设备进行说明。还有，在本实施方式中，作为本发明的电光装置举液晶装置为例。

(液晶装置的整体构成)

首先，参照图1及图2，对本实施方式的液晶装置80的构成进行说明。图1，是液晶装置80的平面图，是从配置于TFT阵列基板110上的对向基板120侧看液晶装置80的平面图。图2，是图1的H-H’线剖面图。

在图1及图2中，液晶装置80，具备TFT阵列基板110和对向于TFT基板110而配置的对向基板120。在TFT阵列基板110及对向基板120之间封入液晶层50，TFT阵列基板110及对向基板120，由设置在位于图像显示区域10a的周围的密封区域的密封材料52相互粘接。

密封材料52，由用于使两基板贴合的例如紫外线固化树脂、热固化树脂等构成，在制造过程中涂敷于TFT阵列基板110上之后，通过紫外线照射、加热等而硬化。在密封材料52中，撒布着用于使TFT阵列基板110和对向基板120的间隔(基板间间隙)成为预定值的玻璃纤维或者玻璃珠等间隙材料。本实施方式的液晶装置80，适于例如在以小型作为投影机的光阀而进行放大显示的情况，原样直接用作图像显示装置的情况，或者用作各种电子设备的图像显示部。

在对向基板120的4个角部，设置作为TFT基板110及对向基板120间的上下导通端子而起作用的上下导通材料106。对向基板120，具备并行于配置密封材料52的密封区域的内侧而设置的框缘遮光膜53。框缘遮光膜53，对图像显示区域10a的框缘进行规定。但是，这样的框缘遮光膜53的一部分或全部，也可以作为内装遮光膜而设置于TFT阵列基板110侧。

TFT基板110，具备：形成于为本发明的“基板”的一例的平板状的基体材料10上的绝缘膜61，去除绝缘膜61的一部分而形成的开口部63，从开口部63露出表面的至少一部分的上下导通端子60及形成于绝缘膜61上的图像显示区域10a的取向膜9a。上下导通端子60，分别是本发明的“端子部”的一例，由例如铝等导电材料而形成。在使TFT基板110及对向基板120贴合时，通过上下导通材料106接触于上下导通端子60，而电连接TFT阵列基板110及对向基板120。

TFT基板110，位于图像显示区域10a的周边的周边区域之中，在位于配置密封材料52的密封区域的外侧的区域，具备数据线驱动电路101及为本发明的“端子部”的一例的外部电路连接端子102。数据线驱动电路101及外部电路连接端子102，沿TFT阵列基板110的一边而设置。外部电路连接端子102的表面的至少一部分，在去除绝缘膜61的一部分而形成的开口部107上露出来。

在图1中，TFT基板110，具备扫描线驱动电路104，其被设置成：在夹持TFT基板110中的图像显示区域10a地延伸于图中上下方向的区域被框缘遮光膜53所覆盖。图中，为了连接分别设置于图像显示区域10a的左侧及右侧的2个扫描线驱动电路104间，沿延伸于图中左右方向的TFT阵列基板110的一边，并且，被框缘遮光膜53所覆盖而设置多条布线105。

在图2中，取向膜9a，在基体材料10上设置包括未图示出的像素开关用的TFT和扫描线、数据线等布线的多层结构之后，覆盖形成于该多层结构之上的像素电极地形成。上下导通端子60，与构成多层结构的未图示出的像素开关用的TFT、扫描线、或者数据线等布线电连接。另一方面，在对向基板120上，除了对向电极21之外，形成格子状或条状的遮光膜23，进而在与液晶层50相接的侧的表面形成取向膜9h。液晶层50，由混合例如一种或多种的向列型液晶构成，在TFT基板110及对向基板120分别具备的取向膜9a及9h间，维持预定的取向状态。

还有，在图1及图2中所示的基体材料10上，除了数据线驱动电路101、扫描线驱动电路104等，还可以形成：采样图像信号线上的图像信号而供给到数据线的采样电路、先于图像信号而将预定电压电平的预充电信号分别供给到多条数据线的预充电电路，用于在制造过程中或出厂时对液晶装置80的电特性等质量或者缺陷等进行检查的检查电路等。

(研究关于取向不匀的发生原因)

其次，参照图3～图5，对本申请发明人进行研究的取向不匀的发生原因进行说明，并在其后，对液晶装置80所具有的TFT基板110的详细的构成进行说明。图3，是表示对形成于TFT基板210的表面上的图像显示区域的取向膜90进行摩擦处理的摩擦装置的要部的构成的立体图。图4及图5，是用于对取向不匀发生的原因进行说明的图；图4，是模式地表示设置于TFT基板210上的开口部160和摩擦辊2的位置关系的立体图；图5，是模式地表示产生于TFT基板210的取向膜90的取向不匀及摩擦辊2的位置关系的立体图。还有，TFT基板210，除了和后面详细说明的TFT基板110的开口部的形状不同之外具有同样的构成。

在图3中，摩擦装置1，作为其主要部分而具备：固定于基台4的上面(以下，称为基准平面。)4a的摩擦辊2，在摩擦处理之时装载TFT基板210而在基准平面4a上进行移动的托架5、在基准平面4a上对托架5进行导向使得装载于托架5的TFT基板210的取向膜90接触于摩擦辊2的周面2b的导向器6、和将旋转驱动力供给到摩擦辊2旋转轴2c的马达7。

摩擦辊2，通过具有以布制的交织材料形成的辊周面2b的辊部2a、旋转轴2c、一对轴承2d而可自由旋转地轴支承于平行于基准平面的平面上。一对轴承2d，对于基准平面4a而具有未图示出的高度调整机构，能够任意地调整辊2的高度。

摩擦辊2，通过被轴承2d支承的旋转轴2c而由马达7供给旋转力，辊部2a的周面2b在一个方向上边以例如300rpm旋转边接触于形成于TFT基板210的表面上的取向膜90，并在TFT基板210的取向膜90的表面形成细槽而使取向膜90成为取向各向异性的膜。

托架5，在摩擦处理时，将TFT基板210装载于托架5，通过导向器6而在基准平面4a上移动，并使托架5所装载的TFT基板210分别接触于摩擦辊2。还有，导向器6，具有未图示出的托架角调整机构；托架角调整机构在摩擦处理时，对于摩擦辊使TFT基板210的接触角度可变、固定。从而，在进行摩擦处理时，可以对于开口部的边缘延伸的方向将摩擦方向设定为倾斜的方向。

在图4中，开口于TFT基板210所具备的绝缘膜161的一部分的开口部160，具有沿摩擦方向具有延伸的线状部分164a的边缘164。还有，开口部160，设置在形成于绝缘膜161上的图像显示区域上所形成的取向膜90的周边区域。

考虑到：在对取向膜90进行摩擦时，在以使摩擦辊2接触于绝缘膜161的表面的状态进行旋转的情况下，在产生于摩擦辊2的交织材料的表面321的纤维紊乱的分布方面产生很大的差。更具体地，考虑到：以摩擦辊2的表面321之中沿着线状部分164a的边界部322为边界在通过开口部160上的区域321a及通过绝缘膜161的表面的区域321b中在交织材料的纤维紊乱的程度方面产生很大的差。作为在区域321a及321b中在纤维紊乱方面产生不同的原因之一，被认为是摩擦辊2受到来自绝缘膜161的应力的不同。更具体地，在使摩擦辊2边按压到绝缘膜161边旋转移动的情况下，区域321b整体受到来自绝缘膜161的表面的大的应力。另一方面，加到区域321a的应力，相比较于区域321b要小通过开口部160上的量。从而，可推测出：相应于受到来自绝缘膜161的表面的应力差在沿着线状部分164a的边界部322的两侧在摩擦辊2的表面321上在纤维紊乱方面产生很大的差。

在图5中，以在区域321a及321b间在纤维紊乱方面产生很大的差的状态对取向膜30进行摩擦的情况下，考虑到：在取向膜30之中的接触于区域321a的区域30a和接触于区域321b的区域30b中在取向膜30的取向性方面会产生很大的差，在取向膜30中产生沿着摩擦方向的取向不匀。从而，可推测出：使开口部160的边缘164之中的为沿摩擦方向延伸的部分的线状部分164a减少，对减少取向膜的取向不匀来说很重要。

(TFT基板的构成)

其次，依据上述的关于取向不匀的发生原因的研究，参照图6～图12，对设置于TFT基板110上的开口部63及107的开口形状进行说明。

图6，是表示TFT基板110的构成的平面图。在图6中，TFT基板110，具备：在基体材料10上未图示出的TFT等元件，包括导电层及层间绝缘膜而形成于最上层的绝缘膜61，去除绝缘膜61的一部分而形成的开口部63及107。在开口部63及107的各自的开口区域，分别露出形成于绝缘膜61的下层侧的上下导通端子60及102。上下导通端子60及102，与TFT基板110所具备的TFT或者导电层直接或者间接地电连接。开口部63及107，在基体材料10上形成上下导通端子60及102之后，去除绝缘膜61的一部分而形成使得上下导通端子60及102的表面的至少一部分从绝缘膜61露出来。

从开口部63及107露出的上下导通端子60及102，不管是任何平面形状只要这些端子的表面的一部分从开口部63及107露出即可。在本实施方式中，虽然上下导通端子60及102的平面形状为矩形，但也可以是其他形状。上下导通端子60及102的一部分或者整体，也可以在基体材料10的表面内的需要的方向上延伸。

开口部63及107的开口形状，是圆形。从而，开口部63及107的各自的边缘64及108，沿图中摩擦方向延伸的部分，即平行于摩擦方向、或者实际上看做平行的程度地延伸的部分减少了。更具体地，相比较于例如具有沿着摩擦方向的边缘的长方形状的开口部，减少了边缘64及108中的沿着摩擦方向的部分。而且，因为开口部63及107的开口形状是圆形，所以不管从取向膜9a的表面内的哪个方向对取向膜9a进行摩擦处理，边缘64及108，都在对于摩擦方向倾斜的方向上延伸。

依照边缘64及108，在对取向膜9a进行摩擦处理时，在分别接触边缘64及108的摩擦辊202的表面上，能够有效地减少：以接触于边缘64及108的部分为边界在其边界的两侧的区域在纤维紊乱的程度方面产生很大的差。更具体地，以摩擦辊202的表面之中接触于边缘64及108的部分为边界，在交织材料的纤维紊乱方面产生梯度。从而，通过摩擦辊202的表面中的纤维紊乱方面产生很大差区域接触于取向膜9a，能够减少在取向膜9a中产生带状的取向不匀。加之，由于使开口部63的开口形状为圆形，相比较于形成具有直线性的边缘的开口部可减少沿摩擦方向的部分，形成开口部时的开口形状的控制也变得容易。即，不必在倾斜于摩擦方向的方向上延伸地边调整直线的边缘的朝向边形成开口部。因而，由于形成开口形状为圆形的开口部63及107，通过上下导通端子60及120而进行TFT基板110及对向基板120的电连接，能够减少产生于取向膜9a的带状的取向不匀，可以使液晶装置80的显示质量提高。

图7，是图6的A-A’线剖面图。在图7中，形成于基体材料10的表面的上下导通端子60的表面的一部分，从去除绝缘膜61的一部分而形成的开口部63露出。边缘64，因为具有沿着对形成于绝缘膜61上的取向膜9a进行摩擦处理时的摩擦方向而延伸的部分得到减少的边缘64，所以能够减少在交织材料中的沿摩擦方向的边界部的两侧的区域在纤维紊乱方面产生很大的差。

通过以上，依照本实施方式的液晶装置80，因为能够减少取向膜9a中的沿摩擦方向的取向不匀，所以能够减少在显示图像时被看出的条纹等显示不良，可以使液晶装置80的显示质量提高。

其次，参照图8～图11对开口部的开口形状的变形例进行说明。还有，在以下的各变形例中所示的开口部，与上述的开口部同样地由去除设置于TFT基板的最上层的绝缘膜的一部分而形成，形成于绝缘膜的下层的上下导通端子的表面的一部分从开口部露出。

(变形例1)

图8是表示开口部的一例的平面图。

在图8中，开口部111的开口形状，是具有沿摩擦方向的长轴的椭圆形。开口部111，因为与开口部63及107同样地具有沿摩擦方向延伸的部分已被减少的边缘114，所以能够减少在以摩擦辊的表面之中接触于边缘114的部分为界的两侧的区域在纤维紊乱的程度方面产生很大的差。从而，与开口部63及107同样地，能够减少显示图像时沿摩擦方向产生条纹状的不正常。

如在图8中所示地，开口部111，沿着相交于摩擦方向的方向，即具有椭圆形状的开口部111的短轴方向而形成多个，依照开口部111，相比较于使开口部的开口形状为圆形的情况，因为开口部111的沿相交于摩擦方向的方向的宽度，比开口部中的沿摩擦方向的长度短，所以沿摩擦方向以短的间距能够形成多个开口部111。从而，依照本例的开口部111，即使在以沿相交于摩擦方向的方向，即开口部111的短轴方向的窄小间距形成开口部111的情况下，也能够减少在摩擦辊的纤维紊乱的程度方面产生很大的差。

(变形例2)

图9是表示开口部的另一例的平面图。

在图9中，开口部121所具有的边缘124，包括沿摩擦方向波状延伸的波状部124a。

波状部124a，虽然作为整体沿摩擦方向而延伸，但是若局部性地看待从一端到另一端之间的各部分，各部分的形状则为对于摩擦方向在倾斜的方向延伸的曲线状，通过连续连结这些各部分而以波状部124a整体构成连续的边缘124的一部分。从而，开口部121所具有的边缘124中的沿摩擦方向的部分减少了。依照开口部121，能够减少在沿摩擦方向所产生的磨擦相交的纤维紊乱的程度方面产生很大的差，可以减少沿摩擦方向的取向不匀。

还有，如在图9中所示地，开口部121的边缘124中的在相交于摩擦方向的方向上延伸的线状部124b，优选具有对于相交于摩擦方向的方向倾斜的形状，优选例如像本例的曲线形状。依照线状部124b，不但由边缘124之中沿摩擦方向延伸的部分而产生的取向不匀，而且由在相交于摩擦方向的方向上延伸的部分所产生的取向不匀也能减少，可以有效地减少取向膜的取向不匀，可以有效地提高液晶装置的显示质量。还有，本例的边缘124，并不排除线状部124b以图中虚线所示直线状的情况。

(变形例3)

图10，是表示开口部131的另一例的平面图。

在图10中，开口部131，由沿摩擦方向互相连结的2个辅助开口部132a及132b而构成。

因为辅助开口部132a及132b的各自的开口形状都是圆形，所以对于辅助开口部132不管从绝缘膜表面内的哪个方向进行摩擦处理，辅助开口部132a及132b的分别的边缘134a及134b都在对于摩擦方向倾斜的方向上延伸。从而，与已经说明过的开口部的各例同样地能够减少沿摩擦方向的带状的取向不匀。另外，在本例中，虽然连结了2个辅助开口部132a及132b，但是也可以沿摩擦方向连结大于或等于3个辅助开口部。

2个辅助开口部132a及132b，在对具备这些辅助开口部的液晶装置等电光装置的电特性进行检查时有效。更具体地，通过使由导电构件所构成的探针接触于在沿摩擦方向偏移设置的辅助开口部132a及132b上分别露出的端子部，能够容易地检查电光装置的电特性。即，即使在相交于摩擦方向的方向上以狭窄间距形成开口部131的情况下，以沿摩擦方向使探针偏移的状态也能够检查电光装置的电特性，可不使探针以与开口部131的间距相一致地相互接近，就可检测电特性。从而，通过不使检查用的探针接近，能够减少因探针进行接触而引起的检查差错，能够提供确保可靠性，显示质量也得到提高的高性能的电光装置。

(变形例4)

图11是表示开口部的另一例的平面图。

在图11中，开口部141的边缘144，具有分别在对于摩擦方向倾斜的方向上直线性地延伸的线状部144a及144b，开口部141的开口形状，具有通过互相连接这些线状部144而形成的形状。在本例中，开口部141的开口形状是菱形。从而，与上述的开口部同样地能够减少产生沿摩擦方向的带状的取向不匀。

并且，为菱形的各边的线状部144a及144b，若摩擦方向未被设定为沿分别以图中箭头X1及X2所示的方向那样地在取向膜进行摩擦处理，则即使在边缘144具有直线部144a及144b的情况下，也能够减少沿摩擦方向的取向不匀。

(液晶装置的制造方法)

其次，参照图12对液晶装置80的制造方法进行说明。

在图12(a)中，在基体材料10上形成上下导通端子60或102。上下导通端子60或102，沿基体材料10表面的面内方向而延伸。上下导通端子60或102，一旦在基体材料10表面使导电膜进行成膜之后，按需要的平面形状对导电膜进行蚀刻而形成。

其次在图12(b)中，在上下导通端子60或102上形成绝缘膜61。此时，也可以平坦化绝缘膜61的表面。

其次，在图12(c)中，去除绝缘膜61的一部分使得上下导通端子60或102的表面的至少一部分露出来，形成开口部63或107。此时，通过对去除绝缘膜61的蚀刻条件进行调整，像具有对于以后面的工序形成于绝缘膜61上的取向膜沿摩擦处理的处理方向的部分已经减少的边缘64或108那样地能够形成开口部63或107。

其次，避开开口部63或107地在绝缘膜61的表面上形成取向膜30。接下来进行取向膜30的摩擦处理而形成TFT基板110。其后，将对向基板120粘接到TFT基板110，并在这些基板间密封进液晶，形成液晶装置80。还有，在取向膜30进行摩擦处理时，也可以对于摩擦辊的行进方向而调整TFT基板110的位置使得开口部63或107的边缘64或108对于摩擦方向在相对地倾斜的方向上延伸。

依照本实施方式的液晶装置的制造方法，能够减少在显示图像时被看出的条纹等显示不良，可以使液晶装置的显示质量提高。

(电子设备)

其次，参照图13及图14对装载上述的液晶装置的各种电子设备进行说明。因为本实施方式的电子设备具备上述的液晶装置，所以具备优良的显示质量。并且，通过将上述的液晶装置适用于大画面的电子设备，例如，还可以构成具备大型尺寸的图像显示面的电视机用监视器。而且，并不限定于具备大型尺寸图像显示面的电子设备，在以下所示的各种电子设备中，也适用上述的液晶装置。

(A：便携型计算机)

对在便携型个人计算机中，适用上述的液晶装置的例，参照图13进行说明，在此，图13，是表示本计算机1200的构成的立体图。

在图13中，计算机1200，具备：具备键盘1202的主体部1204，和具有采用未图示的液晶装置而构成的显示部1005的显示单元1206。显示部1005，可以显示减少了显示图像时的条纹状的不正常的高质量的图像。并且，通过设置将由光源发出的光作为红、绿、蓝三原色而从像素部出射到构成显示部1005的液晶装置的滤色器，该显示部1005能够以全彩色显示而进行图像显示。

(B：便携型电话机)

进而，对将上述的液晶装置适用于便携型电话机的例，参照图14进行说明。在此，图14，是表示便携型电话机1300的构成的立体图。在图14中，便携型电话机1300，具备：多个操作按钮1302，和具有是本发明的一个实施方式的液晶装置的显示部1305。

显示部1305，与上述的显示部1005同样地具备上述的液晶装置。该液晶装置，取向不匀已经减少，并且，因为显示部1305所具备的液晶装置可靠地实施内部电路等检查，所以具有高可靠性，能够长期间地显示高质量的图像。特别地，便携型电话机1300，因为能够越长期间无故障使用越好，所以优选在本例的便携型电话机1300中适用是本发明的电光装置的一例的液晶装置。并且，通过与上述的便携型计算机同样地显示部1305所具备的液晶装置具有可以发出红、绿、蓝光的像素部，显示部1305液能够以全彩色显示进行图像显示。这样一来，即使在具备比较小型的图像显示面的电子设备中，也能够采用本发明的电光装置。

还有，本发明，并不限于上述的实施例，在不违反从技术方案的范围及说明书整体读取的发明的要旨或思想的范围可以适当变更，伴随其变更的电光装置及制造方法、以及电子设备也包含在本发明的技术范围。

Claims (13)

1.一种电光装置，其特征在于，具备：

基板；

形成于该基板上的与外部连接用的端子部；

形成于该连接用端子部上的绝缘膜；和

开口部，其通过去除上述绝缘膜的一部分而形成，以使得上述连接用端子部的表面的一部分露出，具有边缘，该边缘沿着对形成于上述绝缘膜上的取向膜进行摩擦时的摩擦方向延伸的部分为曲线。

2.按照权利要求1所述的电光装置，其特征在于：

上述述开口部的开口形状是圆形。

3.按照权利要求1所述的电光装置，其特征在于：

上述开口部的开口形状，是具有沿上述摩擦方向的长轴的椭圆形。

4.按照权利要求1所述的电光装置，其特征在于：

上述开口部的开口形状，是具有沿从上述摩擦方向倾斜的角度的长轴的椭圆形。

5.按照权利要求1所述的电光装置，其特征在于：

上述开口部，由沿上述摩擦方向互相连结的多个辅助开口部所构成。

6.按照权利要求5所述的电光装置，其特征在于：

上述辅助开口部的开口形状是圆形。

7.按照权利要求1～6中的任何一项所述的电光装置，其特征在于：

上述边缘，包括沿上述摩擦方向波状延伸的部分。

8.按照权利要求1～7中的任何一项所述的电光装置，其特征在于：

上述边缘之中在相交于上述摩擦方向的方向延伸的部分的形状，是曲线。

9.按照权利要求1所述的电光装置，其特征在于：

上述边缘，具有在对于上述摩擦方向倾斜的方向上分别直线延伸的部分；

上述开口部的开口形状，是被上述直线延伸的部分所围的形状。

10.一种电光装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板上形成与外部连接用的端子部的工序；

在该连接用端子部上形成绝缘膜的工序；和

形成开口部的工序，该开口部通过去除上述绝缘膜的一部分使得上述连接用端子部的表面的一部分露出，并具有边缘，该边缘沿着对形成于上述绝缘膜上的取向膜进行摩擦时的摩擦方向延伸的部分为曲线。

11.按照权利要求10所述的电光装置的制造方法，其特征在于，还包括：

在上述绝缘膜上形成上述取向膜的工序；和

通过使摩擦辊在对于上述边缘所延伸的方向倾斜的方向上行进而对上述取向膜进行摩擦的工序。

12.按照权利要求10所述的电光装置的制造方法，其特征在于，

在形成上述开口部的工序中，形成前述开口部使得上述开口部的开口形状，成为：圆形、具有沿上述摩擦方向的长轴的椭圆形、具有沿从上述摩擦方向倾斜的角度的长轴的椭圆形、包括波状的部分的形状、或者连结多个圆形的形状。

13.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1～9任一项中所述的电光装置。

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