CN1587150A - 防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法 - Google Patents
防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1587150A CN1587150A CN 200410066743 CN200410066743A CN1587150A CN 1587150 A CN1587150 A CN 1587150A CN 200410066743 CN200410066743 CN 200410066743 CN 200410066743 A CN200410066743 A CN 200410066743A CN 1587150 A CN1587150 A CN 1587150A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tio
- sio
- film
- colloidal sol
- reflection film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
一种防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，它是采用溶胶—凝胶法制备TiO2/SiO2宽光谱增透膜，其特征在于所述的防爆隔板玻璃表面增透膜是以钛酸丁酯和正硅酸乙酯为主要原料制备的TiO2和SiO2溶胶进行涂制的。这种增透膜是由TiO2层和SiO2层构成的λ/2－λ/4型双层膜。在450～900nm光谱区，该增透膜使隔板玻璃的平均透过率从涂膜前的92％提高到98％以上，相应主放大器的增益提高了6.5％左右，膜层耐强光，经高能氙灯的上百次放电试验膜层表面没有出现破坏痕迹。
Description
技术领域
本发明涉及高功率激光器，特别是一种高功率激光器的防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，主要是利用溶胶-凝胶方法制备在450～900nm光谱区具有高透过的强光用增透膜。
背景技术
由于高功率固体激光器输出能量的80％以上是由片状主放大器提供，所以主放大器的增益对整个装置的效率至关重要。如何提高主放大器的增益一直是从事高功率固体激光器研究人员的研究热点之一，对主放大器与高能氙灯之间的防爆隔板玻璃进行表面增透处理，是提高主放大器增益的有效途径之一。利用溶胶-凝胶技术在隔板玻璃表面涂增透膜是一种既经济、又有效的涂膜方法，参见在先技术Prene P，Priotton JJ，Beaurain L，Belleville P.Preparation of a sol-gel broadbandantireflective and scratch-resistant coating for amplifierblastshields of the French laser LIL.，J.Sol-Gel Sci.Tech.，19(2000)533~537，TaO2/SiO2双层增透膜使主放大器的增益提高了6.3％。但是由于TaO2膜层用原料TaCl5的价格较高，为8000元/kg，所以研究开发性价比更高的TaO2替代膜层是十分必要的。
而用价格相对较低的钛酸丁酯(不超过80元/kg)为原料，通过溶胶-凝胶方法制备得到的TiO2薄膜具有优良的光学性能，在光学领域得到了广泛的应用。基于以上考虑，本发明采用钛酸丁酯和正硅酸乙酯为主要原料，制备得到具有高性价比的高性能耐强光用TiO2/SiO2宽光谱增透膜。
发明内容
为了提高主放大器的增益，根据主放大器的吸收光谱特性，本发明提供一种防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，该膜层性价比高、耐强光，在450～900nm光谱区具有高的透过率，可有效提高主放大器的增益。
本发明的技术解决方案如下：
一种防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，它是采用溶胶-凝胶法制备TiO2/SiO2宽光谱增透膜，其特征在于所述的防爆隔板玻璃表面增透膜是以钛酸丁酯和正硅酸乙酯为主要原料制备的TiO2和SiO2溶胶进行涂制的。
本发明防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，包括下列具体步骤：
①所述的TiO2涂膜溶胶的制备：
TiO2溶胶的原料配比(摩尔百分比，mol％)：
Ti(OC4H9)4 H2O HCl 乙酰丙酮 C2H5OH
2.5～4.5 6.5～18 1.2～3.7 1.0～4.0 70～88
先将各原料按选定的摩尔比换算为体积比并量取之，将所需C2H5OH分成两等份，向其中一份中加入Ti(OC4H9)4和乙酰丙酮，磁力搅拌1小时，另一份与H2O和HCl混合均匀，将后者分2至5次加入前者中，需要20～50min，磁力搅拌4小时，陈化后即得到TiO2溶胶；
②所述的SiO2涂膜溶胶的制备：
SiO2溶胶的原料配比(摩尔百分比，mol％)：
Si(OC2H5)4 H2O HCl C2H5OH
4 11.7 0.3 84
先将各原料按选定的摩尔比换算为体积比并量取之，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份与Si(OC4H9)4混合，另一份与H2O和HCl混合均匀后加入前者中，磁力搅拌4小时陈化后，即得到SiO2溶胶；
③利用TiO2和SiO2溶胶进行涂膜。
所述的利用TiO2和SiO2溶胶进行涂膜，包括下列步骤：
①按照严格的程序清洗基片，清洗好后烘干或自然凉干备用；
②将干净的基片浸入陈化好的TiO2溶胶中，以一定的速度提拉涂膜，涂膜次数和提拉速度由溶胶浓度和膜层厚度确定，膜层在150℃～250℃范围内烘烤0.5小时，得到λ/2的TiO2膜层；
③将涂有TiO2膜层的基片浸入陈化好的SiO2溶胶中，以一定的速度提拉涂膜，经200℃烘烤处理，即得到λ/2-λ/4型的TiO2/SiO2双层增透膜。
实验结果表明：利用本发明方法涂有该增透膜的隔板玻璃在450～900nm光谱区的平均透过率超过98％，经高能氙灯数百次放电实验测试，膜层表面没有发现破坏迹象，并明显提高了主放大器的能量利用率，其增益提高了6.5％左右。
附图说明
图1为隔板玻璃表面增透膜的透过率曲线图，其中虚、实线分别表示隔板玻璃涂膜前和涂膜后的透过率。
图2为涂膜隔板玻璃的透过率曲线和主放大器的吸收光谱图。
具体实施方式
针对防爆隔板玻璃用TiO2/SiO2双层宽光谱增透膜的特点，在本发明的具体实施方式中，配置了多种浓度的TiO2溶胶和单一浓度的SiO2溶胶，其中TiO2溶胶的配方见表1，SiO2溶胶的配制原料为Si(OC2H5)4、H2O、HCl以及C2H5OH。
表1
| 组分(mol) | 1# | 2# | 3# | 4# | 5# |
| Ti(OC4H9)4 | 3.0 | 2.7 | 2.5 | 4.0 | 4.5 |
| H2O | 6.5 | 1 1 | 16.3 | 15 | 18 |
| HCl | 1.2 | 2.1 | 3.7 | 3.0 | 3.5 |
| 乙酰丙酮 | 1.3 | 2.2 | 2.5 | 3.0 | 4.0 |
| C2H5OH | 88 | 82 | 75 | 75 | 70 |
实施例一：
TiO2溶胶的配制组成如表1中1#所示，具体过程如下：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将其中C2H5OH分成两等份，一份加入Ti(OC4H9)4，混合均匀后加入乙酰丙酮，磁力搅拌1小时；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合，磁力搅拌15～30分钟；
③将②中溶液分2次加入溶液①中，每次大约10分钟，两次中间间隔30分钟，混合结束后继续搅拌4小时，陈化1天后备用。
SiO2溶胶按Si(OC2H5)4、H2O、HCl以及C2H5OH摩尔百分比4∶11.7∶0.3∶84进行配制，具体过程包括：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份中加入Si(OC2H5)4，磁力搅拌混合0.5小时；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合磁力搅拌15～30分钟；
③将C2H5OH、H2O和HCl的混合液②缓慢加入溶液①中，大约需要10分钟，混合结束后继续搅拌4小时，陈化3天以上备用。
双层膜制备过程包括下列步骤：
①将直径φ50mm的B33玻璃基片和600*400*8mm3的B33玻璃基片依次经弱碱洗液、酒精、去离子水冲洗干净，在干净环境下烘干或自然凉干，最后经专用擦纸擦干净后涂膜；
②将净化处理的基片浸入TiO2溶胶中，以15cm/min的速度提拉涂膜，在100℃烘烤约15min，再在同一溶液中以12cm/min的速度提拉涂膜，经200℃烘烤30min即可得到中心波长在650nm的λ/2TiO2膜层；
③将涂有Ti02膜层的基片浸入SiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在200℃烘烤30min，即得到中心波长为650nm的λ/2-λ/4型TiO2/SiO2双层宽光谱增透膜。
膜层的测试结果如下：
用直径φ50mm的涂膜B33玻璃片测试透过率，根据TiO2和SiO2各自膜层的透过光谱求得到各自的折射率(依据薄膜光学原理)分别为1.863和1.432，TiO2/SiO2双层膜的透过率满足要求。同时用表面涂有TiO2/SiO2双层增透膜的B33玻璃基片(600*400*8mm3)进行实地测试，结果主放大器的增益提高了6.8％，且经过氙灯的上百次辐照膜层表面没有发生破坏。
实施例二：
TiO2溶胶的配制组成如表1中2#所示，具体过程如下：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将其中C2H5OH分成两等份，一份加入Ti(OC4H9)4，混合均匀后加入乙酰丙酮，磁力搅拌1h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合，磁力搅拌15～30min；
③将②中溶液分2次缓慢加入溶液①中，每次大约需要10min，中间间隔30min，混合结束后继续搅拌4h，陈化1天后备用。
SiO2溶胶按Si(OC2H5)4、H2O、HCl以及C2H5OH摩尔百分比4∶11.7∶0.3∶84进行配制，具体过程包括：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份中加入Si(OC2H5)4，磁力搅拌混合0.5h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合磁力搅拌15～30min；
③将C2H5OH、H2O和HCl的混合液②缓慢加入溶液①中，大约需要10min，混合结束后继续搅拌4h，陈化3天以上备用。
双层膜制备过程包括下列步骤：
①将直径φ50mm的B33玻璃基片和600*400*8mm3的B33玻璃基片依次经弱碱洗液、酒精、去离子水冲洗干净，在干净环境下烘干或自然凉干，最后经专用擦纸擦干净后涂膜；
②将净化处理的基片浸入TiO2溶胶中，以14cm/min的速度提拉涂膜，在100℃烘烤约15min，再在同一溶液中以11cm/min的速度提拉涂膜，经200℃烘烤30min即可得到中心波长在650nm的λ/2TiO2膜层；
③将涂有TiO2膜层的基片浸入SiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在200℃烘烤30min，即得到中心波长为650nm的λ/2-λ/4型TiO2/SiO2双层宽光谱增透膜。
膜层的测试结果如下：
用直径φ50mm的涂膜B33玻璃片测试透过率，根据TiO2和SiO2各自膜层的透过光谱求得到各自的折射率(依据薄膜光学原理)分别为1.859和1.432，TiO2/SiO2双层膜的透过率满足要求。同时用表面涂有TiO2/SiO2双层增透膜的B33玻璃基片(600*400*8mm3)进行实地测试，结果主放大器的增益提高了约6.6％，且经过氙灯的上百次辐照膜层表面没有发生破坏。
实施例三：
TiO2溶胶的配制组成如表1中3#所示，具体过程如下：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将其中C2H5OH分成两等份，一份加入Ti(OC4H9)4，混合均匀后加入乙酰丙酮，磁力搅拌1h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合，磁力搅拌15～30min；
③将②中溶液分4次缓慢加入溶液①中，每次需要7分钟左右，总共需要50min，混合结束后继续搅拌4h，陈化1天后备用。
SiO2溶胶按Si(OC2H5)4、H2O、HCl以及C2H5OH摩尔百分比4∶11.7∶0.3∶84进行配制，具体过程包括：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份中加入Si(OC2H5)4，磁力搅拌混合0.5h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合磁力搅拌15～30min；
③将C2H5OH、H2O和HCl的混合液②缓慢加入溶液①中，大约需要10min，混合结束后继续搅拌4h，陈化3天以上备用。
双层膜制备过程包括下列步骤：
①将直径φ50mm的B33玻璃基片和600*400*8mm3的B33玻璃基片依次经弱碱洗液、酒精、去离子水冲洗干净，在干净环境下烘干或自然凉干，最后经专用擦纸擦干净后涂膜；
②将净化处理的基片浸入TiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在100℃烘烤约15min，再在同一溶液中以9cm/min的速度提拉涂膜，经200℃烘烤30min即可得到中心波长在650nm的λ/2TiO2膜层；
③将涂有TiO2膜层的基片浸入SiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在200℃烘烤30min，即得到中心波长为650nm的λ/2-λ/4型TiO2/SiO2双层宽光谱增透膜。
膜层的测试结果如下：
用直径φ50mm的涂膜B33玻璃片测试透过率，根据TiO2和SiO2各自膜层的透过光谱求得到各自的折射率(依据薄膜光学原理)分别为1.848和1.432，TiO2/SiO2双层膜的透过率满足要求。同时用表面涂有TiO2/SiO2双层增透膜的B33玻璃基片(600*400*8mm3)进行实地测试，结果主放大器的增益提高了约6.47％，且经过氙灯的上百次辐照膜层表面没有发生破坏。
实施例四：
TiO2溶胶的配制组成如表1中4#所示，具体过程如下：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将其中C2H5OH分成两等份，一份加入Ti(OC4H9)4，混合均匀后加入乙酰丙酮，磁力搅拌1h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合，磁力搅拌15～30min；
③将②中溶液分3次缓慢加入溶液①中，每次大约需要8分钟，总共需要50min，混合结束后继续搅拌4h，陈化1天后备用。
SiO2溶胶按Si(OC2H5)4、H2O、HCl以及C2H5OH摩尔百分比4∶11.7∶0.3∶84进行配制，具体过程包括：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份中加入Si(OC2H5)4，磁力搅拌混合0.5h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合磁力搅拌15～30min；
③将C2H5OH、H2O和HCl的混合液②缓慢加入溶液①中，大约需要10min，混合结束后继续搅拌4h，陈化3天以上备用。
双层膜制备过程包括下列步骤：
①将直径φ50mm的B33玻璃基片和600*400*8mm3的B33玻璃基片依次经弱碱洗液、酒精、去离子水冲洗干净，在干净环境下烘干或自然凉干，最后经专用擦纸擦干净后涂膜；
②将净化处理的基片浸入TiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在100℃烘烤约15min，再在同一溶液中以10cm/min的速度提拉涂膜，经200℃烘烤30min即可得到中心波长在650nm的λ/2TiO2膜层；
③将涂有TiO2膜层的基片浸入SiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在200℃烘烤30min，即得到中心波长为650nm的λ/2-λ/4型TiO2/SiO2双层宽光谱增透膜。
膜层的测试结果如下：
用直径φ50mm的涂膜B33玻璃片测试透过率，根据TiO2和SiO2各自膜层的透过光谱求得到各自的折射率(依据薄膜光学原理)分别为1.852和1.432，TiO2/SiO2双层膜的透过率满足要求。同时用表面涂有TiO2/SiO2双层增透膜的B33玻璃基片(600*400*8mm3)进行实地测试，结果主放大器的增益提高了约6.7％，且经过氙灯的上百次辐照膜层表面没有发生破坏。
实施例五：
TiO2溶胶的配制组成如表1中1#所示，具体过程如下：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将其中C2H5OH分成两等份，一份加入Ti(OC4H9)4，混合均匀后加入乙酰丙酮，磁力搅拌1h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合，磁力搅拌15～30min；
③将②中溶液分5次加入溶液①中，每次需要6min，总共需要50min，混合结束后继续搅拌4h，陈化1天后备用。
SiO2溶胶按Si(OC2H5)4、H2O、HCl以及C2H5OH摩尔百分比4∶11.7∶0.3∶84进行配制，具体过程包括：
①各组分按其摩尔比换算为体积比，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份中加入Si(OC2H5)4，磁力搅拌混合0.5h；
②另一份C2H5OH与H2O和HCl混合磁力搅拌15～30min；
③将C2H5OH、H2O和HCl的混合液②缓慢加入溶液①中，大约需要10min，混合结束后继续搅拌4h，陈化3天以上备用。
双层膜制备过程包括下列步骤：
①将直径φ50mm的B33玻璃基片和600*400*8mm3的B33玻璃基片依次经弱碱洗液、酒精、去离子水冲洗干净，在干净环境下烘干或自然凉干，最后经专用擦纸擦干净后涂膜；
②将净化处理的基片浸入TiO2溶胶中，以18cm/min的速度提拉涂膜，经250℃烘烤30min即可得到中心波长在650nm的λ/2TiO2膜层；
③将涂有TiO2膜层的基片浸入SiO2溶胶中，以12cm/min的速度提拉涂膜，在200℃烘烤30min，即得到中心波长为650nm的λ/2-λ/4型TiO2/SiO2双层宽光谱增透膜。
膜层的测试结果如下：
用直径φ50mm的涂膜B33玻璃片测试透过率，根据TiO2和SiO2各自膜层的透过光谱求得到各自的折射率(依据薄膜光学原理)分别为1.848和1.432，TiO2/SiO2双层膜的透过率满足要求。同时用表面涂有TiO2/SiO2双层增透膜的B33玻璃基片(600*400*8mm3)进行实地测试，结果主放大器的增益提高了6.4％，且经过氙灯的上百次辐照膜层表面没有发生破坏。
Claims (3)
1、一种防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，它是采用溶胶—凝胶法制备TiO2/SiO2宽光谱增透膜，其特征在于所述的防爆隔板玻璃表面增透膜是以钛酸丁酯和正硅酸乙酯为主要原料制备的TiO2和SiO2溶胶进行涂制的。
2、根据权利要求1所述的防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，其特征在于该方法包括下列具体步骤：
①所述的TiO2涂膜溶胶的制备：
TiO2溶胶的原料配比(摩尔百分比，mol％)：
Ti(OC4H9)4 H2O HCl 乙酰丙酮 C2H5OH
2.5～4.5 6.5～18 1.2～3.7 1.0～4.0 70～88
先将各原料按选定的摩尔比换算为体积比并量取之，将所需C2H5OH分成两等份，向其中一份中加入Ti(OC4H9)4和乙酰丙酮，磁力搅拌1小时，另一份与H2O和HCl混合均匀，将后者分2至5次加入前者中，需要20～50min，磁力搅拌4小时，陈化后即得到TiO2溶胶；
②所述的SiO2涂膜溶胶的制备：
SiO2溶胶的原料配比(摩尔百分比，mol％)：
Si(OC2H5)4 H2O HCl C2H5OH
4 11.7 0.3 84
先将各原料按选定的摩尔比换算为体积比并量取之，将所需C2H5OH分成两等份，其中一份与Si(OC4H9)4混合，另一份与H2O和HCl混合均匀后加入前者中，磁力搅拌4小时陈化后，即得到SiO2溶胶；
③利用TiO2和SiO2溶胶进行涂膜。
3、根据权利要求2所述的防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法，其特征在于所述的利用TiO2和SiO2溶胶进行涂膜，包括下列步骤：
①按照严格的程序清洗基片，清洗好后烘干或自然凉干备用；
②将干净的基片浸入陈化好的TiO2溶胶中，以一定的速度提拉涂膜，涂膜次数和提拉速度由溶胶浓度和膜层厚度确定，膜层在150℃～250℃范围内烘烤0.5小时，得到λ/2的TiO2膜层；
③将涂有TiO2膜层的基片浸入陈化好的SiO2溶胶中，以一定的速度提拉涂膜，经200℃烘烤处理，即得到λ/2-λ/4型的TiO2/SiO2双层增透膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200410066743 CN1587150A (zh) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | 防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200410066743 CN1587150A (zh) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | 防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1587150A true CN1587150A (zh) | 2005-03-02 |
Family
ID=34604081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200410066743 Pending CN1587150A (zh) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | 防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1587150A (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101786803A (zh) * | 2010-03-02 | 2010-07-28 | 常州龙腾太阳能热电设备有限公司 | 长度/孔径比大于30的玻璃管内外表面涂布多层复合高增透膜的方法 |
| WO2010133110A1 (zh) * | 2009-05-19 | 2010-11-25 | 信义汽车玻璃(深圳)有限公司 | 一种减反射溶液、超白光伏玻璃及其制造方法 |
| CN101948250A (zh) * | 2010-10-09 | 2011-01-19 | 福建圣元电子科技有限公司 | 全玻璃真空太阳能集热管外管内外壁镀增透膜的方法 |
| CN102351433A (zh) * | 2011-07-05 | 2012-02-15 | 温州市康尔微晶器皿有限公司 | 高机械强度自清洁太阳能封装玻璃增透膜的制备方法 |
| CN103042770A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-04-17 | 泉耀新材料科技（苏州）有限公司 | 一种多孔性结构低折射率二氧化钛镀膜之建材玻璃 |
| CN103553361A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-02-05 | 南通博凯新能源科技有限公司 | 一种Al2O3-SiO2-TiO2无机增透膜的制备方法 |
| CN108751733A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 厦门大学 | 一种二氧化硅溶胶增强的中空安全玻璃及其制备方法 |
-
2004
- 2004-09-28 CN CN 200410066743 patent/CN1587150A/zh active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010133110A1 (zh) * | 2009-05-19 | 2010-11-25 | 信义汽车玻璃(深圳)有限公司 | 一种减反射溶液、超白光伏玻璃及其制造方法 |
| CN101786803A (zh) * | 2010-03-02 | 2010-07-28 | 常州龙腾太阳能热电设备有限公司 | 长度/孔径比大于30的玻璃管内外表面涂布多层复合高增透膜的方法 |
| CN101786803B (zh) * | 2010-03-02 | 2012-06-20 | 常州龙腾太阳能热电设备有限公司 | 长度/孔径比大于30的玻璃管内外表面涂布多层复合高增透膜的方法 |
| CN101948250A (zh) * | 2010-10-09 | 2011-01-19 | 福建圣元电子科技有限公司 | 全玻璃真空太阳能集热管外管内外壁镀增透膜的方法 |
| CN101948250B (zh) * | 2010-10-09 | 2013-03-06 | 福建圣元电子科技有限公司 | 全玻璃真空太阳能集热管外管内外壁镀增透膜的方法 |
| CN102351433A (zh) * | 2011-07-05 | 2012-02-15 | 温州市康尔微晶器皿有限公司 | 高机械强度自清洁太阳能封装玻璃增透膜的制备方法 |
| CN102351433B (zh) * | 2011-07-05 | 2013-07-03 | 温州市康尔微晶器皿有限公司 | 高机械强度自清洁太阳能封装玻璃增透膜的制备方法 |
| CN103042770A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-04-17 | 泉耀新材料科技（苏州）有限公司 | 一种多孔性结构低折射率二氧化钛镀膜之建材玻璃 |
| CN103553361A (zh) * | 2013-11-21 | 2014-02-05 | 南通博凯新能源科技有限公司 | 一种Al2O3-SiO2-TiO2无机增透膜的制备方法 |
| CN103553361B (zh) * | 2013-11-21 | 2015-10-28 | 南通博凯新能源科技有限公司 | 一种Al2O3-SiO2-TiO2无机增透膜的制备方法 |
| CN108751733A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 厦门大学 | 一种二氧化硅溶胶增强的中空安全玻璃及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1280009C (zh) | 氧化钛光催化剂薄膜的制造方法 | |
| CN100343189C (zh) | 用于无机表面的蚀刻糊 | |
| CN1909261A (zh) | 二氧化钛纳晶光吸收增强型薄膜电极及其制备方法 | |
| CN1767216A (zh) | 光电转换装置 | |
| JP5314253B2 (ja) | 光電気セル | |
| CN1846288A (zh) | 串联染料敏化太阳能电池及其制造方法 | |
| CN101030605A (zh) | 太阳能电池及其制造方法 | |
| CN1770479A (zh) | 串联薄膜太阳能电池 | |
| CN101066011A (zh) | 导电性层积体、等离子显示器用的电磁波屏蔽膜及保护板 | |
| CN1790064A (zh) | 使用有机无机混合材料和纳米压印技术的微细结构体的制造方法以及微细结构体 | |
| CN101061399A (zh) | 滤光片 | |
| CN104310791B (zh) | 一种利用空心纳米复合粒子构建自洁减反膜的方法 | |
| CN103301828B (zh) | 一种光电催化薄膜、制备方法及应用 | |
| CN1587150A (zh) | 防爆隔板玻璃表面增透膜的制备方法 | |
| CN1890838A (zh) | 半导体电极及其制造方法、和使用该半导体电极的光电池 | |
| KR102609050B1 (ko) | 광기능성 막 및 이의 제조방법 | |
| CN106887336A (zh) | TiO2/BiVO4纳米阵列光电极的制备方法 | |
| CN108579768A (zh) | 少层MoS2修饰Ag-TiO2纳米复合薄膜的制备方法 | |
| CN1297478C (zh) | 分子筛基纳米复合抗紫外材料、其制备方法和用途 | |
| CN1194922C (zh) | 纳米自洁净超亲水玻璃产品生产方法 | |
| CN102674704A (zh) | 多孔纳米二氧化硅减反射膜的制备方法 | |
| Wu et al. | Effect of the combination of inverse opal photon superficial areaic crystal and heterojunction on active free radicals and its effect on the mechanism of photocatalytic removal of organic pollutants | |
| JP4269595B2 (ja) | 酸化物半導体電極及びその製造方法 | |
| CN1847948A (zh) | 用于半透射型液晶显示元件的基板、包括该基板的显示元件 | |
| CN102543475B (zh) | 光阳极薄膜材料的制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |