CN1677104A - 废水分类方法及装置 - Google Patents
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Abstract
一种废水分类方法，根据由测定动作时需要预定时间的TOC浓度计(传感器)所测定动作的TOC浓度(水质指标)将废水分类，其特征在于，在多个水槽中分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽A、B、C的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时间长度分别错开，各周期中的测定动作从接收动作的中途开始进行。本发明能高精度且高效地将废水分类。
Description
技术领域
本发明涉及在由需要一定时间来进行测定动作的传感器所测定动作的水质指标的基础上对废水进行分类的废水分类方法及装置。
背景技术
例如在半导体制造领域，将从硅等的单晶块切片得到的晶片经过研磨处理后予以清洗，用于清洗的清洗水则作为废水而根据其水质分类回收。
例如，专利文献1揭示了一种晶片清洗装置的废水分类回收装置，是将从清洗处理槽引出的共同废水管分支成多根废水管，并在各废水管上设置自动阀，并根据水质传感器所检测的废水的水质对上述自动阀进行开闭控制，由此根据水质将废水分类回收。
【专利文献1】日本专利第3336952号公报
可是，上述废水分类回收装置的前提是，用作为废水分类的判断基准的水质指标是水质传感器瞬间检测得到的数据，当水质指标像TOC(全有机碳)浓度那样在测量时需要一定时间时，为了延长测定动作时间，要将废水积存。
由于废水通常是连续排出动作，所以要求有效地利用积存废水用的水槽，来提高分类精度。
发明内容
本发明鉴于上述情况，其目的是要提供一种废水分类方法及装置，在由需要一定时间来进行测定动作的传感器所测定动作的水质指标的基础上能够高精度且高效率地将废水分类。
为了达成上述目的，第1方案的废水分类方法根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动作的水质指标将废水分类，其特征在于，在多个水槽中分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时间长度分别错开。
第2方案是在第1方案中，上述水质指标是TOC浓度。
第3方案是在第1或2方案中，各周期的测定动作是从接收动作的中途开始进行。
第4方案是在第1、2或3方案中，所述多个水槽由A、B、C三个槽构成，在水槽A的排出动作结束后到下一个水槽B的测定动作结束之前，使废水循环动作，并且在水槽C的接收动作结束之前待机动作。
第5方案的废水分类装置根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动作的水质指标将废水分类，其特征在于，包含：三个水槽、针对各水槽设置的接收动作管、测定动作管及排出动作管、设置在各管上的自动阀、分别设置在构成封闭循环动作的所述测定动作管与所述排出动作管上的泵、以及根据所述传感器测定动作的水质指标控制所述自动阀的开闭的控制装置。
第6方案是在第5方案中，将废水管和回收管与上述排出动作管连接，并且在这些废水管与回收管上分别设置自动阀，用上述控制装置来控制这些自动阀的开闭动作，使废水流向废水管或回收管中的任一方。
第7方案是在第5或第6方案中，上述传感器是TOC浓度计。
采用本发明时，当根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动作的水质指标将废水分类时，是用传感器来测定动作积存于各水槽的废水的水质指标，并根据其测定动作结果而将水槽内的废水分类排出动作，所以能将废水高精度地分类。
又由于是用多个水槽分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽的各周期的接收动作开始时机分别按照接收动作的时间长度错开，因此已测定动作出水质指标的废水就可从多个水槽依序排出动作而被分类，在时间上不会产生很大的浪费，能有效率地将废水分类及排出动作。
附图说明
图1是本发明的废水分类装置的系统构造图。
图2是本发明的废水分类方法的流程图。
具体实施方式
以下根据附图来说明本发明的实施方式。
图1是本发明的废水分类装置的系统构成图，图2是本发明的废水分类方法的说明图。
图1所示的废水分类装置用于将清洗(冲洗)半导体晶片后的废水进行分类，作为成为分类判断基准的水质指标，采用TOC(全有机碳)浓度，测定动作这种TOC浓度时需要一定时间(例如6分钟)。
本实施例的废水分类装置具备三个水槽A、B、C，在各水槽A、B、C上分别连接有接收动作管L1、测定动作管L2以及排出动作管L3。
上述接收动作管L1用于将从没有图示的晶片清洗装置排出动作的冲洗废水导入各水槽A、B、C，在其中途分别设有用于各个水槽A、B、C的自动阀V1。各水槽A、B、C上分别设有水位传感器(LS)S1，用来检测各水槽A、B、C内积存的冲洗废水的水位。
上述测定动作管L2在每个水槽A、B、C中构成一个封闭循环动作，在其中途设有泵P1与TOC浓度计S2，并且在泵P1的上游侧与下游侧，每个水槽A、B、C分别设有自动阀V2与V3。
上述排出动作管L3在每个水槽A、B、C中构成一个封闭循环动作，在其中途设有泵P2，并且在该泵P2的上游侧与下游测，每个水槽A、B、C分别设有自动阀V4与V5。在排出动作管L3上连接着废水管L4与回收管L5，在废水管L4与回收管L3上分别设有自动阀V6、V7。
上述水位传感器S1与TOC浓度计S2以及自动阀V1～V7与作为控制装置的未图示控制器作电连接，控制器根据由水位传感器S1检测到的冲洗废水的水位以及由TOC浓度计S2测得的冲洗废水的TOC浓度，分别控制自动阀V1～V7的开闭。
以下说明用以上构造的废水分类装置实施的废水分类方法。
本发明的废水分类方法的特征在于用多个水槽(本实施例是三个水槽A、B、C)分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽A、B、C的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时间长度分别错开。
这里根据图1及图2来说明用水槽A进行的以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理与水槽B的关联。图2是本发明的废水分类方法的流程图。
例如，在水槽A的接收动作处理中，自动阀V1开启，其它的自动阀V2～5全部关闭，冲洗废水从接收动作管L1被导入水槽A后积存，当水位传感器S1检测出的水槽A中的冲洗废水的水位到达H(高)水位时，即开始下一个水槽B的接收动作冲洗废水的动作(参照图中的运转(1))。
在水槽A接收动作冲洗废水的中途，开始对冲洗废水的TOC浓度进行测定动作。在该TOC浓度的测定动作过程中，自动阀V1关闭，自动阀V2、V3开启，且泵P1受到驱动，积存于水槽A的冲洗废水在测定动作管L2中循环动作，在水位传感器S1测得的水槽A中的冲洗废水水位到达H水位后经过了预定时间(例如与从接收动作完成到测定动作结果出来的时间(6分钟)相同的时间)的时刻，TOC浓度计S2的测定动作结果受到检验，同时开始对下一个水槽B的冲洗废水的TOC浓度进行测定动作(参照图2的运转(2))，并且水槽A开始排出动作冲洗废水(参照图2的运转(3))。由于TOC浓度计S2测定动作TOC需要一定的时间(例如6分钟)，要在该一定时间内使冲洗废水在测定动作管L2中循环动作，由TOC浓度计S2测定动作的TOC浓度被输入到未图示的控制器。
在水槽A的排水过程中，自动阀V2、V3关闭，自动阀V4、V5开启，泵P2受到驱动，是时根据冲洗废水的TOC浓度而选择性地开启自动阀V6、V7，积存于水槽A的冲洗废水从废水管L4排出动作，或者经过回收管L5回收后再利用。具体来说，控制器在冲洗废水的TOC浓度超过预定值时将自动阀V6开启，以使冲洗废水从废水管L4排出动作，而当TOC浓度为预定值以下时，则将自动阀V7开启，以经过回收管L5回收冲洗废水。
当由于水槽A中的冲洗废水排出动作而使该水槽A中用水位传感器S 1检测出的冲洗废水的水位下降到L(低)水位时，就切换到循环动作(参照图2的运转(4))，该循环动作一直进行到下个水槽B的冲洗废水开始排出动作为止。在该冲洗废水的循环动作过程中，与测定动作TOC浓度时同样，自动阀V1关闭，自动阀V2、V3开启，并且泵P1受到驱动，以使水槽A内的冲洗废水在测定动作管L2中循环动作。
在水槽A中，在水槽C的接收动作结束前(排出动作期间)为待机动作状态(参照图2的运转(5))，并结束以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，继续进行下一个周期，开始水槽A的接收动作冲洗废水的动作(参照图2的运转(1))。
以上是以与水槽B的关联来重点说明水槽A的处理，而水槽B及水槽C的处理也是用与水槽A同样的方式进行。
于是，以上的以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理就在各水槽A、B、C中分别连续性地进行，但如上所述，各水槽A、B、C的各周期的接收动作开始时机按照接收动作时间长度分别错开。而且各周期中的测定动作是从接收动作的中途开始进行。
另外，在水槽A的排出动作结束后到下个水槽B的测定动作结束前，使废水循环动作，并在水槽C的接收动作结束之前待机动作。同样地，在水槽B的排出动作结束后到下个水槽C的测定动作结束前，使废水循环动作，并在水槽A的接收动作结束之前待机动作，在水槽C的排出动作结束后到下个水槽A的测定动作结束前，使废水循环动作，并在水槽B的接收动作结束之前待机动作。
如上所述，采用本实施例时，当根据由测定动作时需要预定时间的TOC浓度计S2所测定动作的TOC浓度将废水分类时，是用TOC浓度计S2来测定动作各水槽A、B、C所积存的废水的TOC浓度，并且根据其测定动作结果将各水槽A、B、C内的冲洗废水分类后排出动作或回收，所以能高精度地将冲洗废水分类。
另外，由于是用三个水槽A、B、C分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且各水槽A、B、C的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时间长度分别错开，因此已测定动作出TOC浓度的冲洗废水就从多个水槽A、B、C依序排出动作后分类，故时间上不会产生很大的浪费，能有效地将冲洗废水分类及排出动作。
不过，本实施例是用TOC浓度作为将冲洗废水分类的判断指标、即水质指标，当然也可以使用其它的测定动作时需要预定时间的水质指标来进行分类。
本发明不仅适用于晶片清洗后的冲洗废水分类，还适用于其它任意的废水分类。
Claims (7)
1、一种废水分类方法，根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动作的水质指标将废水分类，其特征在于，
在多个水槽中分别反复地进行以接收动作、测定动作、排出动作、循环动作及待机动作为一个周期的处理，并且使各水槽的各周期的接收动作开始时机按照接收动作的时间长度分别错开。
2、如权利要求1所述的废水分类方法，其特征在于，所述水质指标是TOC浓度。
3、如权利要求1或2所述的废水分类方法，其特征在于，各周期中的测定动作从接收动作的中途开始进行。
4、如权利要求1或2所述的废水分类方法，其特征在于，所述多个水槽由A、B、C三个槽构成，在水槽A的排出动作结束后到下一个水槽B的测定动作结束之前，使废水循环动作，并且在水槽C的接收动作结束之前待机动作。
5、一种废水分类装置，根据由测定动作时需要预定时间的传感器所测定动作的水质指标将废水分类，其特征在于，
包含：三个水槽、针对各水槽设置的接收动作管、测定动作管及排出动作管、设置在各管上的自动阀、分别设置在构成封闭循环动作的所述测定动作管与所述排出动作管上的泵、以及根据所述传感器测定动作的水质指标控制所述自动阀的开闭的控制装置。
6、如权利要求5所述的废水分类装置其特征在于，将废水管和回收管与所述排出动作管连接，并且在这些废水管与回收管上分别设置自动阀，用所述控制装置来控制这些自动阀的开闭动作，使废水流向废水管或回收管中的任一方。
7、如权利要求5或6所述的废水分类装置，其特征在于，所述传感器是TOC浓度计。
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