CN1799706A - 涂敷装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，在该第1及第2门型移动机构(4、5)上可升降地保持有狭缝喷嘴(6、7)。

Description

涂敷装置

技术领域

本发明涉及一种将涂敷液涂敷在玻璃基板等的基板表面上的涂敷装置。

背景技术

作为在彩色液晶用的玻璃基板上形成3原色的滤色器的涂敷装置，记载在专利文献1中，而作为等离子显示器用发光基板上涂敷3原色的荧光体糊剂的涂敷装置，人们提出了专利文献2所公开的装置。

专利文献1所揭示的涂敷装置，在滚珠丝杠移动的工作台上方，配设2个狭缝喷嘴，将两块玻璃基板分开地载置在上述工作台的上面，用上述2个狭缝喷嘴同时在两块玻璃基板上分别进行涂敷，这与用1个狭缝喷嘴涂敷的情况相比，可缩短时间。

专利文献2所揭示的涂敷装置，将基板载置工作台配置在一对导轨之间，在一对导轨之间架设有3台门型移动机构，在该3台门型移动机构上分别安装有用于涂敷R(红)、G(绿)、B(蓝)色荧光体糊剂的狭缝喷嘴，由3台门型移动机构依次在玻璃基板表面上涂敷各种颜色的糊剂。

专利文献1：特开平10-216599号公报

专利文献2：特开2002-140982号公报

不论是专利文献1还是专利文献2揭示的涂敷装置，都只是将1次涂敷所用量的涂敷液输入狭缝喷嘴，如果涂敷结束，则再次将涂敷液供给狭缝喷嘴。因此，不能在涂敷之后立即进行后续玻璃基板的涂敷，只能将1次涂敷量的涂敷液供给狭缝喷嘴之后，再开始下次的涂敷，结果导致待机时间长。

另外，专利文献1揭示的涂敷装置，仅简单地通过用2个狭缝喷嘴对两块玻璃基板进行涂敷，与配置两台装置的情况没有大的差异。另外，由于还是工作台移动的结构，所以移动的振动直接传递给玻璃基板。

再者，专利文献2揭示的涂敷装置，3台门型移动机构在基板载置工作台的一侧待机，最外侧的门型移动机构较远地远离基板载置工作台待机，而且涂敷结束后门型移动机构向相反侧移动时，最外侧的门型移动机构也要远离基板载置工作台，结果导致装置整体大型化。

另外，在专利文献2揭示的涂敷装置中，玻璃基板大型化时，必然导致门型移动机构也变长，在沿导轨行走之际，门型移动机构本身会产生变形，这将传递给狭缝喷嘴，给均匀涂敷带来了障碍。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的涂敷装置，在一对平行导轨之间的中央配置有基板载置工作台，第1及第2门型移动机构以平面上观察与上述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准、左右对称地架设在上述导轨之间并可独立行走，狭缝喷嘴可升降地保持在该第1及第2门型移动机构上。

采用该结构，在用一个狭缝喷嘴涂敷期间，可向另一狭缝喷嘴供给涂敷液，因此，不需要待机时间，可缩短生产节拍时间。

另外，在上述第1及第2门型移动机构的移动区域，在离开基板载置工作台的位置，顺次配置有预分配部、清洗部及待机部，因而可良好地维持狭缝喷嘴的状态。

另外，上述门型移动机构包括与各导轨卡合的驱动部；及在该驱动部行走时阻止向狭缝喷嘴传递变形而架设在驱动部之间的梁，这样，门型移动机构行走时很难产生变形，即使稍微有些变形，该变形也能通过梁来阻止向狭缝喷嘴传递。

发明效果

根据本发明，在用一个狭缝喷嘴涂敷期间，可将涂敷液供给到另一狭缝喷嘴，可得到效率好的涂敷装置。另外，根据本发明，装置尺寸不会那么大，而且，即使门型移动机构高速行走，也不会对狭缝喷嘴产生恶劣影响。

附图说明

图1是本发明的涂敷装置的全体俯视图。

图2是图1的A方向视图。

图3是图1的B-B方向的剖视图。

标记说明：1是基台，2是导轨，20是槽部，21是定子，3是基板载置工作台，4是第1门型移动机构，40是驱动部，41是梁，42是转子，43是空气垫，44是注射泵，45是涂敷液供给管，46是排出管，5是第2门型移动机构，6、7是狭缝喷嘴，8是预分配部，9是清洗部，10是待机部，11、12是升降部，L是基板载置工作台的宽度方向中心线，W是玻璃基板。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施形式。图1是本发明的涂敷装置的整体俯视图，图2是图1的A方向视图，图3是图1的B-B方向的剖视图。

涂敷装置，在基台1上设置有一对平行导轨2、2，在作为该导轨2、2中间位置的基台1上面的中央固定有基板载置工作台3。而且，第1及第2门型移动机构4、5以该基板载置工作台3的宽度方向中心线L为基准、左右对称地可独立行走地架设在上述导轨2、2之间，在各个门型移动机构4、5上通过升降装置11、12安装有狭缝喷嘴6、7。

由于第1及第2门型移动机构4、5是相同的结构，所以只说明一个门型移动机构4，省略另一门型移动机构5的详细说明。门型移动机构4包括与各导轨2、2卡合的驱动部40、40及架设在该驱动部40、40之间的梁41、41。

在导轨2上形成有槽部20，在该槽部20内配置有线性马达的定子21，另外，在驱动部40上设置有嵌入上述槽部20内的线性马达的转子42，再者，在驱动部40上安装有用于在其与导轨20之间形成细微间隙的空气垫43。

另外，上述的梁41、41是为了阻止门型移动机构4行走时变形向狭缝喷嘴的传递而架设在驱动部之间的，所以不一定要夹着狭缝喷嘴6前后设置梁41、41，也可以仅在一侧设置。

上述狭缝喷嘴6可升降地支持在驱动部40、40之间，并且与注射泵44相连，从涂敷液供给管45供给1次的涂敷液，1次涂敷结束后，多余的涂敷液从排出管46回收。

另外，在上述第1及第2门型移动机构4、5的移动区域，在离开基板载置工作台3的位置，顺次配置有预分配部8、清洗部9及备有浸渍槽的待机部10。

在上文中，为向载置在基板载置工作台3上的玻璃基板W涂敷涂敷液，当以第1门型移动机构4位于预分配部8时的时点为出发点时，通过该移动在预分配部8上进行狭缝喷嘴6的预备涂敷后，驱动线性马达，使门型移动机构4向右方向移动，从狭缝喷嘴6将抗蚀剂液或荧光体糊剂等涂敷液向玻璃基板W的表面供给。在此期间，向第2门型移动机构5供给接下来要涂敷的1次量的涂敷液。

另外，涂敷时，通过未图示的传感器，测量狭缝喷嘴6的下端与玻璃基板W的表面之间的间隔，通过升降装置11、12调整狭缝喷嘴6的高度位置，以使该间隔为一定。

然后，一旦上述涂敷结束，就将第1门型移动机构4返回到清洗部9，对狭缝喷嘴6的喷出口进行清洗，并在该位置使之干燥。再移动到待机部10，将狭缝喷嘴6的前端浸渍在浸渍槽中，并待机。这期间，在基板载置工作台3上放置新的玻璃基板W。另外，也并不一定必须使之浸渍在浸渍槽中。

接着，使待机的第2门型移动机构5移动到预分配部8进行预备排出之后，与上述同样地驱动线性马达，使门型移动机构5向左方向移动，从狭缝喷嘴7将抗蚀剂液或荧光体糊剂等涂敷液向玻璃基板W的表面供给。这期间，预先将后续要涂敷的1次量的涂敷液供给第1门型移动机构4。通过反复进行上述动作，可在玻璃基板W上连续地进行涂敷。

工业实用性

本发明的涂敷装置，可作为在组装到各种显示装置中的玻璃基板上形成覆膜用的涂敷装置加以利用。

Claims (3)

1.一种涂敷装置，在一对平行导轨之间的中央配置有基板载置工作台，第1及第2门型移动机构以基板载置工作台的宽度方向中心线为基准左右对称地、可独立行走地架设在所述导轨之间，所述基板载置工作台的宽度方向中心线平面上观察与所述导轨正交，狭缝喷嘴可升降地保持在该第1及第2门型移动机构上。

2.根据权利要求1记载的涂敷装置，其特征是，在所述第1及第2门型移动机构的移动区域，在离开基板载置工作台的位置，顺次配置有预分配部、清洗部及待机部。

3.根据权利要求1记载的涂敷装置，其特征是，所述门型移动机构包括与各导轨卡合的驱动部；及在该驱动部行走时阻止变形向狭缝喷嘴传递的、架设在驱动部之间的梁。

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