JPH08173951A - 洗浄装置からの排水の再利用のための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】洗浄装置からの排水の再利用可能なものの回収
効率を向上させることができ、さらに洗浄装置の使用水
量を少なくでき且つそのランニングコストを安くするこ
とができる、洗浄装置からの排水の再利用方法及びその
ための装置を提供する。 【構成】前記各水洗槽毎にその排水をその水質又は汚染
度に応じて複数に分別する工程と、この分別された排水
をそれぞれその水質又は汚染度の近いもの同士でまとめ
る工程と、このまとめられたそれぞれの排水についてそ
の水質又は汚染度に応じて再利用のための処理を行う工
程とを含む、１以上の水洗槽を含む１以上の洗浄装置か
らの排水を再利用するための方法とそのための装置であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウエハなどの
洗浄に使用するための洗浄装置からの排水の再利用のた
めの方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場における超純水の使用量
は、これまで、ＩＣの生産量の増加と集積度の向上に比
例する形で増加してきた。そして、超純水の使用量に比
例して、当然ながら排水量も増加している。

【０００３】ところで、近年、水資源の量が逼迫しかつ
社会全般の環境問題に対する意識が高まる中で、工場に
おける用水及び排水の規制が厳しくなりつつある。具体
的には、原水として使用する工業用水や井水等の供給・
汲み上げに関する制限が強化され、また、排水について
は放流水質の規制項目の追加や総量に対する規制等が強
化されつつある。

【０００４】このような問題の解決策として、従来よ
り、排水の再利用のための設備（排水回収装置）を導入
することにより、工場用水の確保と、排水量の低減によ
る環境問題への対処がなされている。図９は従来の洗浄
装置からの排水の再利用方法を示すフローチャートであ
る。従来の排水の再利用方法では、洗浄装置内に含まれ
る各薬液槽や各水洗槽からの排水を全てまとめて集中さ
せ（図９のステップＳ１）、このまとめた排水をその水
質又は汚染度により集中的に分別し（同ステップＳ
２）、この分別された各排水毎に、再利用のための処理
を行う（同ステップＳ３）ようにしている。

【０００５】図１０は、この従来の排水の再利用方法を
使用した排水の再利用システムを示す概略図である。図
１０において、符号１１，１２，１３，１４は洗浄装
置、２１，２５，２９，３３は各洗浄装置１１〜１４に
それぞれ含まれる薬液槽、２２，２６，３０，３４は各
洗浄装置１１〜１４にそれぞれ含まれる１次水洗槽、２
３，２７，３１，３５は各洗浄装置１１〜１４にそれぞ
れ含まれる２次水洗槽、２４，２８，３２，３６は各洗
浄装置１１〜１４にそれぞれ含まれる３次水洗槽であ
る。

【０００６】この従来の排水の再利用システムにおいて
は、前記の各槽２１〜３６からの排水は、まず各洗浄装
置毎に共通配管によりまとめられ、さらに一つの配管に
集中的にまとめられて、分別装置４０に送られる。分別
装置４０は、このまとめられた排水を、その水質又は汚
染度に基づいて、例えば４種類に分別する。この４種類
とは、例えば、極めて汚染度が高いため再利用不能な排
水と、汚染度がやや高い排水と、汚染度がやや低い排水
と、汚染度が極めて低い排水と、である。前記の極めて
汚染度が高いため再利用不能な排水は、処理ラインａに
流されて排水処理装置５０による処理を経て放流され
る。また、前記の汚染度がやや高い排水と汚染度がやや
低い排水とは、それぞれ処理ラインｂ，ｃに流されて、
排水回収処理装置５１，５２により再利用処理され、超
純水製造装置５３に送られる。また前記の汚染度が極め
て低い排水は、処理ラインｄに流されて、そのまま超純
水製造装置５３に送られるか、他の用途に使用される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の洗浄装置からの排水の再利用方法では、前記各槽２
１〜３６からの排水を一旦集中的にまとめて、その上で
分別処理するようにしているため、設備のイニシャルコ
ストは安価となるが、洗浄装置からの排水の全体の６０
〜７０％程度しか回収することができないという問題が
ある。

【０００８】すなわち、一般に薬品により汚染された製
品を洗浄すると、洗浄直後の段階では排水は高程度に汚
染されるが、その水質又は汚染度は経時的に回復するこ
ととなる。したがって、この排水を再利用のために効率
的に回収するには、この水質が回復した状態を検出して
汚染度の低いものを分別して回収するのが望ましい。し
かし、従来の排水の再利用方法では、汚染度の異なる各
槽からの排水をいったん集中的に合流させ、その後にこ
の分別処理を行っているので、水質の良い水と悪い水と
が混じり合って回収不可能な水質へ平均化された後に分
別が行われるケースが多くなってしまう。すなわち、各
槽から排出された時点では汚染度が低く再利用可能な排
水でも、他の槽からの汚染度の高い排水と合流させられ
ることにより、再利用できない程度に汚染度が高いもの
に均一化されてしまうと、この均一化された後で分別を
行っても、再利用可能な排水の回収がほとんどできない
ことになってしまう。そのため、図１０の従来のシステ
ムでは、効率的に排水を再利用することができず、結
局、装置と水を含めた全体コストが高くなってしまうと
いう問題があった。

【０００９】この発明は、以上のような従来システムの
問題点を解決するためになされたもので、洗浄装置から
の排水の再利用可能なものの回収効率を向上させること
ができ、さらに洗浄装置の使用水量を少なくでき且つそ
のランニングコストを安くすることができる、洗浄装置
からの排水の再利用のためた方法及び装置を提供するこ
とを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による洗浄装置か
らの排水の再利用方法は、各水洗槽毎に、その排水をそ
の水質又は汚染度に応じて複数に分別する工程と、この
分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの同士
でまとめる工程と、このまとめられたそれぞれの排水に
ついて、その水質又は汚染度に応じて、再利用のための
処理を行う工程と、を含むことを特徴としている。

【００１１】また本発明では、予め、各水洗槽からの排
水を、その水質又は汚染度が近いと予測されるもの同士
で互いにまとめることにより、グループ分けする工程
と、このグループ分けされた排水毎に、その排水をその
実際の水質又は汚染度に応じて複数に分別する工程と、
この分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの
同士でまとめる工程と、このまとめられたそれぞれの排
水について、その水質又は汚染度に応じて、再利用のた
めの処理を行う工程と、を含むことが望ましい。

【００１２】また本発明による洗浄装置からの排水の再
利用装置は、各水洗槽毎に、その排水をその水質又は汚
染度に応じて複数に分別する装置と、この分別された排
水を、その水質又は汚染度の近いもの同士でまとめる装
置と、このまとめられたそれぞれの排水について、その
水質又は汚染度に応じて、再利用のための処理を行う装
置と、を含むことを特徴としている。

【００１３】また本発明では、予め、各水洗槽からの排
水を、その水質又は汚染度が近いと予測されるもの同士
で互いにまとめることにより、グループ分けする装置
と、このグループ分けされた排水毎に、その排水をその
実際の水質又は汚染度に応じて複数に分別する装置と、
この分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの
同士でまとめる装置と、このまとめられたそれぞれの排
水について、その水質又は汚染度に応じて、再利用のた
めの処理を行う装置と、を含むことが望ましい。

【００１４】

【作用】本発明による洗浄装置からの排水の再利用のた
めの方法又は装置では、各水洗槽からの排水が互いに合
流されてその水質又は汚染度が均一化されてしまう前
に、各水洗槽からの排水をその水質又は汚染度により複
数に分別し、その分別されたものについてその汚染度に
応じた再利用処理を行うようにしている。したがって、
従来のように各水洗槽からの排水が合流されて水質又は
汚染度が均一化された後に分別する場合に比べて、汚染
度が低く再利用可能な排水をより多く回収することがで
きるようになるので、排水の再利用可能なものの回収効
率が大幅に向上させられるようになる。

【００１５】また本発明では、予め、各水洗槽からの排
水を、その水質又は汚染度が近いと予測されるもの同士
で互いにまとめることにより、グループ分けしておき、
そのグループ分けされた排水毎に、その実際の水質又は
汚染度に応じて複数に分別するようにしている。これに
より、分別するための装置は、各水洗槽毎に設けること
なく各グループ毎に設けることで足りるようになるの
で、分別装置の数を削減することができ、設備コストを
大幅に低下させられるようになる。

【００１６】

【実施例】

実施例１．図１はこの発明の実施例１による洗浄装置か
らの排水の再利用方法を示すフローチャートである。こ
の実施例１では、各水洗槽からの排水を、それらが互い
に合流させる前に、そのそれぞれについてその水質又は
汚染度を検出してその水質又は汚染度により分別するよ
うにした（図１のステップＳ１１）ことに特徴がある。
そして、この分別された排水は、それぞれその水質又は
汚染度が近いもの同士でまとめられて（ステップＳ１
２）、それぞれの水質又は汚染度に応じた再利用のため
の処理が行われる。

【００１７】次に図２はこの実施例１を実施するための
排水の再利用システムを示す概略図である。図２におい
て、符号１１，１２，１３，１４は半導体ウエハの洗浄
装置、２１，２５，２９，３３は各洗浄装置１１〜１４
にそれぞれ含まれる薬液槽、２２，２６，３０，３４は
各洗浄装置１１〜１４にそれぞれ含まれる１次水洗槽、
２３，２７，３１，３５は各洗浄装置１１〜１４にそれ
ぞれ含まれる２次水洗槽、２４，２８，３２，３６は各
洗浄装置１１〜１４にそれぞれ含まれる３次水洗槽であ
る。

【００１８】この図２の再利用システムでは、前記薬液
槽２１，２５，２９，３３からの排水は、極めて汚染度
が高い排水であるため、そのまま処理ラインａに流さ
れ、排水処理装置５０に送られ、放流される。また前記
の各１次水洗槽２２，２６，３０，３４からの排水は、
それぞれ各分別装置８１，８４，８７，９０に送られ
る。各分別装置８１，８４，８７，９０では、送られた
排水の水質又は汚染度を検出し、例えば、汚染度が極め
て高いものと、汚染度がやや高いものと、汚染度がやや
低いものと、汚染度が極めて低いものと、の４つに分別
する。そして、汚染度が極めて高いものとして分別され
た排水は、処理ラインａに流され、排水処理装置５０に
送られる。また汚染度がやや高いものとして分別された
排水は、処理ラインｂに流され、排水回収処理装置５１
に送られる。また汚染度がやや低いものとして分別され
た排水は、処理ラインｃに流され、排水回収処理装置５
２に送られる。さらに汚染度が極めて低いものとして分
別された排水は、処理ラインｄに流され、そのまま超純
水製造装置５３に送られるか他の用途に使用される。

【００１９】またこの図２のシステムでは、前記の各２
次水洗槽２３，２７，３１，３５からの排水も、それぞ
れ各分別装置８２，８５，８８，９１に送られ、ここで
前述と同様にその汚染度に応じて４つに分別され、それ
ぞれ各処理ラインａ，ｂ，ｃ，ｄに流される。さらに、
前記の各３次水洗槽２４，２８，３２，３６からの排水
も、それぞれ各分別装置８３，８６，８９，９２に送ら
れ、ここで前述と同様に分別され、各処理ラインａ，
ｂ，ｃ，ｄに流される。なおこの図２では、前記の各２
次水洗槽及び３次水洗槽からの排水を分別する各分別装
置８２，８３，８５，８６，９１，９２から各処理ライ
ンａ，ｂ，ｃ，ｄへの配管は、便宜上図示を省略してい
る。

【００２０】次に図３は、図２の排水の再利用システム
に使用される各分別装置８１〜９２の構成の一例を説明
するための図である。この図３には、図２の洗浄装置１
１の１次水洗槽２２の排水を分別するための分別装置８
１の構成を示している。図３において、１ａ〜１ｃは各
配管ラインに設けられた電気導電度計、２ａ〜２ｆは各
電気導電度計１ａ〜１ｃの測定値に連動して開閉動作す
る２方弁、３ａ〜３ｇは配管ラインである。配管ライン
３ａには前記１次水洗槽２２から排出される汚染水が流
れ込み、その電気導電度を検出する電気導電度計１ａが
設けられている。更に、配管ライン３ｂには２方弁２ａ
が、配管ライン３ｃには２方弁２ｂと電気導電度計１ｂ
が、配管ライン３ｄには２方弁２ｃが、配管ライン３ｅ
には２方弁２ｄと電気導電度計１ｃが、配管ライン３ｆ
には２方弁２ｅが、配管ライン３ｇには２方弁２ｆが、
それぞれ設けられている。配管ライン３ｂ、３ｄ、３
ｆ、３ｇは、それぞれ汚染度の異なる処理ラインａ、
ｂ、ｃ、ｄに導かれている。

【００２１】図３において、処理ラインａには、例えば
導電度が１０，０００μｓ／ｃｍ以上の汚染度が極めて
高い排水が分別されて、流される。また処理ラインｂに
は、例えば導電度が１０，０００μｓ／ｃｍ以下で５，
０００μｓ／ｃｍ超の汚染度がやや高い排水が分別され
て、流される。また処理ラインｃには、例えば導電度が
５，０００μｓ／ｃｍ以下で１，０００μｓ／ｃｍ超の
汚染度のやや低い排水が分別されて、流される。さらに
処理ラインｄには、例えば導電度が１，０００μｓ／ｃ
ｍ以下の汚染度が極めて低い排水が分別されて、流され
る。このように、前記の各処理ラインａ、ｂ、ｃ、ｄを
流れる排水の汚染度は、ａ，ｂ，ｃ，ｄの順に高くなっ
ている。

【００２２】図示は省略しているが、他の各水洗槽から
の排水についても、それぞれ各槽毎に、上記と同様の構
成の分別装置により上記と同様の分別が行われ、それぞ
れ汚染度の異なる処理ラインａ、ｂ、ｃ、ｄに流され
る。このように、本実施例では、各槽の排水を他の槽の
排水と合流させる前に、それぞれについて分別を行い、
その分別に従ってそれぞれ汚染度の異なる処理ライン
ａ、ｂ、ｃ、ｄに流し、この各処理ラインａ，ｂ，ｃ，
ｄのところで、各槽からの排水をそれぞれの汚染度に応
じて合流させるようにしている。

【００２３】以上のように本実施例によれば、各水洗槽
からの排水が互いに合流して汚染度が均一化させられて
しまう前に、それぞれについて分別を行ってその汚染度
に応じた排水処理又は回収処理などを行うことが可能に
なる。よって各水洗槽からの排水の再利用可能なものの
回収効率が大幅に向上されるようになる。なお、本実施
例では、各水洗槽毎に図３に示すような分別装置を設け
るようにしているが、汚染の度合い応じて、より簡素化
された分別装置を設けるようにしてもよい。分別装置に
よる分別の種類の数と各分別ラインの水質基準とは、水
の再利用目的や処理装置の種類に合わせて決定される。

【００２４】実施例２．次に図４は、この発明の実施例
２を実施するための洗浄装置からの排水の再利用システ
ムに使用する排水の分別装置８１ａの構成を示す図であ
る。図４において、符号４は、流水の汚染度の検出濃度
レベルα１〜α４に対応した信号ｓ１〜ｓ４を出力する
電気導電度計である。また５は、電気導電度計４の各発
生信号ｓ１〜ｓ４を受けて２方弁２ａ〜２ｆの中の対応
する２方弁に所定の制御信号６を送りその開閉を制御す
る２方弁制御器である。なお、図４中の同一符号は、図
３におけるものと同一である。

【００２５】この実施例２では、例えば、電気導電度計
４からｓ１の信号が出力された場合には、これを受けた
２方弁制御器５から対応した制御信号６が２方弁２ａに
のみに送られ、２方弁２ａが開口され、濃度レベルα１
の排水が配管ライン３ｂに流されて、処理ラインａに流
される。次に、電気導電度計４からｓ２の信号が出力さ
れた場合には、これを受けた２方弁制御器５から対応し
た制御信号６が２方弁２ｂ及び２ｃに送られ、２方弁２
ｂ及び２ｃが開口されることにより、濃度レベルα２の
排水が配管３ｃから更に３ｄに流されて、処理ラインｂ
に流される。同様の動作により、濃度レベルα３の排水
は処理ラインｃに流され、濃度レベルα４の排水は処理
ラインｄに流される。なお、他の水洗槽の排水から分別
される水の濃度レベルが同じ場合は、必要に応じて同一
処理ラインへ配管結合されていることは言うまでもな
い。

【００２６】実施例３．次に図５は、本発明の実施例３
を実施するための洗浄装置からの排水の再利用システム
に使用される分別装置を示す図である。本実施例におい
ては、洗浄装置１６内に、製品に所定の薬液処理を行う
薬液槽２１と、薬液処理後に洗浄を行う１次水洗槽２
２、２次水洗槽２３、及び３次水洗槽２４とを設けてい
る。薬液槽２１内で薬液処理された製品は、１次〜３次
の水洗槽２２〜２４により順次洗浄される。本実施例で
は、これら各水洗槽２２〜２４からの排水の汚染度に対
応させて、例えば、導電度が５，０００μｓ／ｃｍ以上
の排水、１００〜５０００μｓ／ｃｍの排水、及び１０
０μｓ／ｃｍ以下の排水の３種類に分別するようにして
いる。各水洗槽２２〜２４の中で、最も汚染度が高いの
は１次水洗槽２２であり、２次水洗槽２３及び３次水洗
槽２４からの排水は殆ど汚染されておらず、実験によ
り、５，０００μｓ／ｃｍ以上の水は流れて来ないこと
を確認している。このため、排水の分別にあたっては、
１次水洗槽２２からの排水は前述のように３種類に分別
し、２次水洗槽２３及び３次水洗槽２４からの排水は、
只一つの導電度計によって、１００〜５，０００μｓ／
ｃｍの排水と１００μｓ／ｃｍ以下の排水との２種類に
分別するだけにしている。なお、２次水洗槽２３及び３
次水洗槽２４からの排水の汚染度が互いに同じ程度であ
れば、まとめて一つの導電度計で振り分けるようにして
もよい。

【００２７】このようにして各汚染度に応じて分別され
た排水は、実施例１の場合と同様に、図示されていない
他の水洗槽で分別された排水と合流され、それぞれの汚
染度に応じて、排水処理や回収再利用処理等の処理を施
された後再利用等のラインに導かれ、或いは無処理のま
ま再利用等のラインに導かれる。これにより排水の回収
効率が大幅に向上させられるようになる。

【００２８】実施例４．次に図６は、本発明の実施例４
を説明するための図である。この実施例４では、洗浄装
置１７の各水洗槽からの排水の薬品に基づく最大汚染度
を予め把握しておき、その上で、洗浄装置１７に排水の
分別装置を設けた場合を示す。この場合、分別基準は実
施例１の場合と同様としている。図６のシステムでは、
洗浄装置１７内に、予備水洗槽６１、Ｈ₂ＳＯ₄／Ｈ₂Ｏ₂
槽６２及びその１次水洗槽６３、ＮＨ₄ＯＨ／Ｈ₂Ｏ₂槽
６４及びその１次水洗槽６５、ＨＣｌ／Ｈ₂Ｏ₂槽６６及
びその１次水洗槽６７、２次水洗槽６８、３次水洗槽６
９の各槽が設けられている。また汚染濃度の比較的高い
予備水洗槽６１と１次水洗槽６３，６５，６７と２次水
洗槽６８との各槽からの排水ライン出口には、導電度計
１ａ〜１ｆが設けられている。これらの各槽からの排水
は、前記各導電度計１ａ〜１ｆからの信号に基づいて各
３方弁７ａ〜７ｆが作動されることにより、その汚染度
に従って分別され、各処理ラインａ，ｂ，ｃ，ｄのいず
れかに流されるようになっている。

【００２９】本実施例による排水の再利用方法を当社の
工場に適用し実験・調査した結果、Ｈ₂ＳＯ₄とＨ₂Ｏ₂の
混合液では、１次水洗槽の汚染度は、その粘性及び濃度
共に高いため、１０，０００μｓ／ｃｍ以上の水が約２
０％もあり、１００μｓ／ｃｍ以下の水は１０％程度し
かないことが分かった。したがって、このような場合
は、１つの導電度計で５，０００μｓ／ｃｍ以上の水
と、１００〜５，０００μｓ／ｃｍの水とに分別するよ
うにするとイニシャルコストダウンにつながる。他方、
ＮＨ₄ＯＨとＨ₂Ｏ₂の混合液と、ＨＣｌとＨ₂Ｏ₂の混合
液を使用した場合は、１次水洗槽の最大汚染度は５，０
００μｓ／ｃｍ以下であり、これはほぼ１００％回収可
能であることが分かった。したがって、この場合も１つ
の導電度計を用いて、１００〜５，０００μｓ／ｃｍの
水と、１００μｓ／ｃｍ以下の水とに分別するようにす
るとイニシャルコストダウンにつながる。なお、２次、
３次及び予備の水洗槽については、実施例１の場合と同
様のやり方で分別することができる。

【００３０】実施例５．次に図７は本発明の実施例５を
示すフローチャートである。この実施例５では、多数の
各水洗槽からの排水についてそれぞれの汚染度を予め推
測しておき、互いに汚染度が近いと予測される排水は、
分別を行う前に、まとめておくようにする点に特徴があ
る（図７のステップＳ２１）。すなわち、各水洗槽から
の排水を、予め汚染度が近いと予測されるもの同士で複
数のグループに分けておき、その後で、前記の各グルー
プ毎に、排水の汚染度を実際に測定し分別する（ステッ
プＳ２２）。その後、分別した排水を汚染度の近いもの
でまとめて（ステップＳ２３）、それぞれの汚染度に応
じた再利用のための処理を行う（ステップＳ２４）よう
にしている。

【００３１】次に図８は、この実施例５の方法を実施す
るための洗浄装置からの排水の再利用システムを示して
いる。図８において、図２と同一のものには同一の符号
を付している。図８において、各薬液槽２１，２６，２
９，３３からの排水は、共通配管７１で合流させられ
て、処理ラインａに流される。また各１次水洗槽２２，
２６，３０，３４からの排水は、共通配管７２で合流さ
せられて、分別装置４１に送られる。また各２次水洗槽
２３，２７，３１，３５からの排水は、共通配管７３で
合流させられて、分別装置４２に送られる。また各３次
水洗槽２４，２８，３２，３６からの排水は、共通配管
７４で合流させられて、分別装置４３に送られる。

【００３２】このように、図８のシステムでは、各水洗
槽からの排水を、各分別装置４１〜４３に送られる前
に、予め汚染度が近いと予測されるもの同士で４つの汚
染度の異なるグループに別れるように、共通配管７２〜
７４により４つのグループにまとめるようにしている。
すなわち、この実施例５では、各１次水洗槽２２，２
６，３０，３４からの排水は互いに汚染度が近いであろ
うと推測してこれらを分別前に１つのグループとしてま
とめるようにし、また各２次水洗槽２３，２７，３１，
３５からの排水は互いに汚染度が近いであろうと推測し
てこれらを分別前に１つのグループとしてまとめるよう
にし、さらに各３次水洗槽２４，２８，３２，３６から
の排水は互いに汚染度が近いであろうと推測してこれら
を分別前に１つのグループとしてまとめるようにしして
いる。その上で、この各グループとしてまとめられた排
水について、それぞれ各分別装置４１〜４３により分別
を行い、各処理ラインａ，ｂ，ｃ，ｄに流すようにして
いる。以後の動作は、図２について説明した実施例１と
同様である。

【００３３】以上のように、この実施例５では、多数の
水洗槽からの排水の汚染度を予め推測しておき、その推
測される汚染度に従って、各槽からの排水を複数の汚染
度の異なるグループにまとめるようにし、その上で、実
際の汚染度を検出して分別するようにしている。前述の
実施例１で説明した方法では、各水洗槽毎に水洗槽の数
だけ分別装置を設ける必要があるが、この実施例５で
は、各水洗槽からの排水をまとめたグループ毎にグルー
プの数だけ分別装置を設ければよい。したがって、実施
例１に比べて、分別装置の数を削減することができ、再
利用システムの設備コストを削減することができる。

【００３４】

【発明の効果】本発明による洗浄装置からの排水の再利
用のための方法又は装置では、各水洗槽からの排水が互
いに合流されて汚染度が均一化されてしまう前に、各水
洗槽からの排水をその水質又は汚染度により複数に分別
し、その分別されたものについてその汚染度に応じた再
利用処理を行うようにしている。したがって、従来のよ
うに各水洗槽からの排水が合流されて汚染度が均一化さ
れた後に分別する場合に比べて、汚染度が低く再利用で
きる排水をより多く回収することができるようになるの
で、排水の再利用のための回収効率が大幅に向上させら
れるようになる。

【００３５】また本発明では、予め、各水洗槽からの排
水を、その水質又は汚染度が近いと予測されるもの同士
で互いにまとめることにより、グループ分けしておき、
そのグループ分けされた排水毎に、その実際の水質又は
汚染度に応じて複数に分別するようにしている。これに
より、分別するための装置を、各水洗槽毎に設けること
なく各グループ毎に設けることで足りるようになるの
で、分別装置の数を削減することができ、設備コストを
大幅に低下させられるようになる。

【００３６】また、この発明による排水の再利用のため
の方法又は装置を例えば半導体ウエハ洗浄装置に適用す
ると、設備のイニシャルコストは若干アップ（洗浄装置
の価格にすれば、１％程度のアップとなる。）はする
が、排水の回収率は大幅に向上されるようになる。例え
ば、従来の排水の再利用方法による排水の回収率が６５
％である場合、その６５％から９０〜９５％程度まで向
上させることが可能となる。したがって、従来、６５％
の回収率であった工場で、この発明による排水の再利用
方法を採用して９０％の回収率を達成したとすれば、使
用水量３，０００ｍ³／日、水の使用料金１５０円／
ｍ³、下水道放流料金２５０円／ｍ³として、１日３０万
円のランニングコストダウンが可能となる。また、排水
量も２０％を削減できることとなり、環境問題の面から
も極めて有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を説明するためのフローチャ
ートである。

【図２】実施例１を実施するための洗浄装置からの排水
の再利用システムを示す図である。

【図３】実施例１に使用する分別装置を説明するための
図である。

【図４】本発明の実施例２に使用する分別装置を説明す
るための図である。

【図５】本発明の実施例３を説明するための図である。

【図６】本発明の実施例４を説明するための図である。

【図７】本発明の実施例５を説明するためのフローチャ
ートである。

【図８】実施例５を実施するための洗浄装置からの排水
の再利用システムを示す図である。

【図９】従来の洗浄装置からの排水の再利用方法を示す
フローチャートである。

【図１０】従来の洗浄装置からの排水の再利用方法を実
施するための排水の再利用システムを示す図である。

【符号の説明】

ａ，ｂ，ｃ，ｄ 処理ライン １ａ〜１ｆ，４ 電気電導度計 ２ａ〜２ｆ ２方弁 ３ａ〜３ｇ 配管 ５ ２方弁制御器 ７ａ〜７ｆ ３方弁 １１〜１４ 洗浄装置 ２１，２５，２９，３３ 薬液槽 ２２，２６，３０，３４，６３，６５，６７ １次水洗
槽 ２３，２７，３１，３５，６８ ２次水洗槽 ２４，２８，３２，３６，６９ ３次水洗槽 ５０ 排水処理装置 ５１，５２ 排水回収処理装置 ５３ 超純水製造装置 ７１〜７４ 共通配管 ８１〜９２ 分別装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １以上の水洗槽を含む１以上の洗浄装置
   からの排水を再利用するための方法であって、 前記各水洗槽毎に、その排水をその水質又は汚染度に応
   じて複数に分別する工程と、 この分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの
   同士でまとめる工程と、 このまとめられたそれぞれの排水について、その水質又
   は汚染度に応じて、再利用のための処理を行う工程と、
   を含むことを特徴とする洗浄装置からの排水の再利用方
   法。
2. 【請求項２】 １以上の水洗槽を含む１以上の洗浄装置
   からの排水を再利用するための方法であって、 予め、前記各水洗槽からの排水を、その水質又は汚染度
   が近いと予測されるもの同士で互いにまとめることによ
   り、グループ分けする工程と、 このグループ分けされた排水毎に、その排水をその実際
   の水質又は汚染度に応じて複数に分別する工程と、 この分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの
   同士でまとめる工程と、 このまとめられたそれぞれの排水について、その水質又
   は汚染度に応じて、再利用のための処理を行う工程と、
   を含むことを特徴とする洗浄装置からの排水の再利用方
   法。
3. 【請求項３】 １以上の水洗槽を含む１以上の洗浄装置
   からの排水を再利用するための装置であって、 前記各水洗槽毎に、その排水をその水質又は汚染度に応
   じて複数に分別する装置と、 この分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの
   同士でまとめる装置と、 このまとめられたそれぞれの排水について、その水質又
   は汚染度に応じて、再利用のための処理を行う装置と、
   を含むことを特徴とする洗浄装置からの排水の再利用装
   置。
4. 【請求項４】 １以上の水洗槽を含む１以上の洗浄装置
   からの排水を再利用するための装置であって、 予め、前記各水洗槽からの排水を、その水質又は汚染度
   が近いと予測されるもの同士で互いにまとめることによ
   り、グループ分けする装置と、 このグループ分けされた排水毎に、その排水をその実際
   の水質又は汚染度に応じて複数に分別する装置と、 この分別された排水を、その水質又は汚染度の近いもの
   同士でまとめる装置と、 このまとめられたそれぞれの排水について、その水質又
   は汚染度に応じて、再利用のための処理を行う装置と、
   を含むことを特徴とする洗浄装置からの排水の再利用装
   置。