KR20060090182A - 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기 - Google Patents

전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기 Download PDF

Info

Publication number
KR20060090182A
KR20060090182A KR1020060011146A KR20060011146A KR20060090182A KR 20060090182 A KR20060090182 A KR 20060090182A KR 1020060011146 A KR1020060011146 A KR 1020060011146A KR 20060011146 A KR20060011146 A KR 20060011146A KR 20060090182 A KR20060090182 A KR 20060090182A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
opening
rubbing
rubbing direction
along
shape
Prior art date
Application number
KR1020060011146A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100844301B1 (ko
Inventor
나오시 오타
Original Assignee
세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세이코 엡슨 가부시키가이샤 filed Critical 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Publication of KR20060090182A publication Critical patent/KR20060090182A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100844301B1 publication Critical patent/KR100844301B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133784—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G02F1/13458—Terminal pads
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133388—Constructional arrangements; Manufacturing methods with constructional differences between the display region and the peripheral region

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

예를 들어, 러빙 롤의 클로스재에 발생하는 모란에 기인하는 띠형 배향 불균일이 저감된다.
개구부 (63 및 107) 의 개구형상은 원형이다. 따라서, 개구부 (63 및 107) 의 각 가장자리 (64 및 108) 는 도면 중 러빙 방향을 따라 연재하는 부분, 즉 러빙 방향에 평행 또는 실제상 평행하다고 볼 수 있을 정도로 연재하는 부분이 저감되어 있다. 더 구체적으로는, 예를 들어 러빙 방향을 따른 가장자리를 갖는 직사각형 개구부에 비하여 가장자리 (64 및 108) 에서의 러빙 방향을 따른 부분이 저감되어 있다.
전기광학장치, 접속용 단자부, 러빙 방향, 개구부

Description

전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기{ELECTRO OPTICAL DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING ELECTRO OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS}
도 1 은 본 실시형태의 액정장치 (80) 의 평면도.
도 2 는 도 1 의 H-H'선 단면도.
도 3 은 러빙 장치의 요부 구성을 나타내는 사시도.
도 4 는 TFT 기판 (210) 에 형성된 개구부 (160) 와 러빙 롤러 (2) 의 위치관계를 도식적으로 나타낸 사시도.
도 5 는 TFT 기판 (210) 의 배향막 (90) 에 생긴 배향 불균일 및 러빙 롤러 (2) 의 위치관계를 도식적으로 나타낸 사시도.
도 6 은 TFT 기판 (110) 의 구성을 나타내는 평면도.
도 7 은 도 6 의 A-A'선 단면도.
도 8 은 본 실시형태의 개구부의 다른 예 (변형예 1) 를 나타내는 평면도.
도 9 는 본 실시형태의 개구부의 다른 예 (변형예 2) 를 나타내는 평면도.
도 10 은 본 실시형태의 개구부의 다른 예 (변형예 3) 를 나타내는 평면도.
도 11 은 본 실시형태의 개구부의 다른 예 (변형예 4) 를 나타내는 평면도.
도 12 는 본 실시형태의 액정장치의 제조공정을 나타내는 공정 단면도.
도 13 은 본 실시형태의 전자기기의 일례를 나타내는 사시도.
도 14 는 본 실시형태의 전자기기의 다른 예를 나타내는 사시도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
110 : TFT 기판 120 : 대향기판
63, 107, 111, 121, 131, 141 : 개구부 132 : 보조 개구부
64, 108 : 가장자리
특허문헌 1 일본 공개특허공보 평10-232399호
본 발명은, 예를 들어 배향막을 러빙하는 러빙 공정을 거쳐 제조되는 액정장치 등의 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 예를 들어 액정장치 등을 구비한 전자기기의 기술분야에 관한 것이다.
이 종류의 전기광학장치는, 유리기판, 석영기판 등으로 이루어지는 2장의 기판 사이에 액정을 봉입하여 구성되어 있고, 한 쪽 기판에 박막 트랜지스터 (Thin Film Transistor, 이하, TFT 라 함) 등의 스위칭소자를 매트릭스상으로 배치하고 다른 쪽 기판에 대향전극을 배치하여, 양 기판 사이의 밀봉된 액정층의 광학특성을 화상신호에 따라 변화시킴으로써 화상표시를 가능하게 하고 있다.
TFT 를 배치한 TFT 기판 및 대향전극이 형성된 대향기판은 따로따로 형성되며, 액정층과 접하는 면에 형성된 배향막에 러빙 처리가 실시된 후 고정밀도로 부 착된다. TFT 기판의 상층에 적층된 외부단자전극 또는 TFT 기판 및 대향기판을 전기적으로 접속하기 위한 전극 등을 외측에 노출하기 위해, TFT 기판의 화상표시영역을 제외한 영역에 오목홈이 형성되어 있는 것이 일반적이다.
또, 이러한 전기광학장치에서는 표시품질을 향상시키기 위한 기술개발이 여러 가지로 이루어지고 있어, 예를 들어 상술한 오목홈을 이용하여 표시품질을 향상시키는 기술이 개시되어 있다 (예를 들어 특허문헌 1).
그러나, TFT 기판 상에서의 오목홈 등의 요철형상의 존재에 의해 배향막에 미세한 배향 불균일이 형성되게 되어, 이 배향 불균일의 존재에 의해 표시품질이 저하되는 문제가 있다. 이러한 문제를 해소하기 위해 각종 기술이 검토되고 있으나, 아직 충분하다고는 할 수 없는 상황이다. 예를 들어, TFT 기판의 표면에 형성된 개구부의 가장자리가 러빙 방향에 평행하게 연장되는 부분을 갖고 있는 경우, 이 평행하게 연장되는 부분을 경계로 하여 러빙 롤의 클로스재 (cloth material) 에 모란 (毛亂 : fabric disorder) 이 발생하는 것을 생각할 수 있다. 더 구체적으로는, 이 모란이 발생한 러빙 롤로 러빙 처리한 경우, 배향막에 띠형 배향 불균일이 생길 가능성이 있다. 본원 발명자는 러빙 롤의 클로스재에 생기는 모란에 의해 배향 불균일이 생겨 이 배향 불균일이 액정장치 등의 표시품질을 저하시키는 한 가지 원인이 된다고 생각하고 있다.
따라서, 본 발명은 상기 문제점 등을 감안하여 이루어진 것으로, 예를 들어 러빙 롤의 클로스재에 발생하는 모란에 기인하는 띠형 배향 불균일이 저감되어 높 은 표시품질을 갖는 액정장치 등의 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 이 액정장치 등을 구비한 전자기기를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 관련된 전기광학장치는 상기 과제를 해결하기 위하여, 기판; 그 기판 상에 형성된 외부와의 접속용 단자부; 그 접속용 단자부 상에 형성된 절연막; 및 상기 접속용 단자부의 표면 일부가 노출되도록 상기 절연막의 일부를 제거하여 형성되어 있고, 상기 절연막 상에 형성되는 배향막을 러빙할 때의 러빙 방향을 따라 연장되는 부분이 곡선으로 된 가장자리를 갖는 개구부를 구비하고 있다.
본 발명에 관련된 전기광학장치에서는, 예를 들어 기판 상에 TFT 등의 소자, 도전층 및 층간절연막을 포함한 적층구조가 형성되어 있고, 접속용 단자부는 TFT 또는 도전층과 직접 또는 간접적으로 전기적으로 접속되어 있다. 접속용 단자부 표면의 일부는 접속용 단자부 상에 형성된 절연막의 일부가 제거됨으로써 노출된다. 즉, 본 발명에 관련된 전기광학장치에서는, 개구부는 기판 상에 접속용 단자부가 형성된 후 예를 들어, 접속용 단자부 위에 형성된 절연막을 접속용 단자부의 표면 일부가 노출되도록 에칭함으로써 형성된다. 절연막은, 예를 들어 기판 상에 형성되는 적층구조의 최상층이고, 개구부를 피하도록 형성되어 있으면 된다. 본 발명에 관련된 전기광학장치에 의하면, 예를 들어 절연막의 상측으로부터 TFT 기판에 대향기판을 부착한 경우, 대향기판에 형성된 도전부 및 TFT 기판의 접속용 단자부의 표면이 맞닿아 TFT 기판 및 대향기판을 전기적으로 접속할 수 있다.
개구부는, 절연막 상에 형성되는 배향막을 러빙할 때의 러빙 방향을 따라 연장되는 부분이 저감된 가장자리를 갖고 있기 때문에, 러빙 방향을 따라 러빙 롤의 클로스재에 모란이 발생하는 것을 저감할 수 있다. 더 구체적으로는, 예를 들어 가장자리에서의 러빙 방향을 따라 연장되는 부분을 경계로 하여 러빙 롤러의 클로스재의 모란에 극단적인 차가 발생하는 것을 저감할 수 있다. 여기에서, 「러빙 방향을 따라」라는 것은, 러빙 방향과 평행, 또는 실제상 평행하다고 볼 수 있을 정도까지, 가장자리의 일부가 연장되는 방향이 러빙 방향과 일치하고 있는 것을 의미한다. 즉, 클로스재의 표면에 모란의 정도 차가 극단적으로 변화하고 있는 것은 아니며, 클로스재 표면에서의 러빙 방향을 따른 경계의 양측 영역에서 클로스재의 모란의 분포가 클로스재의 표면에서 완만하게 변화하게 된다. 따라서, 러빙 방향을 따라 클로스재의 모란이 극단적으로 변화하고 있는 것에 기인하여 배향막에 띠형의 배향 불균일이 발생하는 것을 저감할 수 있다. 본 발명에 관련된 전기광학장치에 의하면, 예를 들어 화상을 표시하였을 때 화상표시면에서 시인되는 줄무늬 등의 표시불량을 저감시킬 수 있어, 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 일 양태에서는, 상기 개구부의 개구형상은 원형이어도 된다.
이 양태에 의하면, 러빙 방향이 절연막 표면의 어떤 방향이라 하더라도, 가장자리에서의 러빙 방향을 따른 부분은 저감되어, 러빙 방향을 따라 연장되는 가장자리에 기인하여 발생하는 클로스재의 모란을 저감시킬 수 있다. 따라서, 배향 막에 띠형의 배향 불균일이 발생하는 것을 저감시킬 수 있을 뿐만 아니라, 예를 들어 러빙 방향에 가장자리가 평행하게 연장되지 않도록 개구부를 형성하는 경우에 비하여 개구부를 형성할 때의 절연막을 제거하는 공정에서의 프로세스 제어도 간편해지므로, 개구부를 간편하게 형성할 수 있다. 여기에서, 「개구형상」이란 절연막의 표면과 동일면 내에서 가장자리에 의해 둘러싸인 형상이다. 이 양태에 의하면, 예를 들어 단자부를 통하여 TFT 기판 및 대향기판을 전기적으로 접속하면서 배향막에 발생하는 띠형의 배향 불균일을 저감시킬 수 있어, 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 다른 양태에서는, 상기 개구부의 개구형상은 상기 러빙 방향을 따른 장축을 갖는 타원형이어도 된다.
이 양태에 의하면, 러빙 방향을 따른 클로스재의 모란의 차가 배향막 표면 내의 각 영역에서 극단적으로 커지는 것을 저감시킬 수 있다. 또한, 러빙 방향에 교차하는 방향, 즉 개구부의 단축방향을 따른 좁은 피치로 복수의 개구부를 형성하는 경우에도, 클로스재의 모란이 러빙 방향을 따른 경계에서 급격하게 변화하는 것을 저감시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 다른 양태에서는, 상기 개구부의 개구형상은 상기 러빙 방향에서 기울어진 각도를 따른 장축을 갖는 타원형이어도 된다.
이 양태에 의하면, 개구부의 가장자리 중 러빙 방향을 따른 선분 성분을 적게 할 수 있어, 클로스재의 모란의 차가 배향막 표면 내의 각 영역에서 극단적으로 커지는 것을 효과적으로 저감시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 다른 양태에서는, 상기 개구부는 상기 러빙 방향을 따라 서로 연결된 복수의 보조 개구부로 구성되어도 된다.
이 양태에 의하면, 예를 들어 복수의 보조 개구부 각각에 도전부재로 구성된 프로브를 접촉시킴으로써 용이하게 전기광학장치의 전기 특성을 검사할 수 있다. 더 구체적으로는, 상기 러빙 방향을 따라 서로 연결된 복수의 보조 개구부는 러빙 방향을 따라 어긋나 있기 때문에, 러빙 방향에 교차하는 방향에 좁은 피치로 개구부가 형성되어 있는 경우에도 러빙 방향을 따라 프로브를 어긋나게 한 상태에서 전기광학장치의 전기 특성을 검사할 수 있다.
이 양태에서는, 상기 보조 개구부의 개구형상은 원형이어도 된다.
이 양태에 의하면, 보조 개구부에 대하여 어느 방향으로부터 러빙을 한 경우라도 러빙 방향을 따라 러빙 클로스에 모란이 발생하는 일이 없다. 따라서, 용이하게 전기 특성을 검사함으로써 신뢰성이 확보되면서 표시품질도 높아진 고성능 전기광학장치를 제공할 수 있다.
본 발명에 관련된 다른 양태에서는, 상기 가장자리는 상기 러빙 방향을 따라 물결형으로 연장되는 부분을 포함하고 있어도 된다.
이 양태에 의하면, 가장자리가 물결형으로 연장되는 부분을 포함하고 있기 때문에, 러빙 방향을 따라 발생하는 러빙 클로스의 모란을 저감시킬 수 있고, 러빙 클로스의 모란에 의해 발생하는 배향막의 불균일을 저감시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 다른 양태에서는, 상기 가장자리 중 상기 러빙 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 부분의 형상은 곡선이어도 된다.
이 양태에 의하면, 예를 들어 러빙 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되는 가장자리에 기인하여 발생하는 러빙 클로스의 모란도 저감시킬 수 있다. 따라서, 러빙 방향 및 러빙 방향에 교차하는 방향을 따라 발생하는 러빙 클로스의 모란을 저감시킬 수 있고, 러빙 방향을 따라 발생하는 러빙 클로스의 모란을 저감시키는 경우에 비하여 효과적으로 표시품질을 높이는 것이 가능하다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 다른 양태에서는, 상기 가장자리는 상기 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향에 각각 직선적으로 연재 (延在) 하는 부분을 갖고, 상기 개구부의 개구형상은 그 직선적으로 연재하는 부분에 의해 둘러싸인 형상이어도 된다.
이 양태에 의하면, 상기 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향에 각각 직선적으로 연재하는 부분을 갖는 가장자리에 의해, 예를 들어 개구부의 개구형상을 마름모꼴 등의 사각형으로 할 수 있다. 여기에서, 마름모꼴 등의 사각형의 각 변은 상기 러빙 방향에 대하여 기울어져 있기 때문에 러빙에 의해 배향막에 발생하는 러빙 방향을 따라 발생하는 러빙 클로스의 모란을 저감시킬 수 있다. 또, 가장자리의 직선적으로 연재하는 부분에 둘러싸인 형상은 사각형에 한정되는 것은 아니며, 다른 다각형이어도 되는 것은 말할 필요도 없다.
본 발명에 관련된 전기광학장치는 상기 과제를 해결하기 위하여, 기판 상에 외부와의 접속용 단자부를 형성하는 공정; 그 접속용 단자부 상에 절연막을 형성하는 공정; 및 상기 접속용 단자부의 표면 일부가 노출되도록 상기 절연막의 일부를 제거하고, 상기 절연막 상에 형성되는 배향막을 러빙할 때의 러빙 방향을 따라 연 장되는 부분이 곡선으로 된 가장자리를 갖는 개구부를 형성하는 공정을 구비한다.
이 양태에 의하면, 상술한 본 발명의 전기광학장치와 마찬가지로, 예를 들어 화상을 표시하였을 때 시인되는 줄무늬 등의 표시불량을 저감시킬 수 있어, 전기광학장치의 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 제조방법의 일 양태에서는, 상기 절연막 상에 상기 배향막을 형성하는 공정과, 상기 가장자리가 연장되는 방향에 대하여 기울어진 방향으로 러빙 롤을 진행시킴으로써 상기 배향막을 러빙하는 공정을 추가로 구비하여도 된다.
이 양태에 의하면, 가장자리가 연장되는 방향을 제어할 뿐만 아니라 러빙 방향을 제어함으로써 상대적으로 러빙 방향을 따라 발생하는 러빙 클로스의 모란을 저감시킬 수 있다. 따라서, 가장자리가 연장되는 방향 및 러빙 방향 양쪽을 조정함으로써 효과적으로 러빙 클로스의 모란을 저감시킬 수 있어, 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
본 발명에 관련된 전기광학장치의 제조방법의 다른 양태에서는, 상기 개구부를 형성하는 공정에서 상기 개구부의 개구형상이 원형, 상기 러빙 방향을 따른 장축을 갖는 타원형, 상기 러빙 방향으로부터 기울어진 각도를 따른 장축을 갖는 타원형, 물결형 부분을 포함하는 형상, 또는 복수의 원형을 연결한 형상이 되도록 상기 개구부를 형성해도 된다.
이 양태에 의하면, 상술한 본 발명의 전기광학장치와 마찬가지로 효과적으로 클로스재의 모란을 저감시킬 수 있다.
본 발명에 관련된 전자기기는 상기 과제를 해결하기 위하여, 상술한 본 발명의 전기광학장치를 구비하고 있다.
본 발명에 관련된 전자기기에 의하면, 상술한 본 발명에 관련된 전기광학장치를 구비하고 있기 때문에, 고품위의 표시가 가능한 투사형 표시장치, 액정 텔레비전, 휴대전화, 전자수첩, 워드 프로세서, 뷰파인더형 또는 모니터직시형 비디오테이프 레코더, 워크스테이션, 텔레비전 전화, POS 단말, 터치패널 등의 각종 전자기기를 실현할 수 있다. 또 본 발명에 관련된 전자기기로서 예를 들어 전자 페이퍼 등의 전기영동장치 외에 전자방출소자를 이용한 표시장치 (Field Emission Display 및 Surface-Conduction Electron-Emitter Display), DLP (Digital Light Processing) 등도 실현하는 것이 가능하다.
본 발명의 이러한 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시형태로부터 확실해진다.
이하, 도면을 참조하면서 본 실시형태의 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기를 설명한다. 또한 본 실시형태에서는, 본 발명에 관련된 전기광학장치로서 액정장치를 예로 든다.
(액정장치의 전체구성)
먼저, 도 1 및 도 2 를 참조하면서 본 실시형태의 액정장치 (80) 의 구성을 설명한다. 도 1 은 액정장치 (80) 의 평면도이고, 액정장치 (80) 를 TFT 어레이 기판 (110) 상에 배치되는 대향기판 (120) 측에서 본 평면도이다. 도 2 는 도 1 의 H-H'선 단면도이다.
도 1 및 도 2 에 있어서, 액정장치 (80) 는 TFT 어레이 기판 (110) 과, TFT 기판 (110) 에 대향 배치되는 대향기판 (120) 을 구비하고 있다. TFT 어레이 기판 (110) 과 대향기판 (120) 사이에는 액정층 (50) 이 봉입되어 있다. TFT 어레이 기판 (110) 및 대향기판 (120) 은 화상표시영역 (10a) 주위에 위치하는 시일영역에 형성된 시일재 (52) 에 의해 서로 접착되어 있다.
시일재 (52) 는 양 기판을 부착하기 위한 예를 들어 자외선 경화 수지, 열 경화 수지 등으로 이루어지고, 제조프로세스에서 TFT 어레이 기판 (110) 상에 도포된 후, 자외선 조사, 가열 등에 의해 경화된다. 시일재 (52) 중에는 TFT 어레이 기판 (110) 과 대향기판 (120) 의 간격 (기판간 갭) 을 소정값으로 하기 위한 글래스 화이버 또는 글래스 비드 등의 갭재가 살포되어 있다. 본 실시형태의 액정장치 (80) 는, 예를 들어 프로젝터의 라이트 밸브용으로서 소형으로 확대표시를 하는 경우나, 화상표시장치로서 그대로 사용되는 경우, 또는 각종 전자기기의 화상표시부로서 사용되는 것으로서 적합하다.
대향기판 (120) 의 4개의 코너부에는 TFT 기판 (110) 및 대향기판 (120) 사이의 상하도통단자로서 기능하는 상하도통재 (106) 가 형성되어 있다. 대향기판 (120) 은 시일재 (52) 가 배치된 시일영역의 내측에 병행하여 형성된 액자 차광막 (53) 을 구비하고 있다. 액자 차광막 (53) 은 화상표시영역 (10a) 의 액자영역을 규정한다. 단, 이러한 액자 차광막 (53) 의 일부 또는 전부는 TFT 어레이 기판 (110) 측에 내장 차광막으로서 형성되어도 된다.
TFT 기판 (110) 은, 본 발명에 관련된 「기판」의 일례인 평판상 기재 (10) 상에 형성된 절연막 (61), 절연막 (61) 의 일부를 제거하여 형성된 개구부 (63), 표면의 적어도 일부가 개구부 (63) 로부터 노출되는 상하도통단자 (60) 및 절연막 (61) 상에서의 화상표시영역 (10a) 에 형성된 배향막 (9a) 을 구비하고 있다. 상하도통단자 (60) 는 본 발명에 관련된 「단자부」의 각 일례이고, 예를 들어 알루미늄 등의 도전재료로 형성되어 있다. TFT 기판 (110) 및 대향기판 (120) 을 부착하였을 때 상하도통재 (106) 가 상하도통단자 (60) 에 접촉함으로써 TFT 어레이 기판 (110) 및 대향기판 (120) 이 전기적으로 접속되어 있다.
TFT 기판 (110) 은, 화상표시영역 (10a) 의 주변에 위치하는 주변영역 중 시일재 (52) 가 배치된 시일영역의 외측에 위치하는 영역에, 데이터선 구동회로 (101) 및 본 발명에 관련된 「단자부」의 일례인 외부회로 접속단자 (102) 를 구비하고 있다. 데이터선 구동회로 (101) 및 외부회로 접속단자 (102) 는 TFT 어레이 기판 (110) 의 한 변을 따라 형성되어 있다. 외부회로 접속단자 (102) 표면의 적어도 일부는 절연막 (61) 의 일부를 제거하여 형성된 개구부 (107) 에 노출된다.
도 1 에 있어서, TFT 기판 (110) 은, TFT 기판 (110) 의 화상표시영역 (10a) 을 사이에 두도록 도면 중 상하방향으로 연재하는 영역에 액자 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성된 주사선 구동회로 (104) 를 구비하고 있다. 도면 중 화상표시영역 (10a) 의 좌측 및 우측 각각의 영역에 형성된 두 개의 주사선 구동회로 (104) 사이를 잇기 위해, 도면 중 좌우방향으로 연장되는 TFT 어레이 기판 (110) 의 한 변을 따라, 그리고 상기 액자 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 복수의 배선 (105) 이 형성되어 있다.
도 2 에 있어서, 배향막 (9a) 은, 도시하지 않은 화소스위칭용 TFT 나 주사선, 데이터선 등의 배선을 포함하는 다층구조가 기재 (10) 상에 형성된 후 이 다층구조 위에 형성된 화소전극을 덮도록 형성되어 있다. 상하도통단자 (60) 는 다층구조를 구성하는 도시하지 않은 화소스위칭용 TFT, 주사선 또는 데이터선 등의 배선과 전기적으로 접속되어 있다. 한편, 대향기판 (120) 상에는 대향전극 (21) 외에 격자상 또는 스트라이프상의 차광막 (23), 나아가서는 액정층 (50) 과 접하는 측의 표면에 배향막 (9h) 이 형성되어 있다. 액정층 (50) 은, 예를 들어 1 종 또는 수 종류의 네마틱 액정을 혼합한 액정으로 이루어지고, TFT 기판 (110) 및 대향기판 (120) 각각이 구비하는 배향막 (9a 및 9h) 사이에서 소정의 배향 상태가 유지된다.
또, 도 1 및 도 2 에 나타낸 기재 (10) 상에는, 데이터선 구동회로 (101), 주사선 구동회로 (104) 등에 더하여 화상신호선 상의 화상신호를 샘플링하여 데이터선에 공급하는 샘플링회로, 복수의 데이터선에 소정 전압 레벨의 프리차지신호를 화상신호에 선행하여 각각 공급하는 프리차지회로, 액정장치 (80) 의 전기 특성 등의 품질 또는 결함 등을 제조 도중이나 출하시에 검사하기 위한 검사회로 등을 형성해도 된다.
(배향 불균일의 발생원인에 관한 고찰)
다음으로, 도 3 내지 도 5 를 참조하면서 본원 발명자가 고찰하는 배향 불균일의 발생원인을 설명하고, 그 후 액정장치 (80) 가 갖는 TFT 기판 (110) 의 상세 한 구성을 설명한다. 도 3 은 TFT 기판 (210) 의 표면에서의 화상표시영역에 형성된 배향막 (90) 을 러빙 처리하는 러빙 장치의 요부의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 4 및 도 5 는 배향 불균일이 발생하는 원인을 설명하기 위한 도면이고, 도 4 는 TFT 기판 (210) 에 형성된 개구부 (160) 와 러빙 롤러 (2) 의 위치관계를 도식적으로 나타낸 사시도이고, 도 5 는 TFT 기판 (210) 의 배향막 (90) 에 생성된 배향 불균일 및 러빙 롤러 (2) 의 위치관계를 도식적으로 나타낸 사시도이다. 또한, TFT 기판 (210) 은 상세하게 후술하는 TFT 기판 (110) 과 개구부의 형상이 다른 것 이외에는 동일한 구성을 갖는다.
도 3 에 있어서, 러빙 장치 (1) 는, 기대 (4; 其臺) 의 상면 (이하, 기준평면이라 함 ; 4a) 에 고정된 러빙 롤러 (2), 러빙 처리시에 TFT 기판 (210) 을 탑재하여 기준평면 (4a) 상을 이동하는 팔레트 (5), 팔레트 (5) 에 탑재한 TFT 기판 (210) 의 배향막 (90) 이 러빙 롤러 (2) 의 둘레면 (2b) 에 맞닿도록 팔레트 (5) 를 기준평면 (4a) 상에서 가이드하는 가이드 (6), 및 러빙 롤러 (2) 의 회전축 (2c) 에 회전구동력을 공급하는 모터 (7) 를 그 주요부로서 구비한다.
러빙 롤러 (2) 는, 천으로 제조된 클로스재로 형성된 롤러 둘레면 (2b) 을 갖는 롤러부 (2a), 회전축 (2c), 한 쌍의 베어링 (2d) 에 의해 기준평면에 평행한 평면 상에 회전이 자유롭게 축지지되어 있다. 한 쌍의 베어링 (2d) 은 기준평면 (4a) 에 대하여 도시하지 않은 높이 조정기구를 갖고 있어 롤러 (2) 의 높이를 임의로 조절할 수 있게 되어 있다.
러빙 롤러 (2) 는 베어링 (2d) 으로 지지된 회전축 (2c) 을 통하여 모터 (7) 에 의해 회전력이 공급되고, 롤러부 (2a) 의 둘레면 (2b) 이 한 방향으로 예를 들어 300rpm 으로 회전하면서 TFT 기판 (210) 의 표면에 형성된 배향막 (90) 에 맞닿아 TFT 기판 (210) 의 배향막 (90) 표면에 가는 홈을 형성하여 배향막 (90) 을 배향 이방성 막이 되게 한다.
팔레트 (5) 는, 러빙 처리할 때 팔레트 (5) 상에 TFT 기판 (210) 을 탑재하고, 기준평면 (4a) 상에서 가이드 (6) 에 의해 이동시켜 팔레트 (5) 가 탑재된 TFT 기판 (210) 을 러빙 롤러 (2) 에 각각 맞닿도록 하는 것이다. 또, 가이드 (6) 는 도시하지 않은 팔레트각 조정기구를 갖고, 팔레트각 조정기구는 러빙 처리시에 러빙 롤러에 대하여 TFT 기판 (9) 의 접촉각 (contacting angle) 을 가변, 고정하는 것이다. 따라서, 러빙 처리를 할 때 개구부의 가장자리가 연재하는 방향에 대하여 러빙 방향을 기울어진 방향으로 설정하는 것이 가능하다.
도 4 에 있어서, TFT 기판 (210) 이 구비하는 절연막 (161) 의 일부에 개구되는 개구부 (160) 는 러빙 방향을 따라 연장되는 선형 부분 (164a) 을 갖는 가장자리 (164) 를 갖고 있다. 또, 개구부 (160) 는 절연막 (161) 상에서의 화상표시영역에 형성되는 배향막 (90) 의 주변영역에 형성되어 있다.
배향막 (90) 을 러빙할 때, 러빙 롤러 (2) 를 절연막 (161) 의 표면에 맞닿게 한 상태에서 회전시킨 경우, 러빙 롤러 (2) 의 클로스재의 표면 (321) 에 발생하는 모란의 분포에 극단적인 차가 생긴다고 생각된다. 더 구체적으로는, 러빙 롤러 (2) 의 표면 (321) 중 선형 부분 (164a) 을 따른 경계부 (322) 를 경계로 하여 개구부 (160) 상을 지나는 영역 (321a) 및 절연막 (161) 의 표면을 지나는 영역 (321b) 에서 클로스재의 모란의 정도에 극단적인 차가 생긴다고 생각된다. 영역 (321a 및 321b) 에서 모란에 차이가 생기는 원인의 하나로는, 러빙 롤러 (2) 가 절연막 (161) 으로부터 받는 응력의 차이를 생각할 수 있다. 더 구체적으로는, 러빙 롤러 (20) 를 절연막 (161) 에 누르면서 회전 이동시킨 경우, 영역 (321b) 전체는 절연막 (161) 의 표면에서 큰 응력을 받는다. 한편, 영역 (321a) 에 가해지는 응력은 개구부 (160) 상을 통과하는 분만큼 영역 (321b) 에 비하여 작다. 따라서, 절연막 (161) 의 표면에서 받는 응력차에 따라 선형 부분 (164a) 을 따른 경계부 (322) 의 양측에서 러빙 롤러 (2) 의 표면 (321) 에 모란에 극단적인 차가 생긴다고 추측된다.
도 5 에 있어서, 영역 (321a 및 321b) 사이에서 모란에 극단적인 차가 발생한 상태에서 배향막 (30) 을 러빙한 경우, 배향막 (30) 중 영역 (321a) 에 맞닿는 영역 (30a) 과 영역 (321b) 에 맞닿는 영역 (30b) 에서 배향막 (30) 의 배향성에 극단적인 차가 생겨, 배향막 (30) 에는 러빙 방향을 따른 배향 불균일이 생긴다고 생각된다. 따라서, 개구부 (160) 의 가장자리 (164) 중 러빙 방향을 따라 연장되는 부분인 선형 부분 (164a) 을 저감시키는 것이 배향막의 배향 불균일을 저감시키기 위해서는 중요해진다고 추측된다.
(TFT 기판의 구성)
다음으로, 상술한 배향 불균일의 발생원인에 관한 고찰을 근거로 하여, 도 6 내지 도 12 를 참조하면서 TFT 기판 (110) 에 형성된 개구부 (63 및 107) 의 개구 형상을 설명한다.
도 6 은 TFT 기판 (110) 의 구성을 나타내는 평면도이다. 도 6 에 있어서, TFT 기판 (110) 은 기재 (10) 상에 도시하지 않은 TFT 등의 소자, 도전층 및 층간절연막을 포함하고, 최상층에 형성된 절연막 (61), 절연막 (61) 의 일부를 제거하여 형성된 개구부 (63 및 107) 를 구비한다. 개구부 (63 및 107) 각각의 개구영역에는 절연막 (61) 의 하층측에 형성된 상하도통단자 (60 및 102) 가 각각 노출된다. 상하도통단자 (60 및 102) 는 TFT 기판 (110) 이 구비하는 TFT 또는 도전층과 직접 또는 간접적으로 전기적으로 접속되어 있다. 개구부 (63 및 107) 는 기재 (10) 상에 상하도통단자 (60 및 102) 가 형성된 후, 절연막 (61) 으로부터 상하도통단자 (60 및 102) 표면의 적어도 일부가 노출되도록 절연막 (61) 의 일부를 제거하여 형성되어 있다.
개구부 (63 및 107) 에서 노출되는 상하도통단자 (60 및 102) 는, 이들 단자 표면의 일부가 개구부 (63 및 107) 로부터 노출되고 있다면 어떠한 평면형상이어도 된다. 본 실시형태에서는, 상하도통단자 (60 및 102) 의 평면형상은 직사각형상이지만 그 밖의 형상이어도 된다. 상하도통단자 (60 및 102) 의 일부 또는 전체가 기재 (10) 표면 내의 소요 (所要) 방향으로 연장되어 있어도 된다.
개구부 (63 및 107) 의 개구형상은 원형이다. 따라서, 개구부 (63 및 107) 각각의 가장자리 (64 및 108) 는 도면 중 러빙 방향을 따라 연재하는 부분, 즉 러빙 방향에 평행 또는 실제상 평행하다고 볼 수 있을 정도로 연재하는 부분이 저감되어 있다. 더 구체적으로는, 예를 들어 러빙 방향을 따른 가장자리를 갖는 직사각형상 개구부에 비하여, 가장자리 (64 및 108) 에서의 러빙 방향을 따른 부분이 저감되어 있다. 게다가, 개구부 (63 및 107) 는 개구형상이 원형이기 때문에 배향막 (9a) 표면 내의 어떤 방향에서 배향막 (9a) 를 러빙 처리하는 경우에도 가장자리 (64 및 108) 는 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향으로 연장되어 있게 된다.
가장자리 (64 및 108) 에 의하면, 배향막 (9a) 을 러빙 처리할 때, 가장자리 (64 및 108) 각각에 맞닿는 러빙 롤러 (202) 의 표면에서 가장자리 (64 및 108) 에 맞닿는 부분을 경계로 하여 그 경계의 양측 영역에서 모란의 정도에 극단적으로 큰 차가 생기는 것을 효과적으로 저감시킬 수 있다. 더 구체적으로는, 러빙 롤러 (202) 의 표면 중 가장자리 (64 및 108) 각각에 맞닿는 부분을 경계로 하여, 클로스재의 모란에 그라데이션 (gradation) 이 생긴다. 따라서, 러빙 롤러 (202) 의 표면에서의 모란에 극단적인 차가 생긴 영역이 각각 배향막 (9a) 에 맞닿음으로써 배향막 (9a) 에 띠형의 배향 불균일이 생기는 것을 저감시킬 수 있다. 게다가, 개구부 (63) 의 개구형상을 원형으로 함으로써, 러빙 방향을 따른 부분을 저감하도록 직선적인 가장자리를 갖는 개구부를 형성하는 경우에 비하여 개구부를 형성할 때의 개구형상의 제어도 용이해진다. 즉, 러빙 방향으로 기울어진 방향으로 연장되도록 직선적인 가장자리의 방향을 조정하면서 개구부를 형성할 필요가 없어진다. 따라서, 개구형상이 원형인 개구부 (63 및 107) 를 형성함으로써, 상하도통단자 (60 및 102) 를 통하여 TFT 기판 (110) 및 대향기판 (120) 을 전기적으로 접속하면서 배향막 (9a) 에 생기는 띠형의 배향 불균일을 저감시킬 수 있어, 액정장치 (80) 의 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
도 7 은 도 6 의 A-A'선 단면도이다. 도 7 에 있어서, 기재 (10) 의 표면에 형성된 상하도통단자 (60) 표면의 일부는 절연막 (61) 의 일부를 제거하여 형성된 개구부 (63) 에서 노출된다. 가장자리 (64) 는 절연막 (61) 상에 형성되는 배향막 (9a) 을 러빙 처리할 때의 러빙 방향을 따라 연장되는 부분이 저감된 가장자리 (64) 를 갖고 있기 때문에, 클로스재에서의 러빙 방향을 따른 경계부의 양측 영역에서 모란에 극단적인 차가 생기는 것을 저감시킬 수 있다.
이상에 의해, 본 실시형태의 액정장치 (80) 에 의하면 배향막 (9a) 에서의 러빙 방향을 따른 배향 불균일을 저감시킬 수 있기 때문에, 화상을 표시하였을 때 시인되는 줄무늬 등의 표시불량을 저감시킬 수 있어, 액정장치 (80) 의 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
다음으로, 도 8 내지 도 11 을 참조하면서 개구부의 개구형상의 변형예를 설명한다. 또, 이하의 각 변형예에 나타내는 개구부는 상술한 개구부와 마찬가지로 TFT 기판의 최상층에 형성된 절연막의 일부를 제거하여 형성된 것으로, 절연막의 하층에 형성된 상하도통단자의 표면 일부가 개구부에서 노출된다.
(변형예 1)
도 8 은 개구부의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 8 에 있어서, 개구부 (111) 의 개구형상은 러빙 방향을 따른 장축을 갖는 타원형이다. 개구부 (111) 는, 개구부 (63 및 107) 와 동일하게 러빙 방향을 따라 연재되는 부분이 저감된 가장자리 (114) 를 갖고 있기 때문에, 러빙 롤러의 표면 중 가장자리 (114) 에 맞닿는 부분을 경계로한 양측의 영역에서 모란의 정도 에 극단적인 차가 생기는 것을 저감시킬 수 있다. 따라서, 개구부 (63 및 107) 와 마찬가지로 화상을 표시하였을 때 러빙 방향을 따라 줄무늬와 같은 문제가 생기는 것을 저감시킬 수 있다.
도 8 에 나타내는 바와 같이, 개구부 (111) 는 러빙 방향에 교차하는 방향, 즉 타원형상을 갖는 개구부 (111) 의 단축방향을 따라 복수 형성되어 있다. 개구부 (111) 에 의하면, 개구부의 개구형상을 원형으로 하는 경우에 비하여 개구부 (111) 의 러빙 방향에 교차하는 방향을 따른 폭이 개구부에서의 러빙 방향을 따른 길이에 비하여 짧기 때문에 러빙 방향을 따라 짧은 피치로 복수의 개구부 (111) 를 형성할 수 있다. 따라서, 본 예의 개구부 (111) 에 의하면 러빙 방향에 교차하는 방향, 즉 개구부 (111) 의 단축방향을 따른 좁은 피치로 개구부 (111) 를 형성하는 경우라 해도 러빙 롤의 모란의 정도에 극단적인 차가 생기는 것을 저감시킬 수 있다.
(변형예 2)
도 9 는 개구부의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 9 에 있어서, 개구부 (121) 가 갖는 가장자리 (124) 는 러빙 방향을 따라 물결형 (sinuated shape) 으로 연장되는 파상부 (124a) 를 포함하고 있다.
파상부 (124a) 는, 전체적으로는 러빙 방향을 따라 연재되어 있지만, 일단에서 타단까지 사이의 각 부를 국소적으로 보면, 각 부의 형상은 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향으로 연장되도록 곡선상이고, 이들 각 부가 연속하여 이어져 있는 것에 의해 파상부 (124a) 전체에서 연속한 가장자리 (124) 의 일부를 구성한다. 따라서, 개구부 (121) 가 갖는 가장자리 (124) 에서의 러빙 방향을 따른 부분이 저감되게 된다. 개구부 (121) 에 의하면, 러빙 방향을 따라 발생하는 러빙 클로스의 모란의 정도에 극단적인 차가 생기는 것을 저감시킬 수 있어, 러빙 방향을 따른 배향 불균일을 저감시키는 것이 가능하다.
또, 도 9 에 나타내는 바와 같이 개구부 (121) 의 가장자리 (124) 에서의 러빙 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 선상부 (124b; 線狀部) 는, 러빙 방향에 교차하는 방향에 대하여 기울어진 형상을 갖고 있는 것이 바람직하고, 예를 들어 본 예와 같이 곡선형상인 것이 바람직하다. 선상부 (124b) 에 의하면, 가장자리 (124) 중 러빙 방향을 따라 연장되는 부분에 의해 발생하는 배향뿐만 아니라 러빙 방향에 교차하는 방향으로 연재하는 부분에 의해 발생하는 배향 불균일도 저감시킬 수 있고 배향막의 배향 불균일을 효과적으로 저감시키는 것이 가능하여, 액정장치의 표시품질을 효과적으로 높이는 것이 가능하다. 그리고, 본 예의 가장자리 (124) 는 도면 중 점선으로 나타내는 바와 같이 선상부 (124b) 가 직선상인 경우를 제외하는 것은 아니다.
(변형예 3)
도 10 은 개구부 (131) 의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 10 에 있어서, 개구부 (131) 는 러빙 방향을 따라 서로 연결된 2개의 보조 개구부 (132a 및 132b) 로 구성되어 있다.
보조 개구부 (132a 및 132b) 의 각 개구형상은 원형이기 때문에, 보조 개구부 (132) 에 대하여 절연막 표면 내의 어떤 방향으로부터 러빙 처리를 한 경우라 해도 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향으로 보조 개구부 (132a 및 132b) 각각의 가장자리 (134a 및 134b) 가 연장되어 있게 된다. 따라서, 이미 설명한 개구부의 각 예와 마찬가지로 러빙 방향을 따른 띠형의 배향 불균일을 저감시킬 수 있다. 또, 본 예에서는 2개의 보조 개구부 (132a 및 132b) 가 연결되어 있지만, 3개 이상의 보조 개구부가 러빙 방향을 따라 연결되어 있어도 된다.
2개의 보조 개구부 (132a 및 132b) 는 이들 보조 개구부 (132) 를 구비하는 액정장치 등의 전기광학장치의 전기 특성을 검사할 때 유효하다. 더 구체적으로는, 러빙 방향을 따라 어긋나게 (shifted) 형성된 보조 개구부 (132a 및 132b) 각각에 노출되는 단자부에 도전부재로 구성된 프로브를 접촉시킴으로써, 용이하게 전기광학장치의 전기 특성을 검사할 수 있다. 즉, 러빙 방향에 교차하는 방향에 좁은 피치로 개구부 (131) 가 형성되어 있는 경우에도, 러빙 방향을 따라 프로브를 어긋나게 한 상태에서 전기광학장치의 전기 특성을 검사할 수 있어, 개구부 (131) 의 피치에 맞춰 프로브를 근접시키지 않고 전기 특성을 검사할 수 있다. 따라서, 검사용 프로브를 근접시킴에 따라 이들 프로브가 접촉하여 발생하는 검사 미스를 저감시킬 수 있어, 신뢰성이 확보되면서 표시품질도 높아진 고성능 전기광학장치를 제공할 수 있다.
(변형예 4)
도 11 은 개구부의 다른 일례를 나타내는 평면도이다.
도 11 에 있어서, 개구부 (141) 의 가장자리 (144) 는 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향으로 각각 직선적으로 연재하는 선상부 (144a 및 144b) 를 갖고 있 고, 개구부 (141) 의 개구형상은 이들 선상부 (144a 및 144b) 가 서로 연결됨으로써 형성된 형상을 갖는다. 본 예에서는 개구부 (141) 의 개구형상은 마름모꼴이다. 따라서, 상술한 개구부와 마찬가지로 러빙 방향을 따른 띠형의 배향 불균일이 생기는 것을 저감시킬 수 있다.
또, 마름모꼴의 각 변인 선상부 (144a 및 144b) 는 도면 중 화살표 X1 및 X2 각각으로 나타내는 방향을 따라 러빙 방향이 설정되지 않도록 배향막에 러빙 처리를 하면, 가장자리 (144) 가 직선부 (144a 및 144b) 를 갖고 있는 경우라 해도 러빙 방향을 따른 배향 불균일을 저감시킬 수 있다.
(액정장치의 제조방법)
다음으로, 도 12 를 참조하면서 액정장치 (80) 의 제조방법을 설명한다.
도 12(a) 에 있어서, 기재 (10) 상에 상하도통단자 (60 또는 102) 를 형성한다. 상하도통단자 (60 또는 102) 는 기재 (10) 표면의 면내방향을 따라 연재된다. 상하도통단자 (60 또는 102) 는 일단 기재 (10) 표면에 도전막을 막형성한 후, 요구되는 평면형상이 되도록 도전막을 에칭하여 형성된다.
다음으로 도 12(b) 에 있어서, 상하도통단자 (60 또는 102) 상에 절연막 (61) 을 형성한다. 이 때, 절연막 (61) 의 표면을 평탄화하고 있어도 된다.
다음으로, 도 12(c) 에 있어서 상하도통단자 (60 또는 102) 의 표면 중 적어도 일부가 노출되도록 절연막 (61) 의 일부를 제거하여 개구부 (63 또는 107) 를 형성한다. 이 때, 절연막 (61) 을 제거하는 에칭조건을 조정함으로써 후속 공정에서 절연막 (61) 상에 형성되는 배향막에 대하여 러빙 처리의 러빙 방향을 따른 부분이 저감된 가장자리 (64 또는 108) 를 갖도록 개구부 (63 또는 107) 를 형성할 수 있다.
다음으로, 개구부 (63 또는 107) 를 피하도록 절연막 (61) 의 표면에 배향막 (30) 을 형성한다. 계속해서 배향막 (30) 을 러빙 처리하여 TFT 기판 (110) 이 형성된다. 그 후, 대향기판 (120) 을 TFT 기판 (110) 에 접착하고 이들 기판 사이에 액정을 봉입하여 액정장치 (80) 를 형성한다. 또, 배향막 (30) 을 러빙 처리할 때 개구부 (63 또는 107) 의 가장자리 (64 또는 108) 가 러빙 방향에 대하여 상대적으로 기울어진 방향으로 연재하도록 러빙 롤러의 진행방향에 대하여 TFT 기판 (110) 의 위치를 조정하는 것도 가능하다.
본 실시형태의 액정장치의 제조방법에 의하면, 화상을 표시하였을 때 시인되는 줄무늬 등의 표시불량을 저감시킬 수 있어, 액정장치의 표시품질을 향상시키는 것이 가능하다.
(전자기기)
다음으로, 도 13 및 도 14 를 참조하면서 상술한 액정장치가 탑재된 각종 전자기기에 대하여 설명한다. 본 실시형태의 전자기기는 상술한 액정장치를 구비하고 있기 때문에, 우수한 표시품질을 구비하고 있다. 또한 상술한 액정장치를 대화면의 전자기기에 적용함으로써, 예를 들어 대형 사이즈의 화상표시면을 구비한 텔레비전용 모니터를 구성하는 것도 가능하다. 그리고, 대형 사이즈의 화상표시면을 구비한 전자기기에 한정되지 않고 아래에 나타내는 각종 전자기기에서도 상술한 전기광학기판을 적용한다.
<A : 모바일형 컴퓨터>
모바일형 PC 에, 상술한 액정장치를 적용한 예에 대하여 도 13 을 참조하면서 설명한다. 여기에서 도 13 은 컴퓨터 (1200) 의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 13 에 있어서, 컴퓨터 (1200) 는 키보드 (1202) 를 구비한 본체부 (1204) 와, 도시하지 않은 액정장치를 사용하여 구성된 표시부 (1005) 를 갖는 표시 유닛 (1206) 을 구비하고 있다. 표시부 (1005) 는 화상을 표시할 때의 줄무늬 문제가 저감된 고품질의 화상을 표시하는 것이 가능하다. 또한, 표시부 (1005) 를 구성하는 액정장치에 광원에 의해 발생한 빛을 빨강, 초록, 파랑의 빛의 삼원색으로서 화소부에서 출사시키는 컬러필터를 형성해 둠으로써, 그 표시부 (1005) 는 풀 컬러 표시로 화상표시를 할 수 있다.
<B : 휴대형 전화기>
그리고, 상술한 액정장치를 휴대형 전화기에 적용한 예에 대하여, 도 14 를 참조하여 설명한다. 여기에서, 도 14 는 휴대형 전화기 (1300) 의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 14 에 있어서, 휴대형 전화기 (1300) 는 복수의 조작버튼 (1302) 과 함께 본 발명의 일 실시형태인 액정장치를 갖는 표시부 (1305) 를 구비하는 것이다.
표시부 (1305) 는, 상술한 표시부 (1305) 와 마찬가지로 상술한 액정장치를 구비하고 있다. 이 액정장치는 배향 불균일이 저감되어 있고, 또 표시부 (1305) 가 구비하는 액정장치는 내부회로 등의 검사가 확실하게 실시되고 있기 때 문에 높은 신뢰성을 갖고 있으며, 고품질의 화상을 장기간에 걸쳐 표시할 수 있다. 특히 휴대형 전화기 (1300) 에서는 장기간에 걸쳐 지장없이 사용할 수 있을 정도로 좋기 때문에 본 예의 휴대형 전화기 (1300) 에 본 발명의 전기광학장치의 일례인 액정장치를 적용하는 것은 바람직하다. 또한 상술한 모바일형 컴퓨터와 마찬가지로 표시부 (1305) 가 구비하는 액정장치가 빨강, 초록, 파랑의 빛을 출사할 수 있는 화소부를 갖고 있기 때문에, 표시부 (1305) 는 풀 컬러 표시로 화상표시를 할 수도 있다. 이와 같이, 비교적 소형의 화상표시면을 구비하는 전자기기에서도 본 발명에 관련된 전기광학장치를 사용할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 청구의 범위 및 명세서 전체에서 파악할 수 있는 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하며, 그러한 변경을 수반하는 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
본 발명에 따른 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기에 의하면, 액정 장치 등의 전기광학장치에서 러빙 롤의 클로스재에 발생하는 모란에 기인하는 띠형 배향 불균일이 저감되어 높은 표시품질을 제공할 수 있는 이점이 있다. 즉, 액정장치의 배향막에서의 러빙 방향을 따른 배향 불균일을 저감시킬 수 있기 때문에, 화상을 표시하였을 때 시인되는 줄무늬 등의 표시불량을 감소시킬 수 있으므로, 액정장치의 표시품질을 향상시키는 것이 가능해진다.

Claims (13)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 형성된 외부와의 접속용 단자부;
    상기 접속용 단자부 상에 형성된 절연막; 및
    상기 접속용 단자부의 표면 일부가 노출되도록 상기 절연막의 일부를 제거하여 형성되어 있고, 상기 절연막 상에 형성되는 배향막을 러빙할 때의 러빙 방향을 따라 연장되는 부분이 곡선으로 된 가장자리를 갖는 개구부를 구비한 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구부의 개구형상은 원형인 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구부의 개구형상은 상기 러빙 방향을 따른 장축을 갖는 타원형인 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구부의 개구형상은 상기 러빙 방향으로부터 기울어진 각도를 따른 장축을 갖는 타원형인 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 러빙 방향을 따라 서로 연결된 복수의 보조 개구부로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 보조 개구부의 개구형상은 원형인 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가장자리는 상기 러빙 방향을 따라 물결형 (sinuated shape) 으로 연장되는 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가장자리 중 상기 러빙 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 부분의 형상은 곡선인 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 가장자리는 상기 러빙 방향에 대하여 기울어진 방향으로 각각 직선적으로 연재 (延在) 하는 부분을 갖고, 상기 개구부의 개구형상은 상기 직선적으로 연재하는 부분에 의해 둘러싸인 형상인 것을 특징으로 하는 전기광학장치.
  10. 기판 상에 외부와의 접속용 단자부를 형성하는 공정;
    상기 접속용 단자부 상에 절연막을 형성하는 공정; 및
    상기 접속용 단자부의 표면 일부가 노출되도록 상기 절연막의 일부를 제거하고, 상기 절연막 상에 형성되는 배향막을 러빙할 때의 러빙 방향을 따라 연장되는 부분이 곡선으로 된 가장자리를 갖는 개구부를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 전기광학장치의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 절연막 상에 상기 배향막을 형성하는 공정; 및
    상기 가장자리가 연장되는 방향에 대하여 기울어진 방향으로 러빙 롤을 진행시킴으로써 상기 배향막을 러빙하는 공정을 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 전기광학장치의 제조방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 개구부를 형성하는 공정에서, 상기 개구부의 개구형상이 원형, 상기 러빙 방향을 따른 장축을 갖는 타원형, 상기 러빙 방향으로부터 기울어진 각도를 따른 장축을 갖는 타원형, 물결형 부분을 포함하는 형상, 또는 복수의 원형을 연결한 형상이 되도록 상기 개구부를 형성하는 것을 특징으로 하는 전기광학장치의 제조방법.
  13. 제 1 항 내지 제 6 항, 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 전기광학장치를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자기기.
KR1020060011146A 2005-02-07 2006-02-06 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기 KR100844301B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005030109A JP4082413B2 (ja) 2005-02-07 2005-02-07 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器
JPJP-P-2005-00030109 2005-02-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060090182A true KR20060090182A (ko) 2006-08-10
KR100844301B1 KR100844301B1 (ko) 2008-07-07

Family

ID=36779558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060011146A KR100844301B1 (ko) 2005-02-07 2006-02-06 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7420643B2 (ko)
JP (1) JP4082413B2 (ko)
KR (1) KR100844301B1 (ko)
CN (1) CN1818748A (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102654685A (zh) * 2011-11-18 2012-09-05 北京京东方光电科技有限公司 取向膜、液晶面板及取向膜的制作方法
CN102629058B (zh) * 2011-12-31 2013-06-19 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、液晶显示装置及取向摩擦方法
US9379257B2 (en) 2012-06-22 2016-06-28 Infineon Technologies Ag Electrical device and method for manufacturing same
JP2017181626A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
CN105824162B (zh) * 2016-06-01 2020-09-01 北京京东方光电科技有限公司 阵列基板及其制作方法、显示装置
CN107329328B (zh) * 2017-08-22 2020-12-08 京东方科技集团股份有限公司 彩膜基板及显示面板

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0534426B1 (en) * 1991-09-26 1997-01-02 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal display panel and projector utilizing the same
JP3100014B2 (ja) * 1991-12-10 2000-10-16 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子及び該素子の製造方法
JP2884462B2 (ja) * 1993-08-31 1999-04-19 キヤノン株式会社 液晶素子
JP2555987B2 (ja) * 1994-06-23 1996-11-20 日本電気株式会社 アクティブマトリクス基板
JPH10170941A (ja) 1996-12-06 1998-06-26 Hitachi Ltd 液晶表示装置
JPH10232399A (ja) 1997-02-21 1998-09-02 Sharp Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JPH11326936A (ja) 1998-05-13 1999-11-26 Toshiba Corp 液晶表示装置
JP3596471B2 (ja) * 2000-03-27 2004-12-02 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、その製造方法および電子機器
KR20020094314A (ko) * 2001-06-11 2002-12-18 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 및 그 제조방법
KR100920479B1 (ko) * 2002-12-26 2009-10-08 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치
JP4016955B2 (ja) * 2003-05-02 2007-12-05 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006215424A (ja) 2006-08-17
KR100844301B1 (ko) 2008-07-07
US20060176437A1 (en) 2006-08-10
CN1818748A (zh) 2006-08-16
US7420643B2 (en) 2008-09-02
JP4082413B2 (ja) 2008-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6657695B1 (en) Liquid crystal display wherein pixel electrode having openings and protrusions in the same substrate
JP5123078B2 (ja) 液晶表示装置及び製造方法
US8194219B2 (en) High quality and ultra large screen liquid crystal display device and production method thereof
US8330921B2 (en) Pixel structure and display panel
US8279376B2 (en) Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof
KR100844301B1 (ko) 전기광학장치 및 그 제조방법, 그리고 전자기기
JP2005242099A (ja) 液晶表示装置
KR102010492B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
US7400375B2 (en) Method for designing mask and fabricating panel
JP2004354553A (ja) 液晶表示装置
US8493536B2 (en) Bend alignment type liquid crystal display apparatus
US7599036B2 (en) In-plane switching active matrix liquid crystal display apparatus
JP4122876B2 (ja) 液晶表示器
US20120169576A1 (en) Display panel
US20120075565A1 (en) Liquid crystal display device
JP2005156704A (ja) 液晶装置の製造方法、液晶装置及び電子機器
JP2009058605A (ja) 配向膜の形成方法及び装置
JP2009122644A (ja) 液晶表示パネル
JP4774727B2 (ja) 液晶表示素子
US11868014B2 (en) Array substrate, manufacturing method for array substrate and display device
JP2006292778A (ja) 電気光学装置用基板及びその製造方法、並びに電気光学装置及び電子機器
KR20080059868A (ko) 액정표시패널의 제조장치, 이를 이용한 액정표시패널 및 그제조방법
JP2008096874A (ja) 液晶装置とその製造方法、及び電子機器
JP2008225033A (ja) 液晶装置、液晶装置の製造方法、電子機器
JP2008164835A (ja) 液晶表示パネル、液晶表示素子、液晶表示装置、テレビジョン受信機及び液晶表示パネル用基板

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130603

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140626

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150619

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160617

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180619

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190619

Year of fee payment: 12