CN1737827A - 触摸板装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种触摸板装置，尽可能缩小触摸板装置的边框的宽度，而且触摸板装置的厚度并不增大。触摸板装置的各转换器由压电薄膜、配置在压电薄膜的一个表面的平板电极、以及梳状电极构成；该梳状电极具有配置在压电薄膜的另一个表面的多个梳状电极枝和连接到各自的一端侧的直线状的总线电极；在任意一个转换器的外侧，与该转换器的总线电极平行地设置有多条配线电极，该配线电极与任意一个转换器的总线电极和平板电极连接；各配线电极由电极基部和电极主体构成，该电极基部通过微细粒径银膏的印刷形成在基板的表面，该电极主体通过大粒微细粒径混合银膏的印刷形成在电极基部的上面。

Description

触摸板装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及检测由物体的接触引起的表面弹性波的衰减位置来检出物体的接触位置的触摸板装置，例如，用作个人计算机或便携式信息终端等的输入装置。

背景技术

作为个人计算机或移动计算机或便携式信息终端装置(PDA：PersonalDigital Assistant)等的输入装置，经常使用通过在显示装置的显示面上接触手指或笔来进行信息的输入的触摸板装置。

作为这样的触摸板装置，有使用电阻膜的触摸板装置和利用表面弹性波(SAW：Surface Acoustic Wave)的触摸板装置。电阻膜方式的触摸板装置由于在触摸区域形成多层电阻膜，所以光错乱，并穿透率低。表面弹性波方式的触摸板装置是将激励或接收表面弹性波的转换器配置在触摸区域的上下左右，在用手指等接触触摸区域时，根据表面弹性波的衰减位置来检出其触摸位置。表面弹性波方式的触摸板装置由于在触摸区域上没有电阻膜那样的层，所以有透过率高、显示面的视觉辨认度好、且耐损伤的优点。

作为表面弹性波方式的触摸板装置，本申请人在先提出了一种触摸板装置(专利文献1)，该触摸板装置使用通过由梳状电极和平板电极夹住压电薄膜而在一个面上仅配置一个电极的电极结构的转换器(SPT：Single PhaseTransducer)，而且，制成为く字形的梳状电极连续配置的人字形电极结构。

该触摸板装置分别在矩形透明的基板的上边缘部和下边缘部配置激振用的转换器、在左边缘部和右边缘部配置接收用的转换器，总共4个转换器。由这4个转换器包围起来的部分是触摸区域。各转换器是上述的SPT结构，构成为人字形电极结构。

各个转换器在长度方向的一端部相接近地设置有配线电极与梳状电极和平板电极的连接部分。对该连接部分，施加从配线电极供给的激振电压，由此进行信号供电，此外，从连接部分向配线电极读取接收信号，由此进行信号读取。将各配线电极的另一端引到基板的一个地方，作为接线部，通过安装在接线部上的软性电缆等连接到信号处理电路。

将激振电压施加于上下配置的转换器，并产生表面弹性波，通过基板将所产生的表面弹性波沿着对角线的方向传播，用左右配置的转换器接收。当用手指或笔等接触触摸区域的一个地方时，接触的部分的表面弹性波衰减。因此，根据接收信号的电平衰减的位置进行信号处理，由此可以检出该接触位置。

[专利文献1]日本专利特开2004-171213

这样，在上述的触摸板装置中，最好尽可能使触摸区域TE宽大，使转换器的区域尽可能减小。特别是，在PDA等上所使用的小型触摸板装置中，为了使PDA小型化，必须将触摸板装置中的由转换器和配线电极的部分构成的边框的宽度尽可能地缩小。

在上述的SPT结构的转换器中，由于在压电薄膜的各表面分别只配置一个电极，所以与在一个面配置两个电极的对置电极结构相比，能够缩小宽度，能够相应地缩小边框的宽度。

但是，沿着转换器的外周，围着用来对转换器供电的配线电极，对该配线电极的部分，也需要使宽度尽量缩小。可是，为了缩小配线电极的宽度，由此需要增高配线电极的高度而不使得电阻值增高，并不使断面积减小。在增高配线电极的高度的情况下，由此而使触摸板装置的厚度加厚，所以不是优选的。

发明内容

本发明鉴于上述问题而成，其目的是，能够尽量缩小配线电极的宽度，而不会使触摸板装置的厚度增大。

本发明的触摸板装置，在透明基板的中央部设置触摸区域，激励或接收表面弹性波的转换器配置在所述触摸区域的周边部，其特征在于：所述各转换器由压电薄膜、配置在所述压电薄膜的一个表面的平板电极、以及梳状电极构成，该梳状电极具有配置在所述压电薄膜的另一个表面的多个梳状电极枝和连接到所述多个梳状电极枝的各自的一端侧的直线状的总线电极；在任意一个所述转换器的外侧，与该转换器的所述总线电极平行地设置有多条配线电极，该配线电极与任意一个转换器的所述平板电极和所述总线电极连接；所述各配线电极由电极基部和电极主体构成，该电极基部通过微细粒径银膏的印刷形成在所述基板的表面，该电极主体通过大粒微细粒径混合银膏的印刷形成在所述电极基部的上面。

优选地，所述多个梳状电极枝和所述总线电极一起配置在所述压电薄膜的另一表面，而且，通过微细粒径银膏的印刷，与所述电极基部在相同的工序中形成。

更优选地，在所述多条配线电极的相互之间，形成有由氧化锌形成的护围壁，用于防止配线电极的印刷时的涂沫。

在其它方式中，所述总线电极由总线电极基部和总线电极主体构成，该总线电极基部通过微细粒径银膏的印刷形成在所述基板的表面，该总线电极主体通过大粒微细粒径混合银膏的印刷形成在所述总线电极基部的上面。

在这种情况下，优选地，在所述多个配线电极相互之间，以及在所述配线电极和所述总线电极之间，分别形成有由氧化锌形成的护围壁。

此外，优选地，在遍及所述基板的周围的整个区域上，形成有吸音防湿层，而覆盖所述多个配线电极和所述总线电极。

同时，所述平板电极设置在所述压电薄膜与所述基板之间；用于所述平板电极和所述配线电极的连接的接触部分仅是所述平板电极从所述压电薄膜的下面露出到所述基板上面的部分；由所述吸音防湿层覆盖所述接触部分。

根据本发明相关的制造方法，其包括下述步骤：在所述基板的表面，形成所述平板电极；在所述平板电极的上面，形成所述压电薄膜；通过微细粒径的银膏的印刷，在所述压电薄膜的表面，形成所述多个梳状电极枝和所述总线电极，同时，在所述基板的表面，形成与所述平板电极和所述总线电极连接的配线电极的电极基部；通过大粒微细粒径混合银膏的印刷，在所述电极基部的上面，形成所述配线电极的电极主体。

根据其它制造方法，其包括下述步骤：在所述基板的表面，形成所述平板电极；在所述平板电极的上面，形成所述压电薄膜；通过微细粒径的银膏的印刷，在所述压电薄膜的表面，形成所述多个梳状电极枝，同时，在所述基板的表面，形成所述总线电极以及所述平板电极和连接到所述总线电极的配线电极的各个电极基部；通过大粒微细粒径混合银膏的印刷，在所述各电极基部的上面，形成所述总线电极和配线电极的电极主体。

根据需要，在形成所述压电薄膜的步骤中，由氧化锌形成该压电薄膜，与此同时，在所述基板的表面上，在所述多个配线电极的相互之间，由氧化锌形成用于防止配线电极的印刷时的涂沫的护围壁。

根据本发明，能够尽量缩小触摸板装置的边框的宽度，而且不会使触摸板装置的厚度增大。

根据技术方案3和5的发明，由于能够防止配线电极的印刷时的涂沫，所以能够减小配线电极的间隔，可以相应地缩小触摸板装置的边框的宽度。

根据技术方案6和7的发明，能够阻止水分侵入到平板电极和配线电极的接触部分，能够防止由电池效应引起的腐蚀。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的触摸板装置的主视图。

图2是放大表示触摸板装置的一部分的图。

图3是放大表示转换器的部分的剖视图。

图4是说明连接部分的位置的图。

图5是表示转换器的电压分布的例子的图。

图6是表示激振信号和接收信号的波形的例子的图。

图7是说明转换器的制造工序的概略的图。

图8是在配线电极的基部设置铆桩的示例断面图。

图9是放大表示本发明的第二实施方式的触摸板装置的转换器的部分的剖视图。

图10是对应于图9的俯视图。

图11是放大表示本发明的第三实施方式的触摸板装置的转换器的部分的剖视图。

其中，附图标记说明如下：

1、1B、1C触摸板装置            11玻璃基板(基板)

20转换器                       21、21B、21C压电薄膜(压电体)

22、22B、22C平板电极(电极)     23、23B、23C梳状电极(电极)

24、24B、24C梳状电极枝         25、25B、25C总线电极

251电极基部(总线电极基部)      252电极基部(总线电极主体)

30、30B、30C配线电极           31、31B、31C配线电极

301、311电极基部    302、312电极主体

36护围(护围壁)      TE触摸区域

SB连接部分          EA、EB区域

具体实施方式

[第一实施例]

图1是本发明的第一实施方式的触摸板装置1的主视图，图2是放大表示触摸板装置1的一部分的图，图3是放大表示触摸板装置1的转换器20和配线电极的30、31的部分的剖视图，图4是说明连接部分SB的位置的图，图5是表示转换器20的电压分布的例子的图，图6是表示激振信号和接收信号的波形的例子的图，图7是说明转换器20的制造工序的概略的图，图8是表示在配线电极30、31的基部设置铆桩35的例子的剖视图。

在图1中，触摸板装置1在矩形的透明的玻璃基板11的周边部设置有四个转换器20a～20d，进而，沿着其外周设置配线电极30a～30d、31a～31d而构成。触摸板装置1的中央部，即由转换器20a～20d围起来的矩形部分构成为触摸区域TE。

设置在上边部和下边部的两个转换器20a、20b为激振用，而设置在左边部和右边部的两个转换器20c、20d为接收用。将激振电压(激振信号，参照图7)施加在激振用的转换器20c、20d上，而产生表面弹性波，通过玻璃基板11，将所产生的表面弹性波沿着对角线的方向传播，用接收用的转换器20c、20d接收。

具体地说，来自上边部的转换器20a的表面弹性波，沿右下斜方向(通道1)和左下斜方向(通道2)传播，并分别由右边部和左边部的转换器20c、20d接收；来自下边部的转换器20b的表面弹性波，沿右上斜方向(通道3)和左上斜方向(通道4)传播，并分别由右边部和左边部的转换器20c、20d接收。并且，相互错开时间进行对激振用的两个转换器20a、20b的激振电压的施加。

由于表面弹性波的传播所需的时间与其距离成比例，所以表面弹性波在到达接收用的转换器20c、20d上时，从发送用的转换器20a、20b分别越靠近远离于一侧的端部，越延迟。因此，在接收用的各转换器20c、20d中的接收信号，就成为在从表面弹性波最初到达时直到最后到达之间，稍有衰减且持续的梯形信号(参照图6)。当手指或笔等接触触摸区域TE的一个地方时，接触部分的表面弹性波衰减。根据接收信号的电平衰减的位置，检出接触位置。

转换器20a～20d都是相同的结构。因此，对转换器的结构仅仅说明一个转换器20a。在本说明书和附图中，有时将全部转换器20a～20d或其中一部分记载为“转换器20”。

并且，在图1中，对触摸区域TE，放大示出转换器20和配线电极。实际的尺寸，例如玻璃基板11的一边的长度为数cm～数十cm，厚度为十分之几mm～数mm，各转换器20的宽度为数mm左右。即，玻璃基板11的表面，除其周边缘的一点点的部分之外，大部分都是触摸区域TE。此外，在图3中，纵方向比横方向放大得更大。

如图2和图3所示，转换器20a为用平板电极22和梳状电极23夹住压电薄膜21的结构(SPT结构)。梳状电极23由平面看时呈く字形的多个梳状电极枝24、24、24…和连接在多个梳状电极枝24的各自的一端侧的直线状的总线电极25构成。并且，平板电极22经由压电薄膜21与梳状电极23的梳状电极枝24相对置。

压电薄膜21由氧化锌(ZnO)构成，厚度为例如2μm左右，宽度为例如2mm左右。平板电极22例如由铝构成，厚度为例如0.4μm左右，宽度为例如2mm左右。例如通过印刷并烧结微细银膏(微细粒径的银膏)来形成梳状电极23。梳状电极枝24，厚度为例如1～1.5μm左右，宽度为例如60μm左右，间隔为例如约90μm左右，因此，节距为例如150μm左右。总线电极25，厚度为例如2.5μm左右，宽度为例如150μm左右。

并且，压电薄膜21、平板电极22和梳状电极23的尺寸也可以为上述以外的值。例如也可以，压电薄膜21的宽度例如从1～3mm左右的范围选择；平板电极22的厚度例如从0.3～0.4μm左右的范围选择，宽度例如从1～2mm左右的范围选择；梳状电极枝24的厚度例如从1～2μm左右的范围选择，宽度例如从50～75μm左右的范围选择，间隔例如从75～100μm的范围选择；总线电极25的厚度例如从2～3μm左右的范围选择，宽度例如从100～250μm左右的范围选择。

各转换器20a～20d的梳状电极23和平板电极22，分别在连接部分SB中连接到配线电极30a～30d、31a～31d。各配线电极30a～30d、31a～31d沿着转换器20的外侧的周围，围在玻璃基板11上，在玻璃基板11的图1中的右下方的一个地方引出来而作为接线部KS。未图示的软性电缆等安装在接线部KS上，并与信号处理电路连接。并且，将配线电极30a～30d或31a～31d的全部或其一部分，有时分别记载为“配线电极30”、“配线电极31”。

在图3中，配线电极30、31分别由电极基部301、311和电极主体302、312构成，该电极基部301、311为通过微细银膏的印刷形成在玻璃基板11的表面的，该电极主体302、312为通过混合微细银膏(大粒径微细粒径混合的银膏)的印刷形成在电极基部311上的。总线电极25和平板电极22从各自的连接部分SB与电极基部301、311相连。

电极基部301、311的厚度为例如2～3μm左右，宽度为例如200μm左右。电极主体302、312的厚度为例如20μm左右，宽度为例如200μm左右。配线电极30和配线电极31的间隔为200μm左右，配线电极31和总线电极25(压电薄膜21)的间隔为150μm左右。

并且，电极基部301、311的尺寸或间隔也可以是上述以外的值。例如也可以，电极基部301、311和电极主体302、312的宽度从100～250μm左右的范围选择；配线电极30和配线电极31的间隔从数十～250μm左右的范围选择；配线电极31和总线电极25(压电薄膜21)的间隔从数十～150μm左右的范围选择。

可是，微细银膏中使用直径为数nm左右的微细粒径的银粒子。混合微细银膏中混合有直径为数nm左右的微细粒径的银粒子和直径为1～2μm左右的大粒径的银粒子。在使用微细银膏的情况下，与使用了原先采用的普通银膏的情况相比，可以将电阻率降低到约十分之一左右，而且还能够形成膜厚为1μm左右的薄膜。使用混合微细银膏的情况下，与使用了原先的普通银膏的情况相比，同样可以将电阻率降低到十分之一左右。由于这些微细银膏和混合微细银膏都可以多重印刷，所以可能使得厚膜化。在这种情况下，如果是混合微细银膏，可以通过较少的印刷次数，就能够容易地实现厚膜化。例如，如果是上述的20μm左右的厚度，可以通过印刷一次混合微细银膏来形成。并且，微细银膏和混合微细银膏都在市场上销售，其本身是公知的。

由于存在厚膜的电极主体302、312，所以配线电极30、31的整体电阻值小。由于存在电极基部301、311，印刷时就不会在玻璃基板11上涂沫而扩散，与电极主体302、312的电结合和机械结合也良好。其结果，用小的断面积就能够形成电阻值足够低的配线电极30、31。

因此，能够缩小配线电极30、31的区域的宽度且减薄厚度。其结果，能够缩小触摸板装置1的边框的宽度，而且不会增大触摸板装置1的厚度。

因此，在配线电极30、31整体上，使用现有的普通银膏的情况下，由于电阻率高，必须使厚度达到10倍的200μm左右，由此转换器20的厚度变厚，印刷次数也变多。而且，由于印刷时有可能涂沫在玻璃基板11上而扩散，所以有必要增大配线电极30、31的间隔和配线电极30与总线电极25的间隔，而使边框的宽度尺寸增大。另外，在SPT结构的转换器20中，如果载置于压电薄膜21上的梳状电极23的膜厚超过表面弹性波的波长(节距)λ的百分之一时，被激振的表面弹性波的效率就急剧地降低，因此，使用现有的普通银膏的情况下，膜厚变厚而很难提高效率。

并且，由于梳状电极23的静电容量基本上由梳状电极枝24的宽度和长度，以及压电薄膜21的厚度来决定，所以高精度地制作梳状电极枝24的宽度是很重要的。另一方面，表面弹性波的激振用的梳状电极枝24的精细图案需要薄膜化。虽然梳状电极枝24和总线电极25可以同时形成，但是，由于梳状电极枝24和总线电极25的图案宽度相差数倍左右，所以，存在最合适的印刷条件不同的情况。为了避免这种情况，也可以采用将梳状电极枝24与总线电极25分离开的图案，而高成品率地形成。

在本实施方式中，配线电极30、31与梳状电极23和平板电极22的连接部分SB设置在下面说明的位置上，即，如图4具体示出的那样，在沿总线电极25的长度方向M1上，将转换器20分成两等分时的两个区域EA、EB中的一个区域EA上，设置总线电极25和配线电极30的连接部分SB，在另一个区域EB上，设置平板电极22和配线电极31的连接部分SB。

但是，在本实施方式中，这两个连接部分SB位于，将转换器20的长度，即将两个区域EA、EB相加的区域的长度大致分成3等分的位置。

激振用的转换器20，从这样的两个连接部分SB接受激振电压的供电。即，连接部分SB是供电点。对转换器20供电的情况下的电压分布如下。

在图5中，用曲线JR1表示电压分布，此时，横轴为转换器20的激振区域的长度约120mm，纵轴为从上述的两个连接部分SB(供电点1、2)进行供电时的电压强度。据此，在供电点的电压强度最低，随着远离供电点1、2电压强度变高。但是，整体上没有大的波动，整个激振区域中电压分布大致均匀。

并且，在图5中，用曲线JRj表示如以前的从一侧的端部(激振端1)进行供电的情况下的电压分布的例子。若比较曲线JR1和曲线JRj，可知曲线JR1比曲线JRj电压强度的波动(振幅的变化)小，电压分布均匀。

下面，参照图7，说明转换器20的制造工序的概况。

首先，如图7(a)所示，准备玻璃基板11，清洗表面。然后，通过溅射或蒸镀等，在玻璃基板11的一个表面形成铝的薄膜22x，并在薄膜22x上形成抗蚀层61[图7(b)]。通过蚀刻薄膜22x，形成平板电极22[图7(c)]。除掉抗蚀层61，形成氧化锌的薄膜21x，在薄膜21x上形成抗蚀层62[图7(d)]。通过蚀刻薄膜21x，形成压电薄膜21[图7(e)]。除掉抗蚀层62，通过印刷烧结，形成梳状电极23和配线电极30、31[图7(f)]。

另外，如图3的双点划线所示，按照覆盖配线电极30、31、连接部分SB和总线电极25的方式，在玻璃基板11的周围整个区域上，形成吸音防湿层41。吸音防湿层41不覆盖由梳状电极枝24构成的激振区。吸音防湿层41可通过下述方式实现，即在蒸涂了厚的SiO₂等的防湿层上，重叠吸音性高的树脂而形成，或者，涂敷由兼作吸音材料的防湿树脂构成的有机绝缘膜而形成。例如，可以使用如丙烯树脂或环氧树脂等这样的透水性低且绝缘性高的材料。在使用了感光性或紫外线固化性树脂的情况下，容易仅在所希望的区域上成膜。

吸音防湿层41的厚度，需大于表面弹性波的波长的四分之一左右。这是因为，在吸音防湿层41薄的情况下，表面弹性波在玻璃基板11的端面反射，会导致SN比的降低。例如，在波长λ为150μm的情况下，吸音防湿层41的厚度制成为例如40μm左右。同时，将从不妨碍激振的区域到玻璃基板11的端面的区域全部覆盖起来，而印刷形成吸音防湿层41，由此能够防止水分侵入到电极部分。

此外，最好构成为用手指不直接接触转换器20的部分。但是，从触摸板装置的性质方面，可以考虑含有如画面清洗剂或汗水等之类的酸或碱成分的水分侵入的情况。考虑到这种情况，在梳状电极23和压电薄膜21的表面和端面设置保护膜。例如，由薄膜且有耐药性的材料，例如非晶体氟系树脂(サイトツプ/Cytop(日本旭硝子社的注册商标))等氟系树脂，或苯并环丁烷(BCB)树脂等的具有芳香族结构的材料，形成有机薄膜。特别是，BCB树脂是具有感光性的材料，容易仅在所希望的区域上形成薄膜，并制成图案。

这样，在按照覆盖配线电极30、31和总线电极25的方式，形成吸音防湿层41之后，在包含梳状电极枝24和压电薄膜21的区域上，形成保护膜。然后，进而在玻璃基板11的触摸区域TE的表面，实施防水防油涂敷。由此来提高触摸板装置1的可靠性。

在上述的实施方式中，为了缩小配线电极30与31的间隔，以及配线电极31与总线电极25的间隔，为了将其分离开而可以设置具有绝缘性的护围(壁)。这样的护围例如由氧化锌构成，可以在形成压电薄膜21时与进行图案化的同时形成护围。

此外，为了使配线电极30、31的与玻璃基板11的机械结合更加牢固，如图8所示，可以在玻璃基板11的表面形成由附着性良好的材料构成的多个铆桩35、35、35…。通过这样的铆桩35形成多条槽，因此电极基部301、311陷入到该槽内，可以增大与玻璃基板11的机械接合力。这种情况下，铆桩35起着分离配线电极30和31的护围的作用。这样的铆桩35例如可以由氧化锌构成，在形成压电薄膜21时制成图案，与压电薄膜21同时形成铆桩35。

这样，通过设置护围或铆桩35，能够缩小配线电极30、31和总线电极25的间隔，可以使触摸板装置1的边框的宽度进一步缩小。

[第二实施例]

在这里，仅说明与第一实施方式不同之处。

图9是放大表示本发明的第二实施方式的触摸板装置1B的转换器20B和配线电极30B、31B的部分的剖视图，图10是对应于图9的俯视图。

在图9和图10中，总线电极25B不是形成在压电薄膜21B的表面，而是形成在触摸板装置1的表面。即，总线电极25B由电极基部251和电极主体252构成，该电极基部251通过微细银膏的印刷而形成在玻璃基板11的表面，该电极主体252通过混合微细银膏的印刷而形成在电极基部251上。电极基部251的厚度为例如2～3μm左右，宽度为例如100～150μm左右，电极本体252的厚度为例如20μm左右，宽度为例如100～150μm左右。由此，能够充分降低总线电极25B的电阻值，而且能够充分减小厚度。

配线电极30B、31B的结构和尺寸，与第一实施方式的配线电极30、31基本相同。配线电极30B和配线电极31B的间隔为30～200μm左右，配线电极31B与总线电极25B的间隔为30～150μm左右。在配线电极30B与31B之间，以及在配线电极31B与总线电极25B之间，设置有护围36、36。形成压电薄膜21B的同时，由氧化锌形成护围36。并且，通过微细银膏的印刷，梳状电极枝24B从压电薄膜21B的表面一直延伸到总线电极25B而形成。吸音防湿层41覆盖配线电极30B、31B和总线电极25B，并形成在玻璃基板11的周围的整个区域上。

通过护围36，防止配线电极30B、31B和总线电极25B的印刷时的涂沫，能够缩小它们的间隔。也可以设置图8所示的铆桩35来代替护围36。此外，也可以省略护围36。

在第二实施方式的触摸板装置1B中，也可以缩小边框的宽度。

[第三实施例]

在这里，仅说明与第一实施方式不同之处。

图11是放大表示本发明的第三实施方式的触摸板装置1C的转换器20C和配线电极30C、31C的部分的剖视图。在图11中，表示将包含平板电极22C与配线电极31C的连接部分SB剖面的状态。

在图11中，在玻璃基板11的表面，形成有平板电极22C、压电薄膜21C和梳状电极23C。平板电极22C是厚度为例如0.3μm左右的铝薄膜，从压电薄膜21C的下面稍微露出地设置。压电薄膜21C是厚度为例如2μm左右的氧化锌的薄膜。梳状电极枝24C是厚度为例如1～1.5μm左右的微细银膏构成的薄膜。

平板电极22C在连接部分SB中与配线电极31C连接。这里的连接部分SB仅是平板电极22C从压电薄膜21C的下面露出的部分。铝的平板电极22C与银的配线电极31C的接触部分，在其间隙中侵入水分时，会产生由电池效应引起的电位差，由此引起的电流成为腐蚀的原因。因此，为了不使水分侵入接触部分，在其上部形成由隔断水分的材料构成的吸音防湿层41C。即，吸音防湿层41C覆盖住平板电极22C与配线电极31C接触的部分。由此，阻止水分侵入到平板电极22C与银的配线电极31C的接触部分，防止由电池效果引起的腐蚀的发生。吸音防湿层41C的材料和形成方法，与上述的吸音防湿层41相同。

配线电极31C围在玻璃基板11上，在作为其前端部的接线部KS中，通过含有金的微粒子的粘合剂(ACF)50，连接有具有铜合金的电极51的软性电缆(软垫)52。

这样，在第三实施方式中，平板电极22C是从压电薄膜21C的下面直到稍微露出的部分，在该部分中，与配线电极31C连接。因此，限制住可能发生腐蚀的部分，需要防湿或防水的部分成为极窄的区域，通过吸音防湿层41C可获得几乎完全防湿的效果。

因此，虽然也可以考虑将作为底电极的平板电极22C一直延伸到接线部KS，并在其上部形成配线电极31C的方法，但是，这种情况下，铝与银接触的部分变长，由于降低由吸音防湿层的防湿效果，所以很难长期防止腐蚀。

并且，在图中，在配线电极31C的长度方向上，省略示出了其中间部分。此外，虽然未在图中示出，但是对于总线电极与配线电极的连接部分SB以及该配线电极的前端部的接线部KS，也与上述配线电极31C的情况相同地构成，也可获得同样的效果。

此外，在压电薄膜21C、梳状电极枝24C和吸音防湿层41C的表面和端面的整个区域上，设置保护膜42。如上所述，保护膜42由BCB树脂等形成。保护膜42的厚度为例如1μm左右。在触摸区域TE上，在其表面实施有防水防油涂敷。由此可获得可靠性高的触摸板装置1C。

在上述的实施方式中，并没有特别考虑在转换器20a～20d中的从连接部分SB到接线部KS的电长度，但是，也可以按照使它们相互相等的方式，配置配线电极30a～30d、31a～31d和接线部KS。

在上述的各实施方式中，转换器20、配线电极30、31和触摸板装置1、1B、1C的整体或各部分的结构、形状、尺寸、个数、材质、形成方法等，可以沿本发明的宗旨进行适宜的变更。

本发明用作个人计算机、移动式计算机或便携式信息终端装置等的输入装置。

Claims (10)

1.一种触摸板装置，在透明基板的中央部设置触摸区域，激励或接收表面弹性波的转换器配置在所述触摸区域的周边部，其特征在于：

所述各转换器由压电薄膜、配置在所述压电薄膜的一个表面的平板电极、以及梳状电极构成，该梳状电极具有配置在所述压电薄膜的另一个表面的多个梳状电极枝和连接到所述多个梳状电极枝的各自的一端侧的直线状的总线电极；

在任意一个所述转换器的外侧，与该转换器的所述总线电极平行地设置有多条配线电极，该配线电极与任意一个转换器的所述平板电极和所述总线电极连接；

所述各配线电极由电极基部和电极主体构成，该电极基部通过微细粒径银膏的印刷形成在所述基板的表面，该电极主体通过大粒微细粒径混合银膏的印刷形成在所述电极基部的上面。

2.根据权利要求1的触摸板装置，其特征在于，所述多个梳状电极枝和所述总线电极一起配置在所述压电薄膜的另一表面，而且，通过微细粒径银膏的印刷，与所述电极基部在相同的工序中形成。

3.根据权利要求1或2的触摸板装置，其特征在于，在所述多条配线电极的相互之间，形成有由氧化锌形成的护围壁，用于防止配线电极的印刷时的涂沫。

4.根据权利要求1的触摸板装置，其特征在于，所述总线电极由总线电极基部和总线电极主体构成，该总线电极基部通过微细粒径银膏的印刷形成在所述基板的表面，该总线电极主体通过大粒微细粒径混合银膏的印刷形成在所述总线电极基部。

5.根据权利要求4的触摸板装置，其特征在于，在所述多个配线电极的相互之间，以及在所述配线电极和所述总线电极之间，分别形成有由氧化锌形成的护围壁。

6.根据权利要求4或5的触摸板装置，其特征在于，在遍及所述基板的周围的整个区域上，形成有吸音防湿层，而覆盖所述多个配线电极和所述总线电极。

7.根据权利要求6的触摸板装置，其特征在于：所述平板电极设置在所述压电薄膜与所述基板之间；用于所述平板电极和所述配线电极的连接的接触部分仅是所述平板电极从所述压电薄膜的下面露出到所述基板上面的部分；由所述吸音防湿层覆盖所述接触部分。

8.一种触摸板装置的制造方法，该触摸板装置在透明基板的中央部设置有触摸区域，在所述触摸区域的周边部设置有转换器；该转换器由压电薄膜、配置在所述压电薄膜的一个表面的平板电极和梳状电极构成；该梳状电极具有配置在所述压电薄膜的另一个表面的多个梳状电极枝和连接到所述多个梳状电极枝的各自的一端侧的直线状的总线电极，其特征在于，该触摸板装置的制造方法包括下述步骤：

在所述基板的表面，形成所述平板电极；

在所述平板电极的上面，形成所述压电薄膜；

通过微细粒径的银膏的印刷，在所述压电薄膜的表面，形成所述多个梳状电极枝和所述总线电极，同时，在所述基板的表面，形成与所述平板电极和所述总线电极连接的配线电极的电极基部；

通过大粒微细粒径混合银膏的印刷，在所述电极基部的上面，形成所述配线电极的电极主体。

9.一种触摸板装置的制造方法，该触摸板装置在透明基板的中央部设置有触摸区域，在所述触摸区域的周边部设置有转换器；该转换器由压电薄膜、配置在所述压电薄膜的一个表面的平板电极和梳状电极构成；该梳状电极具有配置在所述压电薄膜的另一个表面的多个梳状电极枝和连接到所述多个梳状电极枝的各自的一端侧的直线状的总线电极，其特征在于，该触摸板装置的制造方法包括下述步骤：

在所述基板的表面，形成所述平板电极；

在所述平板电极的上面，形成所述压电薄膜；

通过微细粒径的银膏的印刷，在所述压电薄膜的表面，形成所述多个梳状电极枝，同时，在所述基板的表面，形成所述总线电极以及所述平板电极和连接到所述总线电极的配线电极的各个电极基部；

通过大粒微细粒径混合银膏的印刷，在所述各电极基部的上面，形成所述总线电极和配线电极的电极主体。

10.根据权利要求8或9所述的触摸板装置的制造方法，其特征在于，在形成所述压电薄膜的步骤中，由氧化锌形成该压电薄膜，与此同时，在所述基板的表面上，在所述多个配线电极的相互之间，由氧化锌形成用于防止配线电极的印刷时的涂沫的护围壁。

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