CN1816814A - 改进的传感设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于感测电气设备中的环境条件的设备。这些条件可包含用户的确认，设备的位置和环境的各种特征。本发明优选应用于移动终端。本发明的一个观点是给传感器设备提供基片(663)，所述基片构成传感器的至少一部分，也优选用作其他传感器(695－698)的基片。所述基片优选是柔性的，以便按照装置外壳的形状成形。本发明还描述了一种建立二维或三维电极结构的方法，用于优化传感器的性能。当表面结构被设计成遵循手指形状时，在将手指沿传感器表面滑动时只需要很小的压力。通过这种方式，传感器的使用具有人机工程学特性，而且也使测量非常可靠。

Description

改进的传感设备
技术领域
本发明涉及一种用于感测电子设备环境条件和/或感测用户的生物统计学变量的设备。这些环境条件可能包含用户的确认，设备的位置和环境的各种特征。本发明优选应用于移动终端。
背景技术
需要在移动终端中提供传感器以便使移动终端能够感测其环境条件。对指纹传感器和其他生物统计学传感器来说，也需要它们能用于验证终端的用户，并测量来自用户的其他生物统计学变量。这种信息可以用于对环境感知的应用，在这些应用中，环境条件信息和/或用户信息可以用来，例如控制用户接口配置和移动终端用户接口的不同设置。本发明涉及一般的传感设备，但接下来首先用指纹传感器作为例子描述现有技术。
例如，目前存在几种指纹传感器：基于皮肤阻抗的传感器，热传感器和光学传感器。对于诸如移动终端的小型设备的用户的验证，最切实可行的解决方案是基于容抗测量。用来测量皮肤阻抗变化的电容性指纹传感器的基本原理在图1A和1B描绘。当手指101逐步放到传感器阵列120上方时，传感器阵列测量皮肤的阻抗值。电极表面和皮肤表面内部的导电含盐层之间的电容作为到导电层的距离的函数而改变。变化的空气隙和皮肤表面死去的角质细胞构成到导电层121，122的电容125，这些导电层构成电容传感器的电极。
图2示出另外一个例子，包括皮肤阻抗和阻抗测量原理的粗略等效电路。皮肤具有固定的电阻组织分量202和固定的电阻表面分量203。测量电容也具有固定分量272和根据手指的表面形式而变化的分量271。电容指纹传感器通过给驱动电极222施加交流电压281以及测量来自传感器电极221的信号来测量变化的电容分量。该信号用低噪放大器282来放大，而且驱动器和传感电极之间的相差被测量，283。干扰可以用保护电极来抑止，使用缓冲器285将该保护电极保持在与信号输入相同的电位。
指纹传感器和大多数其他的传感器还需要信号处理电路，优选使用硅基集成电路。提供指纹传感器的一种解决方案是使用集成电路，集成电路不仅用作电容测量电极，而且用作信号传输电子设备。这种集成电路于是被安装在设备的表面。然而，捕获指纹的电容图像所需的面积大约在一平方厘米的尺度内。这对于使用硅集成电路作为测量电极来说是个很大的面积。另外，该测量包含成百上千的电容像素，这些像素根据测量原理排列成行或矩阵。需要很多的布线，并且测量电极需要与集成电路隔离。因此需要一种成本有效的方法，将电容电极连接到信号处理硅集成电路上。
一种典型的现有技术解决方案在专利文献US 5887343和US6067368中进行了描述。问题的解决是通过使用一个分离的绝缘平面基片构成测量电极。该基片包含互连的布线和通过该基片的孔。该基片连接到包含了信号和数据处理能力的硅集成电路上。然而，这种解决方案制造起来非常复杂，因为大量互连的布线必须在一个小空间内连接。这种布线也不是很健壮，这会导致在移动使用过程中该结构很容易破裂。
另外一个现有技术解决方案是要直接在硅晶片的顶部制作测量电极。这样使互连的布线结构简单，但是由于电极需要很大的面积，该解决方案需要大的硅表面。
现有技术解决方案的一个缺点涉及传感器的人机工程学。手指必须非常用力地按压在平坦的传感器上以便在传感器和手指之间获得足够的接触面积。因此，如果手指没有沿传感器表面正确地按压和滑动，测量就可能经常失败。
指纹传感器的另外一个问题是容易制造用于用户身份伪造的人造手指。现有技术的指纹传感器不能可靠地分辨活组织的手指和人造的塑料代替品。
现有技术的另一个问题涉及不同传感器的定位。为了感测环境条件，传感器需要与设备外部的环境交互作用。因此传感器应该位于设备的外壳上。这种类型的传感器通常固定于设备的主要印刷线路板(pwb)上，而且使传感器通过外壳上的孔延伸到设备表面。然而，诸如移动终端的现代设备的表面趋向具有三维曲率的设计。因此pwb和外壳表面之间的距离改变，这使得设计传感器结构变得困难。传感器也应该在装置外壳的表面上具有确定位置，而且为了获得确定的传感器位置，很难设计主pwb的布局。这个问题的一个解决方案是将传感器固定于装置外壳，但是，在大规模生产时，将难以实现将传感器附着到外壳上，以及在传感器与主印刷线路板之间的布线排列。
发明内容
本发明的目的是提供改进前述缺点的传感设备。本发明的传感器设备便于良好的安全特性和人机工程学特性，以及对流水线生产的良好适用性。因此，本发明使传感器的成本效率和可靠性得到充分的提高，对移动应用尤其如此。
一种传感器设备，包括至少一个传感器，用来测量来自所述至少一个传感器的信号的至少一个集成信号处理电路，和在所述至少一个传感器与所述集成电路之间的互连布线，其特征在于，该设备包括基片，所述基片构成所述互连布线的至少一部分，并且所述基片还被安排用作至少一个所述传感器的功能部分。
本发明也涉及包括根据本发明的传感器设备的移动终端。
本发明的一个优选实施例包括柔性基片上的至少传感器，电极和集成电路。这样的设备可以例如，模压到移动台的外壳上。
本发明的另外的优选实施例在从属权利要求中进行描述。
本发明的一个构思是给传感器设备提供基片，该基片构成传感器的至少一部分，也优选用作其他传感器的基片。该基片优选是柔性的，以便按照装置外壳的形状成形。本发明还描述了一种为电极结构建立二维或三维形状的方法，用于优化传感器的性能。当二维或三维表面结构被设计成遵循手指形状时，在将手指沿传感器表面滑动时只需要很小的压力。通过这种方式，传感器的使用具有人机工程学特性，而且也使测量非常可靠。
本发明还便于多传感器微系统的实现。诸如ASIC的传感器单元和测量电子设备能够集成到使用柔性芯片(chip-on-flex：COF)技术的三维模块中。COF技术基于例如柔性Kapton膜的使用，作为用于布线和附着传感器以及ASIC芯片的基片、IC和传感器可以通过在顶部使用模制聚合物外壳而得到保护。柔性电路板(例如Kapton膜)使得2D或3D结构的创建成为可能，从而传感器和电子设备的部分能够放置在装置外壳附近。
在指纹传感器中制成曲面的可能性使得通过光吸收集成血液循环的光学探测成为可能。通过这种方法就可能验证手指是否属于一个活人。
还有可能集成其他类型的传感器到传感器单元上。例如，在本发明的一个实施例中，发光二极管和光敏检测器放置在手指凹槽的对面，以测量通过手指的光吸收。所用光的波长使得活的手指中的血液引起最大的吸收信号。通过这种方法，可以从用户的手指检测到氧化的血色素。因此，通过这种方法也能够监测心率。这使得使用任何人造手指用于识别伪造非常困难。另外，其他的传感器，如温度TS和光学LS传感器，可以被集成到手指凹槽内并嵌入到指纹传感器插件中。总之，使用柔性膜作为基片使得在所需位置上放置传感器变得灵活。这种柔性膜，例如，可以遵循装置外壳的形状。
本发明的另一个构思是可以集成到例如移动电话等的外壳上的电感调谐电容性传感器。调谐电容器传感器表现出对电阻材料与电容器电极接触引起的电阻损耗很高的灵敏度。基于阻抗测量，调谐传感器的Q值下降表示接触性材料：与传感器电极的电流接触是不必要的。电感耦合可以作用于多个位于相同或不同谐振频率的调谐传感器，或可以从传感器端对该耦合进行调制。使用不同的谐振频率可以区分不同的传感器单元。由于电感调谐电容性传感器能够感性耦合到包含测量电子设备的多芯片模块，在组装阶段进行额外布线就不必要了。通过这种方法就可能提供完全密封防水的设备。
本发明的制造过程适合大规模生产，而且本发明可以应用于现有的传感器测量概念和电子设备，以使设备的制造更成本有效。
附图说明
下面将根据附图借助示例性实施例更加详细地描述本发明，其中：
图1A是使用电容性指纹传感器的示意图，
图1B是现有技术的电容性传指纹感器的操作原理示意图，
图2是描述使用有源保护的皮肤阻抗的测量的框图，
图3是根据本发明的一种示例性设备的截面图，其中应用柔性基片作为电极表面和单元的电连接，
图4是根据本发明的一种示例性设备的截面图，其中柔性基片被弯曲以用作电极和单元的电连接的表面，
图5是根据本发明的一种示例性设备的截面图，其中有另外的传感器应用于柔性基片上，
图6a是根据本发明的一种示例性设备的顶视图，其中有指纹传感器，光学传感器和其他传感器应用于柔性基片上，
图6b是根据本发明的一种示例性设备的透视图，其中有指纹传感器，光学传感器和其他传感器应用于柔性基片上，
图6c是根据本发明的一种示例性设备的截面图，其中有指纹传感器，光学传感器和其他传感器应用于柔性基片上，
图7a是根据本发明的一种设备的示例性接触电极的顶视图，
图7b是根据本发明的一种设备的示例性接触电极的截面图，
图7c是用根据图7a和7b的示例性接触电极的接触测量的等效电路图，
图8是根据本发明的一种示例性设备的截面图，其中使用柔性基片应用了电感性皮肤接触传感器和光学以及其他传感器，
图9a是电感性接触测量的第一个实施例的电路图，
图9b是电感性接触测量的第二个实施例的电路图，
图10是用传感器测量多个传感器的示例性多通道电感测量的电路图，
图11a是根据本发明用于无源电感性接触测量的示例性电路图，
图11b是根据本发明用于有源电感性接触测量的示例性电路图，
图12是根据本发明在一种示例性设备中的保护，
图13a是根据本发明用于排列电极的第一个实施例的截面图，
图13b是根据本发明用于排列电极的第一个实施例的顶视图，
图14a是根据本发明用于排列电极的第二个实施例的截面图，
图14b是根据本发明用于排列电极的第二个实施例的顶视图，
图15a是根据本发明用于排列电极的第三个实施例的截面图，
图15b是根据本发明用于排列电极的第三个实施例的顶视图，
图16a是根据本发明用于排列电极的第四个实施例的顶视图，
图16b是根据本发明用于排列电极的第四个实施例的截面图，
图17是带有柔性基片的电路的制造过程示意图。
具体实施方式
在上面对现有技术的描述中已经解释了图1A，1B和2。
图3示意了本发明的实施例，该实施例能实现二维或三维形式的电极-手指接口。柔性印刷布线的基片的一端用作电极322，基片363的另一部分用于外部连接。图3还展示了柔性基片的金属表面和ASIC380之间的连接。使用花线(flex)膜的双面金属化和通孔323，324来提供电极322和保护电极330的布线。这种包含柔性基片，传感器和ASIC的设备可以直接模压到例如移动电话的外壳368中。
图4示意了本发明设备的一个实施例，其中与其他电子设备的连接是通过将柔性印刷线路板(PWB)或膜基片463弯曲到该单元的下方，并将焊接球478附着到花线上来实现的。在该实施例中，花线的另一端被弯曲到该单元的上方以便使用花线的该端作为电极。与ASIC480的连接423，424可以做得与图3中的实施例类似。在花线的电极端一个金属化表面430用作感测电极，花线的第二金属化表面434用作保护电极。本设备可以模压到塑料件468以构成完整的组件。
图5是本发明设备的一个实施例，其中，除了指纹传感器电极520，在柔性基片563上还有一组其他的传感器591。这些传感器可包含光学传感器，温度传感器，湿度传感器，压力传感器，加速度传感器，对齐传感器，生物统计学传感器，等等。在柔性基片上有一个小孔592用于提供设备外部和传感器之间的感测接口。柔性基片563的另一端包括ASIC电路580和与外部电路的电连接578。
图6a，6b和6c是根据本发明的示例性设备的示意图，其中有指纹，光学和其他传感器应用于柔性基片上。图6a是该设备的顶视图，图6b是透视图，图6c是截面图。ASCI 680安装在印刷线路板699上，印刷线路板699可能是用于设备的其他电子设备的板子。ASIC与柔性基片663连接，柔性基片663将ASIC与传感器和电极相连。传感器基片68也可由柔性基片构成。该基片是弯曲形状，以便为手指601提供适合的表面。在本示例性设备中在柔性基片上提供了八个电极622用于指纹传感器。光学脉冲血氧计传感器由红外LED 695和光电二极管696构成。LED提供的红外脉冲光的光在穿过手指601后由光电二极管测量。通过本方法可能验证手指有血，其浓度随心脏脉冲起伏。该设备还包含温度传感器，可以用来测量环境温度或手指的温度。该设备还可能包含光学传感器698，用来测量环境光线。这些信息可以用于例如，控制设备显示的亮度。该设备还可以包含湿度传感器用于测量环境湿度。
除了提供指纹传感器，或者取代指纹传感器，提供一个或多个皮肤接触传感器更为有利。皮肤接触传感器可用于例如，检查设备是否握在手中，或者移动台是否接触到用户的耳朵(即移动台正用于电话交谈)。
图7a和7b示意了皮肤接触电极的例子。图7a是电极的顶视图，图7b是电极及其布线的截面图。皮肤接触是通过测量中心电极710和构成外部回路的电极712之间的阻抗确定的。电极711用作保护回路。保护电极也构成位于有源电极710和712之下的保护盘713。电极可以模压到塑料件714，这样，例如，就可以构成独立组件或集成到装置外壳中。在外壳的表面还有一薄钝化层715。
图7c是用根据图7a和7b的示例性接触电极用于皮肤接触测量的等效电路示意图。实际的皮肤阻抗R_sk_1是通过给中心和外部电极施加交流I_ac_in来测量的。接触电容C_contact_1和C_contact_2与皮肤阻抗串连。在点n3测量的电压也会受电极线R_s的电阻的影响，以及受基片效应的电感组件L_p，电阻组件R_p和电容组件C_p的影响。
图8是根据本发明的一种示例性设备的截面图，其中使用柔性基片应用了电感性皮肤接触传感器与光学和其他传感器。通过向电感性电极810和812施加交流测量皮肤接触，电极可由例如电感性聚合物制成。这些电极与平面线圈816的末端连接，该平面线圈从另一线圈815接收感应能量。线圈815位于柔性基片863之上，基片863可以处于离装置外壳814一段小的距离上。其他传感器安装在柔性基片上的传感器盒891中。通过基片和装置外壳的小孔892用于提供传感器和设备环境之间的传感接口。柔性基片和装置外壳之间有一个垫片893将该小孔与设备内部空间密封。柔性基片还与ASIC电路880相连，该ASIC电路提供用于处理所测数据的测量电子设备和电路。柔性基片提供传感器与ASIC之间的布线。该ASIC和基片进而与设备的印刷线路板连接起来。
图9a和9b为皮肤接触的电感测量的两个基本原理的示意图。在图9a，电路有固定的电容，因此有固定的谐振频率。皮肤接触因此对该谐振电路有开合的开关效应。在图9b中，电路具有可变电容且具有低Q值，因此其谐振频率可随皮肤接触的效应而改变。该电路能给出关于皮肤接触效应的更精确的信息，但另一方面复杂性和能耗更高。图9a和9b示意的电路中，传感器端为无源LC谐振器。然而，如附图11b所示，也可使用有源测量电路。
图10为带有电感性传感器耦合的设备示意图，其中包括使用不同测量频率测量多个传感器的电路。该设备有三个传感器电路，每一个传感器电路构成一个谐振电路：Cb1-Lb1-S1，Cb2-Lb2-S2和Cb3-Lb3-S3。主谐振电路La-Ca可通过控制电容Ca调整到不同频率。扫频逻辑F1控制谐振频率和一个自振荡系统的频率，该自振荡系统包括放大器G1和控制块CN1。扫频的频率范围覆盖每个传感器的谐振频率。利用相关器即可确定哪些传感器谐振于其各自的谐振频率，或者确定每一个传感器电路的精确谐振频率。
图11a为用无源电感性设备的皮肤接触测量的等效电路。通过对初级线圈L_15，C_15施加交流并测量阻抗Z可以测得实际的皮肤阻抗R_sk。由于线圈之间有能量的传递，测量电流被感应到次级线圈L_16，C_16。次级阻抗受实际皮肤电阻R_sk和在皮肤-电极接触出现的接触电容C_contact_1和C_contact_2的影响。皮肤电阻R_sk的典型值为一千欧。当皮肤接触电极时，其效果等同于与次级线圈并联开关S和阻抗Z_eq。Z_eq的值由皮肤电阻和接触电容决定，其典型值为例如200千欧。于是，可以通过测量初级阻抗Z来检测次级阻抗的变化。
图11b为用有源电感性设备的皮肤接触测量的等效电路。在该设备中有一个有源测量电路1145，该有源测量电路通过与储能电路的电感耦合接收其负载功率。电路1145测量点1110和1112之间的阻抗，并通过调制电感耦合以传递测量值。这种调制可改变从检测器端测量的阻抗，或可改变储能电路的振荡频率。为了改变频率，电路C-L_15和L_16-C_16被设计成可在宽频带范围内振动。也可使用一个电路1145测量多个传感器。从每一个传感器得到的测量值可通过调制顺序传递给检测器。
在上面各图中解释了电感耦合应用于皮肤接触测量的观点。但是，本发明的电感测量观点无论如何不局限于皮肤接触测量的实施方案；这种电感设备可用于向任何类型的传感器施加能量，可用于测量传感器的输出。本发明的电感测量观点也不局限在用于包含有基片的本发明的传感器设备。电感耦合使得有可能提供完全密封的外壳结构，而在外壳的传感器与内部电子设备之间没有任何传感器布线。
下面展示一些为根据本发明的设备中的电极提供屏蔽/保护的解决方案。这些例子涉及指纹传感器，但这些解决方案也可用于例如皮肤接触测量。
图12为基片1263上的示例性传感电极1222和保护电极1228的顶视图和截面图。保护电极1228位于传感电极1222之下，两者之间有一个绝缘层1229。在这个实施例中保护电极具有更大表面。缓冲放大器2385使保护电极与传感器电极保持在相同的电位上，从而传感器电极较少负担相邻材质或干扰。附图12也展示了材质1266，例如，塑料材质，其中模压了传感器。
图13a和13b为根据本发明的电极排列的第一个实施例的截面与顶视图。在这个实施例中，传感电极s在传导层上引出，该传导层位于两个保护层g之间。这样就可能对传感电极实现有效保护。驱动电极D在顶部传导层上引出。
图14a和14b为根据本发明的电极排列的第二个实施例的截面与顶视图。在这个实施例中，传感电极s在传导层上引出，该传导层位于保护层g和接地的EMC层之间。驱动电极D在顶部传导层上引出。
图15a和15b为根据本发明的电极排列的第三个实施例的截面与顶视图。在这个实施例中，传感电极s在传导层上引出，该传导层位于两个接地的EMC层之间。保护电极没有自己的层，但它在与传感器和驱动电极相同的层上引出。当保护电极布线与传感电极布线相互垂直时，这种情况是可能的。
图16a和16b为根据本发明的电极排列的第四个实施例的截面与顶视图。在这个实施例中，保护和驱动电极布线均在顶层之上且与传感电极布线垂直。传感电极布线在两个接地EMC层之间引出，这样对于传感电极布线实现了同轴类型的保护。
为了获得更高效的保护，传感电极应有单独的保护，该保护受保护放大器的单独控制。然而，由于传感电极经常以时分复用方式读取，仅用一个保护放大器并总是将其连接到当前读取得传感电极的保护电极会更有利。另外一种可能性是使用移动像素保护。
如果保护电极为所有传感电极通用，则保护电极可连接到例如地(无源保护)，或连接到传感电极的平均电位。另外一种减小干扰的可能性是将驱动电极与用户的手通过例如装置外壳连接起来。
图17为使用柔性基片制作根据本发明的设备的示例性过程。该图示出在所涉及的制作阶段执行过后，要制作的单元的截面图。首先，在阶段11用聚酰亚胺基片制作覆盖层。还互连用铜形成的图案。在阶段12，涂粘结剂，并将印模附(boded)在覆盖层上。在阶段13，在印模周围模铸塑料基片。在阶段14，钻孔并喷涂金属以形成电连接。最后，阶段15包括钝化处理和焊接球沉淀，以提供外部接口。
本发明通过参照上述实施例进行了说明，并且论证了本发明的多个工业优点。很显然本发明并不仅局限于这些实施例，还包括所有在本发明思想和下述权利要求书的原理和范围之内的可能实施例。例如，本发明中传感器设备的观点并不局限于在移动终端中使用，而是还可应用于许多其他组件和目的。本发明也不局限于使用所提到的材质。本发明中电感测量的观点也可以视作独立的发明，以包括没有传感器设备而使用本发明基片的实施方案。

Claims (30)

1、一种传感器设备，包括：
至少一个传感器(322，622，696)，
用于测量来自所述至少一个传感器的信号的至少一个集成信号处理电路(380，680)，以及在所述至少一个传感器和所述集成电路之间的互连布线(323，324)，
其特征在于，
所述设备包括基片，所述基片构成所述互连布线的至少一部分，并且所述基片被进一步设置成用作至少一个所述传感器的功能性部分。
2、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述集成电路附着在所述基片上。
3、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述基片由柔性膜制成，所述柔性膜包括在所述至少一个传感器和所述集成电路之间的所述布线。
4、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述柔性膜包括至少一个所述传感器的电极(322，422)。
5、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述柔性基片包括用于外部连接的布线(363，463，878)。
6、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述互连布线是聚合物层上的涂敷金属。
7、根据权利要求4的设备，其特征在于，所述设备包括在所述至少一个传感器电极附近的保护回路(827，828)。
8、根据权利要求7的设备，其特征在于，所述保护回路的布线垂直于所述传感器电极的布线。
9、根据权利要求6或7的设备，其特征在于，所述传感器包括多个传感器电极和用于每个传感器电极的保护回路，所述保护回路根据每个传感器电极的电位来单独控制。
10、根据权利要求6或7的设备，其特征在于，所述传感器包括多个顺序测量的传感器电极和多个保护回路，其中传感器的保护回路在测量传感器的周期内被时分多路复用控制于传感器的电位。
11、根据权利要求6或7的设备，其特征在于，所述传感器包括多个传感器电极和保护回路，并且所有的保护回路被控制到传感器电极的平均电位。
12、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述基片的表面具有至少二维的弯曲形状。
13、根据权利要求12的设备，其特征在于，所述形状近似手指的形状。
14、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备包括指纹传感器，所述指纹传感器包括至少一个驱动器电极和一行传感电极。
15、根据权利要求14的设备，其特征在于，所述测量电路适用于在手指向相对于所述一行传感电极的垂直方向上移动时测量连续信号，用来提供来自手指的二维电容测量结果矩阵。
16、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备还包括红外光源，红外光检测器和用于测量来自手指的红外光的吸收的第二测量装置。
17、根据权利要求16的设备，其特征在于，所述红外光源和所述红外光检测器分别位于为手指设计的凹槽的对面。
18、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备还包括用于测量环境温度的温度传感器。
19、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备还包括用于感测环境湿度的湿度传感器。
20、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备还包括压力传感器。
21、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备还包括皮肤接触传感器。
22、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备还包括固定在基片上的传感器。
23、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述设备包括生物统计学传感器。
24、根据权利要求1的设备，其特征在于，所述基片包括用于与传感器部分一起构成传感器的装置，其中所述基片和所述传感器部分电流性分离，并且所述基片和所述传感器部分包括用于在所述基片和所述传感器之间电感性传递能量和测量信息的装置。
25、根据权利要求24的设备，其特征在于，所述传感器部分是无源电路。
26、根据权利要求24的设备，其特征在于，所述传感器部分包括有源电路，所述有源电路进一步包括用于测量传感器信息的装置和用于电感性传递测量信息到所述基片的装置。
27、根据权利要求24的设备，其特征在于，所述传感器是皮肤接触传感器。
28、一种移动终端，其特征在于，其包括根据任何一项前述权利要求的传感器设备。
29、根据权利要求28中的移动终端，其特征在于，所述传感器设备的至少部分被封装在，诸如模压在移动终端的外壳中。
30、根据权利要求28的移动终端，其特征在于，所述传感器设备包括柔性膜基片，并且所述柔性膜基片被封装到移动终端的外壳中。
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